RU2005131574A - Устройство регулирования расхода с мультисенсорами - Google Patents
Устройство регулирования расхода с мультисенсорами Download PDFInfo
- Publication number
- RU2005131574A RU2005131574A RU2005131574/28A RU2005131574A RU2005131574A RU 2005131574 A RU2005131574 A RU 2005131574A RU 2005131574/28 A RU2005131574/28 A RU 2005131574/28A RU 2005131574 A RU2005131574 A RU 2005131574A RU 2005131574 A RU2005131574 A RU 2005131574A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- pressure
- fluid
- flow
- temperature
- inlet
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
- G01F1/36—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction
- G01F1/40—Details of construction of the flow constriction devices
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/05—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects
- G01F1/34—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure
- G01F1/36—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction
- G01F1/363—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using mechanical effects by measuring pressure or differential pressure the pressure or differential pressure being created by the use of flow constriction with electrical or electro-mechanical indication
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
- G01F15/02—Compensating or correcting for variations in pressure, density or temperature
- G01F15/022—Compensating or correcting for variations in pressure, density or temperature using electrical means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
- Flow Control (AREA)
- Details Of Flowmeters (AREA)
Claims (30)
1. Устройство (100), предназначено для измерения параметров потока (102) текучей среды, содержащее корпус (104), содержащий вход (106), выход (109) и ограничитель расхода (110), который связывает поток текучей среды между входом и выходом, первый мультисенсор (120), имеющий первую сенсорную поверхность (122), которая воспринимает давление и температуру, второй мультисенсор (124), имеющий вторую сенсорную поверхность (126), которая воспринимает давление и температуру, и схему (130), которая соединяет первый и второй мультисенсоры и генерирует выходной сигнал (155) расхода текучей среды на основе выходных сигналов первого и второго мультисенсоров, причем выходной сигнал расхода текучей среды включает поправку на температуру, отличающееся тем, что первая сенсорная поверхность расположена на входе в корпус, а вторая сенсорная поверхность располагается на выходе из корпуса, первая сенсорная поверхность предназначена для определения температуры и давления на входе, а вторая сенсорная поверхность предназначена для определения температуры и давления на выходе, а поправка на температуру является функцией по меньшей мере одной из температур на входе и выходе.
2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что ограничитель расхода содержит пористый материал, связывающий поток, протекающий от входа к выходу.
3. Устройство по п.2, отличающееся тем, что скорость текучей среды в пористом материале находится в диапазоне скоростей, при котором выходной сигнал расхода текучей среды на линии является функцией давления на входе, и по существу не зависит от давления на выходе.
4. Устройство по п.3, отличающееся тем, что выходной сигнал расхода является по существу линейной функцией давления на входе.
5. Устройство по п.3, отличающееся тем, что поток текучей среды в пористом материале является ламинарным потоком.
6. Устройство по п.1, отличающееся тем, что выходной сигнал расхода текучей среды является функцией давления на входе и давления на выходе.
7. Устройство по п.6, отличающееся тем, что выходной сигнал расхода текучей среды является функцией разности давления на входе и давления на выходе.
8. Устройство по п.1, отличающееся тем, что схема генерирует несколько выходных сигналов, выбранных из группы переменных величин давления, температуры и расхода текучей среды.
9. Устройство по п.1, отличающееся тем, что схема генерирует выходной сигнал температуры.
10. Устройство по п.1, отличающееся тем, что первый и второй мультисенсоры имеют соответствующие первый и второй центральные сенсорные стержни (178), проходящие от соответствующих первой и второй сенсорных поверхностей (176) к соответствующим первому и второму концам электрических соединений (180), причем устройство дополнительно содержит несущую пластину (132) мультисенсора, имеющую первое и второе сквозные отверстия, которые герметизированы первым и вторым центральными сенсорными стержнями, обеспечивающими изоляцию между текучей средой и первым и вторым концами электрических соединений.
11. Устройство по п.1, отличающееся тем, что первая сенсорная поверхность содержит сапфир.
