JPH10286438A - フッ素含有化合物の分解法 - Google Patents
フッ素含有化合物の分解法Info
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- JPH10286438A JPH10286438A JP9097151A JP9715197A JPH10286438A JP H10286438 A JPH10286438 A JP H10286438A JP 9097151 A JP9097151 A JP 9097151A JP 9715197 A JP9715197 A JP 9715197A JP H10286438 A JPH10286438 A JP H10286438A
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- fluorine
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- acid
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02C—CAPTURE, STORAGE, SEQUESTRATION OR DISPOSAL OF GREENHOUSE GASES [GHG]
- Y02C20/00—Capture or disposal of greenhouse gases
- Y02C20/30—Capture or disposal of greenhouse gases of perfluorocarbons [PFC], hydrofluorocarbons [HFC] or sulfur hexafluoride [SF6]
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- Fire-Extinguishing Compositions (AREA)
- Exhaust Gas Treatment By Means Of Catalyst (AREA)
- Catalysts (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 本発明は、フッ素含有化合物（ガス状のフッ
素含有化合物）、中でもＰＦＣを連続的に分解できる方
法、特に触媒的に連続分解できる方法を提供することを
課題とする。 【解決手段】 本発明の課題は、ガス状のフッ素含有化
合物を、無機酸が担体に担持された触媒の存在下で、分
子状酸素及び水と接触させることを特徴とするフッ素含
有化合物の分解法によって達成される。
素含有化合物）、中でもＰＦＣを連続的に分解できる方
法、特に触媒的に連続分解できる方法を提供することを
課題とする。 【解決手段】 本発明の課題は、ガス状のフッ素含有化
合物を、無機酸が担体に担持された触媒の存在下で、分
子状酸素及び水と接触させることを特徴とするフッ素含
有化合物の分解法によって達成される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、フッ素含有化合
物、特に半導体工場でのプラズマＣＶＤのチャンバーク
リーニングガス等に使用されているガス状のフッ素含有
化合物（パーフルオロ化合物、フッ化炭化水素等）や、
冷媒等に使用されているガス状のフッ素含有化合物（フ
ロン等）の分解方法に関する。
物、特に半導体工場でのプラズマＣＶＤのチャンバーク
リーニングガス等に使用されているガス状のフッ素含有
化合物（パーフルオロ化合物、フッ化炭化水素等）や、
冷媒等に使用されているガス状のフッ素含有化合物（フ
ロン等）の分解方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】フッ素含有化合物（ガス状のフッ素含有
化合物）はオゾン層の破壊に関与するなど、地球環境に
影響を及ぼすため、その排出は極力抑える必要がある。
このうち、パーフルオロ化合物（以下、ＰＦＣと略す
る）は、炭化水素の水素原子が全てフッ素原子で置換さ
れたものなどで、フロンとは異なり塩素を含まず、かつ
非常に安定であるため、オゾン層の破壊には関与しない
ものの、地球温暖化係数が大きく、使用後の排出は今後
規制される可能性がある。
