CN105132866B - 一种蒸镀机的加热源装置及蒸镀机 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种蒸镀机的加热源装置及蒸镀机，涉及蒸镀技术领域。为解决现有技术线性加热源装置清洁维护耗时较长，难度较大的问题而发明。本发明蒸镀机的加热源装置，包括：加热箱体，所述加热箱体内部设有加热腔，所述加热箱体连接有加热源，所述加热箱体的顶部设有开口；内层箱体，所述内层箱体设置于所述加热箱体的加热腔内，所述内层箱体可由所述加热箱体的加热腔内取出；喷嘴组件，所述喷嘴组件包括喷嘴，所述喷嘴设置于所述内层箱体的顶部；坩埚，所述坩埚设置于所述内层箱体的内部，所述坩埚可由所述内层箱体的内部取出。本发明蒸镀机的加热源装置及蒸镀机可用于制作有机发光二极管的有机功能层。

Description

一种蒸镀机的加热源装置及蒸镀机

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种蒸镀机的加热源装置及蒸镀机。

背景技术

为了形成OLED(Organic Light-Emitting Diode，有机发光二极管)的有机功能层，通常采用蒸镀机加热蒸发有机材料，使气态的有机材料均匀附着于基板至一定厚度而实现。现有的蒸镀机，根据加热源的形式可分为点源式和线源式两种，相比于点源式，线源式蒸镀机因其具有材料利用率高、蒸镀均匀性好等优点在蒸镀技术领域得到了广泛的应用，但线源式蒸镀机在保养时存在着缺陷，即加热源装置在清洁维护时，费时较长，维护难度较大。

一般情况下，线性加热源的结构主要包括加热箱、喷嘴和坩埚，加热箱上固定连接有加热源和冷却装置等，喷嘴固定连接于加热箱的上部，坩埚放置于加热箱内，将有机材料放置于坩埚中加热蒸发，一部分气态的有机材料由喷嘴的出气口喷出，以制作OLED的有机功能层，另一部分有机材料附着在加热箱的内壁、喷嘴的出气口等位置，时间越长，附着的有机材料越多，严重影响了加热源装置的使用效果，因此必须定期对加热源装置进行清洁维护，目前，加热源装置的清洁维护方法主要包括以下两种：第一种方式，完全拆卸维护，即将坩埚从加热箱内取出，并将加热源和冷却装置等从加热箱上拆卸出，然后根据需要对各个零部件进行清洁或者更换；第二种方式，干烧维护，即利用高于正常蒸镀温度来使有机材料以较高速率挥发，以清洗附着于加热源装置的有机材料。

但是，采用完全拆卸方式清洁，将加热源和冷却装置从加热箱上拆卸以及后续的安装操作过程复杂，耗时较长，降低了加热源装置的保养效率；采用干烧工艺清洁，高温容易使有机材料裂解碳化，导致无法再使用此方式去除残留的有机材料，且高温气体由喷嘴的出气口喷出，辐射到出气口周边零部件上，增大了零部件的变质速度，从而提高了这些零部件的更换频率，此外，如若有机材料为熔融型材料，将会导致有机材料融化、流动和滴落，增大了保养难度。

发明内容

本发明的实施例提供一种蒸镀机的加热源装置及蒸镀机。可以部分拆卸清洁加热源，避免完全拆卸操作所导致的拆卸安装复杂，以节省保养时间，提高保养效率，且可以避免采用干烧工艺清洁操作，以降低喷嘴出气口周围零部件的更换频率，降低保养难度。

为达到上述目的，本发明的实施例提供了一种蒸镀机的加热源装置，包括：加热箱体、内层箱体、喷嘴组件和坩埚；所述加热箱体内部设有加热腔，所述加热箱体连接有加热源，所述加热源可对所述加热腔加热，所述加热箱体的顶部设有开口；所述内层箱体设置于所述加热箱体的加热腔内，所述内层箱体由导热材料制成，并且所述内层箱体可由所述加热箱体的加热腔内取出；所述喷嘴组件包括喷嘴，所述喷嘴设置于所述内层箱体的顶部，所述喷嘴的进气口与所述内层箱体的内部连通，所述喷嘴设有出气口的一端穿过所述加热箱体顶部的开口设置；所述坩埚设置于所述内层箱体的内部，且所述坩埚可由所述内层箱体的内部取出。

