JPS633949B2 - - Google Patents
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- JPS633949B2 JPS633949B2 JP56198476A JP19847681A JPS633949B2 JP S633949 B2 JPS633949 B2 JP S633949B2 JP 56198476 A JP56198476 A JP 56198476A JP 19847681 A JP19847681 A JP 19847681A JP S633949 B2 JPS633949 B2 JP S633949B2
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
- C23C14/562—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks for coating elongated substrates
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は鋼帯等の被蒸着基材に蒸着物質を連続
的に蒸着することのできる新規な連続真空蒸着装
置に関するものである。
的に蒸着することのできる新規な連続真空蒸着装
置に関するものである。
第１図は従来使用されている鋼帯の片面に対す
る連続真空亜鉛蒸着装置で、巻戻リール２で巻戻
された鋼帯１は酸化炉または無酸化炉３に導入さ
れてその表面の油脂分の除去が行われ、ついで還
元炉４において表面の鉄酸化物が還元されるとと
もに焼鈍が施され、ついで冷却炉５において真空
蒸着に適当な温度迄冷却された後、大気に触れる
ことなく入口連続シール装置６を経て真空蒸着室
７に入る。蒸気室７の内部は真空に保持されてお
り、９は蒸発ルツボ、１０は溶融亜鉛、１１はル
ツボを加熱するヒータである。真空蒸着室に入つ
た鋼帯１はデフレクタロール８を経て、ルツボ９
の上を通過する際、溶融亜鉛１０の溶液面より蒸
発した亜鉛蒸気が鋼帯の下面に蒸着してメツキ層
が形成される。メツキの終つた鋼帯はデフレクタ
ロール１２、出口連続シール装置１３を経て巻取
リール１４に巻取られる。第１図において蒸着時
の鋼帯１は水平に通過するので、鋼帯の自重によ
り中央部が垂れ下つて図に示すように懸垂線が形
成される。懸垂量は鋼帯の自重即ち板厚と鋼帯に
加わる張力および支点間距離によつて変化する
が、実操業においては、たとえば0.3〜1.6mmのよ
うに広い範囲の板厚の鋼帯を通板する必要がある
ことや、また張力を一定に制御することが困難
で、張力の変動による鋼帯の上下方向のばたつき
が回避できないために、蒸発ルツボ９の上端と鋼
帯下面との間隙Ｃは、余裕をみて設定しておかね
ばならない。従つて上記間隙Ｃが大きくなり、蒸
気が該間隙より蒸発室７内に洩れる無効蒸気が増
大し亜鉛の消費歩留が低下するばかりでなく、前
記無効蒸気が蒸着室内壁やロール等に付着堆積す
るので、この付着物の除去の為に時間と人手を費
やし設備の稼動率が低下するという欠点があつ
た。またこのような従来装置は一般には片面のみ
しか蒸着することができず、両面を蒸着したい場
合の要求にこたえることができなかつた。
る連続真空亜鉛蒸着装置で、巻戻リール２で巻戻
された鋼帯１は酸化炉または無酸化炉３に導入さ
れてその表面の油脂分の除去が行われ、ついで還
元炉４において表面の鉄酸化物が還元されるとと
もに焼鈍が施され、ついで冷却炉５において真空
蒸着に適当な温度迄冷却された後、大気に触れる
ことなく入口連続シール装置６を経て真空蒸着室
７に入る。蒸気室７の内部は真空に保持されてお
り、９は蒸発ルツボ、１０は溶融亜鉛、１１はル
ツボを加熱するヒータである。真空蒸着室に入つ
た鋼帯１はデフレクタロール８を経て、ルツボ９
の上を通過する際、溶融亜鉛１０の溶液面より蒸
発した亜鉛蒸気が鋼帯の下面に蒸着してメツキ層
が形成される。メツキの終つた鋼帯はデフレクタ
ロール１２、出口連続シール装置１３を経て巻取
リール１４に巻取られる。第１図において蒸着時
の鋼帯１は水平に通過するので、鋼帯の自重によ
り中央部が垂れ下つて図に示すように懸垂線が形
成される。懸垂量は鋼帯の自重即ち板厚と鋼帯に
加わる張力および支点間距離によつて変化する
が、実操業においては、たとえば0.3〜1.6mmのよ
うに広い範囲の板厚の鋼帯を通板する必要がある
ことや、また張力を一定に制御することが困難
で、張力の変動による鋼帯の上下方向のばたつき
が回避できないために、蒸発ルツボ９の上端と鋼
帯下面との間隙Ｃは、余裕をみて設定しておかね
ばならない。従つて上記間隙Ｃが大きくなり、蒸
気が該間隙より蒸発室７内に洩れる無効蒸気が増
