JPH0735567B2 - 連続式真空蒸着装置 - Google Patents
連続式真空蒸着装置Info
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- JPH0735567B2 JPH0735567B2 JP62023585A JP2358587A JPH0735567B2 JP H0735567 B2 JPH0735567 B2 JP H0735567B2 JP 62023585 A JP62023585 A JP 62023585A JP 2358587 A JP2358587 A JP 2358587A JP H0735567 B2 JPH0735567 B2 JP H0735567B2
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- vapor
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は連続式真空蒸着装置に関し、特に該装置の金属
蒸気の付着量制御装置、さらに詳細には付着量分布制御
装置に関するものである。
蒸気の付着量制御装置、さらに詳細には付着量分布制御
装置に関するものである。
帯鋼等の基板に連続的に、例えば亜鉛等の金属をメッキ
する手段として連続式真空蒸着装置が使用されている。
この従来の連続式真空蒸着装置の概略構成を第５図によ
つて説明する。
する手段として連続式真空蒸着装置が使用されている。
この従来の連続式真空蒸着装置の概略構成を第５図によ
つて説明する。
第５図において、１は帯鋼（蒸着基板）、２は複数のシ
ール室からなる真空シール装置、３は蒸着室、４は帯鋼
１をガイドして通板させる巻付ロール５は溶融した金属
（例えば亜鉛など）、６はその金属蒸気、７は溶融金属
の浴槽、８は浴槽７で発生した金属蒸気６を帯鋼１まで
導くダクト（チヤンネル）、９はヒータ、10はシヤツ
タ、11はシヤツタ10の開閉装置（シリンダ）、12はシヤ
ツタ10の開口部、13は金属の溶解炉、14はスノケール、
15は管、16は弁、17は真空ポンプである。なおｚは金属
蒸気６の流れ方向を示す。
ール室からなる真空シール装置、３は蒸着室、４は帯鋼
１をガイドして通板させる巻付ロール５は溶融した金属
（例えば亜鉛など）、６はその金属蒸気、７は溶融金属
の浴槽、８は浴槽７で発生した金属蒸気６を帯鋼１まで
導くダクト（チヤンネル）、９はヒータ、10はシヤツ
タ、11はシヤツタ10の開閉装置（シリンダ）、12はシヤ
ツタ10の開口部、13は金属の溶解炉、14はスノケール、
15は管、16は弁、17は真空ポンプである。なおｚは金属
蒸気６の流れ方向を示す。
この装置においては、溶融した金属５の蒸気６を真空条
件下で発生させ、該蒸気６をダクト８を介して浴槽７か
ら帯鋼１に導くように構成されている。
件下で発生させ、該蒸気６をダクト８を介して浴槽７か
ら帯鋼１に導くように構成されている。
帯鋼１に蒸着させるに必要な金属蒸気量（蒸発量）は浴
槽７内に設置したヒータ９の電力と浴槽７出口に設置し
たシヤツタ10を、例えばシリンダ等の開閉装置11で開閉
して開口部12の面積を変えることにより制御できるよう
に構成されている。
槽７内に設置したヒータ９の電力と浴槽７出口に設置し
たシヤツタ10を、例えばシリンダ等の開閉装置11で開閉
して開口部12の面積を変えることにより制御できるよう
に構成されている。
また前記浴槽７への溶融金属５は蒸着室３下部の溶解炉
13から圧力差によりスノーケル14を介して吸引供給され
る。
13から圧力差によりスノーケル14を介して吸引供給され
る。
蒸着室３は管15及び弁16を介して真空ポンプ17に接続
し、通常、溶融金属５の飽和蒸気圧力より低い圧力に窒
素N2等の不活性ガスを介して保持されている。
し、通常、溶融金属５の飽和蒸気圧力より低い圧力に窒
素N2等の不活性ガスを介して保持されている。
従来の連続式真空装置は以上の構成であるから、運転に
際しては、製造指令、（鋼種、板巾、板厚、通板速度、
目標蒸着量等）にもとづいて設定された蒸着速度（単位
