RU2004125882A - Очищенный лазерной обработкой и плавлением тугоплавкий металл и его сплав - Google Patents

Очищенный лазерной обработкой и плавлением тугоплавкий металл и его сплав Download PDF

Info

Publication number
RU2004125882A
RU2004125882A RU2004125882/02A RU2004125882A RU2004125882A RU 2004125882 A RU2004125882 A RU 2004125882A RU 2004125882/02 A RU2004125882/02 A RU 2004125882/02A RU 2004125882 A RU2004125882 A RU 2004125882A RU 2004125882 A RU2004125882 A RU 2004125882A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
tantalum
product
spray product
substrate
recovering
Prior art date
Application number
RU2004125882/02A
Other languages
English (en)
Other versions
RU2333086C2 (ru
Inventor
Пол ЭЙМОН (US)
Пол ЭЙМОН
Прабхат КУМАР (US)
Прабхат Кумар
Петер Р. ДЖЕПСОН (US)
Петер Р. ДЖЕПСОН
Original Assignee
Х.Ц. Щтарк, Инк. (US)
Х.Ц. Щтарк, Инк.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Х.Ц. Щтарк, Инк. (US), Х.Ц. Щтарк, Инк. filed Critical Х.Ц. Щтарк, Инк. (US)
Publication of RU2004125882A publication Critical patent/RU2004125882A/ru
Application granted granted Critical
Publication of RU2333086C2 publication Critical patent/RU2333086C2/ru

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B22—CASTING; POWDER METALLURGY
    • B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
    • B22F5/00—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the special shape of the product
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target
    • C23C14/3414—Metallurgical or chemical aspects of target preparation, e.g. casting, powder metallurgy
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C26/00—Coating not provided for in groups C23C2/00 - C23C24/00
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C24/00—Coating starting from inorganic powder
    • C23C24/08—Coating starting from inorganic powder by application of heat or pressure and heat
    • C23C24/10—Coating starting from inorganic powder by application of heat or pressure and heat with intermediate formation of a liquid phase in the layer

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Other Surface Treatments For Metallic Materials (AREA)
  • Coating By Spraying Or Casting (AREA)

Claims (16)

1. Способ изготовления детали из тугоплавкого металла, включающий:
(a) загрузку частиц порошка металла в бункер для подачи в лазерную аддитивную камеру,
(b) подача подложки в лазерную аддитивную камеру,
(c) подача частиц порошка металла в аддитивную камеру на последовательные точки на подложке по прямой линии,
(d) плавление подложки и порошка лучом лазера и создание множественных покрытий регулируемой микроструктуры,
(e) трассирование подложки по выбранной зоне с совмещением осаждения и расплавления лучом и создание покрытия регулируемой микроструктуры во множестве слоев, и
(f) создание осажденного пласта из покрытия и формирование детали из тугоплавкого металла.
2. Способ по п.1, в котором осажденный пласт, созданный из покрытия, является полностью плотным отложением.
3. Способ по п.1, в котором процесс проводят в инертных условиях.
4. Способ по п.3, в котором условия включают аргон и близкое или ниже атмосферного давление.
5. Способ по п.1, в котором процесс осуществляют в высоком вакууме.
6. Способ по п.1, в котором лучом лазера получают достаточно высокую температуру для создания условий, при которых очищают порошок и деталь из тугоплавкого металла.
7. Способ по п.1, в котором деталь из тугоплавкого металла является продуктом напыления.
8. Деталь из тугоплавкого металла, изготовленная способом по п.1.
9. Способ восстановления продукта танталового напыления, включающий подвергание разрушенной области продукта танталового напыления плазменному осаждению с формированием полностью плотного отложения и таким образом восстановлением продукта танталового напыления.
10. Способ по п.9, в котором продукт танталового напыления имеет подложку, и продукт напыления восстанавливают без отделения подложки от полученного напылением тантала пласта.
11. Продукт напыления, изготовленный способом по п.9.
12. Способ восстановления продукта танталового напыления, включающий подвергание разрушенной области продукта танталового напыления спеканию лазером с формированием полностью плотного отложения и таким образом восстановление продукта танталового напыления.
13. Способ по п.12, в котором продукт танталового напыления имеет подложку и продукт восстанавливают без отделения подложки от полученного напылением тантала пласта.
14. Продукт напыления, изготовленный способом по п.12.
15. Способ восстановления продукта танталового напыления, включающий подвергание разрушенной области продукта танталового напыления горячему изостатическому прессованию с формированием полностью плотного отложения и наполнение разрушенной области продукта танталового напыления, таким образом, восстановление продукта танталового напыления.
16. Продукт напыления, изготовленный способом по п.15.
RU2004125882/02A 2002-01-24 2003-01-22 Очищенный лазерной обработкой и плавлением тугоплавкий металл и его сплав RU2333086C2 (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US35155502P 2002-01-24 2002-01-24
US60/351,555 2002-01-24