大し亜鉛の消費歩留が低下するばかりでなく、前
記無効蒸気が蒸着室内壁やロール等に付着堆積す
るので、この付着物の除去の為に時間と人手を費
やし設備の稼動率が低下するという欠点があつ
た。またこのような従来装置は一般には片面のみ
しか蒸着することができず、両面を蒸着したい場
合の要求にこたえることができなかつた。
本発明は前記従来装置の欠点を改良するために
為されたもので、従来のような水平パスにおい
て、必然的に発生する懸垂線の垂れ下がりや板の
ばたつきを、鋼帯を縦パスとすることにより解消
または低減させ、鋼帯と蒸発ルツボ端との間隙を
著るしく小さくしたもので、本発明によれば亜鉛
の歩留りが向上するばかりでなく、無効蒸気によ
るトラブルも減少し、設備の稼動率が向上しコス
トの低減に効果があるものであつて、本発明は、
被蒸着基材を真空蒸着室内を縦方向に移送させる
手段と、真空蒸着室内に設けられた蒸発ルツボ
と、蒸発ルツボ上部とシヤツタを介して連通し、
被蒸着基材表面に近接して開口するチヤンネルと
からなることを特徴とする連続蒸着装置を要旨と
するものである。
為されたもので、従来のような水平パスにおい
て、必然的に発生する懸垂線の垂れ下がりや板の
ばたつきを、鋼帯を縦パスとすることにより解消
または低減させ、鋼帯と蒸発ルツボ端との間隙を
著るしく小さくしたもので、本発明によれば亜鉛
の歩留りが向上するばかりでなく、無効蒸気によ
るトラブルも減少し、設備の稼動率が向上しコス
トの低減に効果があるものであつて、本発明は、
被蒸着基材を真空蒸着室内を縦方向に移送させる
手段と、真空蒸着室内に設けられた蒸発ルツボ
と、蒸発ルツボ上部とシヤツタを介して連通し、
被蒸着基材表面に近接して開口するチヤンネルと
からなることを特徴とする連続蒸着装置を要旨と
するものである。
第２図は本発明の一実施態様を示す。第２図は
於て１は鋼帯、２は巻戻リール、３は酸化炉、ま
たは無酸化炉、４は還元炉、５は冷却炉、６は入
口連続シール装置、７は真空蒸着室である。８は
デフレクタロールで鋼帯１が縦方向に蒸着室７を
通過するよう通板方向を変える。９は蒸発ルツ
ボ、１０は亜鉛のような蒸発用溶融物である。１
１はルツボ９を加熱するヒータであり、１５はチ
ヤンネルで蒸発ルツボ９で蒸発した亜鉛蒸気を鋼
帯面に導びく為のもの、１６はチヤンネル用ヒー
タである。なお蒸発ルツボ９とチヤンネル１５は
開口１７で連通されており開口１７には開閉自在
なシヤツタ１８が設けられており、１２はデフレ
クタロール、１３は出口連続シール装置、１４は
巻取リールである。
於て１は鋼帯、２は巻戻リール、３は酸化炉、ま
たは無酸化炉、４は還元炉、５は冷却炉、６は入
口連続シール装置、７は真空蒸着室である。８は
デフレクタロールで鋼帯１が縦方向に蒸着室７を
通過するよう通板方向を変える。９は蒸発ルツ
ボ、１０は亜鉛のような蒸発用溶融物である。１
１はルツボ９を加熱するヒータであり、１５はチ
ヤンネルで蒸発ルツボ９で蒸発した亜鉛蒸気を鋼
帯面に導びく為のもの、１６はチヤンネル用ヒー
タである。なお蒸発ルツボ９とチヤンネル１５は
開口１７で連通されており開口１７には開閉自在
なシヤツタ１８が設けられており、１２はデフレ
クタロール、１３は出口連続シール装置、１４は
巻取リールである。
次に作用について説明すると第２図において、
鋼帯１は酸化炉または無酸化炉３において表面に
付着している油脂分の燃焼または蒸発除去が行わ
れ、ついで還元炉４において表面の鉄酸化物が還
元されるとともに焼鈍が施され、ついで冷却炉５
において蒸着に適当な温度に冷却された後大気に
触れることなく入口連続シール装置６およびデフ
レクタロール８を経て蒸着室７に入る。蒸着室７
の内部は非酸化性雰囲気で、10トール以下の真空
に保持されている。蒸発ルツボ９内で蒸発した亜
鉛蒸気は、開口１７、シヤツタ１８を通り、チヤ
ンネル１５により方向をかえて縦方向に通板され
る鋼帯１に略々直角に衝突して鋼帯の片面にメツ
キ層を形成する。ヒータ１６はチヤンネル１５の
内面に亜鉛蒸気が蒸着しないようにチヤンネルを
加熱するためのものである。メツキが完了した鋼
帯１はデフレクタロール１２、出口連続シール装
置１３を経た後大気中に出て巻取リール１４に巻
取られる。
鋼帯１は酸化炉または無酸化炉３において表面に
付着している油脂分の燃焼または蒸発除去が行わ
れ、ついで還元炉４において表面の鉄酸化物が還
元されるとともに焼鈍が施され、ついで冷却炉５
において蒸着に適当な温度に冷却された後大気に
触れることなく入口連続シール装置６およびデフ
レクタロール８を経て蒸着室７に入る。蒸着室７
の内部は非酸化性雰囲気で、10トール以下の真空
に保持されている。蒸発ルツボ９内で蒸発した亜
鉛蒸気は、開口１７、シヤツタ１８を通り、チヤ
