KR920006535A - 진공증착장치 - Google Patents

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KR920006535A
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켕이찌 야나기
토시오 다구찌
요시테루 모리야마
미쯔히꼬 사꼬
다꾸야 아이꼬
신지 카무라
헤이사부로 후루카와
켕지 아타라시야
세이지 요꼬로
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우에다 쇼오지
미쯔비시주우고오교오 가부시기가이샤
카이 쯔요시
닛신세이코 가부시기가이샤
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    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
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Abstract

내용 없음

Description

진공증착장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 제1실시예에 의한 진공증착장치 단면도,
제2도는 제1도의 Ⅱ-Ⅱ선 단면도,
제3도는 제1도의 Ⅲ-Ⅲ선 단면도.

Claims (5)

  1. 증착재를 보유하고 증발하는 증발조와, 이 증발조의 윗쪽을 덮음과 동시에 그 수평방향 외측까지 연장설치된 후드와, 이 후드의 상기 증발조에 대해서 외측의 연장설치부분의 중앙부를 관통하도록 열려진 피증착대체의 반출입구와, 상기 증발조 및 상기 후드의 전체를 덮음과 동시에 당해 후드의 반출입구에 대응하는 위치에 상기 피증착대체의 반출입용의 밀봉장치를 가지는 진공조를 구비해서, 상기 후드내에서 상기 피증착대체의 표리양면에 동시에 증착을 행하는 것을 특징으로 하는 진공증착장치.
  2. 증착제를 보유하고 증발하는 증발조와, 이 증발조의 윗쪽을 덮음과 동시에 그 수평방향 외측까지 연장설치된 후드와,이 후드의 상기 증발조에 대해서 외측의 연장설치부분의 중앙부를 관통하도록 열려진 피증착대체의 반출입구와, 상기 증발조 및 상기 후드의 전체를 덮음과 동시에 당해 후드의 반출입구와 대응하는 위치에 상기 피증착대체의 반출입용의 밀봉장치를 가지는 진공조와, 상기 후드내의 상기 피증착 대체의 표리양측에 유도되는 증발재의 증기를 제어하는 증기량제어장치와, 상기 후드내의 상기 피증착대체의 표리측의 적어도 한쪽에 설치됨과 동시에 당해 피증착대체의 증착면적을 제어하는 증착면적제어장치를 구비해서, 상기 후드내에서 상기 피증착대체의 표리면에 대하여 변화시킬수 있는 증착을 행하는 것을 특징으로 하는 진공증착장치.
  3. 증착재를 보유하고 증발하는 증발조와, 이 증발조의 윗쪽을 덮음과 동시에 그 수평방향 외측까지 연장설치된 후드와, 이 후드의 상기 증발조에 대해서 외측의 연장설치부분의 중앙부를 관통하도록 열려진 피증착대체의 반출입구와, 상기 증발조 및 상기 후드의 전체를 덮음과 동시에 당해 후드의 반출입구에 대응하는 위치에 상기 피증축대체의 반출입용의 밀봉장치를 가지는 진공조와, 상기 후드내의 상기 피증착 대체의 표리양측에 유도되는 증발재의 증기를 제어하는 중기량제어장치를 구비해서, 상기 후드내에서 상기 피증측대체의 두께로 변화시킬수 있는 증착을 행하는 것을 특징으로 하는 진공증착장치.
  4. 제1항,2항 또는 3항에 있어서, 후드는, 증발조를 덮는 후드본체와 동 후드본체로부터 수평방향에 돌출설치된 2본의 증발재증기의 통로를 형성하는 증기통로형성부와, 동증기통로형성부의 선단부 상부를 통해서 증착을 위한 방을 형성하는 연장설치부를 구비하여, 동연장설치부의 상하측의 중앙부에 피증착대체를 반출입구가 구비된 것을 특징으로 하는 진공증착장치.
  5. 제4항에 있어서, 증기통로형성부와 연장설치부와의 경계에는, 각각 연장설치부의 중앙측으로 부터 외측에 뻗는 베풀판이 설치되어, 동배플판의 하측 바깥측으로 부터 연장설치부내의 증착을 위한 방에 증발재증기가 공급되는 것을 특징으로 하는 진공증착장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019910016902A 1990-09-28 1991-09-27 진공증착장치 KR940001031B1 (ko)

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