Publications (2)

Publication Number Publication Date
RU2004125882A true RU2004125882A (ru) 2005-06-10
RU2333086C2 RU2333086C2 (ru) 2008-09-10

Family

ID=27613510

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2004125882/02A RU2333086C2 (ru) 2002-01-24 2003-01-22 Очищенный лазерной обработкой и плавлением тугоплавкий металл и его сплав

Country Status (16)

Country Link
US (1) US7651658B2 (ru)
EP (2) EP2278045A1 (ru)
JP (1) JP2005516117A (ru)
KR (1) KR20040103920A (ru)
BR (1) BR0307105A (ru)
CA (1) CA2473830A1 (ru)
IL (1) IL162837A0 (ru)
MX (1) MXPA04007103A (ru)
NO (1) NO20043487L (ru)
NZ (1) NZ534237A (ru)
PL (1) PL370455A1 (ru)
RS (1) RS65004A (ru)
RU (1) RU2333086C2 (ru)
TW (2) TWI314591B (ru)
WO (1) WO2003062491A2 (ru)
ZA (1) ZA200405765B (ru)

Families Citing this family (55)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7794554B2 (en) * 2001-02-14 2010-09-14 H.C. Starck Inc. Rejuvenation of refractory metal products
JP4299157B2 (ja) * 2004-02-03 2009-07-22 トヨタ自動車株式会社 粉末金属肉盛ノズル
US7504008B2 (en) 2004-03-12 2009-03-17 Applied Materials, Inc. Refurbishment of sputtering targets
US7416789B2 (en) * 2004-11-01 2008-08-26 H.C. Starck Inc. Refractory metal substrate with improved thermal conductivity
CA2606478C (en) * 2005-05-05 2013-10-08 H.C. Starck Gmbh Method for coating a substrate surface and coated product
JP4904341B2 (ja) * 2005-05-05 2012-03-28 ハー．ツェー．スタルク ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング スパッタターゲット及びｘ線アノードを製造又は再処理するための被覆方法
US9127362B2 (en) 2005-10-31 2015-09-08 Applied Materials, Inc. Process kit and target for substrate processing chamber
US7648740B2 (en) * 2006-06-12 2010-01-19 The Boeing Company Method of making improved net-shaped components by hybrid metal deposition processing
ES2381854T3 (es) 2006-07-14 2012-06-01 Avioprop S.r.l. Producción en serie de artículos tridimensionales hechos de compuestos intermetálicos
US20080075618A1 (en) * 2006-09-19 2008-03-27 Schlumberger Technology Corporation Metal Powder Layered Apparatus for Downhole Use
US20080078268A1 (en) * 2006-10-03 2008-04-03 H.C. Starck Inc. Process for preparing metal powders having low oxygen content, powders so-produced and uses thereof
GB0621184D0 (en) * 2006-10-25 2006-12-06 Rolls Royce Plc Method for treating a component of a gas turbine engine
MX2009004773A (es) * 2006-11-07 2009-05-21 Starck H C Gmbh Metodo para revestir una superficie de sustrato y producto revestido.
US20080145688A1 (en) 2006-12-13 2008-06-19 H.C. Starck Inc. Method of joining tantalum clade steel structures
GB0701397D0 (en) * 2007-01-25 2007-03-07 Rolls Royce Plc Apparatus and method for calibrating a laser deposition system
WO2008096648A1 (ja) 2007-02-09 2008-08-14 Nippon Mining & Metals Co., Ltd. 高融点金属合金、高融点金属珪化物、高融点金属炭化物、高融点金属窒化物あるいは高融点金属ホウ化物の難焼結体からなるターゲット及びその製造方法並びに同スパッタリングターゲット－バッキングプレート組立体及びその製造方法
EP2152924B1 (en) * 2007-04-27 2017-08-09 H.C. Starck Inc. Tantalum based alloy that is resistant to aqueous corrosion
WO2008134516A2 (en) * 2007-04-27 2008-11-06 Honeywell International Inc. Novel manufacturing design and processing methods and apparatus for sputtering targets
US8197894B2 (en) 2007-05-04 2012-06-12 H.C. Starck Gmbh Methods of forming sputtering targets
GB2449862B (en) * 2007-06-05 2009-09-16 Rolls Royce Plc Method for producing abrasive tips for gas turbine blades
US8968536B2 (en) 2007-06-18 2015-03-03 Applied Materials, Inc. Sputtering target having increased life and sputtering uniformity
