NL8602905A - Werkwijze en inrichting voor het coaten van glas. - Google Patents

Description

NL 33.793-Vo/hp £ ~ i * -

Werkwijze en inrichting voor het coaten, van glas

De onderhavige uitvinding heeft betrekking op een werkwijze voor het pyrolitisch vormen van een metaaloxyde-coating op een bovenoppervlak van een heet glassubstraat in plaat- of handvorm gedurende het transport daarvan in een 5 stroomafwaartse richting langs een baan, die onder een naar beneden open coatingskamer leidt, bij welke werkwijze de coating wordt gevormd door een coatingsprecursordamp en een oxyderend gas, die worden toegevoerd in de stroomafwaartse richting door een doorgang van de coatingskamer, aan welke 10 het substraatoppervlak wordt blootgesteld. De uitvinding heeft tevens betrekking op een inrichting voor het toepassen bij het pyrolitisch vormen van een metaaloxydecoating op een bovenoppervlak van een heet glassubstraat in plaat- of handvorm, met een transportorgaan voor het transporteren van een 15 genoemd substraat in een stroomafwaartse richting langs een baan en een dakstructuur, die een coatingskamer vormt, welke omlaag naar de baan geopend is en met een doorgang door welke een coatingsprecursordamp en een oxyderend gas stroomafwaarts in contact met het bovenoppervlak kunnen worden geleid gedu-20 rende het transport van het substraat.

Dergelijke werkwijzen en inrichtingen zijn nuttig bij het vervaardigen van gecoat glas voor diverse doeleinden, waarbij de coating wordt gekozen met het oog op enkele speciale gewenste eigenschappen op het glas. Bijzonder belang-25 rijke voorbeelden van coatings, die op glas kunnen worden aangebracht, zijn die, welke zijn ontworpen om de emissiviteit van het gecoate oppervlak met betrekking tot infrarode straling te reduceren, in het bijzonder infrarode straling met golflengten boven 3 micrometer en die, welke zijn ontworpen 30 om de totale energietransmissie van het gecoate glas met betrekking tot zonnestraling te reduceren. Het is bijvoorbeeld bekend om glas te voorzien van een tindioxydecoating met een lage infrarood emissiviteit voor warmte-isolatiedoeleinden en het is tevens bekend om glas te voorzien van een, de zonne-35 energietransmissie reducerende, coating uit een metaaloxyde, 8602905 £ 41 “2- t zoals titaniumdioxyde of een mengsel van metaaloxyden, zoals Fe2^3 + + Cr2^3 met a^s voornaaiaste doelstelling het reduceren van opname van zonnewarmte of schittering.

Aangezien de coatings gebruikelijk worden toegepast 5 met een dikte tussen ongeveer 30 nm en 1200 nm, zullen, afhankelijk van de aard van het coatingsmateriaal en de gewenste eigenschappen, variaties in de dikte van een coating niet alleen betekenen, dat de vereiste infraroodemissiviteit of energietransmissie niet uniform wordt verkregen, maar tevens 10 dat bezwaarlijke interferentie-effecten ontstaan. Een regelmatige en uniforme dikte is derhalve van belang voor een goede optische kwaliteit alsmede voor het verkregen van de vereiste emissiviteit of transmissiviteit. Het is duidelijk dat coatings, die worden toegepast op glas, dat wordt gebruikt 15 voor beglazingsdoeleinden, een hoge en uniforme optische kwaliteit moeten bezitten. De coatings moeten derhalve vrij zijn van verkleuringen en andere plaatselijke defecten.

Het is bekend om coatings vanuit een coatingpre-cursormateriaal in de dampfase neer te slaan, in tegenstelling 20 tot de vloeibare fase, en dit kan het achterwege blijven van plaatselijke defecten bevorderen. Dit achterwege blijven van plaatselijke defecten wordt verkregen door afzonderlijke stromen van een uitermate geconcentreerde verdampte coatings-precursor en een oxyderend gas in de richting van het sub-25 straat te richten, zodat zij pas, wanneer zij in aanraking zijn met het substraat, onderling tot vermenging komen en zullen reageren, zodat het oxyde direct op het substraat wordt gevormd en niet in de atmosfeer daarboven, waardoor deeltjes van het coatingsmateriaal op het substraat zouden kunnen val-30 len en zouden kunnen worden opgenomen in de coating als fouten. De van damp voorziene atmosfeer wordt dan van het substraat afgezogen voordat de afgekoelde precursordamp of in de atmosfeer buiten aanraking met het substraat gevormde re-actieprodukten zich op of in de gevormde coating als fouten 35 kunnen afzetten.

