RU1838830C - Носитель оптической записи и способ его изготовлени - Google Patents
Носитель оптической записи и способ его изготовлениInfo
- Publication number
- RU1838830C RU1838830C SU904743567A SU4743567A RU1838830C RU 1838830 C RU1838830 C RU 1838830C SU 904743567 A SU904743567 A SU 904743567A SU 4743567 A SU4743567 A SU 4743567A RU 1838830 C RU1838830 C RU 1838830C
- Authority
- RU
- Russia
- Prior art keywords
- recording layer
- film
- protective
- optical
- silicon
- Prior art date
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/241—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
- G11B7/252—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers
- G11B7/254—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of protective topcoat layers
- G11B7/2548—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of protective topcoat layers consisting essentially of inorganic materials
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/241—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
- G11B7/252—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers
- G11B7/254—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of protective topcoat layers
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B11/00—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor
- G11B11/10—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field
- G11B11/105—Recording on or reproducing from the same record carrier wherein for these two operations the methods are covered by different main groups of groups G11B3/00 - G11B7/00 or by different subgroups of group G11B9/00; Record carriers therefor using recording by magnetic means or other means for magnetisation or demagnetisation of a record carrier, e.g. light induced spin magnetisation; Demagnetisation by thermal or stress means in the presence or not of an orienting magnetic field using a beam of light or a magnetic field for recording by change of magnetisation and a beam of light for reproducing, i.e. magneto-optical, e.g. light-induced thermomagnetic recording, spin magnetisation recording, Kerr or Faraday effect reproducing
- G11B11/10582—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form
- G11B11/10586—Record carriers characterised by the selection of the material or by the structure or form characterised by the selection of the material
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/241—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
- G11B7/252—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers
- G11B7/257—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of layers having properties involved in recording or reproduction, e.g. optical interference layers or sensitising layers or dielectric layers, which are protecting the recording layers
- G11B7/2578—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of layers having properties involved in recording or reproduction, e.g. optical interference layers or sensitising layers or dielectric layers, which are protecting the recording layers consisting essentially of inorganic materials
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/26—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/241—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
- G11B7/242—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers
- G11B7/243—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of recording layers comprising inorganic materials only, e.g. ablative layers
- G11B2007/24302—Metals or metalloids
- G11B2007/24306—Metals or metalloids transition metal elements of groups 3-10
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/241—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
- G11B7/252—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers
- G11B7/257—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of layers having properties involved in recording or reproduction, e.g. optical interference layers or sensitising layers or dielectric layers, which are protecting the recording layers
- G11B2007/25705—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of layers having properties involved in recording or reproduction, e.g. optical interference layers or sensitising layers or dielectric layers, which are protecting the recording layers consisting essentially of inorganic materials
- G11B2007/25706—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of layers having properties involved in recording or reproduction, e.g. optical interference layers or sensitising layers or dielectric layers, which are protecting the recording layers consisting essentially of inorganic materials containing transition metal elements (Zn, Fe, Co, Ni, Pt)
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/241—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
- G11B7/252—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers
- G11B7/257—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of layers having properties involved in recording or reproduction, e.g. optical interference layers or sensitising layers or dielectric layers, which are protecting the recording layers
- G11B2007/25705—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of layers having properties involved in recording or reproduction, e.g. optical interference layers or sensitising layers or dielectric layers, which are protecting the recording layers consisting essentially of inorganic materials
- G11B2007/2571—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of layers having properties involved in recording or reproduction, e.g. optical interference layers or sensitising layers or dielectric layers, which are protecting the recording layers consisting essentially of inorganic materials containing group 14 elements except carbon (Si, Ge, Sn, Pb)
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/24—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
- G11B7/241—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material
- G11B7/252—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers
- G11B7/257—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of layers having properties involved in recording or reproduction, e.g. optical interference layers or sensitising layers or dielectric layers, which are protecting the recording layers
- G11B2007/25705—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of layers having properties involved in recording or reproduction, e.g. optical interference layers or sensitising layers or dielectric layers, which are protecting the recording layers consisting essentially of inorganic materials
- G11B2007/25713—Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material characterised by the selection of the material of layers other than recording layers of layers having properties involved in recording or reproduction, e.g. optical interference layers or sensitising layers or dielectric layers, which are protecting the recording layers consisting essentially of inorganic materials containing nitrogen
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
- Thermal Transfer Or Thermal Recording In General (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
Использование: накопление информации , носители и способы их изготовлени : носитель содержит прозрачную подложку, защитную пленку, регистрирующий слой и отражающий слой. Защитный слой выполн ют толщиной 50...5000 м из кремни , хрома и азота путем распылени катода из сплава кремни и хрома в магнетроне посто нного тока. Распыление ведут в смеси инертного газа и азота в соотношении соответственно 9:1...2:8. 2 з. и 2 с.п.ф-лы, 2 ил., 2 табл.
