RU2008131767A - Способ и реактор фторирования - Google Patents

Способ и реактор фторирования Download PDF

Info

Publication number
RU2008131767A
RU2008131767A RU2008131767/04A RU2008131767A RU2008131767A RU 2008131767 A RU2008131767 A RU 2008131767A RU 2008131767/04 A RU2008131767/04 A RU 2008131767/04A RU 2008131767 A RU2008131767 A RU 2008131767A RU 2008131767 A RU2008131767 A RU 2008131767A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
fluoride
composition
reactor
elemental fluorine
organic compound
Prior art date
Application number
RU2008131767/04A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2446139C2 (ru
Inventor
Мэтью Х. ЛУЛАЙ (US)
Мэтью Х. ЛУЛАЙ
Original Assignee
Хонейвелл Интернэшнл Инк. (Us)
Хонейвелл Интернэшнл Инк.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Хонейвелл Интернэшнл Инк. (Us), Хонейвелл Интернэшнл Инк. filed Critical Хонейвелл Интернэшнл Инк. (Us)
Publication of RU2008131767A publication Critical patent/RU2008131767A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2446139C2 publication Critical patent/RU2446139C2/ru

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J8/00—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes
    • B01J8/02—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with stationary particles, e.g. in fixed beds
    • B01J8/0242—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with stationary particles, e.g. in fixed beds the fluid flow within the bed being predominantly vertical
    • B01J8/025—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with stationary particles, e.g. in fixed beds the fluid flow within the bed being predominantly vertical in a cylindrical shaped bed
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C17/00—Preparation of halogenated hydrocarbons
    • C07C17/013—Preparation of halogenated hydrocarbons by addition of halogens
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J8/00—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes
    • B01J8/02—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with stationary particles, e.g. in fixed beds
    • B01J8/04—Chemical or physical processes in general, conducted in the presence of fluids and solid particles; Apparatus for such processes with stationary particles, e.g. in fixed beds the fluid passing successively through two or more beds
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07B—GENERAL METHODS OF ORGANIC CHEMISTRY; APPARATUS THEREFOR
    • C07B39/00—Halogenation
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C17/00—Preparation of halogenated hydrocarbons
    • C07C17/07—Preparation of halogenated hydrocarbons by addition of hydrogen halides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C07—ORGANIC CHEMISTRY
    • C07C—ACYCLIC OR CARBOCYCLIC COMPOUNDS
    • C07C17/00—Preparation of halogenated hydrocarbons
    • C07C17/093—Preparation of halogenated hydrocarbons by replacement by halogens
    • C07C17/10—Preparation of halogenated hydrocarbons by replacement by halogens of hydrogen atoms
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2208/00—Processes carried out in the presence of solid particles; Reactors therefor
    • B01J2208/00008—Controlling the process
    • B01J2208/00017—Controlling the temperature
    • B01J2208/0053—Controlling multiple zones along the direction of flow, e.g. pre-heating and after-cooling
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2208/00—Processes carried out in the presence of solid particles; Reactors therefor
    • B01J2208/00743—Feeding or discharging of solids
    • B01J2208/00752—Feeding
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2208/00—Processes carried out in the presence of solid particles; Reactors therefor
    • B01J2208/00743—Feeding or discharging of solids
    • B01J2208/00761—Discharging
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2208/00—Processes carried out in the presence of solid particles; Reactors therefor
    • B01J2208/00796—Details of the reactor or of the particulate material
    • B01J2208/00946—Features relating to the reactants or products
    • B01J2208/00955—Sampling of the particulate material, the reactants or the products
    • B01J2208/00973—Products
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00002—Chemical plants
    • B01J2219/00027—Process aspects
    • B01J2219/00038—Processes in parallel
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00049—Controlling or regulating processes
    • B01J2219/00191—Control algorithm
    • B01J2219/00193—Sensing a parameter
    • B01J2219/00195—Sensing a parameter of the reaction system
    • B01J2219/00202—Sensing a parameter of the reaction system at the reactor outlet
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00049—Controlling or regulating processes
    • B01J2219/00191—Control algorithm
    • B01J2219/00211—Control algorithm comparing a sensed parameter with a pre-set value
    • B01J2219/00213—Fixed parameter value
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
    • B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
    • B01J2219/00—Chemical, physical or physico-chemical processes in general; Their relevant apparatus
    • B01J2219/00049—Controlling or regulating processes
    • B01J2219/00191—Control algorithm
    • B01J2219/00222—Control algorithm taking actions
    • B01J2219/00227—Control algorithm taking actions modifying the operating conditions
    • B01J2219/00229—Control algorithm taking actions modifying the operating conditions of the reaction system
    • B01J2219/00231—Control algorithm taking actions modifying the operating conditions of the reaction system at the reactor inlet
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P20/00—Technologies relating to chemical industry
    • Y02P20/50—Improvements relating to the production of bulk chemicals
    • Y02P20/582—Recycling of unreacted starting or intermediate materials

