RU2004137526A - Испарительное устройство для сублимированных материалов - Google Patents
Испарительное устройство для сублимированных материалов Download PDFInfo
- Publication number
- RU2004137526A RU2004137526A RU2004137526/02A RU2004137526A RU2004137526A RU 2004137526 A RU2004137526 A RU 2004137526A RU 2004137526/02 A RU2004137526/02 A RU 2004137526/02A RU 2004137526 A RU2004137526 A RU 2004137526A RU 2004137526 A RU2004137526 A RU 2004137526A
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- bath
- lid
- heating
- evaporative
- heating rods
- Prior art date
Links
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract 3
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 title claims 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims abstract 10
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 claims abstract 2
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 claims 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 claims 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 claims 1
- 239000011364 vaporized material Substances 0.000 claims 1
- 230000008016 vaporization Effects 0.000 abstract 1
- 238000009834 vaporization Methods 0.000 abstract 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/28—Vacuum evaporation by wave energy or particle radiation
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06C—DIGITAL COMPUTERS IN WHICH ALL THE COMPUTATION IS EFFECTED MECHANICALLY
- G06C1/00—Computing aids in which the computing members form at least part of the displayed result and are manipulated directly by hand, e.g. abacuses or pocket adding devices
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/243—Crucibles for source material
-
- G—PHYSICS
- G04—HOROLOGY
- G04F—TIME-INTERVAL MEASURING
- G04F7/00—Apparatus for measuring unknown time intervals by non-electric means
- G04F7/04—Apparatus for measuring unknown time intervals by non-electric means using a mechanical oscillator
- G04F7/06—Apparatus for measuring unknown time intervals by non-electric means using a mechanical oscillator running only during the time interval to be measured, e.g. stop-watch
- G04F7/065—Apparatus for measuring unknown time intervals by non-electric means using a mechanical oscillator running only during the time interval to be measured, e.g. stop-watch with start-stop control arrangements
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Toxicology (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Computing Systems (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Mathematical Physics (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Vaporization, Distillation, Condensation, Sublimation, And Cold Traps (AREA)
- Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
Claims (8)
1. Испарительное устройство установки для вакуумного напыления пленок, состоящее по меньшей мере из одной ванны (3) для испаряемого материала (4) и из нагревательного устройства с одним излучающим нагревателем, отличающееся тем, что излучающий нагреватель выполнен в виде нагревательного стержня (5), расположенного над ванной (3).
2. Испарительное устройство по п.1, отличающееся тем, что на ванне (3) размещена крышка (8), имеющая выходную щель (16) для испаряемого материала, причем нагревательный стержень (5) расположен в пространстве, образуемом крышкой (8) и ванной (3).
3. Испарительное устройство по п.2, отличающееся тем, что длина образованного пространства больше его ширины, а вдоль продольной оси ванны (3) расположены перпендикулярные к ней нагревательные стержни (5).
4. Испарительное устройство по любому из п.1 или 2, отличающееся тем, что каждый из нагревательных стержней (5) с обоих концов установлен в несущих кольцах (6), выполненных из жаропрочной керамики.
5. Испарительное устройство по п.4, отличающееся тем, что несущие кольца (6) наложены на кромку ванны (9) с возможностью введения в соответствующие выемки (17) крышки (8) или ванны (3).
6. Испарительное устройство по п.2, отличающееся тем, что торцы нагревательных стержней (5) по бокам выполнены выступающими из пространства, образованного крышкой и ванной.
7. Испарительное устройство по любому из п.1 или 2, отличающееся тем, что нагревательные стержни (5) выполнены плоскими, предпочтительно прямоугольного сечения и направлены плоской стороной к ванне (3).
8. Испарительное устройство по п.5, отличающееся тем, что несущие кольца (6) имеют окружной паз (12), в который введены края ванны (3) или крышки (8).