Description
Изобретение относитс к области накопител информации с использованием оптических средств, в частности, к носител м информации дл оптических дисковых систем записи/воспроизведени информации.
Ц|ель изобретени - повышение корро- зионн(ой стойкости носител .
Дл достижени поставленной цели, в носителе оптической записи, содержащем подло|жку с регистрирующим слоем и защитную оптически активную пленку, размещенную на светоотражающей и/или светопропускающей стороне регистрирующего рло , защитна пленка выполнена толщиной 50...5000 А и содержит кремний (SI)- хром (fcr) и азот (N), атомное отношение которых описываетс формулой:
(Sii-xCrx)i-yNy: где х - удовлетвор ет неравенству:
0, 0,4, ау-0.01 у 0,9.
Регистрирующий слой выполнен магнитооптическим и имеет одноосную магнитную анизотропию, перпендикул рную к плоскости защитной оптически активной пленки.
Регистрирующий слой выполнен из материала с переменным коэффициентом оптического пропускани -и/или отражени .
В способе изготовлени носител оптической записи, при котором на прозрачную подложку нанос т защитную оптически активную пленку, а затем регистрирующий слой, причем защитную пленку нанос т в вакууме путем распылени катода из сплава кремни и металла, имеющего удельное, электрическое сопротивление меньшее, чем у кремни , распыление производ т в магнетроне посто нного тока в атмосфере смеси инертного газа и азота в соотношении соответственно 9:1...2:8, а в качестве металла , составл ющего сплав с кремнием, используют хром.
(Л
С
00 CJ 00 00 Сл)
о
Сл
Сущность изобретени по сн етс чертежами , где на фиг.1 приведено поперечное сечение носител оптической записи по одному из вариантов его выполнени , а на фиг.2 - по другому варианту его выполнени .
Носитель содержит подложку 1 (фиг, 1,2), защитную пленку 2, регистрирующий слой 3, отражающий слой 4 (фиг.2).
Кроме того, отражающий слой 4 может быть нанесен на защитной пленке, покрывающей регистрирующий слой (на рис. вариант не приведен).
Запись информации на предложенный носитель производ т следующим образом. На носитель со стороны прозрачной подложки 1 направл ют записывающее (воспроизвод щее) лазерное излучение в направлении по стрелке А (фиг. 1,2). Излучение проходит подложку 1, защитную пленку 2, котора функционирует как пленка усилени , и производит запись (воспроизведение В) из регистрирующего сло 3. При воспроизведении информации излучение может дважды проходить подложку и указанные слои за счет отражени от отражающего сло 4 (фиг,2), В качестве материалов подложки 1 могут быть использованы многие прозрачные материалы: стекло, полиметил- метакрилат, поликарбонат, различные высокомолекул рные соединени ,
Защитна пленка 2 может выполн тьс из соединени , в состав которого вход т кремний, хром и азот, атомное отношение которых описываетс формулой:
(Sli-x Сгх) 1-у Ny: где 0,05 х 0,4, 0,01 у 0,9
Пленку выполн ют толщиной от 50 до 5000 А и ее формирование производ т в магнетроне посто нного тока путем распылени катода из сплава кремни и хрома в атмосфере смеси инертного газа и азота в соотношении соответственно от 9:1 до 2:8. В качестве материала регистрирующего сло 3 могут быть использованы многие материалы . В случае, если этот слой магнитооптический , то предпочтительно, чтобы он выполн лс содержащим, по крайней мере, один элемент, выбранный из Sd-группы переходных металлов, а также по крайней мере один элемент из редкоземельных металлов, или он может содержать по крайней мере один элемент, выбранный из 3d- группы переходных металлов, по крайней мере один элемент, выбранный из редкоземельных металлов и (с) коррозионно стойкие металлы, такие к&к Pt, Pd, Ti, Zr, Та, Md, Nb или им подобные.