Abstract

1. Способ фторирования, в котором осуществляют контактирование фторируемого органического соединения с элементным фтором с образованием HF в качестве побочного продукта, отличающийся тем, что контактирование элементного фтора с указанным органическим соединением осуществляют в присутствии фторид-адсорбируюшей композиции, в результате чего количество водородсодержащих побочных продуктов уменьшается или они не образуются. ! 2. Способ по п.1, в котором органическое соединение содержит атомы углерода, фтора и водорода. ! 3. Способ по п.1, в котором фторид-адсорбирующая композиция содержит соединение, выбранное из группы, состоящей из галогенидов щелочных металлов и галогенидов щелочноземельных металлов. ! 4. Способ по п.3, в котором фторид-адсорбирующая композиция содержит фторид натрия. ! 5. Способ по п.1, включающий дрполнительно стадию обновления указанной фторид-адсорбирующей композиции после того, как указанная композиция адсорбировала HF. ! 6. Способ по п.5, который проводят непрерывно и указанная стадия обновления включает непрерывную замену фторид-адсорбирующей композиции на фторид-адсорбирующую композицию, практически не содержащую HF. ! 7. Способ по п.1, включающий дополнительно стадию обновления указанной фторид-адсорбирующей композиции после указанной стадии контактирования путем нагревания ее до температуры, при которой десорбируется HF. ! 8. Способ по п.7, в котором указанная стадия нагревания включает нагревание указанной фторид-адсорбирующей композиции в токе инертного газа для удаления десорбированного HF. ! 9. Способ по п.1, в котором указанные органические соединения и указанный элементный фтор вводят �

Claims (20)

1. Способ фторирования, в котором осуществляют контактирование фторируемого органического соединения с элементным фтором с образованием HF в качестве побочного продукта, отличающийся тем, что контактирование элементного фтора с указанным органическим соединением осуществляют в присутствии фторид-адсорбируюшей композиции, в результате чего количество водородсодержащих побочных продуктов уменьшается или они не образуются.
2. Способ по п.1, в котором органическое соединение содержит атомы углерода, фтора и водорода.
3. Способ по п.1, в котором фторид-адсорбирующая композиция содержит соединение, выбранное из группы, состоящей из галогенидов щелочных металлов и галогенидов щелочноземельных металлов.
4. Способ по п.3, в котором фторид-адсорбирующая композиция содержит фторид натрия.
5. Способ по п.1, включающий дрполнительно стадию обновления указанной фторид-адсорбирующей композиции после того, как указанная композиция адсорбировала HF.
6. Способ по п.5, который проводят непрерывно и указанная стадия обновления включает непрерывную замену фторид-адсорбирующей композиции на фторид-адсорбирующую композицию, практически не содержащую HF.
7. Способ по п.1, включающий дополнительно стадию обновления указанной фторид-адсорбирующей композиции после указанной стадии контактирования путем нагревания ее до температуры, при которой десорбируется HF.
8. Способ по п.7, в котором указанная стадия нагревания включает нагревание указанной фторид-адсорбирующей композиции в токе инертного газа для удаления десорбированного HF.
9. Способ по п.1, в котором указанные органические соединения и указанный элементный фтор вводят в реакцию в паровой фазе, а указанная фторид-адсорбирующие композиция представляет собой твердое вещество.
10. Способ по п.1, в котором органическое соединение является жидкостью, элементный фтор находится в паровой фазе и фторид-адсорбирующая композиция представляет собой твердое или жидкое вещество.
11. Способ по п.1, который дополнительно включает стадию детектирования количества HF или другого побочного водородсодержащего продукта, образующегося при реакции, и стадию обновления фторид-адсорбирующей композиции при обнаружении увеличения количества указанного побочного продукта.
12. Способ по п.5, в котором фторид-адсорбирующую композицию помещают в первый реактор, в который подают органическое соединение и элементный фтор, а стадия обновления включает переключение подачи органического соединения и элементного фтора из первого реактора во второй реактор, в котором находится фторид-адсорбирующая композиция, практически не содержащая HF.
13. Реактор фторирования, включающий зону реакции, вход для подачи фторируемого органического соединения в указанную зону реакции, вход для подачи элементного фтора в указанную зону реакции и выход для удаления фторированного продукта реакции, причем зона реакции содержит фторид-адсорбирующую композицию для адсорбции HF, образующегося в качестве побочного продукта реакции между органическим соединением и элементным фтором.
14. Реактор фторирования по п.13, который является парофазным реактором, а фторид-адсорбирующая композиция представляет собой твердое вещество.
15. Реактор фторирования по п.13, который дополнительно включает средства детектирования HF или другого водородсодержащего побочного продукта на выходе продукта реакции.
16. Реактор фторирования по п.13, включающий устройства для обновления фторид-адсорбирующей композиции.
17. Реактор фторирования по п.16, в котором устройства для обновления катализатора включают устройство для прекращения подачи органического соединения, устойство для прекращения подачи элементного фтора, устройство для нагрева фторид-адсорбирующей композиции для десорбции HF, вход для подачи потока инертного газа и выход для направления указанного потока из реактора таким образом, чтобы удалить из него десорбированный HF.
18. Реактор фторирования по п.16, в котором указанный реактор является первым, а указанные устройства для обновления фторид-адсорбирующей композиции включают:
(a) подвод органического соединения и подвод элементного фтора, связанные с соответствующими входами в указанный первый реактор;
(b) второй реактор фторирования, включающий зону реакции с фторид-адсорбирующей композицией, практически не содержащей HF, и соответствующие входы для подачи фторируемого органического соединения и элементного фтора в зону реакции; и
(c) устройства для переключения подачи органического соединения и подачи элементного фтора от соответствующих входов в указанный первый реактор к соответствующим входам во второй реактор.
19. Реактор фторирования по п.13, в котором фторид-адсорбирующая композиция включает соединение, выбранное из группы, состоящей из галогенидов щелочных металлов и галогенидов щелочноземельных металлов.
20. Реактор фторирования по п.19, в котором фторид-адсорбирующая композиция содержит фторид натрия.
RU2008131767/04A 2006-01-04 2007-01-03 Способ и реактор фторирования RU2446139C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US11/326,379 US7247759B1 (en) 2006-01-04 2006-01-04 Fluorination reactor
US11/326,379 2006-01-04

