JPH0143398Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は主として連続的に鋼帯などの金属帯に
亜鉛などの真空蒸着用金属を真空蒸着させる際
に、真空蒸着用金属が金属帯に所定量だけ一且つ
美麗に蒸着されるように蒸着量を効果的に調節し
得る真空蒸着装置に関するものである。

〔従来の技術〕

従来より真空蒸着は被蒸着用の基材に簡単且つ
均一に所望の厚さに真空蒸着用金属を蒸着できる
ため、小さな物品には広く応用されていた。

しかしながら、鋼帯に亜鉛を真空蒸着させて大
量の亜鉛蒸着鋼帯を製造するというような大掛り
な連続真空蒸着装置は技術的に種々の問題があつ
て殆んど開発されていない。

〔考案が解決しようとする問題点〕

このような現状において、本出願人等は工業的
に大量の真空蒸着亜鉛鋼帯を製造すべく大規模な
テストプラントを製作して連続真空蒸着を行つて
来た。

この連続真空蒸着装置は、表面を清浄化された
金属帯を大気圧から蒸着室までの圧力勾配を作る
真空シール装置を経て蒸着室内へ導き、該蒸着室
内に設置されている巻付けロールに金属帯を巻き
付けてその移動方向を変向せしめる過程で該蒸着
室内に設置されている蒸発槽から蒸発した蒸発金
属を蒸発金属流路形成用ダクト内を流動せしめて
金属帯の表面に蒸着せしめる連続真空蒸着装置で
あるが、このような連続真空蒸着装置において蒸
着室内に設置されている蒸発槽から蒸発する蒸発
金属量は真空シール装置により形成された真空圧
力とダクト内の横断面積と蒸着室内に設置されて
いる蒸発槽内の溶融金属の種類とによつて必然的
に決定されるので、金属帯に蒸着せしめられる蒸
発金属量を自由に変更することができなかつた。

そこで蒸着室内に設置されており金属帯を巻き
付けてその移動方向を変向せしめる巻付けロール
と蒸発槽との間のダクト内に蒸発金属の移動量を
調節するシヤツターを設置すればよいことに着目
して第３図に示す如きバタフライ弁式又は第４図
に示す如きスライド式のシヤツターを設置した
が、これらのシヤツターはダクト内の横断面の一
部を予め完全に閉塞しておいて閉塞されていない
残りの部分を一挙に開放する方式のものであるた
めに蒸着室内に設置されている蒸発槽から蒸発し
た蒸発金属はダクト内の横断面の一部のみを大量
に流動して金属帯へと流動するので金属帯に蒸着
される蒸着金属量が金属帯の幅方向において不均
一となりしかも蒸発槽から蒸発した蒸発金属と共
に流動してくるスプラツシユがシヤツターの開口
部を通過してそのまま金属帯の表面に付着して美
麗な外観を有する蒸着金属帯を得られないという
問題点があつた。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案者等は上記したような問題点を除去すべ
く鋭意研究の結果、蒸着室内を通過する金属帯と
蒸発槽との間の蒸発金属流路形成用ダクトにダク
ト内の横断面積をほぼ均等に開閉できるシヤツタ
ーを設置すればよいことを究明して本考案を完成
したのである。

すなわち、本考案は表面を清浄化された金属帯
を大気圧から蒸着室までの圧力勾配を作る真空シ
ール装置を経て蒸着室内へ導き該蒸着室内に設置
されている蒸発槽から蒸発した蒸発金属を金属帯
の表面に蒸着せしめる真空蒸着装置において、前
記蒸着室内に設置されている蒸発金属流路形成用
ダクト内の蒸発槽と金属帯との間に一方が蒸発槽
から蒸発した蒸発金属の流動方向と直角な方向に
ダクト内に固定された固定板より成り他方が該固
定板に摺動して移動し得る移動板より成るシヤツ
ターが設置されていて、この２つの板全面のそれ
ぞれ対応する位置に多数の貫通孔が穿設されてい
ることを特徴とする真空蒸着装置に関するもので
ある。

