KR910007405Y1 - 박막증착장치 - Google Patents

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KR910007405Y1
KR910007405Y1 KR2019890019808U KR890019808U KR910007405Y1 KR 910007405 Y1 KR910007405 Y1 KR 910007405Y1 KR 2019890019808 U KR2019890019808 U KR 2019890019808U KR 890019808 U KR890019808 U KR 890019808U KR 910007405 Y1 KR910007405 Y1 KR 910007405Y1
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염홍서
송준호
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삼성전관 주식회사
김정배
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/52—Means for observation of the coating process

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Abstract

내용 없음.

Description

박막증착장치
제1도는 본 고안의 박막증착장치의 측단면도.
제2도는 종래의 박막증착장치의 측단면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
1 : 챔버 7 : 포트(port)
8 : 상향경사부 10 : 반사경
11 : 볼록거울
본 고안은 박막증착장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판상에 박막을 증착시킬때에 챔버내를 용이하게 관찰 할 수 있도록 한 박막 증착 장치에 관한 것이다.
일반적으로 회로기판이나 소자의 기판상에는 도체배선과 절연막 및 보호막을 형성시키기 위하여 우선적으로 알루미늄, 크롬, 실리콘등의 물질이 증착된다.
이러한 박막을 증착 시키기 위하여는, 증착물질을 가열하여 증발시키기 위한 장치가 필요하게 되는데, 이러한 장치는 밀폐된 챔버와 이 챔버내의 아래쪽에 설치되는 증착물질 가열수단과 윗쪽에 설치되는 기판고정수단으로 이루어진다.
제2도는 종래의 박막증착장치의 측단면도로서, 챔버(1)의 내부 아래쪽에는 증착물질(2)를 가열시키기 위한 가열수단(3)이 설치되어 있고, 윗쪽에는 기판(4)가 고정수단(5)에 의해 고정설치되는 구성으로 되어 있다.
이러한 구성의 박막증착장치는 가열수단(3)에 의해 증착물질(2)가 가열되어 고유의 색깔로 증발되면서 기판(4)에 증착되는데, 이때 증착물질의 색깔이나 증착물질의 증발유무등을 증착상태를 확인할 수 있도록 한 투시창(6)이 챔버(1)의 한쪽벽에 설치되어 있다.
그러나 종래의 투시창(6)은 챔버(1)의 벽과 평행상태로 근접되어 설치되어 있기 때문에 증착물질이 증발될때 증발물질의 일부가 투시창에 증착되는 현상이 나타난다.
이러한 현상은 시간이 경과함에 따라 또는 증착 회수가 증가함에 따라 더욱 심화되어 투시창(6)의 안쪽면이 불투명한 상태로 되어 챔버(1)내로 관찰할수 없게 된다.
따라서, 주기적으로 투시창(6)을 닦아 주어야 하는 불편함이 있으며, 증착현상이 심한 경우에는 투시창(6)을 교환해야 하는 문제점이 있다.
본 고안은 상기한 바와 같은 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 고안의 목적은 박막증착시 투시창에 증발물질이 증착되는 것을 방지하여 항시 내부관찰을 용이하게 한 박막증착 장치를 제공하는데 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 고안은, 챔버내에 설치된 가열수단에 의해 증착물질이 가열증발되어 기판 표면에 증착되게한 박막증착장치에 있어서, 챔버의 한쪽벽에, 반사경과 볼록거울이 안쪽면에 소정의 각도로 대향 설치된 상향경사부와 이 경사부에서 소정각도로 굽어지고 끝단에 투시창이 설치된 하향경사부로 이루어진 포트(port)가 설치되는 박막증착 장치를 제공한다.
이하 본 고안의 바람직한 실시예를 첨부된 도면에 따라 더욱 상세히 설명한다.
제1도는 본 고안의 박막증착장치의 측단면도로서, 본 고안의 구성종 종래기술과 동일한 구성부분에 대하여는 동일한 부호를 부여한다.
종래의 장치와 동일하게 챔버(1)의 내측에는 증착물질(2)를 가열하여 증발시키는 가열수단(3)이 마련되어 있다.
이 가열수단(3)의 상측에는 기판(4)를 고정하는 고정수단(5)가 설치되어 가열수단(3)에 의해 가열된 증착물질(2)가 증발하여 증착하게 되어 있다.
상기한 챔버(1)의 한쪽벽에는 포트(7)이 설치되어 있다.
포트(7)은 벽면에서 소정의 각도로 상향경사부(8)이 연장 형성되어 있으며, 이 상향 경사부(8)에는 이와 소정의 각도로 하향검사부(9)가 연장 형성되어 있다.
상향경사부(8)의 안쪽윗면에는 반사경(10)이 위치 되어 있으며, 아래면에는 볼록거울(11)이 상기한 반사경(10)과 평행하게 배치되어 있고, 하향경사부(9)의 끝단에는 투시창(6)이 설치되어 있다.
이와 같이 구성되는 본 고안의 박막 증착 장치는 증착물질(2)를 가열수단(3)으로 가열 증발시켜 행하는 증착방식은 종래의 장치와 동일하다.
그러나 포트(7)의 볼록거울(11)이 윗쪽으로 향하여 배치되어 있고, 반사경(10)이 아래쪽을 향하면서 외측을 향하는 상태로 설치되어 있기 때문에 증착물질(2)가 가열 증발될때 반사경(10)이나 볼록거울(11)에는 거의 증착되지 않는다.
따라서, 볼록거울(11)에 비춰지는 챔버(1)내의 모든 상태가 반사경(10)에 비춰지게 되므로, 투시창(6)을 통하여 관찰하면 용이하게 챔버(1)내의 상황을 관찰할 수 있게 된다.
이때 볼록거울(11)에 의해 챔버(1) 내의 전체공간이 비춰지게 되므로 증착상태를 보다 확실히 확인할 수 있게 된다.
이상과 같이 본 고안의 박막증착장치는 증착과정에서 발생되는 투시창 증착문제를 해결함으로써, 계속적인 관찰을 할수 있고, 투시창을 닦아주는 불편함을 해소할 수 있다.

Claims (1)

  1. 챔버내에 설치된 가열수단에 의해 증착물질이 가열증발되어 기판 표면에 증착되게한 박막증착장치에 있어서, 반사경(10)과 볼록거울(11)이 소정의 각도로 대향 설치되어 안쪽에 배치되어 있는 상향경사부(8)과, 끝단에 투시창(6)이 설치되어 상기한 하향경사부(8)로 부터 소정의 각도로 연장 형성되는 하향경사부(9)로 이루어지는 포트(7)이 챔버(1)의 한쪽벽에 설치되어 구성됨을 특징으로 하는 박막증착장치.
KR2019890019808U 1989-12-23 1989-12-23 박막증착장치 KR910007405Y1 (ko)

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