化合物）はオゾン層の破壊に関与するなど、地球環境に
影響を及ぼすため、その排出は極力抑える必要がある。
このうち、パーフルオロ化合物（以下、ＰＦＣと略す
る）は、炭化水素の水素原子が全てフッ素原子で置換さ
れたものなどで、フロンとは異なり塩素を含まず、かつ
非常に安定であるため、オゾン層の破壊には関与しない
ものの、地球温暖化係数が大きく、使用後の排出は今後
規制される可能性がある。
【０００３】このようなガス状のフッ素含有化合物の排
出を抑制するためには、使用後の排ガスを何らかの方法
で回収又は分解する必要があるが、方法の簡便さを考慮
すれば、後者の排ガスを分解する方法が好ましい。しか
しながら、フッ素含有化合物のうち、ＰＦＣは非常に安
定であるため、通常のフロン分解で用いられる方法では
処理が困難である。例えば、燃料と共に燃焼処理して分
解する方法では、１０００℃以上の高温が必要とされる
など、実用的にはまだ解決されるべき問題が残されてい
る。また、シリカやゼオライト等を分解剤として用いて
分解する方法（特開平７−１１６４６６号公報、同７−
１３２２１１号公報）では、ＰＦＣを十分な速度で分解
するために同様に１０００〜１５００℃程度の高温が必
要とされ、更に、粉体の分解剤を供給しながら分解を行
うなど、操作的、装置的にも複雑かつ煩雑であり、更な
る改良が必要である。
出を抑制するためには、使用後の排ガスを何らかの方法
で回収又は分解する必要があるが、方法の簡便さを考慮
すれば、後者の排ガスを分解する方法が好ましい。しか
しながら、フッ素含有化合物のうち、ＰＦＣは非常に安
定であるため、通常のフロン分解で用いられる方法では
処理が困難である。例えば、燃料と共に燃焼処理して分
解する方法では、１０００℃以上の高温が必要とされる
など、実用的にはまだ解決されるべき問題が残されてい
る。また、シリカやゼオライト等を分解剤として用いて
分解する方法（特開平７−１１６４６６号公報、同７−
１３２２１１号公報）では、ＰＦＣを十分な速度で分解
するために同様に１０００〜１５００℃程度の高温が必
要とされ、更に、粉体の分解剤を供給しながら分解を行
うなど、操作的、装置的にも複雑かつ煩雑であり、更な
る改良が必要である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記のような技術背景
に鑑み、本発明は、フッ素含有化合物（ガス状のフッ素
含有化合物）、中でもＰＦＣを連続的に分解できる方
法、特に触媒的に連続分解できる方法を提供することを
課題とする。
に鑑み、本発明は、フッ素含有化合物（ガス状のフッ素
含有化合物）、中でもＰＦＣを連続的に分解できる方
法、特に触媒的に連続分解できる方法を提供することを
課題とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明の課題は、ガス状
のフッ素含有化合物を、無機酸が担体に担持された触媒
の存在下で、分子状酸素及び水と接触させることを特徴
とするフッ素含有化合物の分解法によって達成される。
のフッ素含有化合物を、無機酸が担体に担持された触媒
の存在下で、分子状酸素及び水と接触させることを特徴
とするフッ素含有化合物の分解法によって達成される。
【０００６】
【発明の実施の形態】フッ素含有化合物としては、半導
体工場でのプラズマＣＶＤのチャンバークリーニングガ
ス等に使用されているガス状のフッ素含有化合物〔パー
フルオロ化合物（ＰＦＣ）、フッ化炭化水素等〕や、冷
媒等に使用されているガス状のフッ素含有化合物（フロ
ン等）が使用される。これらのフッ素含有化合物（ガス
状のフッ素含有化合物）は、ヘリウム、アルゴン、窒素
等の不活性ガスで希釈されていてもよく、また、単独で
あっても二種以上の混合物であってもよい。
体工場でのプラズマＣＶＤのチャンバークリーニングガ
ス等に使用されているガス状のフッ素含有化合物〔パー
フルオロ化合物（ＰＦＣ）、フッ化炭化水素等〕や、冷
媒等に使用されているガス状のフッ素含有化合物（フロ
ン等）が使用される。これらのフッ素含有化合物（ガス
状のフッ素含有化合物）は、ヘリウム、アルゴン、窒素
等の不活性ガスで希釈されていてもよく、また、単独で
あっても二種以上の混合物であってもよい。
【０００７】ＰＦＣとしては、ＣＦ4 、Ｃ2 Ｆ6 、Ｃ3
