JPH0762239B2 - 真空蒸着装置 - Google Patents
真空蒸着装置Info
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- JPH0762239B2 JPH0762239B2 JP2257430A JP25743090A JPH0762239B2 JP H0762239 B2 JPH0762239 B2 JP H0762239B2 JP 2257430 A JP2257430 A JP 2257430A JP 25743090 A JP25743090 A JP 25743090A JP H0762239 B2 JPH0762239 B2 JP H0762239B2
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- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
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- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
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Description
【発明の詳細な説明】 ＜産業上の利用分野＞ 本発明は、亜鉛等の金属やセラミックス等を真空蒸着す
るための真空蒸着装置に関する。
るための真空蒸着装置に関する。
＜従来の技術＞ 従来、被蒸着帯体の両面に蒸着を行う装置として、次の
ような真空蒸着装置が提案されている。
ような真空蒸着装置が提案されている。
特公昭61−60912号公報に提案されている巻付ロール型
蒸着装置を第６図に示す。同図に示すように、帯体01の
搬送系路に沿ってそれぞれ片面に蒸着を行うための真空
槽02A,02Bが設けられている。各真空槽02A,02B内には、
溶融金属03A,03Bが保持される蒸発槽04A,04B、蒸発槽04
A,04で蒸発された金属蒸気05A,05Bを蒸着口06A,06Bへ導
くフード07A,07B、及び蒸着口06A,06Bに対向して配置さ
れる巻付けロール08A,08Bがそれぞれ設けられており、
帯体01は巻付けロール08A,08Bに巻付けられた状態で蒸
着口06A,06Bと対向するようになっている。なお、図
中、09A,09Bは蒸着口06A,06Bへ導かれる金属蒸気05A,05
Bの量を制御するためのシャッタ、010A,010Bは大気中溶
解槽、011A,011Bは溶融金属03A,03Bを大気中溶解槽010
A,010Bから蒸発槽04A,04Bへ供給するためのスノーケ
ル、012A,012Bは蒸発槽04A,04B内の溶融金属03A,03Bを
加熱して蒸発するためのヒータ、013は真空槽02A,02Bの
帯体01の搬出入口に設けられているシール装置である。
蒸着装置を第６図に示す。同図に示すように、帯体01の
搬送系路に沿ってそれぞれ片面に蒸着を行うための真空
槽02A,02Bが設けられている。各真空槽02A,02B内には、
溶融金属03A,03Bが保持される蒸発槽04A,04B、蒸発槽04
A,04で蒸発された金属蒸気05A,05Bを蒸着口06A,06Bへ導
くフード07A,07B、及び蒸着口06A,06Bに対向して配置さ
れる巻付けロール08A,08Bがそれぞれ設けられており、
帯体01は巻付けロール08A,08Bに巻付けられた状態で蒸
着口06A,06Bと対向するようになっている。なお、図
中、09A,09Bは蒸着口06A,06Bへ導かれる金属蒸気05A,05
Bの量を制御するためのシャッタ、010A,010Bは大気中溶
解槽、011A,011Bは溶融金属03A,03Bを大気中溶解槽010
A,010Bから蒸発槽04A,04Bへ供給するためのスノーケ
ル、012A,012Bは蒸発槽04A,04B内の溶融金属03A,03Bを
加熱して蒸発するためのヒータ、013は真空槽02A,02Bの
帯体01の搬出入口に設けられているシール装置である。
以上説明した巻付けロール型蒸着装置では、帯体01は真
空槽02A,02B内の巻付けロール08A,08Bに巻き付けられて
順次搬入され、真空槽02A内で一方側の面へ、また、真
空槽02B内で他方側の面へ蒸着された後、蒸着帯体01aと
して搬出される。
空槽02A,02B内の巻付けロール08A,08Bに巻き付けられて
順次搬入され、真空槽02A内で一方側の面へ、また、真
空槽02B内で他方側の面へ蒸着された後、蒸着帯体01aと
して搬出される。
また、巻付けロール08A,08Bの代りに加熱された平板を
用いたプレート型蒸着装置も提案されている（特願昭63
−7010号）。この装置を第７図に示す。同図中、014A,0
14Bは加熱平板である。なお、他の構成は第６図の装置
とほぼ同様であるので、同一作用を示す部材に同一符号
を付して重複する説明は省略する。
用いたプレート型蒸着装置も提案されている（特願昭63
−7010号）。この装置を第７図に示す。同図中、014A,0
14Bは加熱平板である。なお、他の構成は第６図の装置