Если регистрирующий слой не магнитооптический , а например, фазо-переходной,
то он может изготавливатьс из пленки сплава, содержащего Те или Se в качестве основного компонента, или из пленки состава Te-Ge-Sb, или из пленки состава Te-GeZn , или из пленки состава In-Sb-Te или из пленок подобных составов.
Материалом отражающего сло 4 может быть алюминиевый сплав, например, AI-Hf или AI-Hf-Ti, или AI-Cr-Ti или аналогичный
иной сплав, а также могут быть использованы сплавы на основе никел , или платины, или кобальта, или циркони .
Пример конкретного выполнени .
П р им е р 1. Защитна пленка, содержаща SI, Сг и N и имеюща толщину около 1000 А°, была образована на подложке из сополимера этилентетрациклододецена путем реактивного распылени композитной мишени, имеющей чипы Сг, помещенные на мишень SI, с усиленной мощностью ВЧ-разр да 500 Вт и в атмосфере смешанных газов Аг 20 SCCM и N 20 S ССМ (1,5 м Тор). Атомное отношение Si и Сг было 67:33, Затем регистрирующий слой из Tb-Fe-Co
примерно толщиной 1000 А был образован на защитной пленке с помощью распылени магнетроном посто нного тока в услови х 20-50°С и давлении 1,0-10 Торр в атмосфере аргона. Носитель оптической записи был
получен путем образовани защитной пленки Si-Cr-N толщиной примерно 100 А° на регистрирующем слое тем же способом, как описано выше. Испытание на долговечность этого носител оптической записи производилось путем помещени его в атмосфере 85°С и относительной влажности 85% в течение 1000 часов. Коэрцитивна сила не изменилась в течение этого испытани .
Оптическа константа и результат испытани на растрескивание защитной пленки приведены в табл.1. Оптическа константа защитной пленки была измерена эллипсо- метром (на длине волны 839 нм). Испытание на растрескивание защитной пленки, образованной на подложке, проводилось перед образованием последовательных записывающего сло и защитной пленки.
П р и м е р 2. Носитель оптической записи был получен путем образовани защитных пленок SI-Cr-N на подложке и записывающем слое тем же самым способом , как описано в примере 1, за исключениемиспользовани мишени синтезированного сплава SI и Сг(Сг 20
5 атм.%) в качестве катода. Атомное отношение Si и Сг в защитных пленках было 80:20. Коэрцитивна сила (Не) не измен лась в испытании на долговечность аналогичного в примере 1. Ортическа константа защитной пленки и результаты испытани на растрескивание приведены в таблице 1. Контрольный пример.
Перёд изготовлением носител оптический записи проводились следующие испытани в отношении реактивного распылени в посто нном токе.
Испытание 1: после вакууминизации ка- ме эы до 5x10 8 Торр проводилось.распылении в посто нном токе, использу мишень сплава SI и Сг(композици Slso Сгао. размер
4 дюйма) в качестве катода при усиленном посто нном токе 300 Вт в атмосфере смешённых газов газа Аг 20 SCCM и N газа 20
5 jtCM. Обеспечивалось, чтобы тлеющий разр д был стабильным при этих услови х. j Испытание 2: затем после доведени давлени в камере до атмосферного путем ввода в нее воздуха и повторного образовани вакуума пор дка 5х 10 Торр. произво- ди/юсь реактивное распыление в посто нном токе аналогично вышеописан- Н01йу способу. Тлеющий разр д снова обес- пе ивалс стабильным. ; П ри ме-р 3.
