JPS62247065A - るつぼ型蒸着源 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明は、蒸着によって薄膜を形成しようとするとき
に蒸着材料を入れておくためのるつぼ型蒸着源に関する
。

［従来の技術］ 第３図は、従来の蒸着法を概略的に示す図である。この
図において、るつぼ１内には蒸着材料２が入れられてい
る。蒸着材料２の上方部には、被蒸着物３が配置される
。被蒸着物３は、光ファイバや金属線などの線状体であ
り、図中矢印Ａで示す方向に連続的に送られる。るつぼ
１を加熱することによって蒸着材料２は蒸発し、この蒸
発気体は線状体である被蒸着物３の外周面上に付着し、
薄膜を形成する。線状体である被蒸着物３の外周面全体
に被覆を形成するために、被蒸着物３は、蒸着処理の間
、図中矢印Ｂで示すように連続的に回転させられている
。

［発明が解決しようとする問題点］ 第３図を参照して、るつぼ１の上部は開放されている。

そのため、蒸着材料２の蒸発気体分子の飛散方向は広範
囲に分散する。これに対して、蒸発気体分子が線状体で
ある被蒸着物３の外周面上に付着するのに必要とされる
分散角度は、小さい。

つまり、従来のるつぼ１を採用すれば、広範囲に分散す
る蒸発気体分子のうち、はんの一部分のみが薄膜形成に
使われていることになる。こうして、大部分の蒸発気体
分子は有効に使用されず、コーティング効率は極めて低
かった。

また、蒸着材料２の加熱状態の変動によって、蒸発気体
分子の飛散分布や強度は変動する。たとえば、蒸着材料
２が局所的に加熱された場合、その加熱部分から蒸発気
体分子の流れが生じる。結局、るつぼ１からの分子流の
流れは不均一となり、線状体である被蒸着物３の外周面
に均一にコーティングをすることは困難であった。

それゆえに、この発明の目的は、コーティング効率を高
め得るるつぼ型蒸着源を提供することである。

ｃ問題点を解決するための手段］ この発明に従ったるつぼ型蒸着源は、蒸着材料を入れる
るつぼと、前記るつぼを加熱するるつぼ加熱手段と、前
記るつぼの上部に装着されかつ蒸着材料の蒸発気体分子
を通過させる貫通孔を有しているるつぼ蓋と、前記るつ
ぼ蓋近傍を加熱するるつぼ蓋加熱手段とを備えている。

［作用］ るつぼ加熱手段によってるつぼを加熱すると、蒸着材料
は蒸発する。この蒸発気体分子は、るつぼ蓋に形成され
ている貫通孔を通過することによって分散方向が絞られ
る。その結果、コーティング効率が高まる。

［実施例］ 第１図は、この発明の一実施例を概略的に示す図である
。図示するるつぼ型蒸着源１ｏは、るっぽ１１と、この
るつぼ１１を加熱するためのるつぼ加熱手段１２と、る
っぽ１１の上部に装着されるるつぼ蓋１３と、さらにこ
のるつぼ′Ｍ１３の上に装着されるるつぼ蓋１４と、る
っぽ蓋１３．１４のそれぞれの近傍を加熱するためのる
つぼ蓋加熱手段１５．１６とを備えている。

るつぼ１１は、たとえば白金、タングステン、タンタル
などの高融点材料がら作られており、その内部に蒸着材
料２を入れている。るつぼ加熱手段１２によってるっぽ
１１を加熱すれば、蒸着材料２は蒸発し、その気体分子
は上方に飛散する。

るつぼ蓋１３のほぼ中央には、蒸着材料２の蒸発気体分
子を通過させ得る貫通孔１７が形成されている。同様に
、他方のるっぽ蓋１４のほぼ中央部にも、貫通孔１８が
形成されている。るつぼ蓋加熱手段１５．１６はそれぞ
れるっぽ蓋１３．１４の近傍を加熱し、蒸発気体分子が
るっぽ蓋１３．１４に付着するのを防止する。るっぽ蓋
１３．１４の加熱温度としては、このるっぽ蓋１３．１
４の近傍における蒸発気体分子の蒸気圧が３０％以上を
保ち得るような温度にするのがよい。