Ｆ8 等の炭化水素の水素原子が全てフッ素原子で置換さ
れたパーフルオロカーボン（飽和、不飽和を含む）や、
ＮＦ 3 等のフッ化窒素や、ＳＦ6 等のフッ化硫黄などが
挙げられる。フッ化炭化水素としては、ＣＨ3 Ｆ、ＣＨ
2 Ｆ2 、（ＣＨ2 Ｆ）2 等の炭化水素の水素原子の一部
がフッ素原子で置換されたものなどが挙げられる。フロ
ンとしては、Ｃ2 Ｃｌ3 Ｆ3 （フロン−１１３）、Ｃ2
Ｃｌ2 Ｆ4 （フロン−１１４）、Ｃ2 ＣｌＦ5 （フロン
−１１５）などが挙げられる。
Ｆ8 等の炭化水素の水素原子が全てフッ素原子で置換さ
れたパーフルオロカーボン（飽和、不飽和を含む）や、
ＮＦ 3 等のフッ化窒素や、ＳＦ6 等のフッ化硫黄などが
挙げられる。フッ化炭化水素としては、ＣＨ3 Ｆ、ＣＨ
2 Ｆ2 、（ＣＨ2 Ｆ）2 等の炭化水素の水素原子の一部
がフッ素原子で置換されたものなどが挙げられる。フロ
ンとしては、Ｃ2 Ｃｌ3 Ｆ3 （フロン−１１３）、Ｃ2
Ｃｌ2 Ｆ4 （フロン−１１４）、Ｃ2 ＣｌＦ5 （フロン
−１１５）などが挙げられる。
【０００８】本発明では、無機酸が担体に担持された触
媒の存在下で、前記フッ素含有化合物を分子状酸素及び
水と接触させることによって、フッ素含有化合物の分解
が行われる。無機酸としては、硫酸、リン酸が好適に使
用される。これらは、例えば、溶液で入手可能なものを
適宜希釈して担持させることができる。また、これらの
アンモニウム塩の水溶液を用いて触媒を調製することも
できる。
媒の存在下で、前記フッ素含有化合物を分子状酸素及び
水と接触させることによって、フッ素含有化合物の分解
が行われる。無機酸としては、硫酸、リン酸が好適に使
用される。これらは、例えば、溶液で入手可能なものを
適宜希釈して担持させることができる。また、これらの
アンモニウム塩の水溶液を用いて触媒を調製することも
できる。
【０００９】担体としては、例えば、γ−アルミナ、δ
−アルミナ、θ−アルミナ等のアルミナが好適に使用さ
れる。なお、アルミナの比表面積は１２０〜２００ｍ2
／ｇ程度であることが好ましい。アルミナの形状は特に
限定されるものではなく、反応器及び反応方法に合わせ
て、粒状、粉末状、ハニカム状など、それぞれに適した
形状のものを選ぶことができる。
−アルミナ、θ−アルミナ等のアルミナが好適に使用さ
れる。なお、アルミナの比表面積は１２０〜２００ｍ2
／ｇ程度であることが好ましい。アルミナの形状は特に
限定されるものではなく、反応器及び反応方法に合わせ
て、粒状、粉末状、ハニカム状など、それぞれに適した
形状のものを選ぶことができる。
【００１０】前記触媒を調製する方法としては、無機酸
又はそのアンモニウム塩の水溶液を用いて、含浸法、共
沈法、イオン交換法、機械的混練法等の通常の方法によ
り、担体に無機酸又はそのアンモニウム塩を担持させる
方法が挙げられる。このとき、無機酸又はそのアンモニ
ウム塩は、例えば、担体に対して、０．０１〜２０重量
％、特に０．１〜１０重量％の割合で担体に担持される
ことが好ましい。得られた触媒は、乾燥後、通常の前処
理、即ち、空気中あるいは窒素等の不活性ガス気流中で
の焼成を行うことが好ましい。この処理はマッフル炉等
を用いて行ってもよく、また、反応器（反応管）中で分
解反応を始める前に数時間行っても差し支えない。な
お、焼成温度は１００〜８００℃、特に４００〜７００
℃であることが好ましい。この温度が余りに高くなる
と、アルミナの表面積の減少が起こって好ましくない。
又はそのアンモニウム塩の水溶液を用いて、含浸法、共
沈法、イオン交換法、機械的混練法等の通常の方法によ
り、担体に無機酸又はそのアンモニウム塩を担持させる
方法が挙げられる。このとき、無機酸又はそのアンモニ
ウム塩は、例えば、担体に対して、０．０１〜２０重量
％、特に０．１〜１０重量％の割合で担体に担持される
ことが好ましい。得られた触媒は、乾燥後、通常の前処
理、即ち、空気中あるいは窒素等の不活性ガス気流中で
の焼成を行うことが好ましい。この処理はマッフル炉等
を用いて行ってもよく、また、反応器（反応管）中で分
解反応を始める前に数時間行っても差し支えない。な
お、焼成温度は１００〜８００℃、特に４００〜７００
℃であることが好ましい。この温度が余りに高くなる
