SU466300A1 - Испаритель - Google Patents
ИспарительInfo
- Publication number
- SU466300A1 SU466300A1 SU1875463A SU1875463A SU466300A1 SU 466300 A1 SU466300 A1 SU 466300A1 SU 1875463 A SU1875463 A SU 1875463A SU 1875463 A SU1875463 A SU 1875463A SU 466300 A1 SU466300 A1 SU 466300A1
- Authority
- SU
- USSR - Soviet Union
- Prior art keywords
- lid
- evaporator
- diaphragm
- perforation
- perforated
- Prior art date
Links
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
Изобретение относитс к области нанесени покрытий в вакууме и может быть использовано дл получени тонких пленок.
Известен испаритель дл вакуумных установок , содержащий металлический контейнер с перфорированной крышкой, нагреватель и отражательный экран, смонтированный параллельно крышке. В таком испарителе испарение происходит с посто нной плош;адью испарени . Это достигаетс тем, что испаритель снабжен теплопроводом, смонтированным внури контейнера , и перфорированной диафрагмой, установленной параллельно крышке и выполненной с возможностью перемеш,ени , а отражательный экран укреплен на теплопроводе. Форма перфорации диафрагмы выполнена идентичной форме перфорации крышки.
На чертеже представлен испаритель.
Испаритель состоит из контейнера 1 с перфорированной крышкой 2, нагревателей 3 и 4, отражательного экрана 5, теплопровода 6, установленного внутри контейнера 1, и перфорированной диафрагмы 7, перфораци которой идентична перфорации крышки 2.
Отверсти крышки 2 перекрываютс диафрагмой 7, выполненной с возможностью перемеш ени относительно крышки 2. Дл предотвраш ,ени попадани капель испар емого вешества на напыл емую поверхность экран 5
смонтирован на теплопроводе 6 и выполнен в виде навеса.
Подбором диаметра отверстий или их количества в крышке 2 испарител , а также степенью открыти отверстий диафрагмой 7 можно в широких пределах управл ть скоростью напылени . При этом температуру испар емого веш;ества в резервуаре испарител можно мен ть в широких пределах, оставл заданную скорость напылени сло .
Предмет изобретени
Claims (2)
1.Испаритель дл вакуумных установок, содержащий металлический контейнер с перфорированной крышкой, нагреватель и отражательный экран, смонтированный параллельно крышке, отличающийс тем, что, с целью получени пленок заданного состава путем обеспечени регулировани площади испарени , он снабжен теплопроводом, смонтированным внутри контейнера, и перфорированной диафрагмой, установленной параллельно крышке и выполненной с возможностью перемещени , а отражательный экран укреплен на теплопроводе.
2.Испаритель по п. 1, отличающийс тем, что форма перфорации диафрагмы выполнена идентичной форме перфорации крышки.
1
6
i
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1875463A SU466300A1 (ru) | 1973-01-22 | 1973-01-22 | Испаритель |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| SU1875463A SU466300A1 (ru) | 1973-01-22 | 1973-01-22 | Испаритель |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| SU466300A1 true SU466300A1 (ru) | 1975-04-05 |
Family
ID=20540270
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU1875463A SU466300A1 (ru) | 1973-01-22 | 1973-01-22 | Испаритель |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| SU (1) | SU466300A1 (ru) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4146774A (en) * | 1975-11-14 | 1979-03-27 | Hughes Aircraft Company | Planar reactive evaporation apparatus for the deposition of compound semiconducting films |
| WO1986000092A1 (en) * | 1984-06-12 | 1986-01-03 | Kievsky Politekhnichesky Institut Imeni 50-Letia V | Evaporator for vacuum deposition of films |
-
1973
- 1973-01-22 SU SU1875463A patent/SU466300A1/ru active
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4146774A (en) * | 1975-11-14 | 1979-03-27 | Hughes Aircraft Company | Planar reactive evaporation apparatus for the deposition of compound semiconducting films |
| WO1986000092A1 (en) * | 1984-06-12 | 1986-01-03 | Kievsky Politekhnichesky Institut Imeni 50-Letia V | Evaporator for vacuum deposition of films |
| GB2172015A (en) * | 1984-06-12 | 1986-09-10 | Ki Polt I | Evaporator for vacuum deposition of films |
| US4700660A (en) * | 1984-06-12 | 1987-10-20 | Kievsky Politekhnichesky Institut | Evaporator for depositing films in a vacuum |
| AT387239B (de) * | 1984-06-12 | 1988-12-27 | Ki Polt I | Verdampfer zum aufbringen von duennschichten durch vakuumaufdampfen |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4543467A (en) | Effusion type evaporator cell for vacuum evaporators | |
| NO153608B (no) | Fremgangsmaate ved ethoxylering av alkanoler i naervaer av katalysatorer inneholdende strontiumoxyder og -hydroxyder. | |
| US3700853A (en) | Apparatus for heating of hairwinders | |
| SU466300A1 (ru) | Испаритель | |
| JPH04308076A (ja) | 昇華性物質真空蒸着装置 | |
| GB929748A (en) | Apparatus for performing fractional distillation in a vacuum | |
| US2413604A (en) | Method or process of evaporating metals | |
| US3186880A (en) | Method of producing unsupported epitaxial films of germanium by evaporating the substrate | |
| Cumo et al. | Notes on droplet heat transfer(Evaporation of liquid droplets from heating wall observed cinematographically, noting heat transfer by violent film boiling and conduction through thin vapor layer) | |
| KR960034458A (ko) | 증발속도를 크게 한 Mg 증발방법 | |
| US3227133A (en) | Multiple layer coating and cleaning | |
| US3373050A (en) | Deflecting particles in vacuum coating process | |
| US2354521A (en) | Evaporator for treating surfaces | |
| US4565158A (en) | Evaporator cell for vacuum deposition on substrates | |
| US3991707A (en) | Vapor deposition apparatus with mask means | |
| GB1103211A (en) | Improvements in and relating to vapour deposition and evaporation sources | |
| KR102196539B1 (ko) | 금속 증착유닛 | |
| JPH0254426B2 (ru) | ||
| JPS62247065A (ja) | るつぼ型蒸着源 | |
| JPS6352111B2 (ru) | ||
| DE2612424A1 (de) | Aufdampfquelle | |
| GB912922A (en) | Apparatus for continuously obtaining dry materials by evaporation | |
| FR2082589A6 (en) | Liquid evaporation system - for release of insecticidal vapour etc | |
| SU889743A1 (ru) | Испаритель | |
| JPH02258971A (ja) | 真空蒸着源 |