US8246903B2 (en) 2008-09-09 2012-08-21 H.C. Starck Inc. Dynamic dehydriding of refractory metal powders
US8043655B2 (en) * 2008-10-06 2011-10-25 H.C. Starck, Inc. Low-energy method of manufacturing bulk metallic structures with submicron grain sizes
GB0822703D0 (en) * 2008-12-15 2009-01-21 Rolls Royce Plc A component having an abrasive layer and a method of applying an abrasive layer on a component
US20110008201A1 (en) * 2009-07-07 2011-01-13 H.C. Starck Inc. Niobium based alloy that is resistant to aqueous corrosion
US9834829B1 (en) 2009-07-07 2017-12-05 H.C. Starck Inc. Niobium-based alloy that is resistant to aqueous corrosion
US20120135265A1 (en) * 2009-07-07 2012-05-31 Eurocoating S.P.A Laser process for producing metallic objects, and object obtained therefrom
FR2953747B1 (fr) * 2009-12-14 2012-03-23 Snecma Procede de reparation d'une aube en titane par rechargement laser et compression hip moderee
US9175568B2 (en) 2010-06-22 2015-11-03 Honeywell International Inc. Methods for manufacturing turbine components
US9085980B2 (en) 2011-03-04 2015-07-21 Honeywell International Inc. Methods for repairing turbine components
US8506836B2 (en) 2011-09-16 2013-08-13 Honeywell International Inc. Methods for manufacturing components from articles formed by additive-manufacturing processes
US9412568B2 (en) 2011-09-29 2016-08-09 H.C. Starck, Inc. Large-area sputtering targets
US9266170B2 (en) 2012-01-27 2016-02-23 Honeywell International Inc. Multi-material turbine components
CN103361640A (zh) * 2012-03-31 2013-10-23 深圳光启创新技术有限公司 一种超材料的加工方法及超材料
US9079803B2 (en) * 2012-04-05 2015-07-14 United Technologies Corporation Additive manufacturing hybrid core
US9120151B2 (en) 2012-08-01 2015-09-01 Honeywell International Inc. Methods for manufacturing titanium aluminide components from articles formed by consolidation processes
US20140209576A1 (en) * 2013-01-31 2014-07-31 Kazim Ozbaysal Use of elevated pressures for reducing cracks in superalloy welding and cladding
CA2897012C (en) 2013-03-13 2021-01-05 Peter E. Daum Laser deposition using a protrusion technique
CN103817328B (zh) * 2014-02-21 2016-07-06 西安交通大学 提高金属粉末激光选区烧结成形件质量的装置
AT14301U1 (de) * 2014-07-09 2015-07-15 Plansee Se Verfahren zur Herstellung eines Bauteils
CN104801712B (zh) * 2015-04-22 2017-03-01 华南理工大学 一种激光与微束等离子复合3d打印设备与方法
KR101674883B1 (ko) * 2015-12-10 2016-11-11 한국원자력연구원 고밀도 우라늄 표적 제조 방법 및 이를 통해 제조된 고밀도 우라늄 표적
JPWO2017115648A1 (ja) * 2015-12-28 2017-12-28 Ｊｘ金属株式会社 スパッタリングターゲットの製造方法
CN105522154A (zh) * 2016-03-03 2016-04-27 中研智能装备有限公司 一种轧辊等离子3d快速成型设备及成型方法
US10099267B2 (en) 2016-03-03 2018-10-16 H.C. Starck Inc. High-density, crack-free metallic parts
US11407034B2 (en) 2017-07-06 2022-08-09 OmniTek Technology Ltda. Selective laser melting system and method of using same
CN109402624A (zh) * 2017-08-17 2019-03-01 中国科学院金属研究所 一种抑制激光增材制造合金钢内部孔洞形成的方法
KR102209877B1 (ko) 2018-11-19 2021-02-02 한국생산기술연구원 난용접성 소재 적층 장치 및 그 방법
JP6650141B1 (ja) * 2019-01-10 2020-02-19 株式会社ティー・オール 使用済み成膜用ターゲットの充填式再生方法
CN110218997B (zh) * 2019-05-31 2020-12-01 阳江市五金刀剪产业技术研究院 一种刀具涂层的加工方法
CN110295365A (zh) * 2019-07-29 2019-10-01 福建阿石创新材料股份有限公司 一种溅射靶材及其制备方法和装置
KR102264467B1 (ko) 2019-11-29 2021-06-15 한국생산기술연구원 난용접성 소재 층 예열 적층 장치 및 그 방법
CN112522698B (zh) * 2020-11-26 2023-04-25 江苏科技大学 一种超声振动辅助激光熔覆钨钽铌合金装置及方法
CN113543450B (zh) * 2021-06-25 2022-10-25 西安交通大学 一种用于超导腔的铜铌复合材料板的制作方法
CN113814414A (zh) * 2021-09-28 2021-12-21 长沙新材料产业研究院有限公司 一种钽铌合金部件及其制备方法

