RU2009112714A

RU2009112714A - Низкотемпературный способ изготовления изделия с покрытием из оксида цинка

Info

Publication number: RU2009112714A
Application number: RU2009112714/02A
Authority: RU
Inventors: Майкл Б. АБРАМС (US); Майкл Б. АБРАМС; Роман И. КОРОТКОВ (US); Роман И. КОРОТКОВ; Гэри С. СИЛВЕРМАН (US); Гэри С. СИЛВЕРМАН; Райан СМИТ (US); Райан СМИТ; Джеффери Л. СТРИКЕР (US); Джеффери Л. СТРИКЕР
Original assignee: Пилкингтон Груп Лимитед (Gb); Пилкингтон Груп Лимитед; Аркема, Инк. (Us); Аркема, Инк.
Priority date: 2006-09-08
Filing date: 2007-05-03
Publication date: 2010-10-20
Also published as: MY150461A; US20080063793A1; AU2007293468B2; ES2374744T3; KR20090061650A; EP2074239B1; JP5406717B2; WO2008030276A1; PL2074239T3; PT2074239E; EP2074239A1; AU2007293468A1; BRPI0716189A2; US7740901B2; ATE528420T1; JP2010502558A; RU2446232C2; CN101512043A; MX2009002461A; KR101473024B1

Abstract

1. Способ изготовления прозрачного изделия с покрытием из оксида цинка, имеющим низкое удельное сопротивление, при осуществлении которого ! подготавливают прозрачную основу с поверхностью, на которую наносится покрытие, имеющей температуру не более 400°С, и ! подают цинксодержащеее соединение и одно или несколько кислородсодержащих соединений на указанную поверхность, причем цинксодержащее соединение и соединения, являющиеся источником кислорода, перемешивают в течение короткого промежутка времени, достаточного для образования на этой поверхности покрытия из оксида цинка при скорости осаждения по меньшей мере 5 нм/с. ! 2. Способ по п.1, в котором цинксодержащее соединение и упомянутые одно или несколько кислородсодержащих соединений перемешивают в течение менее чем 500 мс. ! 3. Способ по п.1, в котором осуществляют изготовление прозрачного изделия с содержащим легирующие примеси покрытием из оксида цинка, имеющим низкое удельное сопротивление, причем на поверхность, на которую наносится покрытие, подают цинксодержащее соединение, одно или несколько кислородсодержащих соединений и одно или несколько соединений, содержащих элемент 13 группы, причем цинксодержащее соединение, кислородсодержащие соединения и соединения, содержащие элемент 13 группы, перемешивают в течение короткого промежутка времени, достаточного для образования на этой поверхности покрытия из оксида цинка, содержащего легирующие примеси, при скорости осаждения по меньшей мере 5 нм/с. ! 4. Способ по п.1, в котором покрытие из оксида цинка образуют в процессе химического осаждения из паровой фазы. ! 5. Способ по п.4, в котором процесс химического �

Claims

1. Способ изготовления прозрачного изделия с покрытием из оксида цинка, имеющим низкое удельное сопротивление, при осуществлении которого

подготавливают прозрачную основу с поверхностью, на которую наносится покрытие, имеющей температуру не более 400°С, и

подают цинксодержащеее соединение и одно или несколько кислородсодержащих соединений на указанную поверхность, причем цинксодержащее соединение и соединения, являющиеся источником кислорода, перемешивают в течение короткого промежутка времени, достаточного для образования на этой поверхности покрытия из оксида цинка при скорости осаждения по меньшей мере 5 нм/с.

2. Способ по п.1, в котором цинксодержащее соединение и упомянутые одно или несколько кислородсодержащих соединений перемешивают в течение менее чем 500 мс.

3. Способ по п.1, в котором осуществляют изготовление прозрачного изделия с содержащим легирующие примеси покрытием из оксида цинка, имеющим низкое удельное сопротивление, причем на поверхность, на которую наносится покрытие, подают цинксодержащее соединение, одно или несколько кислородсодержащих соединений и одно или несколько соединений, содержащих элемент 13 группы, причем цинксодержащее соединение, кислородсодержащие соединения и соединения, содержащие элемент 13 группы, перемешивают в течение короткого промежутка времени, достаточного для образования на этой поверхности покрытия из оксида цинка, содержащего легирующие примеси, при скорости осаждения по меньшей мере 5 нм/с.

4. Способ по п.1, в котором покрытие из оксида цинка образуют в процессе химического осаждения из паровой фазы.

5. Способ по п.4, в котором процесс химического осаждения из паровой фазы осуществляют при атмосферном давлении.