可选地，所述喷嘴组件与所述内层箱体的顶壁可拆卸连接。

进一步地，所述喷嘴组件还包括固定板，所述喷嘴连接于所述固定板上，所述内层箱体的顶壁设有安装插槽，所述固定板配合插设于所述安装槽内。

进一步地，所述固定板的截面为“H”形，所述安装插槽的截面也为“H”形。

进一步地，所述喷嘴为多个，多个所述喷嘴均固定于所述固定板上。

进一步地，多个所述喷嘴沿同一直线并排设置。

可选地，所述内层箱体的顶壁为双层结构，包括上层顶板和下层顶板，所述上层顶板和下层顶板之间形成所述安装插槽，所述下层顶板对应所述喷嘴的位置设有与所述喷嘴的进气口连通的通孔，所述上层顶板对应所述喷嘴的位置设有允许所述喷嘴穿过的开槽。

进一步地，所述通孔与所述喷嘴的进气口的形状和尺寸相适应。

进一步地，所述加热源为加热丝，所述加热丝盘绕于所述加热箱体的外壁上。

进一步地，所述加热箱体的外壁上盘绕有冷却管道。

进一步地，所述加热箱体的加热腔内设有温度传感器，所述温度传感器可检测所述内层箱体的温度。

再进一步地，所述喷嘴的出气口处设有蒸汽速率监测装置。

本发明实施例提供的一种蒸镀机的加热源装置，由于内层箱体的内部分别与坩埚内部和喷嘴的进气口连通，且喷嘴的出气口的一端穿过加热箱体顶部的开口设置，气态有机材料由坩埚蒸发进入内层箱体的内部，再由喷嘴的进气口进入喷嘴中，由喷嘴的出气口喷出，整个气态有机材料流动空间不包括加热箱体与内层箱体之间的间隙空间，可避免有机材料进入此间隙空间污染加热腔，因此避免了对加热箱体的清洁操作，从而避免了复杂的拆卸和安装操作，进而节省了保养时间，提高了保养效率，同时避免了干烧工艺清洁操作，从而降低了喷嘴出气口附近零部件的更换频率，降低了保养难度，由于喷嘴组件包括的喷嘴设置于内层箱体的顶部，坩埚设置于内层箱体的内部，且内层箱体可由加热箱体的加热腔内取出，坩埚可由内层箱体内部取出，因此在保养加热源装置时，仅需将内层箱体、喷嘴组件以及坩埚从加热箱体中取出，再进一步分解使各个零件相分离，并根据需要进行更换或清洗，安装和拆卸操作简单，节省了保养时间，提高了保养效率。与现有技术相比，对上述蒸镀机的加热源装置进行保养，可通过不完全拆卸方式实现蒸镀机加热源装置的清洁维护，避免了完全拆卸方式所导致的复杂拆卸安装操作，从而节省了保养时间，提高了保养效率，且可以避免采用干烧工艺进行清洁维护，从而降低了喷嘴出气口附近零部件的更换频率，同时降低了保养难度。

本发明实施例还提供了一种蒸镀机，包括上述技术方案所述的蒸镀机的加热源装置。

进一步地，所述蒸镀机还包括蒸镀机箱体，所述蒸镀机箱体内设有内腔，所述蒸镀机箱体的顶部设有开口，开口上方设有传送带，所述传送带用于传送待蒸镀基板，所述待蒸镀基板与所述开口相对，所述内腔的底部设有所述蒸镀机的加热源装置，所述蒸镀机的加热源装置的喷嘴与所述开口相对。