とほぼ同様であるので、同一作用を示す部材に同一符号
を付して重複する説明は省略する。
かかる装置においても、帯体01は２つの真空槽02A,02B
内へ順次搬入され、真空槽02A内で一方側の面へ、ま
た、真空槽02B内で他方側の面へ蒸着された後、蒸着帯
体01aとして搬出される。
内へ順次搬入され、真空槽02A内で一方側の面へ、ま
た、真空槽02B内で他方側の面へ蒸着された後、蒸着帯
体01aとして搬出される。
＜発明が解決しようとする課題＞ 前述したように従来においては、帯体の表面及び裏面に
例えば亜鉛を蒸着する場合、真空槽及び蒸着装置が２基
ずつ必要となり、また、亜鉛の供給装置として大気中溶
解炉等も各蒸着装置にそれぞれ設けているので、設備数
が多くコストもかかるという問題があった。
例えば亜鉛を蒸着する場合、真空槽及び蒸着装置が２基
ずつ必要となり、また、亜鉛の供給装置として大気中溶
解炉等も各蒸着装置にそれぞれ設けているので、設備数
が多くコストもかかるという問題があった。
また、前述した第６図あるいは第７図に示す装置では、
帯体01の表面と裏面とで亜鉛蒸着量を変える差厚めっき
をする場合には、シャッタ09A,09Bにより表裏面の付着
量をそれぞれ制御することができる。しかし、設備数を
低減すべく、例えば１つの真空槽内において蒸着口を帯
体の表裏面側に設けた場合、差厚めっきを行う際に表裏
両側の蒸気が干渉して付着量分布に乱れが生ずるという
問題がある。
帯体01の表面と裏面とで亜鉛蒸着量を変える差厚めっき
をする場合には、シャッタ09A,09Bにより表裏面の付着
量をそれぞれ制御することができる。しかし、設備数を
低減すべく、例えば１つの真空槽内において蒸着口を帯
体の表裏面側に設けた場合、差厚めっきを行う際に表裏
両側の蒸気が干渉して付着量分布に乱れが生ずるという
問題がある。
本発明はこのような事情に鑑み、設備数を低減して省ス
ペース、低コスト化を図り、また、差厚めっきや片面め
っきも高品質で行うことができる真空蒸着装置を提供す
ることを目的とする。
ペース、低コスト化を図り、また、差厚めっきや片面め
っきも高品質で行うことができる真空蒸着装置を提供す
ることを目的とする。
＜課題を解決するための手段＞ 前記目的を達成する本発明に係る第一の真空蒸着装置の
構成は、 亜鉛を保持し蒸発する蒸発槽と、 この蒸発槽の上方を覆うと共にその水平方向外側まで延
設され上記亜鉛の蒸気を搬送される被蒸着帯体の表面に
排出する延設部を有し相対向する一対のフードと、 このフードの上記蒸発槽に対して外側の延設部の対向中
央部を貫通するよう開口された被蒸着帯体の搬出入口
と、 上記蒸発槽及び上記フードの全体を覆うと共に当該フー
ドの搬出入口と対応する被蒸着帯体の搬送位置に上記被
蒸着帯体の搬出入用のシール装置を有する真空槽とを具
え、 上記フードの延設部内にて上記被蒸着帯体の表裏両面に
同時に蒸着を行うことを特徴とする。
構成は、 亜鉛を保持し蒸発する蒸発槽と、 この蒸発槽の上方を覆うと共にその水平方向外側まで延
設され上記亜鉛の蒸気を搬送される被蒸着帯体の表面に
排出する延設部を有し相対向する一対のフードと、 このフードの上記蒸発槽に対して外側の延設部の対向中
央部を貫通するよう開口された被蒸着帯体の搬出入口
と、 上記蒸発槽及び上記フードの全体を覆うと共に当該フー
ドの搬出入口と対応する被蒸着帯体の搬送位置に上記被
蒸着帯体の搬出入用のシール装置を有する真空槽とを具
え、 上記フードの延設部内にて上記被蒸着帯体の表裏両面に
同時に蒸着を行うことを特徴とする。
また、本発明に係る第二の真空蒸着装置の構成は、 亜鉛を保持し蒸発する蒸発槽と、 この蒸発槽の上方を覆うと共にその水平方向外側まで延
設され上記亜鉛の蒸気を搬送される被蒸着帯体の表面に
排出する延設部を有し相対向する一対のフードと、 このフードの上記蒸発槽に対して外側の延設部の対向中
央部を貫通するよう開口された被蒸着帯体の搬出入口
と、 上記蒸発槽及び上記フードの全体を覆うと共に当該フー
ドの搬出入口と対応する被蒸着帯体の搬送位置に上記被
蒸着帯体の搬出入用のシール装置を有する真空槽と、 上記フード内の上記被蒸着帯体の表裏両側へ導かれる亜
鉛の蒸気量を制御する蒸気量制御装置とを具え、 上記フードの延設部内にて上記被蒸着帯体の表裏両面に
対して厚みを変えた蒸着を行うことを特徴とする。
設され上記亜鉛の蒸気を搬送される被蒸着帯体の表面に
排出する延設部を有し相対向する一対のフードと、 このフードの上記蒸発槽に対して外側の延設部の対向中
央部を貫通するよう開口された被蒸着帯体の搬出入口
と、 上記蒸発槽及び上記フードの全体を覆うと共に当該フー
ドの搬出入口と対応する被蒸着帯体の搬送位置に上記被
蒸着帯体の搬出入用のシール装置を有する真空槽と、 上記フード内の上記被蒸着帯体の表裏両側へ導かれる亜
鉛の蒸気量を制御する蒸気量制御装置とを具え、 上記フードの延設部内にて上記被蒸着帯体の表裏両面に
対して厚みを変えた蒸着を行うことを特徴とする。
＜作用＞ 前記第一の真空蒸着装置では、被蒸着帯体の両側にはフ
ードにより蒸着のためのチャンネルが形成され、これら