と、アルミナの表面積の減少が起こって好ましくない。
【００１１】分子状酸素としては、酸素ガスを窒素等の
不活性ガスで希釈したものも使用できるが、空気が好適
に使用される。分子状酸素の供給量は前記フッ素含有化
合物中の炭素分（炭素原子）を二酸化炭素及び一酸化炭
素に変換するのに十分な量であれば、特に制限されるも
のではない。即ち、分子状酸素の供給量は、前記フッ素
含有化合物中の炭素原子に対して、等モル以上、好まし
くは等モルから１０倍モル程度である。分子状酸素の供
給方法は特に制限されず、例えば、フッ素含有化合物と
混合して反応器（反応管）に供給する方法などが挙げら
れる。
不活性ガスで希釈したものも使用できるが、空気が好適
に使用される。分子状酸素の供給量は前記フッ素含有化
合物中の炭素分（炭素原子）を二酸化炭素及び一酸化炭
素に変換するのに十分な量であれば、特に制限されるも
のではない。即ち、分子状酸素の供給量は、前記フッ素
含有化合物中の炭素原子に対して、等モル以上、好まし
くは等モルから１０倍モル程度である。分子状酸素の供
給方法は特に制限されず、例えば、フッ素含有化合物と
混合して反応器（反応管）に供給する方法などが挙げら
れる。
【００１２】本発明では、分解反応で発生するハロゲン
（フッ素及び塩素）を除去するために水が添加される。
また、水を添加すると触媒活性が維持されるようにな
る。水の添加量は前記フッ素含有化合物中のハロゲン分
（フッ素原子及び塩素原子）と等モル以上、好ましくは
等モルから１０倍モル程度であればよい。例えば、ＣＦ
4 であれば４倍モル以上、好ましくは４〜４０倍モルで
あって、Ｃ2 Ｆ6 であれば６倍モル以上、好ましくは６
〜６０倍モル程度であればよい。水の添加方法は特に制
限されず、例えば、マイクロフィーダーを用いて液体と
して反応器（反応管）に供給する方法、サチュレーター
を用いてフッ素含有化合物に同伴させる方法などが挙げ
られる。
（フッ素及び塩素）を除去するために水が添加される。
また、水を添加すると触媒活性が維持されるようにな
る。水の添加量は前記フッ素含有化合物中のハロゲン分
（フッ素原子及び塩素原子）と等モル以上、好ましくは
等モルから１０倍モル程度であればよい。例えば、ＣＦ
4 であれば４倍モル以上、好ましくは４〜４０倍モルで
あって、Ｃ2 Ｆ6 であれば６倍モル以上、好ましくは６
〜６０倍モル程度であればよい。水の添加方法は特に制
限されず、例えば、マイクロフィーダーを用いて液体と
して反応器（反応管）に供給する方法、サチュレーター
を用いてフッ素含有化合物に同伴させる方法などが挙げ
られる。
【００１３】本発明のフッ素含有化合物の分解は、例え
ば、前記触媒を充填した反応器（反応管）に、前記フッ
素含有化合物、分子状酸素及び水の混合ガスを供給する
ことによって行われる。このとき、反応温度は３００〜
１０００℃、好ましくは４００〜８００℃で、混合ガス
の供給速度は５００００ｈｒ-1以下、好ましくは１００
〜１００００ｈｒ-1程度である。また、反応圧力は１ｔ
ｏｒｒの減圧から１００ａｔｍの加圧まで広い範囲が可
能であるが、好ましくは常圧から１０ａｔｍ程度であ
る。分解反応は流通式又はバッチ式で行うことができる
が、簡便であることから前者の流通式が好ましい。ま
た、流通式の場合、固定床、流動床いずれの形態でも反
応を行いうる。
ば、前記触媒を充填した反応器（反応管）に、前記フッ
素含有化合物、分子状酸素及び水の混合ガスを供給する
ことによって行われる。このとき、反応温度は３００〜
１０００℃、好ましくは４００〜８００℃で、混合ガス
の供給速度は５００００ｈｒ-1以下、好ましくは１００
〜１００００ｈｒ-1程度である。また、反応圧力は１ｔ
ｏｒｒの減圧から１００ａｔｍの加圧まで広い範囲が可
能であるが、好ましくは常圧から１０ａｔｍ程度であ
る。分解反応は流通式又はバッチ式で行うことができる
が、簡便であることから前者の流通式が好ましい。ま
た、流通式の場合、固定床、流動床いずれの形態でも反
応を行いうる。
【００１４】
【実施例】次に、実施例及び比較例を挙げて本発明を具
体的に説明する。なお、以下の操作は特に記載しない限
り常圧下で行った。また、フッ素含有化合物（Ｃ
2 Ｆ6 ）の転化率は次式により求めた。
体的に説明する。なお、以下の操作は特に記載しない限