〔実施例〕

以下、図面により本考案に係る真空蒸着装置に
ついて詳細に説明する。

第１図は本考案に係る真空蒸着装置の概略説明
図、第２図は第１図におけるＡ−Ａ線拡大断面図
である。

図面中、１は表面を清浄化された金属帯２を大
気圧から次に説明する蒸着室までの圧力勾配を作
る真空シール装置、３は真空シール装置１を経て
移動せしめられてきた金属帯２の表面に蒸発金属
を真空蒸着せしめるための蒸着室であり通常真空
蒸着用金属の飽和蒸気圧力より低い圧力（例えば
10^-2Torr程度）の不活性ガス雰囲気下にある。
４は蒸着室３内に設置されている蒸発槽であり、
大気圧下にある真空蒸着用金属の溶解炉７によつ
て溶解された真空蒸着用溶融金属８が吸上管９を
介して蒸着室３の圧力と大気圧との差によつてこ
の蒸発槽４内へ供給されるようになつている。５
は蒸着室３内に設置されている巻付けロールであ
り、金属帯２がその周囲に巻き付けられてその移
動方向を変向せしめられる過程で蒸着室３内に設
置されている蒸発金属流路形成用ダクト６内を蒸
発槽４から蒸発した蒸発金属が流動して来て金属
帯２の表面に蒸着せしめられるのである。１０は
ダクト６内の蒸発槽４と巻付けロール５との間に
設置されており蒸発槽４から蒸発した蒸発金属の
金属帯２の表面に蒸着せしめられる量を調節する
ためのシヤツターであり、一方が蒸発槽４から蒸
発した蒸発金属の流動方向と直角な方向にダクト
６内に固定された固定板１０ａより成り他方が該
固定板１０ａに摺動して移動し得る移動板１０ｂ
より成りこの移動板１０ｂは蒸着室３外から蒸着
室３内に挿入されている駆動用軸１０ｃに連結さ
れており、且つ固定板１０ａと移動板１０ｂとの
全面はそれぞれ対応する位置に多数の貫通孔Ｘが
穿設されていると共に蒸発金属が付着しないよう
にヒーターにより加熱される構造になつている。

〔作用〕

かかる構成において、表面を清浄化された金属
帯２は大気圧から蒸着室３までの圧力勾配を作る
真空シール装置１を経て蒸着室３内へ導びかれ、
蒸着室３内に設置されている巻付けロール５に巻
き付いてその移動方向を変向せしめられる過程で
蒸着室３内に設置されている蒸発槽４から蒸発し
蒸発金属流路形成用ダクト６内を流動して来た蒸
発金属をその表面に蒸着せしめられるのである
が、ダクト６内の蒸発槽４と金属帯２との間には
蒸着室３内の蒸発槽４から蒸発した蒸発金属の流
動方向と直角な方向にダクト６内に固定された固
定板１０ａとこの固定板１０ａに摺動して移動し
得る移動板１０ｂとより成りそれぞれヒーターに
より蒸発金属が付着しないように加熱されている
シヤツター１０が設置されていて、このシヤツタ
ーを構成する２つの板１０ａ，１０ｂ全面のそれ
ぞれ対応する位置には多数の貫通孔Ｘが穿設され
ているので、移動板１０ｂを固定板１０ａに摺動
してわずかに移動させると２つの板１０ａ，１０
ｂ全面のそれぞれ対応する位置に穿設されている
多数の貫通孔Ｘの位置がずれて蒸発槽４から蒸発
した蒸発金属の巻付けロール５への流動面積が変
更されるので、金属帯２へ蒸着される蒸発金属の
流動量が移動板１０ｂの移動量により所望の量に
調節できるのである。

