JP3281707B2 - 真空蒸着装置 - Google Patents
真空蒸着装置Info
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- JP3281707B2 JP3281707B2 JP01338494A JP1338494A JP3281707B2 JP 3281707 B2 JP3281707 B2 JP 3281707B2 JP 01338494 A JP01338494 A JP 01338494A JP 1338494 A JP1338494 A JP 1338494A JP 3281707 B2 JP3281707 B2 JP 3281707B2
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- vacuum
- crucible
- electron gun
- vapor
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、真空室内で走行する基
板に金属磁性材料等の蒸着材を真空蒸着する装置に関す
る。
板に金属磁性材料等の蒸着材を真空蒸着する装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の真空蒸着装置の一例を図２に示
す。同図に示すように、真空室０２内において、払出し
ロール０１６から払出された薄帯状の基板０１を冷却ロ
ール０３に巻回・走行させて巻取りロール０１７に巻取
りながら、るつぼ０５内の蒸着材料０６（例えばコバル
ト、ニッケル等）に電子銃０４から電子ビーム０４ａを
照射させて加熱・蒸発させ、隔壁０１２，０１１の区間
を通過する間に真空蒸着する。
す。同図に示すように、真空室０２内において、払出し
ロール０１６から払出された薄帯状の基板０１を冷却ロ
ール０３に巻回・走行させて巻取りロール０１７に巻取
りながら、るつぼ０５内の蒸着材料０６（例えばコバル
ト、ニッケル等）に電子銃０４から電子ビーム０４ａを
照射させて加熱・蒸発させ、隔壁０１２，０１１の区間
を通過する間に真空蒸着する。
【０００３】この際蒸着材料０６の蒸気流通路は、同材
料が所定温度に上るまではシャッター０１０で閉じら
れ、蒸着開始と共に開放される。
料が所定温度に上るまではシャッター０１０で閉じら
れ、蒸着開始と共に開放される。
【０００４】また、るつぼ０５の両端に配置したポール
ピース０８間には電磁石０７によって磁場が形成されて
おり、電子銃０４から発射された電子ビーム０４ａの照
射角を偏向して、るつぼ０５内の蒸着材料０６に正しく
照射させるようになっている。
ピース０８間には電磁石０７によって磁場が形成されて
おり、電子銃０４から発射された電子ビーム０４ａの照
射角を偏向して、るつぼ０５内の蒸着材料０６に正しく
照射させるようになっている。
【０００５】更に、るつぼ０５と隔壁０１１間には還流
板０９が設けられていて、るつぼ０５から発生する蒸気
の飛散を防止すると共に、付着した無効蒸気を回収する
ようになっている。
板０９が設けられていて、るつぼ０５から発生する蒸気
の飛散を防止すると共に、付着した無効蒸気を回収する
ようになっている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】前述した図２に示す、
従来の装置は、るつぼ０５を冷却ロール０３に近づけて
装置の小型化、コンパクト化が図れるなどの理由から、
一般に、るつぼ０５から見て電子銃０４はシャッター０
１０側に、従って還流板０９は反シャッター側に配置さ
れている。
従来の装置は、るつぼ０５を冷却ロール０３に近づけて
装置の小型化、コンパクト化が図れるなどの理由から、
一般に、るつぼ０５から見て電子銃０４はシャッター０
１０側に、従って還流板０９は反シャッター側に配置さ
れている。
【０００７】ところが、この機器配置ではるつぼ０５か
ら発生する磁性金属蒸気が真空蒸着中に”開”位置にあ
るシャッター０１０に付着し、この付着金属の影響を受
けて電磁石０７によって形成されたポールピース０８間
の磁場が乱され、このため電子ビーム０４ａの偏向調整
が煩雑となって蒸着作業に支障を来すという問題があ
る。
ら発生する磁性金属蒸気が真空蒸着中に”開”位置にあ
るシャッター０１０に付着し、この付着金属の影響を受
けて電磁石０７によって形成されたポールピース０８間
の磁場が乱され、このため電子ビーム０４ａの偏向調整
が煩雑となって蒸着作業に支障を来すという問題があ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決する本発
明に係る真空蒸着装置の構成は、真空室内で、冷却ロー