После вакууминизации камеры до 5xllO 5Topp производилось реактивное рас- пьиЬение в посто нном токе, использу ми- щейьсплава Si и Сг (состав SieoCr20, размер 4 дюйма), в качестве катода усиленным посто нным током 300 Вт в атмосфере (1,5 м Торр) смешанных газов газа Ar20 S CCM и газа N 20 S CCM дл осаждени защитной плёнки Si-Cr-N, имеющей .толщину около 10Q.O А° на подложке из сополимера этиле- на-тетрациклододецена.
Затем регистрирующий слой Tb-Fe-Co толщиной примерно 1000 А был образован на защитной пленке путем распылени в маг нитроне посто нного тока мишени сплава frb-Fe-Co в услови х 20-50°С и 1, Торр в атмосфере аргона. Затем носитель оптической записи был получен путем обра- зовЬни защитной пленки SI-Cr-N толщиной прцмерно 1000 А на регистрирующем слое, аналогично тому, как описано выше. Атомное отношение SI и Сг защитной пленки бьф 80:20.
Обеспечивалось, чтобы тлеющий разр д был стабильным во врем осаждени защитной пленки. Коэрцитивна сила (Не) не измен лась в испытание на долговечность , аналогичного примеру 1. Оптическа константа защитной пленки и результат испытани на растрескивание также приведены $ таблице 1.
Примеры 4-9.
Носитель оптической записи был получен тем же способом, как в примере 3, но
скоррсть потока смешенных газов Аг и N измен лась.
Скорость потока газов, скорость образовани и кажда оптическа константа за- 5 щитных пленок приведены в табл.2.
Сравнительный пример 1.
Образование защитной пленки производилось путем использовани только мишени SI в качестве катода при тех же 0 услови х как в примере 3. Но разр д не был стабильным, и защитный слой не мог быть образован.
Сравнительный пример 2.
Носитель оптической записи был пол- 5 учен путем образовани защитных пленок на подложке в регистрирующем слое в услови х как в примере 1, за исключением использовани композитной мишени в виде мишени SI с чипами Мо на ней. Результат 0 указан в таблице 1.
Сравнительный пример 3.
Носитель оптической записи был получен путем образовани защитных пленок на подложке и регистрирующем слое в усло- 5 ви х как в примере 1, за исключением использовани композитной мишени типа мишени SI с чипами Nd на ней. Результат приведен в таблице 1.
Сравнительный пример 4, 0 Носитель оптической записи был получен путем образовани защитных пленок на подложке и регистрирующем слое в тех же услови х как в примере 1, за исключением использовани композитной мишени ти- 5 па мишени Si с чипами ТЬ на ней. Результат приведен в таблице 1.
Сравнительный пример 5.
Носитель оптической записи был получен путем образовани защитных пленок 0 на подложке и регистрирующем слое в тех же услови х как в примере 1, за исключением использовани композитной мишени типа мишени Sf с чипами gd на ней. Результат приведен в таблице 1. 5 Сравнительный пример 6.
Носитель оптической записи был получен путем образовани защитных пленок на подложке и регистрирующем слое в тех же услови х как в примере 1, за исключени- 0 ем использовани композитной мишени типа мишени Si с чипами Со на ней. Результат, приведен в таблице 1.
Сравнительный пример 7. 5 Носитель оптической записи был получен путём образовани защитных пленок на подложке и регистрирующем слое в тех же услови х как в примере 1, за исключением использовани композитной мишени типа мишени Si с чипами TI на ней. Атомное
отношение SI и TI в защитной пленке было 69:31. Результат приведен в таблице 1.
