JP2008088496A - 薄膜堆積用分子線源セル - Google Patents
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Abstract
【解決手段】薄膜堆積用分子線源セルは、成膜材料を収納する坩堝1と、この坩堝1に収納した成膜材料を加熱して昇華または蒸発させて、分子を発生させるためのヒータ3と、坩堝1の開口部側に設けられ、成膜面に向けて分子を放出する出射口7とを有する。そして、前記ヒータ3を坩堝1に近接させると共に、同ヒータ3から熱の伝達を直接受ける伝熱部材4と前記出射口7を設けた遮蔽部材6とを一体とするかまたは連結している。伝熱部材4と坩堝1を収納した坩堝ホルダ5との間に隙間gを設け、さらに坩堝1と出射口7の間にオリフィス2を配置し、このオリフィス2と伝熱部材4との接触部2aの肉厚を他の部分より薄くするている。
【選択図】図1
Description
以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照しながら詳細に説明する。
円筒容器状の坩堝ホルダ5の中に、その内径より外形が僅かに小さい石英ガラス等からなる円筒容器状の坩堝1が嵌め込まれている。この坩堝1の中に成膜材料が収納される。
遮蔽部材6の上面と坩堝ホルダ5の底面には、それぞれ第一の熱電対T/C1と第二の熱電対T/C2の測温接点が取り付けられている。
なお、図1に示した膜厚計12は、後述する成膜試験を行ったときの膜厚を測定するもので、実際にはこの位置に成膜面を有する基板等が置かれる。
表1は、ヒータ3を発熱させて坩堝1と遮蔽部材6を加熱し、昇温させたときのそれぞれ第一の熱電対T/C1と第二の熱電対T/C2とで測定された温度を示す。第一の熱電対T/C1で測定された温度が100℃〜350℃となるまで50℃間隔で測定し、それぞれその時の第二の熱電対T/C2で測定された温度を右欄に示している。この表1から明らかな通り、第一の熱電対T/C1の温度が350℃の時の第二の熱電対T/C2で測定された温度は、322.3℃であり、その温度差は27.6℃であった。
2 オリフィス
2a オリフィスの遮蔽部材との接触部
3 ヒータ
4 伝熱部材
6 遮蔽部材
7 出射口
11 分子通過孔
g 伝熱部材と坩堝ホルダとの隙間
Claims (3)
- 成膜材料を収納する坩堝(1)と、この坩堝(1)に収納した成膜材料を加熱して昇華または蒸発させて、分子を発生させるためのヒータ(3)と、坩堝(1)の開口部側に設けられ、成膜面に向けて分子を放出する出射口(7)とを有する薄膜堆積用分子線源セルにおいて、前記ヒータ(3)を坩堝(1)に近接させると共に、同ヒータ(3)から熱の伝達を直接受ける伝熱部材(4)と前記出射口(7)を設けた遮蔽部材(6)とを一体とするかまたは連結したことを特長とする薄膜堆積用分子線源セル。
- 伝熱部材(4)と坩堝(1)を収納した坩堝ホルダ(5)との間に隙間(g)を設けたことを特長とする請求項1に記載の薄膜堆積用分子線源セル。
- 坩堝(1)と出射口(7)の間に、放出する分子の流れを整える分子通過孔(11)を設けたオリフィス(2)を配置し、このオリフィス(2)と遮蔽部材(6)との接触部(2a)の肉厚を他の部分より薄くしたことを特長とする請求項1または2に記載の薄膜堆積用分子線源セル
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JPH05139882A (ja) * | 1991-11-20 | 1993-06-08 | Hitachi Ltd | 分子線源 |
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