第１図において点線で示すのは、貫通孔１７．１８を通
過した蒸発気体分子の流れである。るっぽ１１内の蒸着
材料２は、るつぼ加熱手段１２によって加熱されること
によって蒸発し、気体分子となる。そして、真空蒸着装
置を真空引きし、減圧することによって、蒸発気体分子
は、るっぽ蓋１３の貫通孔１７を通過して拡散していく
。この貫通孔１７を通過することにより、蒸発気体分子
の蒸着方向性は絞られる。るつぼ蓋１３の貫通孔１７を
通過した蒸発気体分子は、その後、さらに他方のるつぼ
蓋１４の貫通孔１８を通過する。こうして蒸発気体分子
の蒸着方向性は一層絞られる。

また、最終的に貫通孔１８を通過して被蒸着物に向かう
蒸発気体分子の流れは均一となる。

こうして、２個のるつぼＭ２Ｓ、１４の貫通孔１７．１
８を通過して出射された蒸発気体分子は、そ、の蒸着方
向性が６絞られ、被蒸着物に集中して飛散する。

第２図は、第１図に示すようなるつぼ型蒸着源１０を利
用した蒸着法の一例を概略的に示している。図中３は線
状体となっている被蒸着物であり、紙面に対して垂直な
方向に送られている。るつぼ型蒸着源１０は、被蒸着物
３を中心とする同心円状にほぼ１２０＠間隔で３個配置
されている。また、図中Ｃで示すのは、各るつぼ型蒸着
源１０から出射された蒸発気体分子の流れである。蒸発
気体分子は、各るつぼ型蒸着源１０から均一な流れとな
って出射され、被蒸着物３に向かって集中する。また、
蒸発気体分子の分散方向はかなり絞られているので、線
状体である被蒸着物３の外周面上に効率良く薄膜を形成
することができる。また、形成された薄膜は、被蒸着物
３の外周面全体にわたって均一となる。

第２図に示したような蒸着法によれば、被蒸着物３を回
転させる必要がなくなるので、被蒸着物３を保持する機
構が簡便なものとなる。なお、第２図に示した例では、
３個のるつぼ型蒸着源１０が用いられていたが、必要に
応じてそれ以上のるつぼ型蒸着源１０を用いてもよい。

あるいは、その逆に、２個または１個のるつぼ型蒸着源
１０を用いるようにしてもよい。ただ、１個または２個
のるつぼ型蒸着源１０を用いるのであれば、線状体であ
る被蒸着物３は、蒸着処理の間、回転される必要があろ
う。

また、第１図に示したるつぼ型蒸着源１０は、２個のる
つぼ蓋１３．１４と２個のるつぼ型加熱手段１５．１６
とを備えていた。しかし、その数に限定されるものでは
なく、それぞれ１個のるつぼ蓋およびるつぼ型加熱手段
を備えるようなものであってもよい。その場合であって
も、蒸発気体分子は、るつぼ蓋に形成されている貫通孔
を通過することによって、分散方向が絞られる。また、
るつぼ蓋の数を増せば増すほど、蒸発気体分子の分散方
向はより一層絞られるであろう。

［発明の効果］ 以上のように、この発明によれば、蒸発気体分子はるつ
ぼ蓋に形成されている貫通孔を通過して出射されるので
、その分散方向は絞られる。こうして、蒸発気体分子を
被蒸着物に集中させることができ、コーティング効率を
高めることができる。

また、るつぼ型加熱手段によってるつぼ蓋近傍を加熱し
ているので、蒸発気体分子がるつぼ蓋に付着することを
防止でき、蒸着材料をを効に使用することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の一実施例を概略的に示す図である
。第２図は、第１図に示すようなるつぼ型蒸着源を利用
した蒸着法の一例を概略的に示す図である。 第３図は、従来の蒸着法を概略的に示す図である。 図において、１０はるつぼ型蒸着源、１１はるつぼ、１
２はるつぼ加熱手段、１３．１４はるつぼ蓋、１５．１
６はるつぼ型加熱手段、１７．１８は貫通孔を示す。 第２図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）蒸着材料を入れるるつぼと、 前記るつぼを加熱するるつぼ加熱手段と、 前記るつぼの上部に装着され、かつ蒸着材料の蒸発気体
   分子を通過させる貫通孔を有しているるつぼ蓋と、 前記るつぼ蓋近傍を加熱するるつぼ蓋加熱手段と、 を備える、るつぼ型蒸着源。
2. （２）前記るつぼ蓋は複数個あり、これら複数個のるつ
   ぼ蓋は上下に積み重ねられている、特許請求の範囲第１
   項に記載のるつぼ型蒸着源。