面積、単位時間当りの蒸着量）に対応して蒸着室３の圧
力を設定すると共に、蒸着金属の所要蒸発量になるよう
にヒータ９の電力とシヤツタ10開度を調整することによ
り帯鋼１表面の蒸着量、すなわち、蒸着膜厚を目標値に
制御するようにしたものである。
際しては、製造指令、（鋼種、板巾、板厚、通板速度、
目標蒸着量等）にもとづいて設定された蒸着速度（単位
面積、単位時間当りの蒸着量）に対応して蒸着室３の圧
力を設定すると共に、蒸着金属の所要蒸発量になるよう
にヒータ９の電力とシヤツタ10開度を調整することによ
り帯鋼１表面の蒸着量、すなわち、蒸着膜厚を目標値に
制御するようにしたものである。
しかしながら、前記従来装置では、金属蒸気６がシヤツ
タ10の開口部12を通過した後、ダクト８内での流れが乱
れるため帯鋼１表面の蒸着金属の膜厚分布が不均一とな
り、とくに板幅方向の分布に関しては、第３図，第４図
の実機における計測データを示す図表中、点線a1，a2で
示すように大きなばらつきが発生し、メツキ成品の品質
低下ならびに蒸着むらによる蒸着金属の歩留りが低下す
るという問題があった。
タ10の開口部12を通過した後、ダクト８内での流れが乱
れるため帯鋼１表面の蒸着金属の膜厚分布が不均一とな
り、とくに板幅方向の分布に関しては、第３図，第４図
の実機における計測データを示す図表中、点線a1，a2で
示すように大きなばらつきが発生し、メツキ成品の品質
低下ならびに蒸着むらによる蒸着金属の歩留りが低下す
るという問題があった。
本発明はかかる問題に鑑み、つねに膜厚分布を均一に制
御し、メツキ成品の品質向上を図ると共に、蒸着金属の
歩留りを向上させコスト低減が可能な連続式真空蒸着装
置を提供しようとするものである。
御し、メツキ成品の品質向上を図ると共に、蒸着金属の
歩留りを向上させコスト低減が可能な連続式真空蒸着装
置を提供しようとするものである。
本発明は、前記問題を解決するために、ダクト（チヤン
ネル）内に、金属蒸気の流れ方向Ｚに傾斜して、多孔板
からなる整流板を２枚以上取付けて、金属蒸気の流れを
均一化させることにより、蒸着膜厚分布を均一にするよ
うに真空蒸着装置を構成させたものである。
ネル）内に、金属蒸気の流れ方向Ｚに傾斜して、多孔板
からなる整流板を２枚以上取付けて、金属蒸気の流れを
均一化させることにより、蒸着膜厚分布を均一にするよ
うに真空蒸着装置を構成させたものである。
即ち、本発明は、真空条件下で溶融金属を蒸発させる浴
槽及び該金属蒸気を蒸着基板まで導くダクト及び前記浴
槽の出口にあって、その開口面積を自在に制御し得るシ
ャッタを具備してなる連続式真空蒸着装置において、前
記シャッタより下流のダクト内に金属蒸気の流れ方向に
対して傾斜する２枚以上の多孔板からなる整流板を取り
付けてなることを特徴とする連続式真空蒸着装置であ
る。
槽及び該金属蒸気を蒸着基板まで導くダクト及び前記浴
槽の出口にあって、その開口面積を自在に制御し得るシ
ャッタを具備してなる連続式真空蒸着装置において、前
記シャッタより下流のダクト内に金属蒸気の流れ方向に
対して傾斜する２枚以上の多孔板からなる整流板を取り
付けてなることを特徴とする連続式真空蒸着装置であ
る。
〔作用〕 ダクト内に設けられた多孔板からなる整流板の作用によ
り、ダクト内を流れる金属蒸気の流れが均一化し、その
結果、蒸着基板への蒸着膜厚分布を均一にすることがで
きる。
り、ダクト内を流れる金属蒸気の流れが均一化し、その
結果、蒸着基板への蒸着膜厚分布を均一にすることがで
きる。
以上、図面によつて本発明を具体的に説明する。
第１図は本発明の一実施例に係る連続式真空蒸着装置の
蒸着室及び蒸着槽の概略構成図、第２図は、第１図中Ａ
−Ａ矢視による整流板の正面図を示す。図中、従来装置
（第５図）と同一部材には同一符号を付し、重複する詳
細構成説明は省略する。
蒸着室及び蒸着槽の概略構成図、第２図は、第１図中Ａ
−Ａ矢視による整流板の正面図を示す。図中、従来装置
（第５図）と同一部材には同一符号を付し、重複する詳
細構成説明は省略する。
第１図において、本発明装置は、従来装置（第５図）に