二つのチャンネルへ、一つの蒸発槽で蒸発された蒸着材
の蒸気がフードにより導かれる。したがって、真空槽の
搬出入用のシール装置及びフードの搬出入口を介して導
かれる被蒸着帯体には表裏両面に同時に蒸着が施され
る。
ードにより蒸着のためのチャンネルが形成され、これら
二つのチャンネルへ、一つの蒸発槽で蒸発された蒸着材
の蒸気がフードにより導かれる。したがって、真空槽の
搬出入用のシール装置及びフードの搬出入口を介して導
かれる被蒸着帯体には表裏両面に同時に蒸着が施され
る。
一方、第二の真空蒸着装置では、被蒸着帯体の表裏両面
側の各チャンネルに導かれる蒸気量を蒸気量制御装置に
より、それぞれ単独に制御することにより、表裏両面の
蒸着材付着量を単独に制御できる。例えば、表面の蒸着
材付着量がg1g/m2、このときの蒸着直前の蒸気圧力をP1
Torr、また、裏面の蒸着材付着量がg2g/m2、このときの
蒸着直前の蒸気圧力をP2Torrとすると、g1＝g2のとき、
P1＝P2となり、表裏面の蒸気干渉はなく両面とも幅方向
に均一な付着量が得られる。また、g1≠g2、例えばg1＞
g2の場合、当然P1＞P2となる。この場合、圧力の高い表
面側から、圧力の低い裏面側へ蒸気の流入により、表裏
面の蒸気干渉により両面の幅方向の付着量が不均一にな
ることが懸念されるが、我々が実施した実験結果では、
第５図に示す如く、蒸気量制御装置により表裏面の付着
量を独立に制御した場合、すなわちg1≠g2の場合でも、
制御量に応じた付着量を幅方向に均一に得られることが
わかった。
側の各チャンネルに導かれる蒸気量を蒸気量制御装置に
より、それぞれ単独に制御することにより、表裏両面の
蒸着材付着量を単独に制御できる。例えば、表面の蒸着
材付着量がg1g/m2、このときの蒸着直前の蒸気圧力をP1
Torr、また、裏面の蒸着材付着量がg2g/m2、このときの
蒸着直前の蒸気圧力をP2Torrとすると、g1＝g2のとき、
P1＝P2となり、表裏面の蒸気干渉はなく両面とも幅方向
に均一な付着量が得られる。また、g1≠g2、例えばg1＞
g2の場合、当然P1＞P2となる。この場合、圧力の高い表
面側から、圧力の低い裏面側へ蒸気の流入により、表裏
面の蒸気干渉により両面の幅方向の付着量が不均一にな
ることが懸念されるが、我々が実施した実験結果では、
第５図に示す如く、蒸気量制御装置により表裏面の付着
量を独立に制御した場合、すなわちg1≠g2の場合でも、
制御量に応じた付着量を幅方向に均一に得られることが
わかった。
＜実 施 例＞ 以下、本発明を実施例に基づいて説明する。
第１図は一実施例に係る真空蒸着装置の正面図、第２図
はそのII−II線断面図、第３図は第１図のIII−III線断
面図、第４図は側面図を示す。これらの図面に示すよう
に、真空槽１内には蒸着材を蒸発するための蒸発槽２
と、この蒸発槽２の上方を覆うと共に水平方向外側へ延
設されるフード３が設けられている。フード３は蒸発槽
２を覆うフード本体3aと、このフード本体3aから水平方
向に突設されて２本の通路を形成する通路形成部3b,3c
と、これら通路形成部3b,3cの先端部上側へ連通して１
つの蒸着のための部屋を形成する延設部3dとからなり、
この延設部3dの上下側の中央部には被蒸着帯体である帯
鋼４の搬入口3e及び搬出口3fが形成されている。一方、
真空槽１のフード３の搬入口3e及び搬出口3fに対応する
位置にも帯鋼４の搬入口1a及び搬出口1bが形成されてお
り、搬入口1a及び搬出口1bにはシール装置5a,5bが設け
られている。そして、帯鋼４はシール装置5a,5bを介し
てフード３の延設部3dの中央部を上方から下方へ向って
搬送される。したがって、フード３の延設部3dは帯鋼４
により二分割されており、すなわち、帯鋼４の表面側
（第１図中右側とする）及び裏面側（第１図中左側とす
る）には各面にそれぞれ蒸着するためのチャンネル6a,6
bが形成されている。
はそのII−II線断面図、第３図は第１図のIII−III線断
面図、第４図は側面図を示す。これらの図面に示すよう
に、真空槽１内には蒸着材を蒸発するための蒸発槽２
と、この蒸発槽２の上方を覆うと共に水平方向外側へ延
設されるフード３が設けられている。フード３は蒸発槽
２を覆うフード本体3aと、このフード本体3aから水平方
向に突設されて２本の通路を形成する通路形成部3b,3c
と、これら通路形成部3b,3cの先端部上側へ連通して１
つの蒸着のための部屋を形成する延設部3dとからなり、
この延設部3dの上下側の中央部には被蒸着帯体である帯
鋼４の搬入口3e及び搬出口3fが形成されている。一方、
真空槽１のフード３の搬入口3e及び搬出口3fに対応する
位置にも帯鋼４の搬入口1a及び搬出口1bが形成されてお
り、搬入口1a及び搬出口1bにはシール装置5a,5bが設け
られている。そして、帯鋼４はシール装置5a,5bを介し
てフード３の延設部3dの中央部を上方から下方へ向って
搬送される。したがって、フード３の延設部3dは帯鋼４
により二分割されており、すなわち、帯鋼４の表面側
（第１図中右側とする）及び裏面側（第１図中左側とす
る）には各面にそれぞれ蒸着するためのチャンネル6a,6