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2008131767A true RU2008131767A (ru) 2010-02-10
RU2446139C2 RU2446139C2 (ru) 2012-03-27

Family

ID=38224624

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2008131767/04A RU2446139C2 (ru) 2006-01-04 2007-01-03 Способ и реактор фторирования

Country Status (7)

Country Link
US (2) US7247759B1 (ru)
EP (1) EP1968921A2 (ru)
JP (2) JP2009522366A (ru)
KR (1) KR101352471B1 (ru)
CN (1) CN101365669B (ru)
RU (1) RU2446139C2 (ru)
WO (1) WO2007089386A2 (ru)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20150093316A1 (en) * 2013-09-30 2015-04-02 Honeywell International, Inc. Purification of pf5
EP3725759A4 (en) * 2017-12-12 2021-03-03 Showa Denko K.K. METHOD AND DEVICE FOR PRODUCING AN ORGANIC COMPOUND CONTAINING FLUORINE
CN108940129A (zh) * 2018-08-29 2018-12-07 山东重山光电材料股份有限公司 一种多级利用氟化剂生产氟化碳材料的系统及生产方法
WO2021031431A1 (en) * 2019-08-22 2021-02-25 Fujian Yongjing Technology Co., Ltd Process for preparing fluorobenzene by direct fluorination
CN113289557B (zh) * 2021-06-16 2023-05-09 武汉松石科技股份有限公司 一种有机物氟化气液反应系统