おけるダクト８内に、金属蒸気６の流れ方向Ｚに対し傾
斜して少なくとも２枚以上の多孔板からなる整流板20a,
20bを取付けて、ダクト８内の金属蒸気６の流れを均一
に整流させる。この結果、蒸着基板上の蒸着膜厚分布を
均一に維持するものである。ここで、前記整流板の設置
枚数、孔の配列及び数量に関しては、実験結果では、整
流板の枚数は多いほど膜厚、分布の均一化の効果は大き
くなるも、金属蒸気６の圧力損失が増大して所要の蒸発
量が得られなくなることから、蒸着室の程度に応じて当
然適当な枚数があるものである。従つてここでは２枚の
場合について述べることとする。
おけるダクト８内に、金属蒸気６の流れ方向Ｚに対し傾
斜して少なくとも２枚以上の多孔板からなる整流板20a,
20bを取付けて、ダクト８内の金属蒸気６の流れを均一
に整流させる。この結果、蒸着基板上の蒸着膜厚分布を
均一に維持するものである。ここで、前記整流板の設置
枚数、孔の配列及び数量に関しては、実験結果では、整
流板の枚数は多いほど膜厚、分布の均一化の効果は大き
くなるも、金属蒸気６の圧力損失が増大して所要の蒸発
量が得られなくなることから、蒸着室の程度に応じて当
然適当な枚数があるものである。従つてここでは２枚の
場合について述べることとする。
前記２枚の整流板20a、及び20bは、第２図に示すよう
に、多数の孔21を、ほぼ等ピツチで千鳥状に板の全面に
わたつて貫設する例を示した。しかし、各多孔板の孔の
配列及び数量は場合に応じて変えてもよい。
に、多数の孔21を、ほぼ等ピツチで千鳥状に板の全面に
わたつて貫設する例を示した。しかし、各多孔板の孔の
配列及び数量は場合に応じて変えてもよい。
このように多孔板を設置することによつて蒸着膜分布が
第３図、第４図中実線b1，b2で示すように、従来装置の
場合の分布曲線a1，a2にくらべて良好な均一度が得られ
ることが実機において立証された。第３図は目標蒸着膜
厚が30μ、第４図は50μの場合の板幅方向の膜厚分布の
実測値を示す。
第３図、第４図中実線b1，b2で示すように、従来装置の
場合の分布曲線a1，a2にくらべて良好な均一度が得られ
ることが実機において立証された。第３図は目標蒸着膜
厚が30μ、第４図は50μの場合の板幅方向の膜厚分布の
実測値を示す。
以上、詳細に説明したように本発明装置では、金属蒸気
（Zn等）６を蒸着基板（帯鋼等）の蒸着面へ導くダクト
（チヤンネル）８内に、金属蒸気６の流れ方向Ｚに傾斜
して、多孔板からなる２枚以上の整流板20a,20bを取付
けてあるので、金属蒸気６のダクト８内の流れの乱れを
均一に整流し、その結果蒸着基板上への蒸着膜厚を均一
化することが可能となり、メツキ成品の品質向上ならび
に蒸着金属（Zn等）５の歩留りを向上させコスト低減を
図ることができた。
（Zn等）６を蒸着基板（帯鋼等）の蒸着面へ導くダクト
（チヤンネル）８内に、金属蒸気６の流れ方向Ｚに傾斜
して、多孔板からなる２枚以上の整流板20a,20bを取付
けてあるので、金属蒸気６のダクト８内の流れの乱れを
均一に整流し、その結果蒸着基板上への蒸着膜厚を均一
化することが可能となり、メツキ成品の品質向上ならび
に蒸着金属（Zn等）５の歩留りを向上させコスト低減を
図ることができた。
第１図は本発明の一実施例に係る連続式真空蒸着装置の
概略構成図、第２図は、第１図中Ａ−Ａ矢視による整流
板の正面図、第３図，第４図は、実機における板幅方向
の蒸着膜厚分布曲線の計測データを示す図表、第５図は
従来の連続式真空蒸着装置の概略構成図を示す。
概略構成図、第２図は、第１図中Ａ−Ａ矢視による整流
板の正面図、第３図，第４図は、実機における板幅方向
の蒸着膜厚分布曲線の計測データを示す図表、第５図は
