JPS62267469A - 連続真空蒸着設備における帯鋼の温度制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、帯鋼へ金属を連続的に蒸着させる連続真空蒸
着設備における帯鋼の温度制御方法に関する。特に本発
明は、前記帯鋼の蒸着時における温度を調節して、良好
な金桟皮膜を得ることができる前記帯鋼の温度制御方法
に関する。

〔従来の技術〕

帯鋼に、例えば亜鉛のような金属の蒸気を連続して真空
蒸着させる設備の一例として従来から第４図に示すよう
な連続真空蒸着設備がある。

この設備の上流の図示しない連続焼軌還元炉から、例え
ば２０〜２００　ｔｎ　／　ｍのような速度で送られる
帯／Ａ１０は冷却袋ｆｔａ内のプレナムチャンバ１１に
よってその両面に馬とＮ、混合の還元性冷却用ガスが噴
射され、適温に冷却される。

そして、シールクール日で仕切られてガス置換室Ｂが配
設された搬送路りを通板し、ステアリ７　ｙ　ｏ　−ル
Ｒｆ　軌道４Ｇ　正され、各シールロール８１〜Ｓ５が
内装されて段階的にほぼ真空に減圧された入側の情動排
気室Ｐを経て蒸着室Ａへ入る。

蒸着室Ａ内で巻付はロール１に巻回して通板している帯
＠１０は、蒸発槽２から蒸発する金属蒸気がその図中右
面に蒸着され、出側の差動排気室Ｇを経て、図示しない
下流の諸設備に送られ、適温に冷却されて各種処理され
、コイル状に巻取られる。

冷却装ａＣの出口付近を通板する帯鋼１０の表面近傍に
配設された温度検出器１２は帯鋼１０の温度を検出し、
温度指示調節器１５と介して出力制御盤１４へ指令し、
ブロア１５からプレナムチャンバ１１へ送られて帯鋼１
０に噴出される冷却ガスのａ量を制御し、その温度を調
節することにより、蒸着室Ａ入口付近の蒸着されんとす
る帯′Ａ１０の温度を適温を保持している。

なお、帯鋼１０の両面への蒸着を要する場合は、蒸着室
Ａの下流へこれと左右対称の第二蒸着室を設ける。

〔発明が解決しようとする問題点〕 上記従来の連続真空蒸着設備において、帯鋼１０に真空
蒸着を施すに際し、例えば亜鉛蒸着では、その基板温度
は２５０℃が適温とされ、１５０℃未満になると蒸着皮
膜の密着性が著しく低下し、１５０℃から２５０℃に近
ずくに従って皮膜の表面色調が針状結晶による灰色から
白色を経て、良好な平板結晶である銀白色に変化し、更
に一定の温度を超えると基板の鉄との合金層が生成して
耐蝕性及び機械的性質が劣化することが確認されている
。

しかるに、帯＠１０は冷却室Ｃで冷却される際に、その
両側端部が過冷却される。また、入側の差動排気室？を
通板する際に、第５図（第４図のｖ−ｖ線拡大断面図）
に示すように、各シールロール８１〜日５部において帯
＠１０の幅を外れる範囲ではロール間に板厚だけの隙間
ｔが生成する。この隙間ｔを差動排気によるガスが流れ
、このガスは板温より低いので、帯、１１０の両側端部
は更に冷却される。このため帯ｗＡ１０に蒸着された皮
膜の色調が幅方向に不均一になると共に、耐蝕性及び機
械的性質が劣化し、その製品価値を著しく低下する。

〔目的〕

本発明は上述したような問題点を解消するために提案さ
れたもので、蒸着時における帯鋼の板温を全幅にわたっ
て適温に保持し、良好な金属皮膜を得ることができる連
続真空蒸着設備に２ける帯鋼の温度制御方法を提供する
ことを目的とする。

〔問題点を解決するための手段〕

すなわち、本発明は、差動排気室によって蒸着室の真空
排気を行い、帯鋼に金属を連続的に真空蒸着を施す連続
真空蒸着設備において、前記蒸着室入口の上流に前記帯
鋼を巻き掛けて接触伝熱させる加熱ロールを設け、該加
熱ロール内部のロール軸方向に少なくとも５個以上の発
熱体を並設し、前記蒸着室の入口付近を通板する前記帯
鋼の板幅方向の少なくとも３点以上の温度分布を検出し
て前記各発熱体の出力をそれぞれ制御し、前記加熱ロー
ルの温度及び軸方向の温度勾配を制御して前記加熱ロー
ルに巻掛けられて通板する前記″ＦＩｗ４の温度及び幅
方向の温度分布を調節することにより、蒸着室内の蒸着
されんとする前記帯鋼の温度及び板幅方向の温度分布を
制御することを特徴とする連続真空蒸着設備における帯
鋼の温度制御方法である。

本発明によれば、蒸着室入口付近を通板する帯鋼の幅方
向の温度分布を検出して各々のヒーターの出力を調節す
ることにより、加熱ロールに巻掛けられて通板する帯ｍ
を加熱ロールを介して加熱してその温度を微調整すると
共に、幅方向の温度分布を調節し、蒸着時の帯１Ｎ４’
を適温に保持すると共に、その幅方向の温度分布を均等
にする。