本发明实施例提供的一种蒸镀机，包括上述蒸镀机的加热源装置，由于内层箱体的内部分别与坩埚内部和喷嘴的进气口连通，且喷嘴的出气口的一端穿过加热箱体顶部的开口设置，气态有机材料由坩埚蒸发进入内层箱体的内部，再由喷嘴的进气口进入喷嘴中，由喷嘴的出气口喷出，整个气态有机材料流动空间不包括加热箱体与内层箱体之间的间隙空间，可避免有机材料进入此间隙空间污染加热腔，因此避免了对加热箱体的清洁操作，从而避免了复杂的拆卸和安装操作，进而节省了保养时间，提高了保养效率，同时避免了干烧工艺清洁操作，从而降低了喷嘴出气口附近零部件的更换频率，降低了保养难度，由于喷嘴组件包括的喷嘴设置于内层箱体的顶部，坩埚设置于内层箱体的内部，且内层箱体可由加热箱体的加热腔内取出，坩埚可由内层箱体内部取出，因此在保养加热源装置时，仅需将内层箱体、喷嘴组件以及坩埚从加热箱体中取出，再进一步分解使各个零件相分离，并根据需要进行更换或清洗，安装和拆卸操作简单，节省了保养时间，提高了保养效率。与现有技术相比，对上述蒸镀机的加热源装置进行保养，可通过不完全拆卸方式实现蒸镀机加热源装置的清洁维护，避免了完全拆卸方式所导致的复杂拆卸安装操作，从而节省了保养时间，提高了保养效率，且可以避免采用干烧工艺进行清洁维护，从而降低了喷嘴出气口附近零部件的更换频率，同时降低了保养难度。本发明实施例还提供了一种蒸镀机，包括上述技术方案所述的蒸镀机的加热源装置。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例蒸镀机的加热源装置的装配图；

图2为本发明实施例蒸镀机的加热源装置中喷嘴组件的结构示意图；

图3为本发明实施例蒸镀机的加热源装置中内层箱体的结构的截面示意图；

图4为本发明实施例蒸镀机的加热源装置中内层箱体的装配图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。在本发明的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

参照图1，图1为本发明实施例蒸镀机的加热源装置的一个具体实施例，本实施例的蒸镀机的加热源装置包括：加热箱体1，所述加热箱体1内部设有加热腔11，所述加热箱体1连接有加热源2，所述加热源2可对所述加热腔11加热，所述加热箱体1的顶部设有开口12；内层箱体3，所述内层箱体3设置于所述加热箱体1的加热腔11内，所述内层箱体3由导热材料制成，并且所述内层箱体3可由所述加热箱体1的加热腔11内取出；喷嘴组件4，所述喷嘴组件4包括喷嘴41，所述喷嘴41设置于所述内层箱体3的顶部，所述喷嘴41的进气口与所述内层箱体3的内部连通，所述喷嘴41设有出气口的一端穿过所述加热箱体1顶部的开口12设置；坩埚5，所述坩埚5设置于所述内层箱体3的内部，且所述坩埚5可由所述内层箱体3的内部取出。

本发明实施例提供的一种蒸镀机的加热源装置，由于内层箱体3的内部分别与坩埚5内部和喷嘴41的进气口连通，且喷嘴41的出气口的一端穿过加热箱体1顶部的开口12设置，气态有机材料由坩埚5蒸发进入内层箱体3的内部，再由喷嘴41的进气口进入喷嘴41中，由喷嘴41的出气口喷出，整个气态有机材料流动空间不包括加热箱体1与内层箱体3之间的间隙空间，可避免有机材料进入此间隙空间污染加热腔11，因此避免了对加热箱体1的清洁操作，从而避免了复杂的拆卸和安装操作，进而节省了保养时间，提高了保养效率，同时避免了干烧工艺清洁操作，从而降低了喷嘴出气口附近零部件的更换频率，降低了保养难度，由于喷嘴组件4包括的喷嘴41设置于内层箱体3的顶部，坩埚5设置于内层箱体3的内部，且内层箱体3可由加热腔11内取出，坩埚5可由内层箱体3内部取出，因此在保养加热源装置时，仅需将内层箱体3、喷嘴组件4以及坩埚5从加热箱体1中取出，再进一步分解使各个零件相分离，并根据需要进行更换或清洗，安装和拆卸操作简单，节省了保养时间，提高了保养效率。与现有技术相比，对上述蒸镀机的加热源装置进行保养，可通过不完全拆卸方式实现蒸镀机加热源装置的清洁维护，避免了完全拆卸方式所导致的复杂拆卸安装操作，从而节省了保养时间，提高了保养效率，且可以避免采用干烧工艺进行清洁维护，从而降低了喷嘴出气口附近零部件的更换频率，同时降低了保养难度。