bが形成されている。
一方、真空槽１の外部には大気中亜鉛溶解炉７が設けら
れており、この亜鉛溶解炉７と上記蒸発槽２とは、圧力
差により蒸発槽２内へ溶融亜鉛８を吸い上げるスノーケ
ル９で連結されている。また、蒸発槽２の上部にはスノ
ーケル９により吸い上げられた溶融亜鉛８を加熱するヒ
ータ10が配置されている。ヒータ10により加熱された溶
融亜鉛８は亜鉛蒸気11としてフード本体3a内へ蒸発する
が、この亜鉛蒸気11はフード本体3aに連通する通路形成
部3b,3cによりそれぞれ分割して導かれて延設部3d内の
帯鋼４の両側のチャンネル6a,6b内へ供給される。な
お、通路形成部3b,3cと延設部3dとの境界にはそれぞ
れ、延設部3dの中央側から外側方向へ延びる邪魔板3g,3
hが突設されており、チャンネル6a,6bへの蒸気の供給
が、外側下方から行われるようになっている。また、チ
ャンネル6a,6b内の蒸気の入口側には各チャンネル6a,6b
に供給される亜鉛蒸気11の量をそれぞれ制御する蒸気量
制御装置としてのシャッタ12a,12bが設けられている。
さらに、チャンネル6aの帯鋼４へ向っての開口である蒸
着口には、その開口面積を変化するため、可動板状部材
を図示しない駆動装置により面方向に移動することがで
きる蒸着面積制御装置13が設けられている。
れており、この亜鉛溶解炉７と上記蒸発槽２とは、圧力
差により蒸発槽２内へ溶融亜鉛８を吸い上げるスノーケ
ル９で連結されている。また、蒸発槽２の上部にはスノ
ーケル９により吸い上げられた溶融亜鉛８を加熱するヒ
ータ10が配置されている。ヒータ10により加熱された溶
融亜鉛８は亜鉛蒸気11としてフード本体3a内へ蒸発する
が、この亜鉛蒸気11はフード本体3aに連通する通路形成
部3b,3cによりそれぞれ分割して導かれて延設部3d内の
帯鋼４の両側のチャンネル6a,6b内へ供給される。な
お、通路形成部3b,3cと延設部3dとの境界にはそれぞ
れ、延設部3dの中央側から外側方向へ延びる邪魔板3g,3
hが突設されており、チャンネル6a,6bへの蒸気の供給
が、外側下方から行われるようになっている。また、チ
ャンネル6a,6b内の蒸気の入口側には各チャンネル6a,6b
に供給される亜鉛蒸気11の量をそれぞれ制御する蒸気量
制御装置としてのシャッタ12a,12bが設けられている。
さらに、チャンネル6aの帯鋼４へ向っての開口である蒸
着口には、その開口面積を変化するため、可動板状部材
を図示しない駆動装置により面方向に移動することがで
きる蒸着面積制御装置13が設けられている。
なお、フード３、シャッタ12a,12bは、図示しないヒー
タにより溶融亜鉛８の温度と同一又はそれ以上の温度に
加熱されており、各部材の内壁に亜鉛蒸気11が凝集して
付着するのが防止されている。また、大気中亜鉛溶解炉
７及びスノーケル９は図示しないヒータにより約450℃
に加熱されている。さらに、真空槽１は、真空ポンプＰ
により真空排気されると共にその雰囲気は窒素ガスとな
っており、圧力は亜鉛蒸着の場合で一般に0.01〜1Torr
に制御される。
タにより溶融亜鉛８の温度と同一又はそれ以上の温度に
加熱されており、各部材の内壁に亜鉛蒸気11が凝集して
付着するのが防止されている。また、大気中亜鉛溶解炉
７及びスノーケル９は図示しないヒータにより約450℃
に加熱されている。さらに、真空槽１は、真空ポンプＰ
により真空排気されると共にその雰囲気は窒素ガスとな
っており、圧力は亜鉛蒸着の場合で一般に0.01〜1Torr
に制御される。
次に、以上の構成の真空蒸着装置の作用を説明する。
大気中亜鉛溶解炉７から圧力差によりスノーケル９を介
して蒸発槽２内へ吸い上げられた溶融亜鉛８をヒータ10
により加熱して亜鉛蒸気11をチャンネル6a,6bへ導くと
共に、真空槽１の搬入口1aから帯鋼４をシール装置5aを
介して導入すると、チャンネル6aの中を飛来してきた亜
鉛蒸気11は帯鋼４の表面に、また、チャンネル6bの中を
飛来してきた亜鉛蒸気11は帯鋼４の裏面に、それぞれ蒸
着され、帯鋼４の両面に同時に亜鉛めっきが施される。
そして、亜鉛めっきが施された帯鋼4aは真空槽１の搬出
口1bに設けられたシール装置5bを経て真空槽１外へ導出
される。
して蒸発槽２内へ吸い上げられた溶融亜鉛８をヒータ10
により加熱して亜鉛蒸気11をチャンネル6a,6bへ導くと
共に、真空槽１の搬入口1aから帯鋼４をシール装置5aを
介して導入すると、チャンネル6aの中を飛来してきた亜
鉛蒸気11は帯鋼４の表面に、また、チャンネル6bの中を
飛来してきた亜鉛蒸気11は帯鋼４の裏面に、それぞれ蒸
着され、帯鋼４の両面に同時に亜鉛めっきが施される。
そして、亜鉛めっきが施された帯鋼4aは真空槽１の搬出
口1bに設けられたシール装置5bを経て真空槽１外へ導出
される。
ここで、チャンネル6a,6bへ導かれる亜鉛蒸気11の量は
シャッタ12a,12bによりそれぞれ制御され、例えば帯鋼
４の表面の付着量としてg1g/m2が、また、裏面の付着量
としてg2g/m2がそれぞれチャンネル6a,6bへ供給され
る。
シャッタ12a,12bによりそれぞれ制御され、例えば帯鋼