〔実施例〕

以下、本発明の詳細を第１図〜第Ｓ図によって説明する
が、従来の設備と同一部材には同一の符号を付し、重複
説明は省略する。なお、第１図は本発明の一実施例であ
る連続真空蒸着設儂の概略縦断面図、第２図は本発明の
実施例の制御方法を詳述する説明図、第３図は帯鋼の幅
方向における温度分布を表わすグラフである。

第１図において、搬送路りと差動排気室？との間に、ス
テアリングロールを兼用した加熱ロールＲ１が配設され
、その内部に並設された５枚の発熱体５６ａ　％　５６
ｅと、入側の差動排気室Ｆの下流である蒸着室へ入口に
装設された走査型温度検出器３２とが変換器３５、温度
指示調節器５４ａ〜３４ｅ１及び制御盤５５ａ〜３５ｅ
を介して連結されている。

第２図に示すように、計算機３１から各々の温度指示調
節器５Ａｒｓ〜ＳＡｅへ、例えば２５０℃のような帯′
Ａ１０の蒸着時における目標温度の設定値を指示する。

一方、走査型温度検出器５２は蒸着室Ａへ入らんとする
帯鋼１０の幅方向におけるａ、ｂ、ｃ、ｄ、ｅ点の温度
をそれぞれ検出し、その信号を、変換器５３を介して各
々の温度指示調節器５４ａ−５Ｊｅへ送る。計算機３１
と走査型温度検出器３２とから指令された各々の温度指
示調節５３４　ａ　−５４６によって、第３図に示すよ
うなそれぞれの検出点ａ−ｅにおける目ｐ３　Ｋと実測
値の温度差を指示された各々の制御１１１盤５５ａ−５
５ｅは、例えばサイリスタを利用した位相制御によるト
リガの位置を変える等、各々の発熱体５Ａａ−５Ａｅに
供給する電流をそれぞれ増減させてその発熱量を調節し
、加熱ロールＲ１に巻き掛けられて通板する帯鋼１０を
第５図に鎖線で示す加熱値のように加熱ロールＲ１を介
して加熱し、その板温の微調整及び板幅方向の温度分布
を調節する。

なお、第３図に示す実測値と加熱値の温度及び曲＋ＷＮ
は、ライン速度及び帯鋼１０の板厚、板幅寸法等により
変化するものである。

〔効果〕

本発明の帯鋼の温度制御方法は以上詳述したように加熱
ロールの軸方向の温度分布を制御し、その接触伝熱によ
って帯鋼の板幅方向における温度分布を均等にするので
、その全幅にわたって良好かつ均一な金属蒸着皮膜を得
ることができる効果が生ずる。

したがって本発明は、外観、耐蝕性及び機械的性質等、
品質の優れた蒸着メッキ帯鋼を提供することができると
いう優れた効果を奏するものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例である連続真空蒸着設備の
概略縦断面図、第２図は、本発明の実施例の制御方法を
拝承する説明図、第Ｓ図は帯鋼の幅方向における温度分
布を表わすグラフ、第４図は従来の連続真空蒸着設備の
一例を示す概略縦断面図、第５図は第４図のｖ−ｖ線に
沼う拡大断面図である。 １・・・巻付ロール　　２・・・蒸発槽１０　＠１帯鋼
　　　　　１１　　・・・プレナムチャンバ１２・・・
温度検出器 １５・・・温度指示調節器 １４・・・出力制御盤　　１５・・・ブロア３１　・・
・計算機　　　　３２・・・走査型温度検出器３５・・
・変換器 ５４ａ　−５４ｅ・・・温度指示調節器Ｓｅａ　％　３
５ｅ・・・制御盤 ５６ａ　〜５Ａｅ　ｅｅ噂発熱体 Ａ・・・蒸着室　　Ｂ・・・ガス置換室Ｃ・・・冷却装
置　Ｄ・・・搬送路 ？・・・差動排気室（入側） Ｇ・・・差動排気室（出側） Ｒ１・ステアリングロール Ｒ１・・・加熱ロール ８．８．〜Ｓ、・・・シールロール 復代理人　　内　１）　　明 復代理人　　萩　原　亮　− 復代理人　　安　西　篤　夫

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 差動排気室によつて蒸着室の真空排気を行い、帯鋼に金
   属を連続的に真空蒸着を施す連続真空蒸着設備において
   、前記蒸着室入口の上流に前記帯鋼を巻き掛けて接触伝
   熱させる加熱ロールを設け、該加熱ロール内部のロール
   軸方向に少なくとも３個以上の発熱体を並設し、前記蒸
   着室の入口付近を通板する前記帯鋼の板幅方向の少なく
   とも３点以上の温度分布を検出して前記各発熱体の出力
   をそれぞれ制御し、前記加熱ロールの温度及び軸方向の
   温度勾配を制御して前記加熱ロールに巻掛けられて通板
   する前記帯鋼の温度及び幅方向の温度分布を調節するこ
   とにより、蒸着室内の蒸着されんとする前記帯鋼の温度
   及び板幅方向の温度分布を制御することを特徴とする連
   続真空蒸着設備における帯鋼の温度制御方法。