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE102004001884.7 | 2004-01-14 | ||
| DE102004001884A DE102004001884A1 (de) | 2004-01-14 | 2004-01-14 | Verdampfungseinrichtung für sublimierende Materialien |
| DE102004001884 | 2004-01-14 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU2004137526A true RU2004137526A (ru) | 2006-06-10 |
| RU2307877C2 RU2307877C2 (ru) | 2007-10-10 |
Family
ID=34609530
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| RU2004137526/02A RU2307877C2 (ru) | 2004-01-14 | 2004-12-22 | Испарительное устройство для сублимированных материалов |
Country Status (10)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20050150975A1 (ru) |
| EP (1) | EP1555334B1 (ru) |
| JP (1) | JP2005200767A (ru) |
| KR (1) | KR100642057B1 (ru) |
| CN (1) | CN1333104C (ru) |
| AT (1) | ATE394520T1 (ru) |
| DE (2) | DE102004001884A1 (ru) |
| PL (1) | PL1555334T3 (ru) |
| RU (1) | RU2307877C2 (ru) |
| TW (1) | TWI269816B (ru) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5361467B2 (ja) * | 2009-03-13 | 2013-12-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 気化器 |
| KR20140025795A (ko) * | 2012-08-22 | 2014-03-05 | 에스엔유 프리시젼 주식회사 | 선택적 선형 증발 장치 |
| KR102227546B1 (ko) * | 2014-01-20 | 2021-03-15 | 주식회사 선익시스템 | 대용량 증발원 및 이를 포함하는 증착장치 |
| CN104404451A (zh) * | 2014-12-16 | 2015-03-11 | 合肥鑫晟光电科技有限公司 | 蒸镀源和蒸镀装置 |
| CN105132866B (zh) * | 2015-09-08 | 2018-02-16 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种蒸镀机的加热源装置及蒸镀机 |
| EP3559306B1 (en) * | 2016-12-22 | 2022-10-05 | Flisom AG | Linear source for vapor deposition with at least three electrical heating elements |
| CN108330444A (zh) * | 2018-02-11 | 2018-07-27 | 常德金德新材料科技股份有限公司 | 一种制备硫化锌膜的方法 |
Family Cites Families (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3041493A (en) * | 1950-08-30 | 1962-06-26 | Sylvania Electric Prod | Electron discharge device |
| US3027150A (en) * | 1958-03-10 | 1962-03-27 | Hoerder Huettenunion Ag | Apparatus for treating steel melts |
| JPS5048855U (ru) * | 1973-09-04 | 1975-05-14 | ||
| JPS5224050U (ru) * | 1975-08-08 | 1977-02-19 | ||
| US4045638A (en) * | 1976-03-09 | 1977-08-30 | Bing Chiang | Continuous flow heat treating apparatus using microwaves |
| DE2723581C2 (de) * | 1977-03-08 | 1984-11-29 | Techtransfer GmbH, 7000 Stuttgart | Verfahren zum aeroben Verrotten von tierischen Exkrementen oder Klärschlamm sowie Anlage zur Durchführung des Verfahrens |
| JPS5943872A (ja) * | 1982-09-04 | 1984-03-12 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 蒸発材料収容器 |
| JPH0269961U (ru) * | 1988-11-17 | 1990-05-28 | ||
| JPH0762239B2 (ja) * | 1990-09-28 | 1995-07-05 | 三菱重工業株式会社 | 真空蒸着装置 |
| JP2583159B2 (ja) * | 1991-02-08 | 1997-02-19 | 株式会社小松製作所 | 流体加熱器 |
| DE4104415C1 (ru) * | 1991-02-14 | 1992-06-04 | 4P Verpackungen Ronsberg Gmbh, 8951 Ronsberg, De | |
| JPH04308076A (ja) * | 1991-04-03 | 1992-10-30 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 昇華性物質真空蒸着装置 |
| FR2693480B1 (fr) * | 1992-07-08 | 1994-08-19 | Icbt Roanne | Dispositif de chauffage d'un fil en mouvement. |
| JPH11246963A (ja) * | 1998-03-05 | 1999-09-14 | Nikon Corp | 蒸着用ボートとそれを用いて成膜した光学薄膜 |
| JP2000248358A (ja) * | 1999-03-01 | 2000-09-12 | Casio Comput Co Ltd | 蒸着装置および蒸着方法 |