従来の連続式真空蒸着装置の概略構成図を示す。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 田口 俊夫 広島県広島市西区観音新町４丁目６番22号 三菱重工業株式会社広島研究所内 (72)発明者 平井 悦郎 広島県広島市西区観音新町４丁目６番22号 三菱重工業株式会社広島研究所内 (72)発明者 愛甲 琢哉 大阪府堺市石津西町５番地 日新製鋼株式 会社阪神製造所内 (72)発明者 築地 憲夫 大阪府堺市石津西町５番地 日新製鋼株式 会社阪神製造所内 (56)参考文献 特開 昭63−192858（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−21379（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】真空条件下で溶融金属を蒸発させる浴槽及
び該金属蒸気を蒸着基板まで導くダクト及び前記浴槽の
出口にあって、その開口面積を自在に制御し得るシャッ
タを具備してなる連続式真空蒸着装置において、前記シ
ャッタより下流のダクト内に金属蒸気の流れ方向に対し
て傾斜する２枚以上の多孔板からなる整流板を取り付け
てなることを特徴とする連続式真空蒸着装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62023585A JPH0735567B2 (ja) | 1987-02-05 | 1987-02-05 | 連続式真空蒸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP62023585A JPH0735567B2 (ja) | 1987-02-05 | 1987-02-05 | 連続式真空蒸着装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63192859A JPS63192859A (ja) | 1988-08-10 |
| JPH0735567B2 true JPH0735567B2 (ja) | 1995-04-19 |
Family
ID=12114656
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP62023585A Expired - Lifetime JPH0735567B2 (ja) | 1987-02-05 | 1987-02-05 | 連続式真空蒸着装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0735567B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0735566B2 (ja) * | 1987-02-05 | 1995-04-19 | 三菱重工業株式会社 | 連続式真空蒸着装置 |
| WO1996035822A1 (fr) * | 1995-05-10 | 1996-11-14 | Centre De Recherches Metallurgiques - Centrum Voor Research In De Metallurgie | Dispositif et installation pour revetir une bande d'acier |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH062942B2 (ja) * | 1983-07-18 | 1994-01-12 | 三菱重工業株式会社 | 真空蒸着装置 |
| JPS6067662A (ja) * | 1983-09-21 | 1985-04-18 | Konishiroku Photo Ind Co Ltd | 薄膜形成方法及びその装置 |
| JPH0735566B2 (ja) * | 1987-02-05 | 1995-04-19 | 三菱重工業株式会社 | 連続式真空蒸着装置 |
-
1987
- 1987-02-05 JP JP62023585A patent/JPH0735567B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63192859A (ja) | 1988-08-10 |
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