ルに巻回・走行する基板に、電子銃から発射した電子ビ
ームによって加熱・蒸発させた金属磁性材料を真空蒸着
する真空蒸着装置において、冷却ロールの真下よりずれ
た下側位置の真空室内に上記金属磁性材料用るつぼを配
置し、冷却ロールの中心を挟んで金属磁性材料用るつぼ
が配置されていない側の真空室の側壁に電子銃を設け、
基板への蒸着区間を規制する隔壁を冷却ロールの下側で
且つ電子銃の上側に設け、金属磁性材料用るつぼに対向
する側の隔壁をマスクにより被覆し、冷却ロールの中心
を挟んで電子銃が設けられていない側における金属磁性
材料用るつぼに無効蒸気回収用の還流板及び蒸気通路を
開閉するシャッタを設け、マスクは蒸気付着部分の移動
により隔壁の金属磁性材料用るつぼと対向する面を覆う
部位が未蒸着部と入れ替わる状態とされていることを特
徴とする。
明に係る真空蒸着装置の構成は、真空室内で、冷却ロー
ルに巻回・走行する基板に、電子銃から発射した電子ビ
ームによって加熱・蒸発させた金属磁性材料を真空蒸着
する真空蒸着装置において、冷却ロールの真下よりずれ
た下側位置の真空室内に上記金属磁性材料用るつぼを配
置し、冷却ロールの中心を挟んで金属磁性材料用るつぼ
が配置されていない側の真空室の側壁に電子銃を設け、
基板への蒸着区間を規制する隔壁を冷却ロールの下側で
且つ電子銃の上側に設け、金属磁性材料用るつぼに対向
する側の隔壁をマスクにより被覆し、冷却ロールの中心
を挟んで電子銃が設けられていない側における金属磁性
材料用るつぼに無効蒸気回収用の還流板及び蒸気通路を
開閉するシャッタを設け、マスクは蒸気付着部分の移動
により隔壁の金属磁性材料用るつぼと対向する面を覆う
部位が未蒸着部と入れ替わる状態とされていることを特
徴とする。
【０００９】
【作用】前記構成において、るつぼと電子銃との間に、
任意に新規補充ができるマスクを設け、基板に対する蒸
着区間を規制するための隔壁を被覆するようにしたの
で、るつぼから発生する磁性金属蒸気の一部の無効蒸気
はこのマスクに付着して除去され、これによって電磁石
によって形成された電子ビーム偏向用の磁場が上記磁性
無効蒸気の影響を受けなくなり、電子銃から発射された
電子ビームはるつぼ内の蒸着材料に正しく照射される。
任意に新規補充ができるマスクを設け、基板に対する蒸
着区間を規制するための隔壁を被覆するようにしたの
で、るつぼから発生する磁性金属蒸気の一部の無効蒸気
はこのマスクに付着して除去され、これによって電磁石
によって形成された電子ビーム偏向用の磁場が上記磁性
無効蒸気の影響を受けなくなり、電子銃から発射された
電子ビームはるつぼ内の蒸着材料に正しく照射される。
【００１０】また、るつぼの反電子銃側に設けた還流板
によって蒸気の飛散が防止されてシャッターに付着しな
くなり、また還流板に付着した無効蒸気は別途回収され
る。
によって蒸気の飛散が防止されてシャッターに付着しな
くなり、また還流板に付着した無効蒸気は別途回収され
る。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の好適な一実施例を図面を参照
して説明する。図１は本実施例に係る真空蒸着装置の要
部構成を示す。図１中、２は真空室であり、該真空室２
内にはガイドロール１３を介して導入された基板１を巻
回・走行させる冷却ロール３及び冷却ロール３の真下よ
り少し（図では左方に）ずらした位置に金属磁性材料６
を収納したるつぼ５が設置され、真空室２の（図では右
方）側壁に設けた電子銃４より電子ビーム４ａを発射し
て金属磁性材料６を加熱・蒸発させるようになってい
る。この際、るつぼ５に沿って設けた電磁石７及び一対
のポールピース８によって磁場を形成し、この磁場によ
って電子ビーム４ａの照射方向を偏向して金属磁性材料
６に正しく照射させるようになっている。
して説明する。図１は本実施例に係る真空蒸着装置の要
部構成を示す。図１中、２は真空室であり、該真空室２
内にはガイドロール１３を介して導入された基板１を巻
回・走行させる冷却ロール３及び冷却ロール３の真下よ
り少し（図では左方に）ずらした位置に金属磁性材料６
を収納したるつぼ５が設置され、真空室２の（図では右
方）側壁に設けた電子銃４より電子ビーム４ａを発射し
て金属磁性材料６を加熱・蒸発させるようになってい
る。この際、るつぼ５に沿って設けた電磁石７及び一対
のポールピース８によって磁場を形成し、この磁場によ
って電子ビーム４ａの照射方向を偏向して金属磁性材料
６に正しく照射させるようになっている。
【００１２】また、るつぼ５から見て反電子銃４側の上
方には、るつぼ５から発生する金属蒸気６ａの流通路を
開閉するシャッター１０及び蒸気の飛散を防止すると共