Сравнительный пример 8,
Носитель оптической записи был получен путем образовани защитных пленок на подложке и регистрирующем слое в тех же услови х как в примере 1, за исключением использовани композитной мишени типа мишени Si с чипами Zr на ней. Атомное отношение SI и Zr в защитной пленке было 92:8. Результат приведен в таблице 1.
Защитные пленки в примерах 1-3 имеют меньшую склонность к образованию трещин , чем пленки в сравнительных примерах 1-8, высокую преломл ющую способность и используютс или в, качестве защитной пленки или в качестве сло оптического усили .
Claims (4)
1. Носитель оптической записи, содержащий подложку с регистрирующим слоем и защитную оптически активную пленку, размещенную на светоотражающей и/или светопропускающей стороне регистрирующего сло , от ли чающийс тем, что, с целью повышени коррозионной стойкости, защитна пленка выполнена толщиной 50- 5000А и содержит кремний (Si), хром (Сг) и азот (N), атомное отношение которых описываетс формулой
(Si 1-х Сгх) 1-у Ny ,
где х - удовлетвор ет неравенству 0.05:Јх ОА
у-0, 0,9.
2. Носитель по п. 1,отличающий- с
тем, что регистрирующий слой выполнен магнитооптическим и имеет одноосную магнитную анизотропию, перпендикул рную к плоскости защитной оптически активной пленки.
3. Носитель по п.1 или п.2, отличаю- щ и и с тем, что регистрирующий слой выполнен из материала с переменным коэффициентом оптического пропускани и/или отражени .
4. Способ изготовлени носител оптической записи, при котором на прозрачную подложку нанос т защитную оптически активную пленку, а затем регистрирующий слой, причем защитную пленку нанос т в
вакууме путём распылени катода из сплава кремни и металла, имеющего удельное электрическое сопротивление меньшее, чем у кремни , отличающийс тем, что, с целью повышени коррозионной стойкости,
распыление производ т в магнетроне посто нного тока в атмосфере смеси инертного газа и азота в соотношении соответственно 9:1-2:8, а в качестве металла , составл ющего сплав с кремнием, используют хром.
П р и м е ч а н и е: в колонке трещины пленки 0 означает, что трещин не обнаружено и X означает, что были некоторые трещины в слое.
Таблица 1
Примем а. ни е: в колонке трещин пленки 0 означает, что трещины не обнаружены.
Н
}////
/
/
f / / ///( //// / / / г S /
Ш;т$ $ $Таблица 2
/
1
г -j
Фчг- i
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1087307A JPH02265052A (ja) | 1989-04-06 | 1989-04-06 | 光記録媒体の製造方法 |
| JP1087306A JPH02265051A (ja) | 1989-04-06 | 1989-04-06 | 光記録媒体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| RU1838830C true RU1838830C (ru) | 1993-08-30 |
Family
ID=26428598
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| SU904743567A RU1838830C (ru) | 1989-04-06 | 1990-04-05 | Носитель оптической записи и способ его изготовлени |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0391423A3 (ru) |
| KR (1) | KR900016972A (ru) |
| CN (1) | CN1046226A (ru) |
| CA (1) | CA2013867A1 (ru) |
| CS (1) | CS163590A3 (ru) |
| RU (1) | RU1838830C (ru) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB2254620B (en) * | 1991-03-25 | 1994-10-05 | Kobe Steel Ltd | Manufacturing method of magnetic disk |
| US5328813A (en) * | 1992-06-30 | 1994-07-12 | The Dow Chemical Company | Method for the preparation of optical recording media containing overcoat |
| US6660451B1 (en) * | 1999-06-18 | 2003-12-09 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Optical information recording medium |