このようなシヤツター操作において、シヤツタ
ー１０がその全面のそれぞれ対応する位置に多数
の貫通孔Ｘが穿設されている固定板１０ａと移動
板１０ｂとより成つているためこれらの貫通孔Ｘ
により蒸発槽４から蒸発した蒸発金属の流動方向
はダクト６内においてほぼ均一となつて巻付けロ
ール５に巻き付いてその進行方向を変向される金
属帯２に蒸着される蒸発金属量は金属帯２の幅方
向において均一となり、更にシヤツター１０を構
成する２つの板１０ａ，１０ｂにより蒸発槽４か
ら蒸発する際に発生する蒸発金属のスプラツシユ
がダクト６内を通過して巻付けロール５に巻き付
いてその移動方向を変向せしめられる金属帯２に
至ることも防止されるので蒸発金属を蒸着された
蒸着金属帯の蒸着面は美麗なものとなるのであ
る。更にシヤツター１０を構成する２つの板１０
ａ，１０ｂ全面のそれぞれ対応する位置に穿設さ
れている多数の貫通孔Ｘをほぼ均等に配置した
り、２つの板１０ａ，１０ｂの少なくとも一方の
板厚を厚くすれば、蒸発金属の流動を整流化する
ことも可能であるのでより美麗な蒸着金属板を得
ることができるのである。

〔効果〕

以上詳述した如く本考案に係る真空蒸着装置
は、工業的規模で連続的に金属帯に蒸着室内に設
置されている蒸発槽から蒸発した蒸発金属を蒸着
せしめる際に、蒸着室内に設置されている蒸発槽
から蒸発した蒸発金属を蒸発金属流路形成用ダク
トを経て金属帯の表面に均一に且つ所望の厚さで
蒸着させることができる極めて効果的な装置であ
り、従来のバタフライ式やスライド式のシヤツタ
ーに比べて開閉操作に必要な弁体の駆動量が非常
に小さくて済むため構造も簡単で安価であり、表
面の美麗な商品価値の極めて高い蒸着金属帯を工
業的規模で大量生産するのに非常に有効な装置で
ある。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係る真空蒸着装置の概略説明
図、第２図は第１図におけるＡ−Ａ線拡大断面
図、第３図は従来の真空蒸着装置に使用されてい
たバタフライ弁式シヤツターの概略説明図、第４
図は従来の真空蒸着装置に使用されていたスライ
ド式シヤツターの概略説明図である。 １……真空シール装置、２……金属帯、３……
蒸着室、４……蒸発槽、５……巻付けロール、６
……ダクト、７……溶解炉、８……真空蒸着用溶
融金属、９……吸上管、１０……シヤツター、１
０ａ……固定板、１０ｂ……移動板、１０ｃ……
駆動用軸、Ｘ……貫通孔。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 表面を清浄化された金属帯を大気圧から蒸着
   室までの圧力勾配を作る真空シール装置を経て
   蒸着室内へ導き該蒸着室内に設置されている蒸
   発槽から蒸発した蒸発金属を金属帯に蒸着せし
   める真空蒸着装置において、前記蒸着室内に設
   置されている蒸発金属流路形成用ダクト内の蒸
   発槽と金属帯との間に一方が蒸発槽から蒸発し
   た蒸発金属の流動方向と直角な方向にダクト内
   に固定された固定板より成り他方が該固定板に
   摺動して移動し得る移動板より成るシヤツター
   が設置されていて、この２つの板全面のそれぞ
   れ対応する位置に多数の貫通孔が穿設されてい
   ることを特徴とする真空蒸着装置。 ２ シヤツターを構成している固定板と移動板と
   の少なくとも一方が厚さの厚い板である実用新
   案登録請求の範囲第１項に記載の真空蒸着装
   置。 ３ シヤツターを構成している固定板と移動板と
   の全面に穿設されている多数の貫通孔がほぼ均
   等に穿設されている実用新案登録請求の範囲第
   １項又は第２項に記載の真空蒸着装置。