に、付着した無効蒸気を回収する還流板９が設置され、
更に冷却ロール３の周囲には蒸気６ａの基板１に対する
蒸着区間を規制する隔壁１１及び１２が設置されてお
り、基板１には区間ａ−ｂを通過する間に真空蒸着が施
される。
方には、るつぼ５から発生する金属蒸気６ａの流通路を
開閉するシャッター１０及び蒸気の飛散を防止すると共
に、付着した無効蒸気を回収する還流板９が設置され、
更に冷却ロール３の周囲には蒸気６ａの基板１に対する
蒸着区間を規制する隔壁１１及び１２が設置されてお
り、基板１には区間ａ−ｂを通過する間に真空蒸着が施
される。
【００１３】そして、この隔壁１１の先端部を被覆する
ようにマスク１４ａ，１４ｂが設置されており、無効蒸
気が隔壁１１に付着するのを防止すると共に、無効蒸気
が付着した部分は巻取りロール１５ａ，１５ｂで巻取っ
て除去し、常時新規部分で隔壁１１を被覆するようにな
っている。
ようにマスク１４ａ，１４ｂが設置されており、無効蒸
気が隔壁１１に付着するのを防止すると共に、無効蒸気
が付着した部分は巻取りロール１５ａ，１５ｂで巻取っ
て除去し、常時新規部分で隔壁１１を被覆するようにな
っている。
【００１４】次に、本実施例の真空蒸着装置の作用を説
明する。電子銃４から発射された電子ビーム４ａがるつ
ぼ５内の金属磁性材料６に照射されて同材料を加熱・蒸
発させる。真空蒸着作業が開始され、蒸気流通路を閉鎖
していたシャッター１０が開かれると、金属蒸気６ａは
この蒸気流通路を上昇し、冷却ロール３に巻回して走行
する基板１に対して区間ａ−ｂにおいて真空蒸着が施さ
れてその表面に所定厚さの金属磁性層が連続して形成さ
れる。
明する。電子銃４から発射された電子ビーム４ａがるつ
ぼ５内の金属磁性材料６に照射されて同材料を加熱・蒸
発させる。真空蒸着作業が開始され、蒸気流通路を閉鎖
していたシャッター１０が開かれると、金属蒸気６ａは
この蒸気流通路を上昇し、冷却ロール３に巻回して走行
する基板１に対して区間ａ−ｂにおいて真空蒸着が施さ
れてその表面に所定厚さの金属磁性層が連続して形成さ
れる。
【００１５】このとき、るつぼ５から発生する金属蒸気
６ａは蒸気流通路を上昇する際に、その一部は還流板９
に付着し、或いは隔壁１１を被覆しているマスク１４
ａ，１４ｂに付着するが、このうち、還流板９に付着し
た無効蒸気は別途回収される。また還流板９に妨げられ
て、無効蒸気が”閉”位置のシャッター１０に付着しな
くなる。
６ａは蒸気流通路を上昇する際に、その一部は還流板９
に付着し、或いは隔壁１１を被覆しているマスク１４
ａ，１４ｂに付着するが、このうち、還流板９に付着し
た無効蒸気は別途回収される。また還流板９に妨げられ
て、無効蒸気が”閉”位置のシャッター１０に付着しな
くなる。
【００１６】一方、マスク１４ａ，１４ｂに磁性無効蒸
気が付着した状態で放置しておくと、シャッター１０に
付着した場合と同様にるつぼ５まわりに形成された磁場
が乱されて電子ビーム４ａが正しく偏向されなくなり、
その調整が煩雑となる。そこで、巻取りロール１５ａ，
１５ｂを作動して真空蒸着中に適宜、蒸気の付着した部
分を巻取り、蒸気の付着しない或いは付着がごく少ない
部分で隔壁１１を常時被覆することにより、磁場が乱さ
れなくなり、従って、電子ビーム４ａはるつぼ５内の蒸
着材料に正しく照射される。
気が付着した状態で放置しておくと、シャッター１０に
付着した場合と同様にるつぼ５まわりに形成された磁場
が乱されて電子ビーム４ａが正しく偏向されなくなり、
その調整が煩雑となる。そこで、巻取りロール１５ａ，
１５ｂを作動して真空蒸着中に適宜、蒸気の付着した部
分を巻取り、蒸気の付着しない或いは付着がごく少ない
部分で隔壁１１を常時被覆することにより、磁場が乱さ
れなくなり、従って、電子ビーム４ａはるつぼ５内の蒸
着材料に正しく照射される。
【００１７】
【発明の効果】以上、実施例と共に詳細に説明したよう
に、本発明の真空蒸着装置によると、任意に新規補充が
できるマスクで蒸着区間を規制するための隔壁を被覆す
るようにしたので、るつぼから発生する磁性金属蒸気の
一部の無効蒸気はこのマスクに付着し、またこのマスク
の蒸気付着部分は適宜巻取られて隔壁は常時新規部分で
被覆されるようになり、その結果電子ビーム偏向用の磁
場が磁性無効蒸気の影響を受けなくなり、電子銃から発
射された電子ビームは正しくるつぼ内の蒸着材料に照射
されるようになる。
に、本発明の真空蒸着装置によると、任意に新規補充が
できるマスクで蒸着区間を規制するための隔壁を被覆す
るようにしたので、るつぼから発生する磁性金属蒸気の
一部の無効蒸気はこのマスクに付着し、またこのマスク
の蒸気付着部分は適宜巻取られて隔壁は常時新規部分で