り常圧下で行った。また、フッ素含有化合物（Ｃ
2 Ｆ6 ）の転化率は次式により求めた。
【００１５】
【数１】
【００１６】実施例１ 市販の粒状のγ−アルミナ（２５ｇ）に１Ｎ硫酸（２０
ｍｌ）を加えて、室温で１時間硫酸を含浸させた後、得
られた触媒（硫酸担持量：３．７重量％）を、空気中、
１００℃で１４時間乾燥した。この触媒（５．０ｍｌ）
を内径１０ｍｍの反応管に充填し、窒素気流中、７００
℃で１時間焼成した。その後、Ｃ2 Ｆ6／空気混合ガス
（Ｃ2 Ｆ6 ：１容量％）を２０ｍｌ／ｍｉｎで、水を
０．３６ｇ／ｈｒでそれぞれ反応管に供給して同温度で
分解反応を行った。出口ガス中のＣ2 Ｆ6 濃度（Ｃ2 Ｆ
6 残存量）をガスクロマトグラフィーにより分析したと
ころ、Ｃ2 Ｆ6 転化率は反応開始２時間後で８１％であ
った。なお、反応生成物としては、二酸化炭素がガスク
ロマトグラフィー及びＦＴ−ＩＲにより確認された。
ｍｌ）を加えて、室温で１時間硫酸を含浸させた後、得
られた触媒（硫酸担持量：３．７重量％）を、空気中、
１００℃で１４時間乾燥した。この触媒（５．０ｍｌ）
を内径１０ｍｍの反応管に充填し、窒素気流中、７００
℃で１時間焼成した。その後、Ｃ2 Ｆ6／空気混合ガス
（Ｃ2 Ｆ6 ：１容量％）を２０ｍｌ／ｍｉｎで、水を
０．３６ｇ／ｈｒでそれぞれ反応管に供給して同温度で
分解反応を行った。出口ガス中のＣ2 Ｆ6 濃度（Ｃ2 Ｆ
6 残存量）をガスクロマトグラフィーにより分析したと
ころ、Ｃ2 Ｆ6 転化率は反応開始２時間後で８１％であ
った。なお、反応生成物としては、二酸化炭素がガスク
ロマトグラフィー及びＦＴ−ＩＲにより確認された。
【００１７】実施例２ 実施例１において、１Ｎ硫酸を１Ｎリン酸（２０ｍｌ）
に代えた以外は、実施例１と同様に触媒（リン酸担持
量：３．７重量％）を調製して反応を行った。その結
果、Ｃ2 Ｆ6 転化率は反応開始２時間後で５５％であっ
た。
に代えた以外は、実施例１と同様に触媒（リン酸担持
量：３．７重量％）を調製して反応を行った。その結
果、Ｃ2 Ｆ6 転化率は反応開始２時間後で５５％であっ
た。
【００１８】比較例１ 実施例１において、無機酸を担持させていないγ−アル
ミナ（５．０ｍｌ）を用いた以外は、実施例１と同様に
反応を行った。その結果、Ｃ2 Ｆ6 転化率は反応開始２
時間後で２１％であった。
ミナ（５．０ｍｌ）を用いた以外は、実施例１と同様に
反応を行った。その結果、Ｃ2 Ｆ6 転化率は反応開始２
時間後で２１％であった。
【００１９】
【発明の効果】本発明によれば、入手が容易でかつ比較
的安価なアルミナを触媒として用いて、簡便な反応装置
において、非常に安定で処理が難しいＰＦＣ等の半導体
工場でのプラズマＣＶＤのチャンバークリーニングガス
等に使用されているフッ素含有化合物を連続的に分解す
ることが可能である。この方法は、生成するガスも二酸
化炭素等であり、地球環境に極めて優しい、ガス状のフ
ッ素含有化合物の処理方法である。
的安価なアルミナを触媒として用いて、簡便な反応装置
において、非常に安定で処理が難しいＰＦＣ等の半導体
工場でのプラズマＣＶＤのチャンバークリーニングガス
等に使用されているフッ素含有化合物を連続的に分解す
ることが可能である。この方法は、生成するガスも二酸
化炭素等であり、地球環境に極めて優しい、ガス状のフ
ッ素含有化合物の処理方法である。
フロントページの続き (72)発明者 松崎 徳雄 山口県宇部市大字小串1978番地の５ 宇部 興産株式会社宇部研究所内
Claims (4)
- 【請求項１】 ガス状のフッ素含有化合物を、無機酸が
担体に担持された触媒の存在下で、分子状酸素及び水と
接触させることを特徴とするフッ素含有化合物の分解
法。 - 【請求項２】 フッ素含有化合物が、パーフルオロ化合
物、フッ化炭化水素、又はフロンであることを特徴とす
る請求項１記載のフッ素含有化合物の分解法。 - 【請求項３】 担体がアルミナであることを特徴とする
請求項１記載のフッ素含有化合物の分解法。 - 【請求項４】 無機酸が硫酸又はリン酸であることを特