| US20050034847A1 (en) * | 2003-08-11 | 2005-02-17 | Robert Graham | Monolithic tube sheet and method of manufacture |
-
2004
- 2004-01-14 DE DE102004001884A patent/DE102004001884A1/de not_active Ceased
- 2004-03-03 DE DE502004007046T patent/DE502004007046D1/de not_active Expired - Lifetime
- 2004-03-03 PL PL04004928T patent/PL1555334T3/pl unknown
- 2004-03-03 EP EP04004928A patent/EP1555334B1/de not_active Expired - Lifetime
- 2004-03-03 AT AT04004928T patent/ATE394520T1/de not_active IP Right Cessation
- 2004-03-08 TW TW093106035A patent/TWI269816B/zh not_active IP Right Cessation
- 2004-04-02 CN CNB2004100323466A patent/CN1333104C/zh not_active Withdrawn - After Issue
- 2004-04-21 KR KR1020040027333A patent/KR100642057B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2004-12-01 US US11/001,528 patent/US20050150975A1/en not_active Abandoned
- 2004-12-22 RU RU2004137526/02A patent/RU2307877C2/ru active
-
2005
- 2005-01-13 JP JP2005006628A patent/JP2005200767A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20050074882A (ko) | 2005-07-19 |
| TWI269816B (en) | 2007-01-01 |
| JP2005200767A (ja) | 2005-07-28 |
| TW200523382A (en) | 2005-07-16 |
| EP1555334A1 (de) | 2005-07-20 |
| DE102004001884A1 (de) | 2005-08-11 |
| EP1555334B1 (de) | 2008-05-07 |
| KR100642057B1 (ko) | 2006-11-10 |
| CN1641066A (zh) | 2005-07-20 |
| US20050150975A1 (en) | 2005-07-14 |
| DE502004007046D1 (de) | 2008-06-19 |
| PL1555334T3 (pl) | 2008-10-31 |
| ATE394520T1 (de) | 2008-05-15 |
| RU2307877C2 (ru) | 2007-10-10 |
| CN1333104C (zh) | 2007-08-22 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU2004137526A (ru) | Испарительное устройство для сублимированных материалов | |
| FI87720B (fi) | Elektrisk anordning foer foeraongning av ett som insekticid verkande aemne | |
| DK0639096T3 (da) | Apparat til fordampning af en væske og efterfølgende kondensation af dampen | |
| TW200643196A (en) | Vacuum vapor deposition apparatus | |
| JP2007119917A (ja) | 基材への蒸着のための装置 | |
| WO2016184083A1 (en) | Vapor-deposition crucible | |
| RU2005121659A (ru) | Тепловой экран и деталь, снабженная тепловым экраном | |
| JP2007314873A (ja) | 複数のルツボを利用した有機発光素子薄膜製作のための線形蒸発源 | |
| WO2002014769A1 (en) | An improved heater | |
| RU2009113822A (ru) | Устройство для вакуумной обработки паром | |
| RU2009128025A (ru) | Постоянный магнит и способ его изготовления | |
| GB929748A (en) | Apparatus for performing fractional distillation in a vacuum | |
| US20160158702A1 (en) | Device for membrane distillation | |
| RU2005134410A (ru) | Способ образования пара и парообразователь для бани | |
| WO2015179638A3 (en) | Compound distiller | |
| JP5987154B2 (ja) | 真空蒸着装置およびそれに用いるフィルムコンデンサ用の蒸発装置 | |
| AU2006100199A4 (en) | Improved air-conditioner condenser base | |
| JP7223632B2 (ja) | 真空蒸着装置用の蒸着源 | |
| RU2019121605A (ru) | Устройство для испарения летучих веществ, содержащее тампон и теплоотражательный элемент | |
| KR970001265A (ko) | 항균세라믹스와 그 제조방법 | |
| JP2007101150A (ja) | 蒸発装置およびこれを備えたコンデンシングユニット | |
| JP2007002291A (ja) | 蒸発源、蒸着装置及び蒸着方法 | |
| ES2070463T3 (es) | Aparato y crisol para deposito en fase de vapor. | |
| KR101186956B1 (ko) | 진공증착용 담체 용기 | |
| FI58864C (fi) | Anordning foer upphettning av haorlockningsspolar |