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4377715A (en) 1979-12-26 1983-03-22 Allied Corporation Production of perfluoropropane
DE3009760A1 (de) * 1980-03-14 1981-09-24 Hoechst Ag, 6000 Frankfurt Verfahren zur herstellung von hochreinen teilfluorierten aethanen
JPS59204146A (ja) * 1983-04-30 1984-11-19 Central Glass Co Ltd 含フツ素有機化合物の精製法
FR2556340B1 (fr) * 1983-12-13 1986-05-16 Atochem Procede catalytique de preparation d'hexafluoroacetone
JPS60137928A (ja) * 1983-12-26 1985-07-22 Daikin Ind Ltd 新規含フツ素ポリエ−テルおよびその製法
IT1184149B (it) * 1985-03-11 1987-10-22 Montefluos Spa Processo per la preparazione di fluorossi-alo-composti
US4680406A (en) * 1985-10-15 1987-07-14 The Dow Chemical Company Process for fluorinating halogenated organo-compounds
US4755567A (en) 1985-11-08 1988-07-05 Exfluor Research Corporation Perfluorination of ethers in the presence of hydrogen fluoride scavengers
JP2945693B2 (ja) * 1988-09-28 1999-09-06 エクスフルアー・リサーチ・コーポレーシヨン 液相フツ素置換
US5093432A (en) * 1988-09-28 1992-03-03 Exfluor Research Corporation Liquid phase fluorination
JPH02117626A (ja) 1988-10-26 1990-05-02 Osaka Gas Co Ltd フッ素化反応装置
US4990701A (en) * 1990-03-20 1991-02-05 E. I. Dupont De Nemours And Company Halogen exchange fluorination
JP3115423B2 (ja) * 1992-08-07 2000-12-04 株式会社トクヤマ フッ素化合物の製造方法
DE4311062A1 (de) * 1993-04-03 1994-10-06 Solvay Fluor & Derivate Herstellung von Perfluoralkanen
DE4419534C1 (de) * 1994-06-03 1995-10-19 Hoechst Ag Verfahren zur Regenerierung eines chrom- und magnesiumhaltigen Fluorierungskatalysators
US5675046A (en) 1996-04-10 1997-10-07 Showa Denko K.K. Process for producing perfluorocarbon
JP3792051B2 (ja) * 1997-09-17 2006-06-28 日本ゼオン株式会社 パーハロゲン化シクロペンテンの製造方法
EP1051376B1 (en) * 1998-01-16 2004-11-17 AlliedSignal Inc. Method of producing fluorinated organic compounds
US20020156321A1 (en) * 2001-02-13 2002-10-24 Syvret Robert George Continuous preparation of high purity Bis(fluoroxy)difluoromethane (BDM) at elevated pressure
JP5025052B2 (ja) * 2001-08-06 2012-09-12 昭和電工株式会社 ヘキサフルオロエタンの製造方法およびその用途
DE10159940B4 (de) 2001-12-06 2007-02-08 Air Liquide Deutschland Gmbh Vorrichtung und Verfahren zur Fluorierung von Formteilen aus Kunststoff mit einem fluorhaltigen Gasgemisch
WO2004035518A1 (ja) * 2002-10-18 2004-04-29 Asahi Glass Company, Limited フッ素化された化合物の製造方法、およびフッ素化装置
US7557227B2 (en) * 2003-02-17 2009-07-07 Asahi Glass Company, Limited Process for producing hexafluoropropylene oxide

Also Published As

Publication number Publication date
WO2007089386A2 (en) 2007-08-09
CN101365669B (zh) 2013-11-20
US20070155996A1 (en) 2007-07-05
JP2014055152A (ja) 2014-03-27
CN101365669A (zh) 2009-02-11
US7731911B2 (en) 2010-06-08
US7247759B1 (en) 2007-07-24
WO2007089386A3 (en) 2007-09-20
EP1968921A2 (en) 2008-09-17
KR101352471B1 (ko) 2014-01-17
RU2446139C2 (ru) 2012-03-27
US20070154368A1 (en) 2007-07-05
JP2009522366A (ja) 2009-06-11
KR20080083036A (ko) 2008-09-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2548902C2 (ru) Способ получения 2,3,3,3-тетрафторопропена газофазным фторированием пентахлоропропана
US8324436B2 (en) Gas phase synthesis of 2,3,3,3-tetrafluoro-1-propene from 2-chloro-3,3,3-trifluoro-1-propene
RU2008131767A (ru) Способ и реактор фторирования
JP5748027B2 (ja) ２−クロロ−３，３，３−トリフルオロプロペンの製造方法
RU2013138734A (ru) Каталитическое газофазное фторирование
TWI444353B (zh) 1,2,3,4-tetrachlorohexafluorobutane and its purification method
US7208644B2 (en) Production and use of hexafluoroethane
JP2013103890A (ja) （ｅ）−１−クロロ−３，３，３−トリフルオロプロペンの製造方法
RU2545096C2 (ru) Способ изготовления 2-хлор-3,3,3-трифторпропена в результате газофазного фторирования пентахлорпропана
JP6964713B2 (ja) ３，３，３−トリフルオロプロペンの調製方法
JP4923183B2 (ja) クロロエチレンカーボネートの製造方法
NO20100819L (no) Katalysator for oksiklorinering
CN104138767A (zh) 废氯化汞触媒活化回收方法
JP2010111550A (ja) 高純度三塩化ホウ素及びその製造方法
JP2005144450A (ja) 半導体プロセスチャンバから生じるオフガスを処理する方法
KR101790223B1 (ko) 고순도 일산화탄소 제조장치 및 제조방법
JP2016502970A (ja) 酸素アンドリュッソープロセスによるｈｃｎにおける有機ニトリル不純物レベルの低減
JP4173854B2 (ja) 揮発性金属水素化物の精製方法及び装置、並びに精製された揮発性金属水素化物製品
JPH10286434A (ja) フッ素含有化合物の分解方法
JP2012087106A (ja) ポリクロロプロパンを製造するための連続バッチ反応方法
JP2005142377A (ja) クリーニングガスのリサイクルシステム
WO2015057445A1 (en) Method for providing oxygen free regeneration gas for natural gas dryers
JP3650588B2 (ja) パーフルオロコンパウンドのリサイクル利用方法
JP6224622B2 (ja) 反応器パッシベーションのための方法
JPH10286438A (ja) フッ素含有化合物の分解法

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20210104