12. Устройство по п.11, отличающееся тем, что вторая сенсорная поверхность содержит сапфир.
13. Устройство по п.1, отличающееся тем, что первая и вторая сенсорные поверхности находятся в непосредственном контакте с потоком текучей среды.
14. Устройство по п.1, отличающееся тем, что первый и второй мультисенсоры каждый содержит сапфировую оболочку с емкостным датчиком давления и датчиком температуры, выполненными внутри сапфировой оболочки мультисенсора.
15. Устройство по п.14, отличающееся тем, что сапфировая оболочка мультисенсора изолирует датчик давления и датчик температуры от текучей среды.
16. Устройство по п.14, отличающееся тем, что датчик температуры предназначена для определения температуры текучей среды и температуры датчика давления.
17. Устройство по п.1, отличающееся тем, что первый и второй мультисенсоры предназначены для определения абсолютного значения давления.
18. Устройство по п.1, отличающееся тем, что ограничитель потока содержит пористый металл с множеством пор.
19. Устройство по п.17, отличающееся тем, что труба содержит пористый кремний с множеством пор.
20. Устройство по п.1, отличающееся тем, что дополнительно содержит клапан 302, соединенный с корпусом, схему (304) управления, соединенную с клапаном и предназначенную для регулирования расхода текучей среды в зависимости от расхода текучей среды на выходе и уставки расхода.
21. Устройство по п.20, отличающееся тем, что управляющая схема обеспечивает управление клапаном по алгоритму пропорционального регулирования.
22. Устройство по п.20, отличающееся тем, что управляющая схема обеспечивает управление клапаном по алгоритму пропорционально-интегрального регулирования.
23. Устройство по п.20, отличающееся тем, что управляющая схема обеспечивает управление клапаном по алгоритму пропорционально-интегрально-дифференциального регулирования.
24. Устройство по п.20, отличающееся тем, что управляющая схема обеспечивает управление клапаном по алгоритму пропорционально-дифференциального регулирования.
25. Устройство по п.20, отличающееся тем, что корпус имеет длину между входными фитингами не более около 106 мм.
26. Устройство по п.25, отличающееся тем, что корпус имеет ширину, поперечную относительно длины, не более 28 мм.
27. Способ регулирования расхода текучей среды (102), протекающей через устройство (100), заключающийся в том, что пропускают поток текучей среды от входа (106) к выходу (108) корпуса через ограничитель потока (110), определяют давление и температуру текучей среды первым мультисенсором (120), определяют давление и температуру текучей среды вторым мультисенсором (124), подключают первый и второй мультисенсоры к схеме (130), генерирующей выходной сигнал расхода текучей среды (155), формируют выходной сигнал расхода текучей среды на основе давления, выбранного из группы, состоящей из давления на входе и давления на выходе, причем выходной сигнал расхода текучей среды включает поправку на температуру, отличающийся тем, что располагают первую сенсорную поверхность (122) первого мультисенсора на входе в корпус для определения температуры и давления на входе, располагают вторую сенсорную поверхность (126) второго мультисенсора на выходе корпуса для определения температуры и давления на выходе, причем поправка на температуру является функцией по меньшей мере одной из измеренных температур на входе и на выходе.
28. Способ по п.27, отличающееся тем, что дополнительно формируют ограничитель потока из пористого материала.
29. Способ по п.28, отличающееся тем, что дополнительно осуществляют выбор пористого материала с таким размером пор, при котором скорость текучей среды в пористом материале находится в таком диапазоне скоростей, при котором выходной сигнал расхода текучей среды является функцией давления на входе и по существу не зависит от давления на выходе.