４の表面の付着量としてg1g/m2が、また、裏面の付着量
としてg2g/m2がそれぞれチャンネル6a,6bへ供給され
る。
このとき、表面と裏面の蒸着量が同一の場合、すなわち
g1＝g2の場合はこのまま連続的に蒸着を行えばよい。
g1＝g2の場合はこのまま連続的に蒸着を行えばよい。
しかし、表面と裏面とで蒸着量が異なる差厚めっきの場
合には、蒸着面積制御装置13によりチャンネル6aの蒸着
面積を適宜調整する。すなわち、 の場合、帯鋼４の表面側の蒸着口蒸気圧力P1と裏面側の
蒸着口蒸気圧力P2とを同一圧力とするために、蒸着面積
制御装置13を作動させて表面側の蒸着面積を裏面の蒸着
面積に対してg1/g2（例えば1/10）の比となるように調
整する。これにより、P1＝P2となり、帯鋼４の表面側及
び裏面側の蒸着口近傍における蒸気干渉が解消され、帯
鋼４の板幅方向の付着分布が均一なものとなる。
合には、蒸着面積制御装置13によりチャンネル6aの蒸着
面積を適宜調整する。すなわち、 の場合、帯鋼４の表面側の蒸着口蒸気圧力P1と裏面側の
蒸着口蒸気圧力P2とを同一圧力とするために、蒸着面積
制御装置13を作動させて表面側の蒸着面積を裏面の蒸着
面積に対してg1/g2（例えば1/10）の比となるように調
整する。これにより、P1＝P2となり、帯鋼４の表面側及
び裏面側の蒸着口近傍における蒸気干渉が解消され、帯
鋼４の板幅方向の付着分布が均一なものとなる。
また、帯鋼４の片面のみに蒸着を施す場合には、g1＝０
にするためにシャッタ12aを完全閉として、第１図中左
側のチャンネル6bのみを用いて蒸着を行う。
にするためにシャッタ12aを完全閉として、第１図中左
側のチャンネル6bのみを用いて蒸着を行う。
なお、上記実施例の真空蒸着装置では、差厚めっきある
いは片面めっきを行うためにシャッタ12a,12bを設けて
いるが、両面に対して均一な蒸着のみを行う場合にはこ
れらの装置を設ける必要はない。
いは片面めっきを行うためにシャッタ12a,12bを設けて
いるが、両面に対して均一な蒸着のみを行う場合にはこ
れらの装置を設ける必要はない。
また、上記実施例ではシャッタ12a,12bを帯鋼４の両側
に設けているが、いずれか一面に設けてもよいことは言
うまでもない。
に設けているが、いずれか一面に設けてもよいことは言
うまでもない。
以上説明した真空蒸着装置では、１つの真空槽１内に蒸
着口が帯鋼４を境にして相対向した蒸着装置が２個設け
られていることになり、帯鋼４の表裏面へ同時に蒸着す
ることができる。また、この場合、蒸気を発生させる蒸
発槽２は１つであり、蒸着材としての亜鉛を蒸発槽２に
供給する大気中亜鉛溶解炉７も１つであり、従来のもの
に比べて設備費の低減が図られている。
着口が帯鋼４を境にして相対向した蒸着装置が２個設け
られていることになり、帯鋼４の表裏面へ同時に蒸着す
ることができる。また、この場合、蒸気を発生させる蒸
発槽２は１つであり、蒸着材としての亜鉛を蒸発槽２に
供給する大気中亜鉛溶解炉７も１つであり、従来のもの
に比べて設備費の低減が図られている。
さらに、上記真空蒸着装置では、蒸着を行うチャンネル
部分と、蒸発を行う蒸発槽部分とが分離されているの
で、蒸発槽２のライニング交換等の保守作業が容易であ
り、また、保守に要する費用も低減できるという効果も
奏する。
部分と、蒸発を行う蒸発槽部分とが分離されているの
で、蒸発槽２のライニング交換等の保守作業が容易であ
り、また、保守に要する費用も低減できるという効果も
奏する。
なお、上記実施例では亜鉛の帯鋼への蒸着を例にとって
説明したが、他の金属やセラミックス等の蒸着にも適用
できるのは勿論である。
説明したが、他の金属やセラミックス等の蒸着にも適用
できるのは勿論である。
＜発明の効果＞ 以上説明したように、本発明の真空蒸着装置は、真空
槽、大気中溶解炉、蒸発槽等を２基から１基へ減らすと
共に巻付きロールを排除したので、設備がコンパクトに
なり、省スペース、コスト低減を図ることができる。ま
た、従来の巻付きロール方式ではロールに帯体が接触す
ることに起因しためっき面の傷、模様等生じていたが、
これが完全に無くなり、従来実施していた巻付きロール
の保守に要する費用の低減が図れると共に製品の品質向
上を図ることができる。
槽、大気中溶解炉、蒸発槽等を２基から１基へ減らすと
共に巻付きロールを排除したので、設備がコンパクトに
なり、省スペース、コスト低減を図ることができる。ま
た、従来の巻付きロール方式ではロールに帯体が接触す
ることに起因しためっき面の傷、模様等生じていたが、
これが完全に無くなり、従来実施していた巻付きロール
の保守に要する費用の低減が図れると共に製品の品質向
上を図ることができる。
さらに、蒸気を制御する蒸気量制御装置を設けることに
より、差厚めっきの際にも帯体の表裏面側の蒸気の干渉
が防止され、蒸着量分布の乱れのない高品質の製品を得
ることができる。
より、差厚めっきの際にも帯体の表裏面側の蒸気の干渉
が防止され、蒸着量分布の乱れのない高品質の製品を得
ることができる。
第１図は一実施例に係る真空蒸着装置の正面図、第２図
及び第３図はそのII−II線及びIII−III線断面図、第４