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4323756A (en) * 1979-10-29 1982-04-06 United Technologies Corporation Method for fabricating articles by sequential layer deposition
US5038014A (en) * 1989-02-08 1991-08-06 General Electric Company Fabrication of components by layered deposition
JPH04120259A (ja) * 1990-09-10 1992-04-21 Agency Of Ind Science & Technol レーザ溶射法による機器・部材の製造方法および装置
FR2684033B1 (fr) * 1991-11-25 1993-12-31 Gec Alsthom Sa Procede de revetement par laser de pieces cylindriques.
US5640667A (en) * 1995-11-27 1997-06-17 Board Of Regents, The University Of Texas System Laser-directed fabrication of full-density metal articles using hot isostatic processing
US6269536B1 (en) 1996-03-28 2001-08-07 H.C. Starck, Inc. Production of low oxygen metal wire
US6046426A (en) * 1996-07-08 2000-04-04 Sandia Corporation Method and system for producing complex-shape objects
DE19649865C1 (de) * 1996-12-02 1998-02-12 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren zur Herstellung eines Formkörpers
US6203861B1 (en) * 1998-01-12 2001-03-20 University Of Central Florida One-step rapid manufacturing of metal and composite parts
US6172327B1 (en) * 1998-07-14 2001-01-09 General Electric Company Method for laser twist welding of compressor blisk airfoils
DE19925330A1 (de) * 1999-06-02 2000-12-07 Leybold Materials Gmbh Verfahren zur Herstellung oder zum Recyceln von Sputtertargets
AU2001275164A1 (en) * 2000-06-01 2001-12-11 Board Of Regents, The University Of Texas System Direct selective laser sintering of metals
CN1221684C (zh) * 2001-02-14 2005-10-05 H·C·施塔克公司 高熔点金属制品的再生

Also Published As

Publication number Publication date
RS65004A (en) 2006-10-27
WO2003062491A3 (en) 2003-12-24
KR20040103920A (ko) 2004-12-09
TWI337205B (en) 2011-02-11
NO20043487L (no) 2004-08-20
US20050142021A1 (en) 2005-06-30
JP2005516117A (ja) 2005-06-02
MXPA04007103A (es) 2004-10-29
ZA200405765B (en) 2005-07-20
US7651658B2 (en) 2010-01-26
TWI314591B (en) 2009-09-11
IL162837A0 (en) 2005-11-20
WO2003062491A2 (en) 2003-07-31
PL370455A1 (en) 2005-05-30
EP1470265A2 (en) 2004-10-27
TW200401845A (en) 2004-02-01
NZ534237A (en) 2006-01-27
RU2333086C2 (ru) 2008-09-10
CA2473830A1 (en) 2003-07-31
BR0307105A (pt) 2004-12-28
TW200706676A (en) 2007-02-16
EP2278045A1 (en) 2011-01-26

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2004125882A (ru) Очищенный лазерной обработкой и плавлением тугоплавкий металл и его сплав
JP2005516117A5 (ru)
JP5254541B2 (ja) 溶射材料、溶射被覆、溶射法および溶射被処理品被覆処理された物品
US7479464B2 (en) Low temperature aerosol deposition of a plasma resistive layer
JP4637819B2 (ja) スパッタリングターゲットを製造するための方法および装置
CN103160797A (zh) 纳米陶瓷涂层、沉积有该涂层的压铸模具及其制备方法
CN101115861B (zh) 采用热喷涂生产基于硅与锆的靶的方法
GB2172827A (en) Producing a coherent spray deposited product from liquid metal or metal alloy
EP1524682B1 (en) Component for vacuum apparatus, production method thereof and apparatus using the same
US5192578A (en) Method of producing coating using negative dc pulses with specified duty factor
JP4894158B2 (ja) 真空装置用部品
US8425737B2 (en) Method for making coated article
TWI677589B (zh) 一種濺射靶材的製備方法
KR20120070558A (ko) 인덱스 가능한 인서트의 제조 방법
JP2009191345A (ja) 異種材料複合部材およびその製造方法
US6472014B1 (en) Uniform surface texturing for PVD/CVD hardware
US8425736B2 (en) Method for making coated article
US20090134020A1 (en) Sputtering target and process for producing the same
CN102345094A (zh) 涂层、具有该涂层的被覆件及该被覆件的制备方法
EP2817431A2 (en) High surface area coating.
US8435390B2 (en) Method for making coated article
Smith et al. Plasma Sprayed Refractory Metal Structures and Properties
CN102758175A (zh) 镀膜件及其制备方法
Masaylo et al. Investigation of Aluminum Composite Produced by Laser-Assisted Cold Spray Additive Manufacturing
CN102345095A (zh) 涂层、具有该涂层的被覆件及该被覆件的制备方法

Legal Events

Date Code Title Description
MM4A The patent is invalid due to non-payment of fees

Effective date: 20090123