6. Способ по п.3, в котором соединением, содержащим элемент 13 группы, является соединение, содержащее алюминий.

7. Способ по п.6, в котором соединение, содержащее алюминий, является соединением алюминия с формулой R¹⁵ _(3-n)АlR¹⁶ _nL_z, где R¹⁵ является алкильной или арильной, или галогенидной, или алкоксидной группой, R¹⁶ - Н-группа, алкильная, арильная, галогенидная или дикетонатная группа с формулой (R¹⁷C(O)CR¹⁸C(O)R¹⁹), в которой R^17-19 могут быть одинаковыми или разными группами и являются Н-группой, алкильной или арильной группами (включая циклические и частично или полностью фторированные производные), n=0-3, L является кислородсодержащим донорным лигандом, a z=0-2.

8. Способ по п.7, в котором соединением, содержащим алюминий, является диэтилалюминий ацетилацетонат.

9. Способ по п.7, в котором соединением, содержащим алюминий, является диэтилалюминий хлорид.

10. Способ по п.3, в котором соединением, содержащим элемент 13 группы, является соединение, содержащее галлий.

11. Способ по п.10, в котором соединением, содержащим галлий, является соединение галлия с формулой R¹⁵ _(3-n)GaR¹⁶ _nL_z, где R¹⁵ является алкильной или арильной, или галогенидной, или алкоксидной группой, R¹⁶ - Н-группа, алкильная, арильная, галогенидная или дикетонатная группа с формулой (R¹⁷C(O)CR¹⁸C(O)R¹⁹), в которой R^17-19 могут быть одинаковыми или разными группами и являются Н-группой, алкильной или арильной группами (включая циклические и частично или полностью фторированные производные), n=0-3, L является кислородсодержащим донорным лигандом, a z=0-2.

12. Способ по п.11, в котором соединением, содержащим галлий, является диметилгаллий ацетилацетонат.

13. Способ по п.11, в котором соединением, содержащим галлий, является диметилгаллий гексафторацетилацетонат.

14. Способ по п.1, в котором осуществляют изготовление прозрачного изделия с содержащим легирующие примеси покрытием из оксида цинка, имеющим низкое удельное сопротивление, причем на поверхность, на которую наносится покрытие, подают цинксодержащее соединение, кислородсодержащее соединение, соединение, содержащее элемент 13 группы, и фторсодержащее соединение, причем цинксодержащее соединение, соединение, являющееся источником кислорода, и соединение, содержащее элемент 13 группы, а также фторсодержащее соединение перемешивают в течение короткого промежутка времени, достаточного для образования на этой поверхности покрытия из оксида цинка, содержащего легирующие примеси, при скорости осаждения по меньшей мере 5 нм/с.

15. Способ по п.14, в котором фторсодержащее соединение выбирают из группы, включающей

дифторметан; 1,1-дифторэтан; 1,1,1,2-тетрафторэтан; 1,1,1,2,2-пентафторэтан; 1,1,1-трифторэтан; 1,1,1,3,3-пентафторпропан; фторэтилен; 1,1-дифторэтилен; 1,1,1,2,3,3,3-гептафторпропан; 1,1,1,2,2,3,3-гептафторпропан; гексафторпропен; 3,3,3-трифторпропен; перфторциклопентен; перфторбутадиен; 1,1,1,3,3,3-гексафтор-2-пропанол; 1,1,1,3,3,3-гексафтор-2-метил-2-пропанол; гексафторпропеноксид; 2,2,3,4,4,4-гексафтор-1-бутанол; 1,1,2,2,3,4-гексафтор-3,4-бис(трифторметил)циклобутан; гексафтор-2-бутин; гексафторацетон; ангидрид гексафторглутаровой кислоты; ангидрид трифторуксусной кислоты; трифторацетилхлорид; 2,2,2-трифторэтанол; 1,1,1-трифторацетон; трифторметан; 1,1,1-трифтор-2-пропанол; 3,3,3-трифторпропионовая кислота; 3,3,3-трифторпропин; трифторамин; фтороводород; трифторуксусная кислота; 1,1,1,3,3-пентафторбутан и 1,1,1,2,3,4,4,5,5,5-декафторпентан.

16. Способ по п.15, в котором фторсодержащим соединением является гексафторпропен.

17. Способ по п.1, в котором кислородсодержащим соединением является вода.

18. Способ по п.1, в котором кислородсодержащим соединением является смесь спирта и воды, где концентрация воды составляет не более 25 мол.%.

19. Способ по п.18, в котором используется спирт - 2-бутанол.

20. Изделие с покрытием из ZnO, изготовленное способом по п.1.