30. Способ по п.29, отличающееся тем, что выходной сигнал расхода текучей среды находится по существу линейной функцией давления на входе.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US10/387,088 | 2003-03-12 | ||
| US10/387,088 US6843139B2 (en) | 2003-03-12 | 2003-03-12 | Flow instrument with multisensors |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2005131574A true RU2005131574A (ru) | 2006-02-10 |
| RU2323416C2 RU2323416C2 (ru) | 2008-04-27 |
Family
ID=32961819
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2005131574/28A RU2323416C2 (ru) | 2003-03-12 | 2004-03-11 | Устройство регулирования расхода с мультисенсорами |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6843139B2 (ru) |
| JP (1) | JP2006519997A (ru) |
| CN (1) | CN100363717C (ru) |
| DE (1) | DE112004000430T5 (ru) |
| RU (1) | RU2323416C2 (ru) |
| WO (1) | WO2004081500A2 (ru) |
Families Citing this family (67)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7096738B2 (en) * | 2004-03-18 | 2006-08-29 | Rosemount Inc. | In-line annular seal-based pressure device |
| JP5096915B2 (ja) * | 2004-03-25 | 2012-12-12 | ローズマウント インコーポレイテッド | 簡略化された流体物性測定法 |
| US20050267413A1 (en) * | 2004-05-26 | 2005-12-01 | Wang Jong H | Flow monitoring devices and methods of use |
| US7255012B2 (en) * | 2004-12-01 | 2007-08-14 | Rosemount Inc. | Process fluid flow device with variable orifice |
| US7201066B1 (en) * | 2005-03-30 | 2007-04-10 | The Board Of Regents For Oklahoma State University | System for automatic tire inflation |
| US20090250116A1 (en) * | 2006-07-10 | 2009-10-08 | Hong Sa-Mun | Flow rate controlling apparatus |
| KR101268524B1 (ko) * | 2006-07-10 | 2013-05-28 | 삼성전자주식회사 | 유량제어장치 |
| US7726186B2 (en) * | 2006-07-19 | 2010-06-01 | Degree Controls, Inc. | Airflow sensor for filter blockage detection |
| US7896045B2 (en) * | 2006-11-13 | 2011-03-01 | The Board Of Regents For Oklahoma State University | Apparatus for delivering air through powered axle assemblies |
| DE102007014898A1 (de) | 2007-03-26 | 2008-10-02 | Vega Grieshaber Kg | Messzellenanordnung, insbesondere Druckmesszellenanordnung |
| DE102007030691A1 (de) | 2007-06-30 | 2009-01-02 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Meßsystem für ein in einer Prozeßleitung strömendes Medium |
| DE102007030700A1 (de) | 2007-06-30 | 2009-05-07 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Meßsystem für ein in einer Prozeßleitung strömendes Medium |
| DE102007030699A1 (de) | 2007-06-30 | 2009-01-15 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Meßsystem für ein in einer Prozeßleitung strömendes Medium |
| DE102007030690A1 (de) | 2007-06-30 | 2009-05-07 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Meßsystem für ein in einer Prozeßleitung strömendes Medium |
| US7826991B2 (en) * | 2007-07-25 | 2010-11-02 | Rosemount Inc. | Temperature-averaging field device compensation |
| US8234298B2 (en) * | 2007-07-25 | 2012-07-31 | International Business Machines Corporation | System and method for determining driving factor in a data cube |
| US8215157B2 (en) * | 2007-10-04 | 2012-07-10 | Baxter International Inc. | System and method for measuring liquid viscosity in a fluid delivery system |