| TW527592B (en) | 2001-03-19 | 2003-04-11 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Optical information recording media, and the manufacturing method and record regeneration method of the same |
| JP4198918B2 (ja) * | 2002-02-14 | 2008-12-17 | 日鉱金属株式会社 | 硫化亜鉛を主成分とするスパッタリングターゲット及び該スパッタリングターゲットの製造方法 |
| TW200401237A (en) * | 2002-07-05 | 2004-01-16 | Lintec Corp | Laminate sheet, laminate sheet roll, and producing methods therefor |
| JP2005251279A (ja) * | 2004-03-03 | 2005-09-15 | Nec Corp | 光学的情報記録媒体及びその製造方法 |
| CN101794598A (zh) * | 2010-01-27 | 2010-08-04 | 东莞宏威数码机械有限公司 | 单面双层光盘及其制造方法 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61198450A (ja) * | 1985-02-27 | 1986-09-02 | Fujitsu Ltd | 光デイスク保護膜の形成方法 |
| JPS62229550A (ja) * | 1986-03-29 | 1987-10-08 | Toshiba Corp | 光デイスクの製造方法及び製造装置 |
| JPS62232735A (ja) * | 1986-04-02 | 1987-10-13 | Seiko Epson Corp | 光記録媒体 |
| JPS6374142A (ja) * | 1986-09-18 | 1988-04-04 | Seiko Epson Corp | 光磁気記録媒体 |
| JPS6376860A (ja) * | 1986-09-18 | 1988-04-07 | Fujitsu Ltd | 薄膜形成方法 |
| JPS6381643A (ja) * | 1986-09-26 | 1988-04-12 | Mitsubishi Kasei Corp | 光磁気媒体 |
| JP2700883B2 (ja) * | 1986-12-26 | 1998-01-21 | ティーディーケイ株式会社 | 光記録媒体 |
-
1990
- 1990-04-03 CS CS901635A patent/CS163590A3/cs unknown
- 1990-04-04 CA CA002013867A patent/CA2013867A1/en not_active Abandoned
- 1990-04-04 KR KR1019900004628A patent/KR900016972A/ko not_active IP Right Cessation
- 1990-04-05 EP EP19900106554 patent/EP0391423A3/en not_active Withdrawn
- 1990-04-05 RU SU904743567A patent/RU1838830C/ru active
- 1990-04-06 CN CN90102003A patent/CN1046226A/zh active Pending
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| Патент US № 4680742, кл. G 11 В 7/24, 1987. * |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP0391423A3 (en) | 1991-08-28 |
| CA2013867A1 (en) | 1990-10-06 |
| EP0391423A2 (en) | 1990-10-10 |
| CS163590A3 (en) | 1992-06-17 |
| KR900016972A (ko) | 1990-11-15 |
| CN1046226A (zh) | 1990-10-17 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| RU1838830C (ru) | Носитель оптической записи и способ его изготовлени | |
| EP0337553B1 (en) | Laminated product, compound used in the laminated product and optical information carrier provided with the laminated product | |
| JPH03150254A (ja) | 多結晶性か、配位されていないか、またはｘ線非晶質の炭化物、酸化物および／または窒化物のセラミック | |
| JPH0775085B2 (ja) | 光磁気媒体 | |
| US5736240A (en) | Amorphous rare earth oxides | |
| JPH01173455A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH02265052A (ja) | 光記録媒体の製造方法 | |
| JP2527762B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH03156753A (ja) | 光記録媒体 | |
| JPH02105351A (ja) | 光記録媒体 | |
| JPS60131659A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH02261822A (ja) | 光記録媒体およびその製造方法 | |
| JP2507592B2 (ja) | 光記録媒体 | |
| JPH03187039A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH07130007A (ja) | 光学素子、情報記録媒体及び情報記録／再生装置 | |
| JPH01173454A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH01204243A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH0792935B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JP2583255B2 (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| US6190763B1 (en) | Magnetooptic thin film, magnetoopic record medium | |
| JPS63275060A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPH04178940A (ja) | 光記録媒体 | |
| JPH01173453A (ja) | 光磁気記録媒体 | |
| JPS6192456A (ja) | 光学的記録媒体 | |
| JPH0630182B2 (ja) | 光磁気記録素子の製法 |