De bekende dampfasecoatingstechnieken hebben niet geresulteerd in de vorming van coatings, welke een regelmatige 8602905 —.3— i i dikte bezitten, die voldoet aan de telkens stringenter wordende commerciële kwaliteitsvereisten, in het bijzonder bij grote glasmaten, zoals deze in toenemende mate worden vereist bij moderne architectonische toepassingen. Pogingen zijn on-5 dernomen om een geconcentreerde stroming van een coatings-precursordamp in de coatingskamer te verschaffen, die uniform was in de tijd en zich uitstrekte over de gehele breedte van het te coaten substraat, terwijl vluchtigere coatingsprecur-sormaterialen werden uitgezocht teneinde dit te vereenvoudi-10 gen. Tevens zijn diverse stappen ondernomen om bekende technieken te wijzigen teneinde te bewerkstelligen, dat de coatingprecursordamp op een zorgvuldig gecontroleerde wijze, vrij van turbulenties, in aanraking komt met het substraat tijdens de vorming van de coating. Jammer genoeg is het on-15 mogelijk gebleken om die mate van controle over het inbrengen van de damp en het gedrag daarvan in de coatingskamer uit te oefenen, die vereist is wanneer op commerciële schaal wordt gewerkt, met als resultaat dat een onvoorspelbare diktevaria-tie plaatsvindt in de coating en dat een gedeelte van het ge-20 coate glas een onacceptabele kwaliteit bezit.

De onderhavige uitvinding neemt op radicale wijze afstand van hetgeen tot nog toe wenselijk werd geacht, en zelfs essentieel werd geacht, en beoogt een pyrolitisch coatingsproces te verschaffen, dat eenvoudiger kan worden uit-25 gevoerd, terwijl een coating met een hoge en uniforme optische kwaliteit en met een meer regelmatige dikte wordt verschaft, en welke geschikt is voor het met zeer hoge snelheden vormen van coatings.

Dientengevolge heeft de onderhavige uitvinding be-30 trekking op een werkwijze voor het pyrolitisch vormen van een metaaloxydecoating op een bovenoppervlak van een heet glassubstraat in plaat- of handvorm gedurende het transport daarvan in een stroomafwaartse richting langs een baan, die onder een naar beneden open coatingskamer leidt, bij welke werk-35 wijze de coating wordt gevormd door een coatingprecursordamp en een oxyderend gas, die worden toegevoerd in de stroomafwaartse richting door een doorgang van de coatingkamer, aan 8602905 t * -4“ » c welke het substraatoppervlak wordt blootgesteld, met het kenmerk, dat het coatingsprecursormateriaal en het oxyderende gas worden geïntroduceerd in een mengzone van de kamer in of naast het stroomopwaartse uiteinde van de doorgang, dat 5 warmte-energie aan de mengzone wordt toegevoerd en het pre-cursormateriaal en het oxyderende gas innig worden gemengd in de mengzone, terwijl zè worden blootgesteld aan het substraat, maar op een zodanige hoogte, dat de vorming van de coating begint vanuit een althans nagenoeg homogeen dampmengsel, en 10 waarbij ervoor wordt gezorgd, dat dit mengsel continu door de doorgang, in contact met het bovenoppervlak van het substraat, stroomt.

Gebleken is dat de onderhavige uitvinding de vorming van coatings met een hoge en uniforme kwaliteit vereenvoudigt 15 en het mogelijk maakt, dat dergelijke coatings worden gevormd met een regelmatigere dikte dan tot nog toe mogelijk was.