| US20090093774A1 (en) * | 2007-10-04 | 2009-04-09 | Baxter International Inc. | Ambulatory pump with intelligent flow control |
| CN101430216B (zh) * | 2007-11-05 | 2015-11-25 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 质量流量传感器及控制系统及其实现质量流量控制的方法 |
| WO2009110895A1 (en) * | 2008-03-05 | 2009-09-11 | Brooks Instrument, Llc | A system, method, and computer program for determining fluid flow rate using a pressure sensor and a thermal mass flow sensor |
| WO2009146323A1 (en) * | 2008-05-27 | 2009-12-03 | Rosemount, Inc. | Improved temperature compensation of a multivariable pressure transmitter |
| US8042401B2 (en) * | 2008-06-12 | 2011-10-25 | Rosemount, Inc. | Isolation system for process pressure measurement |
| US7826986B2 (en) * | 2008-09-26 | 2010-11-02 | Advanced Energy Industries, Inc. | Method and system for operating a mass flow controller |
| EP2347224B1 (en) * | 2008-10-27 | 2015-07-01 | Rosemount, Inc. | Multivariable fluid flow measurement device with fast response flow calculation |
| JP5220642B2 (ja) * | 2009-02-05 | 2013-06-26 | サーパス工業株式会社 | 差圧式流量計および流量コントローラ |
| DE102009040542A1 (de) * | 2009-09-08 | 2011-03-10 | Bürkert Werke GmbH | Vorrichtung und Verfahren zum Durchflussmessen oder -regeln |
| US8656772B2 (en) | 2010-03-22 | 2014-02-25 | Honeywell International Inc. | Flow sensor with pressure output signal |
| US8113046B2 (en) | 2010-03-22 | 2012-02-14 | Honeywell International Inc. | Sensor assembly with hydrophobic filter |
| US8397586B2 (en) * | 2010-03-22 | 2013-03-19 | Honeywell International Inc. | Flow sensor assembly with porous insert |
| US8756990B2 (en) | 2010-04-09 | 2014-06-24 | Honeywell International Inc. | Molded flow restrictor |
| US9003877B2 (en) | 2010-06-15 | 2015-04-14 | Honeywell International Inc. | Flow sensor assembly |
| US8418549B2 (en) | 2011-01-31 | 2013-04-16 | Honeywell International Inc. | Flow sensor assembly with integral bypass channel |
| US8695417B2 (en) | 2011-01-31 | 2014-04-15 | Honeywell International Inc. | Flow sensor with enhanced flow range capability |
| JP2012208061A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-10-25 | Azbil Corp | フローセンサ |
| KR101269541B1 (ko) * | 2011-05-30 | 2013-06-04 | 한국수력원자력 주식회사 | 배관 내 유체 흐름 감시 장치 및 방법 |
| US8578783B2 (en) * | 2011-09-26 | 2013-11-12 | Rosemount Inc. | Process fluid pressure transmitter with separated sensor and sensor electronics |
| IN2014MN01663A (ru) * | 2012-03-06 | 2015-05-29 | Rosemount Inc | |
| US9052217B2 (en) | 2012-11-09 | 2015-06-09 | Honeywell International Inc. | Variable scale sensor |
| WO2014136557A1 (ja) * | 2013-03-08 | 2014-09-12 | 株式会社フジキン | 流体制御装置および流体制御装置へのサーマルセンサ設置構造 |
| JP6408550B2 (ja) * | 2013-03-12 | 2018-10-17 | イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド | 近距離無線通信及び／又はｕｓｂインターフェースを有する質量流量制御器 |
| DE102013010170B4 (de) * | 2013-06-19 | 2015-01-08 | Krohne Messtechnik Gmbh | Messgerät |
| US9962514B2 (en) | 2013-06-28 | 2018-05-08 | Vyaire Medical Capital Llc | Ventilator flow valve |
| US9795757B2 (en) | 2013-06-28 | 2017-10-24 | Vyaire Medical Capital Llc | Fluid inlet adapter |
| US9541098B2 (en) | 2013-06-28 | 2017-01-10 | Vyaire Medical Capital Llc | Low-noise blower |