ンネル１５により方向をかえて縦方向に通板され
る鋼帯１に略々直角に衝突して鋼帯の片面にメツ
キ層を形成する。ヒータ１６はチヤンネル１５の
内面に亜鉛蒸気が蒸着しないようにチヤンネルを
加熱するためのものである。メツキが完了した鋼
帯１はデフレクタロール１２、出口連続シール装
置１３を経た後大気中に出て巻取リール１４に巻
取られる。
第２図において鋼帯１は蒸着室７を縦方向にパ
スするので、従来の第１図のような鋼帯の自重に
よる垂れ下がりがなく、また張力の変動による鋼
帯のばたつきが著るしく少なくなる。従つてチヤ
ンネル先端と鋼帯との間隙C′を設備上可能な限度
迄小さくすることができる。さらに第２図の場合
間隙C′は通板する鋼帯の板厚には無関係である。
このため無効蒸気が従来に比し著るしく減少し、
亜鉛の消費歩留りが向上するとともに無効蒸気の
蒸着室内への付着堆積も減少し、トラブルが減少
し稼動率が向上する。
スするので、従来の第１図のような鋼帯の自重に
よる垂れ下がりがなく、また張力の変動による鋼
帯のばたつきが著るしく少なくなる。従つてチヤ
ンネル先端と鋼帯との間隙C′を設備上可能な限度
迄小さくすることができる。さらに第２図の場合
間隙C′は通板する鋼帯の板厚には無関係である。
このため無効蒸気が従来に比し著るしく減少し、
亜鉛の消費歩留りが向上するとともに無効蒸気の
蒸着室内への付着堆積も減少し、トラブルが減少
し稼動率が向上する。
またシヤツタ１８の開閉により蒸気の鋼帯１へ
の蒸着の開始あるいは停止を容易に行なうことが
できるので通板開始の際蒸発ルツボ９の蒸発レー
トを最適にしておき、鋼帯１が蒸着地点の直前に
きた時シヤツタ１８を開くようにし、また通板の
最終において鋼帯１が蒸着地点を通過した直後に
シヤツタ１８を閉じるようにすれば、蒸発物の歩
留りの減少とともに鋼帯のロスを最小限におさえ
ることができる。この場合、シヤツタ１８の相手
である開口１７の設置位置はチヤンネル１５から
の蒸気の出口で１９から遠くなるような位置の仕
切天井２０に設けるのが、スプラツシユ（溶融金
属１０の沸騰による液滴発生）対策上望ましい。
何故ならば蒸気出口から遠い方が、発生スプラツ
シユがチヤンネル１５にトラツプされる確率が増
すからである。また、仕切天井２０により発生蒸
気を開口１７に集中的に絞ることにより開口１７
を通過する蒸気が保有するエネルギーはほぼ均一
化されるので、基板１に蒸着された皮膜はほぼ均
質となるような派生効果も生ずる。また開口１７
部は１箇所またはそれ以上あつてもかまわない。
第３図は本発明の別の実施態様を示し、チヤンネ
ル１５の蒸気出口に蒸気噴出口１９が設けられて
いる。この蒸気噴出口１９は、蒸発蒸気の漏れを
減少させると共に、スプラツシユ対策をより効果
的に行うことができ、しかもある程度強い蒸気流
を得ることができるので、このような蒸気流を必
要とする場合等に好ましく適用される。
の蒸着の開始あるいは停止を容易に行なうことが
できるので通板開始の際蒸発ルツボ９の蒸発レー
トを最適にしておき、鋼帯１が蒸着地点の直前に
きた時シヤツタ１８を開くようにし、また通板の
最終において鋼帯１が蒸着地点を通過した直後に
シヤツタ１８を閉じるようにすれば、蒸発物の歩
留りの減少とともに鋼帯のロスを最小限におさえ
ることができる。この場合、シヤツタ１８の相手
である開口１７の設置位置はチヤンネル１５から
の蒸気の出口で１９から遠くなるような位置の仕
切天井２０に設けるのが、スプラツシユ（溶融金
属１０の沸騰による液滴発生）対策上望ましい。
何故ならば蒸気出口から遠い方が、発生スプラツ
シユがチヤンネル１５にトラツプされる確率が増
すからである。また、仕切天井２０により発生蒸
気を開口１７に集中的に絞ることにより開口１７
を通過する蒸気が保有するエネルギーはほぼ均一
化されるので、基板１に蒸着された皮膜はほぼ均
質となるような派生効果も生ずる。また開口１７
部は１箇所またはそれ以上あつてもかまわない。
第３図は本発明の別の実施態様を示し、チヤンネ
ル１５の蒸気出口に蒸気噴出口１９が設けられて
いる。この蒸気噴出口１９は、蒸発蒸気の漏れを
減少させると共に、スプラツシユ対策をより効果
的に行うことができ、しかもある程度強い蒸気流
を得ることができるので、このような蒸気流を必
要とする場合等に好ましく適用される。
なお、前記例においては、鋼帯１に対する亜鉛
の片面蒸着について述べたが、蒸着室７にルツボ
１０を対称にもう１基設けることにより、あるい
は蒸着室７を別に設けルツボをもう１基設けるこ
とにより鋼帯１の両面に同時メツキ層を形成する
ことができる。
の片面蒸着について述べたが、蒸着室７にルツボ
１０を対称にもう１基設けることにより、あるい
は蒸着室７を別に設けルツボをもう１基設けるこ
