RU2007125995A - Способ комплексного использования исходных реагентов при получении поликристаллического кремния - Google Patents

Claims (3)

1. Способ комплексного использования исходных реагентов при получении поликристаллического кремния, включающий водородное восстановление трихлорсилана на кремниевых стержнях с получением кремния электронного сорта и отходящей парогазовой смеси, содержащей трихлорсилан (ТХС), тетрахлорид кремния (ТХК), хлористый водород (HCl), полисиланхлориды (ПСХ) и водород (Н₂), которую подвергают конденсации с рециркуляцией водорода после абсорбционной очистки, а также ТХС со стадии ректификационного разделения конденсата, отличающийся тем, что ректификацию конденсата ведут с отбором фракции, содержащей ТХС и ТХК, которую направляют в голову процесса, а кубовый остаток, содержащий 5÷10% ПСХ и 90÷95% ТХК, направляют на гидрирование с получением ТХС и его восстановление до кремния "солнечного" сорта, а полученную при этом отходящую парогазовую смесь охлаждают с получением конденсата ТХК и ТХС, который возвращают на стадию получения кремния "солнечного" сорта.

2. Способ по п.1, отличающийся тем, что для начала переработки полисиланхлоридов и тетрахлорида кремния в реакторе водородного восстановления кремния из трихлорсилана, выращивают в водороде кремниевые стержни диаметром 20÷30 мм, а после замены трихлорсилана на смесь полисиланхлоридов и увеличении температуры процесса до 1100÷1200°С устанавливают мольное отношение водорода к хлорсиланам, как (6÷12):1, процесс ведут до получения кремния заданного диаметра.

3. Способ по п.1 или 2, отличающийся тем, что водород и хлористый водород, отходящие при получении кремния "солнечного" сорта, а также хлористый водород, отходящий при получении кремния электронного сорта, направляют на синтез ТХС, с использованием технического кремния.