在上述实施例中，为了尽可能地减少维护时间，节省成本，优选地，喷嘴组件4与内层箱体3的顶壁可以设计为如图1所示的连接方式，即喷嘴组件4与内层箱体3的顶壁可拆卸连接，当喷嘴组件4和内层箱体3中一个部件失效或需要清洁时，可仅拆除该部件进行更换或者清洁，以减少维护时间，节省维护成本。

具体地，喷嘴组件4可以制作为如图2所示结构，即喷嘴组件4还包括固定板42，喷嘴41连接于固定板42上，内层箱体3可以制作为如图3所示结构，内层箱体3的顶壁设有安装插槽31，固定板42配合插设于安装插槽31内，喷嘴组件4与内层箱体3顶壁之间的连接部分可设计为如图4所示结构，在清洁维护时，可将喷嘴组件4通过固定板42从安装插槽31中抽出，实现喷嘴组件4与内层箱体3之间的结构分离，可根据需要分别对喷嘴组件4和内层箱体3进行更换或者清洗，从而减少了维护时间，节省了维护成本。

其中，喷嘴41可以采用螺钉、销钉或者铆钉等连接件固定于固定板42上，还可以如图2所示直接将喷嘴41与固定板42设计为一体成型结构。当采用上述第一种方案时，由于喷嘴41与固定板42在连接部位仍存在连接间隙，气态有机材料容易从此连接间隙中漏出，污染加热箱体1。因此，为了避免上述问题，优选将喷嘴41与固定板42直接设计为一体成型结构，喷嘴41与固定板42之间无连接间隙，从而实现了喷嘴41与固定板42连接部位的有效密封。

另外，如图2所示，固定板42的截面可以为“H”形，此时，如图3所示，安装插槽31的截面也为“H”形，使固定板42能够与安装插槽31配合，且“H”形的配合截面能够延长有机材料在安装插槽31与固定板42之间扩散的路径，更有效地实现了固定板42与安装插槽31之间的连接密封，降低了有机材料进入加热箱体1与内层箱体3之间间隙空间的可能性。

为了实现蒸镀机加热源装置的线性加热效果，喷嘴41可以设计为多个，且多个喷嘴41均固定于固定板42上，使多个喷嘴41和固定板42固定连接成一个整体，该整体可通过固定板42与内层箱体3实现可拆卸连接。

其中，多个喷嘴41可以沿同一直线并排设置，还可以沿曲线并排设置。当采用上述第二种方案时，加热箱体1顶部的开口12需设置得较宽，即开口12的宽度必须大于喷嘴41对应开口12位置的宽度，以容许沿曲线并排设置的多个喷嘴41穿过，而当加热箱体1顶部的开口12较宽时，加热箱体1的封闭性较低，加热源2对加热腔11的加热效率也较低。因此，为了避免上述问题，优选多个喷嘴41沿同一直线并排设置，使开口12的宽度大小可以设置为与喷嘴41对应开口12位置的宽度相等，开口12宽度较窄，增大了加热箱体1的封闭性，从而增大了加热源2对加热腔11的加热效率。

具体地，内层箱体3可以制作为如图3所示结构，即内层箱体3的顶壁为双层结构，包括上层顶板32和下层顶板33，上层顶板32和下层顶板33之间形成安装插槽31，由此可将喷嘴组件4通过固定板42配合插设于该安装插槽31内。下层顶板33对应喷嘴41的位置可以设置为与多个喷嘴41的进气口分别连通的多个通孔，还可以设置为如图3所示结构，即与多个喷嘴41的进气口均连通的一个开口。相比于上述第二种方案，采用上述第一种方案可以增大内层箱体3内部的封闭性，减小有机材料进入此间隙的量，从而防止有机材料沉积到加热箱体1与内层箱体3之间间隙空间中而污染加热腔11。因此，优选下层顶板33对应喷嘴41的位置设置与喷嘴41的进气口连通的通孔。上层顶板32对应喷嘴41的位置设有允许喷嘴41穿过的开槽，优选开槽的宽度等于喷嘴41对应开槽位置的宽度，减小开槽宽度，增大连接部位的封闭性，使喷嘴组件4与内层箱体3紧密接触。