図はその側面図、第５図は蒸着実験の一例を示す図、第
６図及び第７図はそれぞれ従来技術に係る真空蒸着装置
を示す説明図である。 図面中、 １は真空槽、 ２は蒸発槽、 ３はフード、 3aはフード本体、 3b,3cは通路形成部、 3dは延設部、 3eは搬入口、 3fは搬出口、 3gは邪魔板、 ４は帯鋼、 5a,5bはシール装置、 6a,6bはチャンネル、 ７は大気中亜鉛溶解炉、 ８は溶融亜鉛、 ９はスノーケル、 10はヒータ、 11は亜鉛蒸気、 12a,12bはシャッタ、 13は蒸着面積制御装置である。
及び第３図はそのII−II線及びIII−III線断面図、第４
図はその側面図、第５図は蒸着実験の一例を示す図、第
６図及び第７図はそれぞれ従来技術に係る真空蒸着装置
を示す説明図である。 図面中、 １は真空槽、 ２は蒸発槽、 ３はフード、 3aはフード本体、 3b,3cは通路形成部、 3dは延設部、 3eは搬入口、 3fは搬出口、 3gは邪魔板、 ４は帯鋼、 5a,5bはシール装置、 6a,6bはチャンネル、 ７は大気中亜鉛溶解炉、 ８は溶融亜鉛、 ９はスノーケル、 10はヒータ、 11は亜鉛蒸気、 12a,12bはシャッタ、 13は蒸着面積制御装置である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田口 俊夫 広島県広島市西区観音新町４丁目６番22号 三菱重工業株式会社広島研究所内 (72)発明者 森山 義輝 大阪府堺市石津西町５番地 日新製鋼株式 会社堺製造所内 (72)発明者 迫 満彦 大阪府堺市石津西町５番地 日新製鋼株式 会社堺製造所内 (72)発明者 愛甲 琢哉 大阪府堺市石津西町５番地 日新製鋼株式 会社堺製造所内 (72)発明者 嘉村 真司 大阪府堺市石津西町５番地 日新製鋼株式 会社堺製造所内 (72)発明者 古川 平三郎 広島県広島市西区南観音６丁目４番31号 株式会社リョーセンエンジニアズ内 (56)参考文献 特開 平１−184270（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−204374（ＪＰ，Ａ) 特開 平２−4963（ＪＰ，Ａ)
Claims (2)
- 【請求項１】亜鉛を保持し蒸発する蒸発槽と、 この蒸発槽の上方を覆うと共にその水平方向外側まで延
設され上記亜鉛の蒸気を搬送される被蒸着帯体の表面に
排出する延設部を有し相対向する一対のフードと、 このフードの上記蒸発槽に対して外側の延設部の対向中
央部を貫通するよう開口された被蒸着帯体の搬出入口
と、 上記蒸発槽及び上記フードの全体を覆うと共に当該フー
ドの搬出入口と対応する被蒸着帯体の搬送位置に上記被
蒸着帯体の搬出入用のシール装置を有する真空槽とを具
え、 上記フードの延設部内にて上記被蒸着帯体の表裏両面に
同時に蒸着を行うことを特徴とする真空蒸着装置。 - 【請求項２】亜鉛を保持し蒸発する蒸発槽と、 この蒸発槽の上方を覆うと共にその水平方向外側まで延
設され上記亜鉛の蒸気を搬送される被蒸着帯体の表面に
排出する延設部を有し相対向する一対のフードと、 このフードの上記蒸発槽に対して外側の延設部の対向中
央部を貫通するよう開口された被蒸着帯体の搬出入口
と、 上記蒸発槽及び上記フードの全体を覆うと共に当該フー
ドの搬出入口と対応する被蒸着帯体の搬送位置に上記被
蒸着帯体の搬出入用のシール装置を有する真空槽と、 上記フード内の上記被蒸着帯体の表裏両側へ導かれる亜
鉛の蒸気量を制御する蒸気量制御装置とを具え 上記フードの延設部内にて上記被蒸着帯体の表裏両面に
対して厚みを変えた蒸着を行うことを特徴とする真空蒸
着装置。
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2257430A JPH0762239B2 (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | 真空蒸着装置 |
| DE199191110103T DE477474T1 (de) | 1990-09-28 | 1991-06-19 | Vorrichtung zum vakuum-aufdampfen. |
| CA002044976A CA2044976C (en) | 1990-09-28 | 1991-06-19 | Vacuum vapor deposition apparatus |
| EP91110103A EP0477474B1 (en) | 1990-09-28 | 1991-06-19 | Vacuum vapor deposition apparatus |
| DE69104000T DE69104000T2 (de) | 1990-09-28 | 1991-06-19 | Vorrichtung zum Vakuum-Aufdampfen. |
| AU83486/91A AU631074B2 (en) | 1990-09-28 | 1991-08-29 | Vacuum vapor deposition apparatus |