被覆されるようになり、その結果電子ビーム偏向用の磁
場が磁性無効蒸気の影響を受けなくなり、電子銃から発
射された電子ビームは正しくるつぼ内の蒸着材料に照射
されるようになる。
【００１８】また、るつぼの反電子銃側に設けた還流板
によって蒸気の飛散が防止されてシャッターへの付着が
なくなり、また還流板に付着した無効蒸気は別途回収さ
れて再利用されるなどの効果がある。
によって蒸気の飛散が防止されてシャッターへの付着が
なくなり、また還流板に付着した無効蒸気は別途回収さ
れて再利用されるなどの効果がある。
【図１】本発明の一実施例に係る真空蒸着装置の要部構
成図である。
成図である。
【図２】従来の真空蒸着装置の概略図である。
１ 基板 ２ 真空室 ３ 冷却ロール ４ 電子銃 ４ａ 電子ビーム ５ るつぼ ６ 金属磁性材料 ６ａ 金属蒸気 ７ 電磁石 ８ ポールピース ９ 還流板 １０ シャッター １１，１２ 隔壁 １３ ガイドロール １４ａ，１４ｂ マスク １５ａ，１５ｂ 巻取りロール
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 新屋 謙治 広島県広島市西区観音新町四丁目６番22 号 三菱重工業株式会社 広島研究所内 (72)発明者 沖田 肇 広島県広島市西区観音新町四丁目６番22 号 三菱重工業株式会社 広島研究所内 (56)参考文献 特開 平７−98863（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−98862（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−235060（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) C23C 14/00 - 14/58
Claims (1)
- 【請求項１】 真空室内で、冷却ロールに巻回・走行す
る基板に、電子銃から発射した電子ビームによって加熱
・蒸発させた金属磁性材料を真空蒸着する真空蒸着装置
において、冷却ロールの真下よりずれた下側位置の真空室内に上記
金属磁性材料用るつぼを配置し、冷却ロールの中心を挟
んで金属磁性材料用るつぼが配置されていない側の真空
室の側壁に電子銃を設け、基板への蒸着区間を規制する
隔壁を冷却ロールの下側で且つ電子銃の上側に設け、金
属磁性材料用るつぼに対向する側の隔壁をマスクにより
被覆し、冷却ロールの中心を挟んで電子銃が設けられて
いない側における金属磁性材料用るつぼに無効蒸気回収
用の還流板及び蒸気通路を開閉するシャッタを設け、 マスクは蒸気付着部分の移動により隔壁の金属磁性材料
用るつぼと対向する面を覆う部位が未蒸着部と入れ替わ
る状態とされている ことを特徴とする真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01338494A JP3281707B2 (ja) | 1994-02-07 | 1994-02-07 | 真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP01338494A JP3281707B2 (ja) | 1994-02-07 | 1994-02-07 | 真空蒸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07216538A JPH07216538A (ja) | 1995-08-15 |
| JP3281707B2 true JP3281707B2 (ja) | 2002-05-13 |
Family
ID=11831604
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP01338494A Expired - Fee Related JP3281707B2 (ja) | 1994-02-07 | 1994-02-07 | 真空蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3281707B2 (ja) |
-
1994
- 1994-02-07 JP JP01338494A patent/JP3281707B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH07216538A (ja) | 1995-08-15 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20020129 |
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