| US9707369B2 (en) * | 2013-06-28 | 2017-07-18 | Vyaire Medical Capital Llc | Modular flow cassette |
| US9433743B2 (en) | 2013-06-28 | 2016-09-06 | Carefusion 303, Inc. | Ventilator exhalation flow valve |
| US9746359B2 (en) * | 2013-06-28 | 2017-08-29 | Vyaire Medical Capital Llc | Flow sensor |
| US9442031B2 (en) | 2013-06-28 | 2016-09-13 | Rosemount Inc. | High integrity process fluid pressure probe |
| AU2014302108A1 (en) * | 2013-06-28 | 2016-01-21 | Vyaire Medical Capital Llc | Ventilator system |
| US10444771B2 (en) | 2013-07-12 | 2019-10-15 | John C. Karamanos | Fluid control measuring device |
| JP6425723B2 (ja) * | 2013-07-19 | 2018-11-21 | ローズマウント インコーポレイテッド | ２ピース式の隔離プラグのある隔離部品を有する圧力伝送器 |
| US9459170B2 (en) | 2013-09-26 | 2016-10-04 | Rosemount Inc. | Process fluid pressure sensing assembly for pressure transmitters subjected to high working pressure |
| US9234776B2 (en) | 2013-09-26 | 2016-01-12 | Rosemount Inc. | Multivariable process fluid transmitter for high pressure applications |
| DE102014112558A1 (de) * | 2014-09-01 | 2016-03-03 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Sensorbaugruppe für einen Sensor, Sensor sowie damit gebildetes Meßsystem |
| US9638600B2 (en) | 2014-09-30 | 2017-05-02 | Rosemount Inc. | Electrical interconnect for pressure sensor in a process variable transmitter |
| EP3227756B1 (en) * | 2014-12-04 | 2019-06-19 | Illinois Tool Works Inc. | Wireless flow restrictor of a flowmeter |
| US9952079B2 (en) | 2015-07-15 | 2018-04-24 | Honeywell International Inc. | Flow sensor |
| WO2017188129A1 (ja) * | 2016-04-28 | 2017-11-02 | 株式会社フジキン | 流体制御装置、流体制御装置の制御方法、および、流体制御システム |
| CN106404060B (zh) * | 2016-08-31 | 2019-01-15 | 贵州永红航空机械有限责任公司 | 一种流体温度和压力的通用测试装置 |
| DE102016122714A1 (de) * | 2016-11-24 | 2018-05-24 | Endress + Hauser Wetzer Gmbh + Co Kg | Kommunikations-Adapter für einen Transmitter eines Feldgeräts |
| DE102017111301A1 (de) | 2017-05-23 | 2018-11-29 | B. Braun Melsungen Ag | Sensorsystem |
| CN107422754B (zh) * | 2017-09-01 | 2023-11-14 | 中国人民解放军军事科学院军事医学研究院 | 一种微量气体流速控制装置及控制方法 |
| CN112673239A (zh) * | 2018-09-18 | 2021-04-16 | 斯瓦戈洛克公司 | 流体监测模块布置 |
| US10883865B2 (en) | 2018-09-19 | 2021-01-05 | Swagelok Company | Flow restricting fluid component |
| US20220107212A1 (en) * | 2019-01-25 | 2022-04-07 | Lam Research Corporation | Differential-pressure-based flow meters |
| US20210396560A1 (en) * | 2020-06-17 | 2021-12-23 | Rosemount Inc | Subsea multivariable transmitter |
| CN111982194B (zh) * | 2020-08-18 | 2023-03-28 | 成都一通密封股份有限公司 | 一种无线压力温度一体化传感器 |
Family Cites Families (39)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3792609A (en) * | 1971-05-10 | 1974-02-19 | Tylan Corp | Flow splitter |
| JPS6014121A (ja) * | 1983-07-05 | 1985-01-24 | Esutetsuku:Kk | 層流素子 |
| JPS62226016A (ja) * | 1986-03-28 | 1987-10-05 | Toshiba Corp | 差圧式流量測定装置 |
| JPH0170120U (ru) * | 1987-10-27 | 1989-05-10 | ||
| JP2871727B2 (ja) * | 1989-06-21 | 1999-03-17 | 東芝エンジニアリング株式会社 | 空気流量制御装置 |
| JPH041526A (ja) * | 1990-04-18 | 1992-01-07 | Tokyo Gas Co Ltd | 紋り流量計に於ける温度検出機構 |
| JP3182807B2 (ja) * | 1991-09-20 | 2001-07-03 | 株式会社日立製作所 | 多機能流体計測伝送装置及びそれを用いた流体量計測制御システム |
| JPH05107090A (ja) * | 1991-10-21 | 1993-04-27 | Nissan Motor Co Ltd | 差圧流量計 |