| KR1019910016902A KR940001031B1 (ko) | 1990-09-28 | 1991-09-27 | 진공증착장치 |
| US07/766,766 US5169451A (en) | 1990-09-28 | 1991-09-27 | Vacuum vapor deposition apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2257430A JPH0762239B2 (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | 真空蒸着装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04136169A JPH04136169A (ja) | 1992-05-11 |
| JPH0762239B2 true JPH0762239B2 (ja) | 1995-07-05 |
Family
ID=17306258
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2257430A Expired - Fee Related JPH0762239B2 (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | 真空蒸着装置 |
Country Status (7)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5169451A (ja) |
| EP (1) | EP0477474B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0762239B2 (ja) |
| KR (1) | KR940001031B1 (ja) |
| AU (1) | AU631074B2 (ja) |
| CA (1) | CA2044976C (ja) |
| DE (2) | DE69104000T2 (ja) |
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|---|---|---|---|---|
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| WO1996035822A1 (fr) * | 1995-05-10 | 1996-11-14 | Centre De Recherches Metallurgiques - Centrum Voor Research In De Metallurgie | Dispositif et installation pour revetir une bande d'acier |
| AUPO712097A0 (en) * | 1997-05-30 | 1997-06-26 | Lintek Pty Ltd | Vacuum deposition system |
| DE10128091C1 (de) * | 2001-06-11 | 2002-10-02 | Applied Films Gmbh & Co Kg | Vorrichtung für die Beschichtung eines flächigen Substrats |
| DE102004001884A1 (de) * | 2004-01-14 | 2005-08-11 | Applied Films Gmbh & Co. Kg | Verdampfungseinrichtung für sublimierende Materialien |
| PL1752554T3 (pl) * | 2005-07-28 | 2008-03-31 | Applied Mat Gmbh & Co Kg | Urządzenie do naparowywania |
| EP1967604A1 (en) * | 2007-03-08 | 2008-09-10 | Applied Materials, Inc. | Evaporation crucible and evaporation apparatus with directional evaporation |
| US8323408B2 (en) * | 2007-12-10 | 2012-12-04 | Solopower, Inc. | Methods and apparatus to provide group VIA materials to reactors for group IBIIIAVIA film formation |
| US8628617B2 (en) * | 2008-12-03 | 2014-01-14 | First Solar, Inc. | System and method for top-down material deposition |
| WO2011065998A1 (en) * | 2008-12-18 | 2011-06-03 | Veeco Instruments Inc. | Linear deposition source |