とにより鋼帯１の両面に同時メツキ層を形成する
ことができる。
これによりコンパクトな装置で、生産性を向上
できる。
できる。
また本発明は亜鉛蒸着に限定されるものではな
いことはいうまでもない。
いことはいうまでもない。
第１図は従来使用されている鋼帯の片面に対す
る連続真空亜鉛蒸着装置の概略図、第２図は本発
明装置の一実施態様の概略図、第３図は本発明装
置の他の実施態様の要部の概略図である。
る連続真空亜鉛蒸着装置の概略図、第２図は本発
明装置の一実施態様の概略図、第３図は本発明装
置の他の実施態様の要部の概略図である。
Claims (1)
- １ 被蒸着基材を真空蒸着室内を縦方向に移送さ
せる手段と、真空蒸着室内に設けられた蒸発ルツ
ボと、蒸発ルツボ上部とシヤツタを介して連通
し、被蒸着基材表面に近接して開口するチヤンネ
ルとからなることを特徴とする連続蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19847681A JPS58100675A (ja) | 1981-12-11 | 1981-12-11 | 連続蒸着方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19847681A JPS58100675A (ja) | 1981-12-11 | 1981-12-11 | 連続蒸着方法及びその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58100675A JPS58100675A (ja) | 1983-06-15 |
| JPS633949B2 true JPS633949B2 (ja) | 1988-01-26 |
Family
ID=16391737
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19847681A Granted JPS58100675A (ja) | 1981-12-11 | 1981-12-11 | 連続蒸着方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58100675A (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH062942B2 (ja) * | 1983-07-18 | 1994-01-12 | 三菱重工業株式会社 | 真空蒸着装置 |
| JPS6049150U (ja) * | 1983-09-08 | 1985-04-06 | 日立マクセル株式会社 | 真空蒸着装置 |
| JPS62287068A (ja) * | 1986-06-06 | 1987-12-12 | Nissin Electric Co Ltd | イオンビ−ム蒸着装置 |
| JPH0519328Y2 (ja) * | 1986-06-06 | 1993-05-21 | ||
| WO1996035822A1 (fr) * | 1995-05-10 | 1996-11-14 | Centre De Recherches Metallurgiques - Centrum Voor Research In De Metallurgie | Dispositif et installation pour revetir une bande d'acier |
| JP4701524B2 (ja) * | 2001-03-28 | 2011-06-15 | パナソニック株式会社 | 蒸着装置及び方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS546878A (en) * | 1977-06-20 | 1979-01-19 | Fuji Photo Film Co Ltd | Continuous vapor deposition apparatus |
-
1981
- 1981-12-11 JP JP19847681A patent/JPS58100675A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS546878A (en) * | 1977-06-20 | 1979-01-19 | Fuji Photo Film Co Ltd | Continuous vapor deposition apparatus |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58100675A (ja) | 1983-06-15 |
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