其中，通孔的尺寸可以大于喷嘴41进气口的尺寸，也可以小于喷嘴41进气口的尺寸，还可以等于喷嘴41进气口的尺寸。当采用上述第一种方案时，即通孔的尺寸大于喷嘴41进气口的尺寸，气态有机材料由通孔进入喷嘴41的进气口，一部分气体在连接位置受到截面的阻碍，使该部分气体径向扩散进入连接处的缝隙中，从而增加了进入此缝隙的气体量，进而增大了气体通过此缝隙进入加热箱体1与内层箱体3之间间隙空间的可能性；当采用上述第二种方案时，即通孔的尺寸小于喷嘴41进气口的尺寸，气态有机材料由通孔进入喷嘴41进气口，气体的流速降低，流速较低的气体对喷嘴41进气口侧壁的静压较大，使更多的气体进入连接处的缝隙，同样增大了气体通过此缝隙进入加热箱体1与内层箱体3之间间隙空间的可能性。因此，为了避免上述问题，优选通孔与喷嘴41的进气口的形状和尺寸相适应，气态有机材料由通孔进入喷嘴41的进气口，流速不变，通孔孔壁和进气口的侧壁受到的静压大小一致，且静压较小，可减小气体进入连接间隙的量，同时连接处无阻碍，减小了气体径向扩散的可能性，从而减小了气体进入连接间隙的量，进而降低了气体通过此缝隙进入加热箱体1与内层箱体3之间间隙空间的可能性，尽可能地避免气体有机材料污染加热箱体1。

为了增大加热源2对加热腔11加热的均匀性，如图1所示，优选加热源2为加热丝，加热丝盘绕于加热箱体1的外壁，使加热源2发出的热量通过加热箱体1的整个外壁区域均匀传递至加热腔11内，提高了加热的均匀性，由于内层箱体3由导热材料制成，因此加热腔11中的热量可均匀传递至内层箱体3内，由此可对坩埚5中的有机材料进行均匀加热。

在蒸镀操作完成之后，清洁维护操作之前，可以通过冷却装置快速冷却加热源装置，以节省等待时间，提高效率，优选在加热箱体1的外壁盘绕冷却管道(图中未示出)，使加热箱体1均匀快速冷却，此外，在蒸镀操作过程中，冷却管道还可以吸收加热源2散发到加热箱体1外部的热量，以隔绝加热源2发出的热量对相邻加热源装置的影响，同时冷却管道还可以反射加热源2散发到加热箱体1内部的热量，使加热箱体1内部热量积聚，以加热有机材料。

为了检测有机材料的加热温度，优选地，加热箱体1的加热腔11内设有温度传感器(图中未示出)，温度传感器可测量加热腔11内的温度，由于内层箱体3由导热材料制成，因此内层箱体3内部的温度与加热腔11内的温度近似相等，温度传感器所检测到的温度值即为内层箱体3内有机材料的加热温度，从而可以根据检测得到的温度实现对加热温度的控制，使加热温度被控制在合理的范围内。

当蒸镀时间一定时，蒸镀厚度大小取决于喷嘴41出气口蒸汽速率，喷嘴41出气口蒸汽速率越大，则蒸镀层越厚。因此，为了控制蒸镀层厚度，可以实时监测喷嘴41出气口处蒸汽的速率，优选地，在喷嘴41的出气口处设置蒸汽速率监测装置(图中未示出)，以监测蒸汽的速率，控制蒸镀层的厚度。

本发明实施例还提供了一种蒸镀机，包括上述任一实施例所述的蒸镀机的加热源装置。

由于在本实施例的蒸镀机中使用的蒸镀机的加热源装置与上述蒸镀机的加热源装置的各实施例中提供的蒸镀机的加热源装置相同，因此二者能够解决相同的技术问题，并达到相同的预期效果。