| US5332005A (en) * | 1992-11-06 | 1994-07-26 | Aalborg Instruments & Controls, Inc. | Laminar flow element and method for metering fluid flow |
| JP3377574B2 (ja) | 1993-11-05 | 2003-02-17 | 株式会社技術開発総合研究所 | 差圧検出センサ |
| JPH0863235A (ja) * | 1994-08-24 | 1996-03-08 | Burutsukusu Instr Kk | 差圧式質量流量コントロール装置 |
| US5637802A (en) * | 1995-02-28 | 1997-06-10 | Rosemount Inc. | Capacitive pressure sensor for a pressure transmitted where electric field emanates substantially from back sides of plates |
| JP3715322B2 (ja) * | 1995-07-17 | 2005-11-09 | ローズマウント インコーポレイテッド | 差圧発生器の通過流量信号を簡略化されたプロセスで与える伝送器 |
| US5672832A (en) * | 1996-02-15 | 1997-09-30 | Nt International, Inc. | Chemically inert flow meter within caustic fluids having non-contaminating body |
| US6907383B2 (en) * | 1996-03-28 | 2005-06-14 | Rosemount Inc. | Flow diagnostic system |
| JPH10300544A (ja) * | 1997-04-24 | 1998-11-13 | Hitachi Ltd | 空気流量測定方法及び装置 |
| EP0927875B1 (fr) * | 1997-12-30 | 2002-08-14 | Qualiflow S.A. | Procédé de réalisation d'un capteur pour un débitmètre massique thermique |
| US6152162A (en) * | 1998-10-08 | 2000-11-28 | Mott Metallurgical Corporation | Fluid flow controlling |
| TR200101761T2 (tr) * | 1998-12-15 | 2001-10-22 | Daniel Industries Inc. | Ağ takibi için internet üzerinden çalışan bilgisayar sistemi. |
| US6119730A (en) * | 1998-12-21 | 2000-09-19 | Mcmillan Company | Precision laminar flow element for use in thermal mass flow sensors and flow controllers |
| US6143080A (en) * | 1999-02-02 | 2000-11-07 | Silicon Valley Group Thermal Systems Llc | Wafer processing reactor having a gas flow control system and method |
| JP2000315115A (ja) * | 1999-03-02 | 2000-11-14 | Stec Inc | 流量制御方法、流量制御装置および記録媒体 |
| US6138990A (en) * | 1999-03-25 | 2000-10-31 | Dxl Usa Inc. | Flow control valve assembly for mass flow controller |
| US6363958B1 (en) * | 1999-05-10 | 2002-04-02 | Parker-Hannifin Corporation | Flow control of process gas in semiconductor manufacturing |
| US6119710A (en) * | 1999-05-26 | 2000-09-19 | Cyber Instrument Technologies Llc | Method for wide range gas flow system with real time flow measurement and correction |
| US6445980B1 (en) * | 1999-07-10 | 2002-09-03 | Mykrolis Corporation | System and method for a variable gain proportional-integral (PI) controller |
| US6352001B1 (en) * | 1999-08-30 | 2002-03-05 | General Electric Company | Non-iterative method for obtaining mass flow rate |
| US6311568B1 (en) * | 1999-09-13 | 2001-11-06 | Rosemount, Inc. | Process flow device with improved pressure measurement feature |
| JP2001141532A (ja) | 1999-11-15 | 2001-05-25 | Smc Corp | 絞り構造体及び絞り構造体を組み込む流量計 |
| JP2001201414A (ja) * | 2000-01-20 | 2001-07-27 | Smc Corp | 複合センサ及び複合センサを備えたフローコントローラ |
| US6655207B1 (en) * | 2000-02-16 | 2003-12-02 | Honeywell International Inc. | Flow rate module and integrated flow restrictor |
| JP2002054959A (ja) * | 2000-08-10 | 2002-02-20 | Kazumasa Onishi | 差圧式流量計 |
| AU2001286619A1 (en) * | 2000-08-22 | 2002-03-04 | Fugasity Corporation | Fluid mass flow meter with substantial measurement range |
| US6609431B1 (en) * | 2000-09-29 | 2003-08-26 | Xellogy, Inc. | Flow measuring device based on predetermine class of liquid |