| DE102020119155A1 (de) * | 2020-07-21 | 2022-01-27 | Voestalpine Stahl Gmbh | Verfahren zum Abscheiden von metallischen Werkstoffen |
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|---|---|---|---|---|
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| AU559722B2 (en) * | 1984-02-08 | 1987-03-19 | Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha | A combined plating apparatus for hot dip plating and vacuum deposition plating |
| JPS6173875A (ja) * | 1984-09-17 | 1986-04-16 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 流路幅調整板付き真空蒸着装置 |
| AU585531B2 (en) * | 1984-09-17 | 1989-06-22 | Mitsubishi Jukogyo Kabushiki Kaisha | Method and apparatus for vacuum deposition plating |
| JPS6179755A (ja) * | 1984-09-28 | 1986-04-23 | Nisshin Steel Co Ltd | 溶融めつき真空蒸着めつき兼用の連続めつき装置 |
| JPS61204374A (ja) * | 1985-03-08 | 1986-09-10 | Hitachi Maxell Ltd | 蒸着方法ならびに蒸着装置 |
| JPH0745712B2 (ja) * | 1988-01-18 | 1995-05-17 | 三菱重工業株式会社 | 真空蒸着装置 |
| JPH01225768A (ja) * | 1988-03-04 | 1989-09-08 | Hitachi Maxell Ltd | 両面同時蒸着装置 |
| JPH024963A (ja) * | 1988-06-23 | 1990-01-09 | Kawasaki Steel Corp | イオンプレーティング装置 |
-
1990
- 1990-09-28 JP JP2257430A patent/JPH0762239B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1991
- 1991-06-19 DE DE69104000T patent/DE69104000T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-06-19 DE DE199191110103T patent/DE477474T1/de active Pending
- 1991-06-19 EP EP91110103A patent/EP0477474B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-06-19 CA CA002044976A patent/CA2044976C/en not_active Expired - Fee Related
- 1991-08-29 AU AU83486/91A patent/AU631074B2/en not_active Ceased
- 1991-09-27 KR KR1019910016902A patent/KR940001031B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1991-09-27 US US07/766,766 patent/US5169451A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0477474A1 (en) | 1992-04-01 |
| US5169451A (en) | 1992-12-08 |
| AU631074B2 (en) | 1992-11-12 |
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| DE477474T1 (de) | 1992-09-03 |
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| DE69104000D1 (de) | 1994-10-20 |
| DE69104000T2 (de) | 1995-05-04 |
| AU8348691A (en) | 1992-04-16 |
| EP0477474B1 (en) | 1994-09-14 |
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