徴とする請求項１記載のフッ素含有化合物の分解法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9097151A JPH10286438A (ja) | 1997-04-15 | 1997-04-15 | フッ素含有化合物の分解法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9097151A JPH10286438A (ja) | 1997-04-15 | 1997-04-15 | フッ素含有化合物の分解法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10286438A true JPH10286438A (ja) | 1998-10-27 |
Family
ID=14184579
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9097151A Pending JPH10286438A (ja) | 1997-04-15 | 1997-04-15 | フッ素含有化合物の分解法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10286438A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10323537A (ja) * | 1997-03-24 | 1998-12-08 | Showa Denko Kk | パーフルオロ化合物の接触分解方法 |
| US6563011B2 (en) | 1999-04-28 | 2003-05-13 | Showa Denko Kabushiki Kaisha | Reactive agent and process for decomposing fluorine compounds and use thereof |
| WO2013069880A1 (ko) * | 2011-11-09 | 2013-05-16 | 주식회사 에코프로 | 할로겐족 산성가스가 함유된 과불화 화합물 분해용 촉매 및 이의 제조방법 |
-
1997
- 1997-04-15 JP JP9097151A patent/JPH10286438A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10323537A (ja) * | 1997-03-24 | 1998-12-08 | Showa Denko Kk | パーフルオロ化合物の接触分解方法 |
| US6563011B2 (en) | 1999-04-28 | 2003-05-13 | Showa Denko Kabushiki Kaisha | Reactive agent and process for decomposing fluorine compounds and use thereof |
| US6630421B1 (en) | 1999-04-28 | 2003-10-07 | Showa Denko Kabushiki Kaisha | Reactive agent and process for decomposing fluorine compounds and use thereof |
| WO2013069880A1 (ko) * | 2011-11-09 | 2013-05-16 | 주식회사 에코프로 | 할로겐족 산성가스가 함유된 과불화 화합물 분해용 촉매 및 이의 제조방법 |
| KR101325211B1 (ko) * | 2011-11-09 | 2013-11-04 | 주식회사 에코프로 | 할로겐족 산성가스가 함유된 과불화 화합물 분해용 촉매 및 이의 제조방법 |
| US9321039B2 (en) | 2011-11-09 | 2016-04-26 | Korea Research Institute Of Chemical Technology | Catalyst for decomposition of perfluorinated compound containing halogen acid gas, and preparation method thereof |
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