| US6333272B1 (en) * | 2000-10-06 | 2001-12-25 | Lam Research Corporation | Gas distribution apparatus for semiconductor processing |
| WO2002086632A2 (en) * | 2001-04-24 | 2002-10-31 | Unit Instruments, Inc. | System and method for configuring and asapting a mass flow controller |
| US6592253B2 (en) * | 2001-10-09 | 2003-07-15 | Northrop Grumman Corporation | Precision temperature probe having fast response |
| US6708568B2 (en) * | 2001-11-21 | 2004-03-23 | General Electric Company | Combustion chamber dynamic pressure transducer tee probe holder and related method |
| US6742394B1 (en) * | 2003-01-13 | 2004-06-01 | Power Systems Mfg, Llc | Gas turbine combustor hybrid dynamic-static probe |
-
2003
- 2003-03-12 US US10/387,088 patent/US6843139B2/en not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-03-11 CN CNB2004800049351A patent/CN100363717C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2004-03-11 WO PCT/US2004/007321 patent/WO2004081500A2/en active Application Filing
- 2004-03-11 JP JP2006507043A patent/JP2006519997A/ja active Pending
- 2004-03-11 RU RU2005131574/28A patent/RU2323416C2/ru not_active IP Right Cessation
- 2004-03-11 DE DE112004000430T patent/DE112004000430T5/de not_active Ceased
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| RU2323416C2 (ru) | 2008-04-27 |
| JP2006519997A (ja) | 2006-08-31 |
| WO2004081500A2 (en) | 2004-09-23 |
| DE112004000430T5 (de) | 2006-03-09 |
| CN100363717C (zh) | 2008-01-23 |
| CN1777790A (zh) | 2006-05-24 |
| US6843139B2 (en) | 2005-01-18 |
| WO2004081500A3 (en) | 2004-11-04 |
| US20040177703A1 (en) | 2004-09-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2005131574A (ru) | Устройство регулирования расхода с мультисенсорами | |
| JP2006519997A5 (ru) | ||
| KR100276930B1 (ko) | 확장된 유량 측정범위를 갖는 질량유동변환기 | |
| ATE216070T1 (de) | Durchflussmesser mit nichtkontaminierendem gehäuse zum gebrauch in alkalischen flüssigkeiten | |
| JP2005024421A (ja) | 差圧式流量計及び差圧式流量制御装置 | |
| JP4173519B2 (ja) | 半導体工程用ガス流量を制御する差圧式流量制御器 | |
| JP2007513338A5 (ru) | ||
| CN108027618A (zh) | 压力式流量控制装置及其异常检测方法 | |
| RU2005102006A (ru) | Массовый расходомер с датчиками в виде чипа | |
| WO2009026005A1 (en) | Energy management system for membrane separation device | |
| UA40010C2 (uk) | Спосіб вимірювання величини витрати газу і газовий лічильник для нього | |
| JP2008286812A (ja) | 差圧式流量計 | |
| JP3818547B2 (ja) | 質量流量制御装置 | |
| WO2004059257A3 (en) | A system and method ofmeasuring convection induced impedance gradients to determine liquid flow rates | |
| US4470311A (en) | Apparatus for measuring fluid flow in pipe systems | |
| JP5119208B2 (ja) | 差圧流量計 | |
| JP5213582B2 (ja) | 流量測定装置 | |
| JP5213583B2 (ja) | 流量測定装置 | |
| US11300436B2 (en) | Flow laminator | |
| US11802784B1 (en) | Single heater MEMS-CMOS based flow sensor | |
| KR100418683B1 (ko) | 반도체 공정가스용 차압식 유량 제어기 | |
| Le-Clech et al. | The application of constant temperature anemometry to membrane processes | |
| JP3272797B2 (ja) | 面積流量計 | |
| JPS5941126B2 (ja) | マスフロ−流量計 | |
| JPH02157627A (ja) | 圧力センサ |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| MM4A | The patent is invalid due to non-payment of fees |
Effective date: 20180312 |