具体地，蒸镀机还包括蒸镀机箱体，蒸镀机箱体内设有内腔，蒸镀机箱体的顶部设有开口，开口上方设有传送带，传送带用于传送待蒸镀基板，待蒸镀基板与开口相对，内腔的底部设有蒸镀机的加热源装置，蒸镀机的加热源装置的喷嘴41与所述开口相对，传送带将待蒸镀基板传送至与基板相对时，喷嘴41可喷出气态有机材料，使有机材料附着于待蒸镀基板上，实现了蒸镀操作过程。

以上所述，仅为本发明的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，可轻易想到变化或替换，都应涵盖在本发明的保护范围之内。因此，本发明的保护范围应以所述权利要求的保护范围为准。

Claims (11)

1.一种蒸镀机的加热源装置，其特征在于，包括：

加热箱体，所述加热箱体内部设有加热腔，所述加热箱体连接有加热源，所述加热源可对所述加热腔加热，所述加热箱体的顶部设有开口；

内层箱体，所述内层箱体设置于所述加热箱体的加热腔内，所述内层箱体由导热材料制成，并且所述内层箱体可由所述加热箱体的加热腔内取出；

喷嘴组件，所述喷嘴组件包括喷嘴，所述喷嘴设置于所述内层箱体的顶部，所述喷嘴的进气口与所述内层箱体的内部连通，所述喷嘴设有出气口的一端穿过所述加热箱体顶部的开口设置；

坩埚，所述坩埚设置于所述内层箱体的内部，且所述坩埚可由所述内层箱体的内部取出；

所述喷嘴组件与所述内层箱体的顶壁可拆卸连接；

所述喷嘴组件还包括固定板，所述喷嘴连接于所述固定板上，所述内层箱体的顶壁设有安装插槽，所述固定板配合插设于所述安装槽内；

所述内层箱体的顶壁为双层结构，包括上层顶板和下层顶板，所述上层顶板和下层顶板之间形成所述安装插槽，所述下层顶板对应所述喷嘴的位置设有与所述喷嘴的进气口连通的通孔，所述上层顶板对应所述喷嘴的位置设有允许所述喷嘴穿过的开槽。

2.根据权利要求1所述的蒸镀机的加热源装置，其特征在于，所述固定板的截面为“H”形，所述安装插槽的截面也为“H”形。

3.根据权利要求1所述的蒸镀机的加热源装置，其特征在于，所述喷嘴为多个，多个所述喷嘴均固定于所述固定板上。

4.根据权利要求3所述的蒸镀机的加热源装置，其特征在于，多个所述喷嘴沿同一直线并排设置。

5.根据权利要求1所述的蒸镀机的加热源装置，其特征在于，所述通孔与所述喷嘴的进气口的形状和尺寸相适应。

6.根据权利要求1所述的蒸镀机的加热源装置，其特征在于，所述加热源为加热丝，所述加热丝盘绕于所述加热箱体的外壁上。

7.根据权利要求1所述的蒸镀机的加热源装置，其特征在于，所述加热箱体的外壁上盘绕有冷却管道。

8.根据权利要求1所述的蒸镀机的加热源装置，其特征在于，所述加热箱体的加热腔内设有温度传感器，所述温度传感器可检测所述内层箱体的温度。

9.根据权利要求1所述的蒸镀机的加热源装置，其特征在于，所述喷嘴的出气口处设有蒸汽速率监测装置。

10.一种蒸镀机，其特征在于，包括权利要求1～9中任一项所述的蒸镀机的加热源装置。

11.根据权利要求10所述的蒸镀机，其特征在于，还包括蒸镀机箱体，所述蒸镀机箱体内设有内腔，所述蒸镀机箱体的顶部设有开口，开口上方设有传送带，所述传送带用于传送待蒸镀基板，所述待蒸镀基板与所述开口相对，所述内腔的底部设有所述蒸镀机的加热源装置，所述蒸镀机的加热源装置的喷嘴与所述开口相对。