JPS61281867A - 連続真空蒸着装置における板温分布制御方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、例えば鋼帯に亜鉛メッキを施す九めの連続真
空蒸着設備において、好適な鋼帯の温度分布を得る方法
に関する。

〔従来の技術〕

鋼帯に連続的に亜鉛メッキ皮膜を形成する方法として真
空蒸着メッキ法が研究さｎている。

第２図は従来の真空蒸着メツキラインの説明図で、１は
鋼帯、１′は素材コイルのアンコイラ、２は連続通板に
必ｉｎ前処理設備で、クエルダシャ　レペラ、ルーパ、
前処理炉等により構成さｎている。

鋼帯１は前処理設備２を経穴後、隔壁Ｗ及びシールロー
ルＲにより構成さｎる差圧室３，４゜５・・・を経て蒸
着室６に入る。なおこの図面には示していないが、差圧
室３，４．５・・・及び蒸着室６はそｎぞれ真４ポンプ
で吸引さｎて差圧室５，４．５・・・の顆に圧力が低く
なっており、蒸着室６の圧力は通常Ｉ　Ｔｏｒｒ以下の
中高真空雰囲気に設定されている。

蒸着室６には鋼帯１の下方にメッキ金属の入った蒸発ル
ツボ７、があり、鋼帯１が蒸発ルツボ７上を通過する間
にその下面にメッキ金属が蒸着さｎ１次いで差圧室８．
９・・・會経て順次圧力が高くなって大気中に出る。更
に図面には示していないが、レベラ、ルーパ　シャ等に
より構成さｎる後処理設備１０ｇ経てリコイラ１１　　
　′に巻き取らｎる。

第３図はシールロールＲ部の拡大図（図中、（Ａ）は第
２図と同方向からみた拡大図、（鰐はその側面図）で１
対のシールロールＲ１＊　Ｒ２が鋼板１をはさんで鋼板
１に接続し、これと同速度で回転するよう構成さｎてい
る。

し発明が解決しようとする問題点〕 このような装置において、各差圧室間には圧力差がある
几めシールロール８部の隙間を通って高い圧力の室から
低い圧力の室へ雰囲気ガスが流ｎる。ま九シールロール
Ｒ部では第３図に示すように上下一対となつ几シールロ
ールＲ１゜Ｒ１の間に鋼帯１が狭まれているので鋼帯１
の両端部の隙間を通って雰囲気ガスが流ｎる。従ってこ
のとき鋼帯１の両端がガスによって冷却さｎ鋼帯１の幅
方向に温度分布が生じる欠点があった。鋼帯１の幅方向
に温度分布があると蒸着時のメッキむらの原因となるた
め鋼帯１の幅方向の温度分布金極力均−にすることが必
要である。

本発明は上記従来法の鋼帯の幅方向の温度分布をなくす
連続真空蒸着装置における板温分布制御方法全提供しよ
うとするものである。

〔問題点を解決する定めの手段ｊ 本発明は前記従来の欠点を解消するｔめに提案さｎ几も
ので、鋼帝人側差圧室の前方にあらかじめ鋼帯と略同−
の温度に調節し之雰囲気ガスを注入することによって鋼
帯の幅方向温度分布を均一にしようとするものである。

すなわち、本発明は鋼帯を連続臭突蒸着する臭突蒸着室
の前後に複数の差圧室を各々配置してなる連続真空蒸着
装置において、入側差圧室群の前方にその温度ｔ−調節
し几シールガスを注入すること金特徴とする鋼帯の温度
分布を制御する方法である。

シールロール部において鋼帯の両端部の隙間を通って高
い圧力の室から低い圧力の室へ流ｎる雰囲気ガスによる
鋼帯の冷却量Ｑは、該ガスと鋼帯の温度差ΔＴと比例関
係にある。本発明はこのΔＴ？極く小さくする作用をな
すものである。

〔実施例コ 第１図は本発明による実施例を示す。第１図において１
は鋼帯、１′はアンコイラ、２は前処理設備、５，４，
５・・・は差圧室、６は蒸着室、７は蒸発ルツボ、８．
９・・・は差圧室、１０は後処理設備、１１はリコイラ
でこｎらは第１図と同じで、図示していないが、上記差
圧室及び蒸着室はそｎぞｎ真空ポンプで吸引される。

第１図において第２図と異なる点は鋼帯入側の差圧室３
の前号に供給管１３．１４に導びかｎ友雰囲気ガスを注
入する点にある。この注入される雰囲気ガスは、供給管
路に設けら３７’ｊ熱交換器１２によって、差圧室３の
入口における鋼帯１の温度と略同−に温度調節さｎる。

温度を調節さｎた雰囲気ガス全差圧室３の前号に設けら
ｎた隔壁Ｗ′、シールロールＲ′から成るシール室３′
に注入することにエフ、前処理設備２から流入する低温
ガスとの混合が防止さｎｌあらかじめ調節さｎ九温度の
ままシール室３′より圧力の低い差圧室３，４．５・・
・、蒸着室６に順次前記シールロールＲ部の隙間を通っ
て流入し、そｎぞｎの差圧室から真空ポンプによって吸
引さｎる。

このときシール室３′の圧力ｔ−直前の前処理設備の圧
力より若干高めに保つことにより低温ガスの流入、混合
を防止できる。一般に前処理設備の圧力はおおむね７６
０トール付近である。

〔発明の効果〕

ガスによる鋼帯端部６冷却量は鋼帯の温度とガス温度の
差をΔＴとすれば、このΔＴと比例関係にある。本発明
にエフガスの温度を鋼帯の温度と略一致させることがで
きる故Δτを零、若しくは実質上無視し得る程度に小さ
くできる結果、幅方向に温度の均一な鋼帯を蒸Ｎ呈へ供
給することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例としての臭突蒸着メツキライ
ンの側面図、第２図は従来の真空蒸着メツキラインの一
例を示す側面図、第３図は第１図及び第２図におけるシ
ールロール８部の拡大図である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）鋼帯を連続真空蒸着する真空蒸着室の前後に複数
   の差圧室を各々配置してなる連続真空蒸着装置において
   、入側差圧室群の前方にその温度を調節したシールガス
   を注入することを特徴とする鋼帯の温度分布を制御する
   方法。