De uitvinding is van voordeel bij de vorming van dunne coatings, en tevens bij de vorming van relatief dikke coatings, bijvoorbeeld met een dikte boven 200 nm. Gebleken 20 is dat het snel verwijderen van de van damp voorziene atmosfeer geen vereiste is voor een althans nagenoeg foutenvrije coating, zodat meer tijd beschikbaar is voor de opbouw van de coating tot een gewenste dikte.

Het is verrassend, dat de vorming van een innig 25 mengsel van de coatingsprecursor en een oxyderende atmosfeer binnen de mengzone, terwijl deze zijn blootgesteld aan het substraat, maar op een zodanige hoogte, dat de vorming van de coating een aanvang neemt vanuit een althans nagenoeg homogeen dampmengsel, waarna ervoor gezorgd wordt dat het mengsel 30 door de doorgang in aanraking met het substraat stroomt, het mogelijk maakt om een coating te verkrijgen, die althans nagenoeg vrij is van onvoorspelbare diktevariaties.

Tevens is het waard om te worden opgemerkt, dat een dergelijke menging geen invloed heeft op de premature 35 vorming van coatingsreactieprodukten buiten aanraking met het substraat in de atmosfeer, die door de doorgang boven het substraat zouden stromen, zodat zij als vervuilende afzettin- 8602905 -o- jfi i.

gen omlaag zouden kunnen vallen en fouten op of in de coating zouden kunnen vormen. Een mogelijke verklaring hiervoor is, dat, omdat de mengzone benedenwaarts naar de substraatbaan is geopend en warmte-energie daaraan wordt toegevoerd, hetzij 5 door het substraat alleen of door extra verwarmingsorganen, alle reactieprodukten in de atmosfeer voldoende warm kunnen worden gehouden om in de praktijk geen problemen te veroorzaken.

De toepassing van de onderhavige uitvinding vereen-10 voudigt in hoge mate het inbrengen van het coatingsprecursormate-riaal in de coatingskamer met hoge volumestromen, zoals vereist kan zijn bij de vorming van tamelijk dikke coatings.

Tevens wordt het hanteren van het coatingsprecursormateriaal voorafgaande aan het binnentreden daarvan in de mengzone ver-15 eenvoudigd, terwijl het gebruik van een coatingsprecursormateriaal mogelijk wordt met een lagere vluchtigheid dan vereist is bij de bekende dampfasetechnieken, zodat een grotere keuze van coatingsprecursormaterialen ter beschikking staat, in het bijzonder goedkopere precursormaterialen.

20 Op karakteristieke wijze worden tot nog toe bekende dampfasecoatingswerkwijzen uitgevoerd in tamelijk korte coatingskamers, waarbij een lengte van minder dan 1 meter gebruikelijk is, en natuurlijk afhankelijk van de snelheid van het substraat houdt dit een contacttijd tussen de coatings-25 precursordampen en het substraat in van ongeveer 2 tot 5 seconden. Deze verblijftijd is gelimiteerd, zodat de coatings-reactieprodukten snel worden verwijderd van de groeiende coating, zodat zij geen fouten zullen veroorzaken. Natuurlijk is een dergelijke korte verblijftijd één reden, waarom der-30 gelijke werkwijzen niet geschikt zijn voor de vorming van tamelijk dikke coatings. In scherp contrast hiermee kan de coatingskamer, wanneer men werkt met de onderhavige uitvinding, een lengte hebben, die zodanig is gekoppeld aan de transport-snelheid van het substraat, dat elke vermeerdering van de 35 lengte van het substraat blootgesteld blijft aan de coatings-precursordamp gedurende een tijd van 20 seconden of meer. Dit vereenvoudigt de vorming van dikke coatings, bijvoorbeeld met

3S929uS

. , , a .-6- een dikte boven 200 nm, zoals vereist kan zijn voor doeleinden bij het afschermen van infrarode straling, en op tamelijk verrassende wijze is gebleken, dat hierbij geen nadelig effect aanwezig is op de kwaliteit van de gevormde coating. Het zal 5 duidelijk zijn, dat, wanneer de coating wordt aangebracht tussen de uitgang van een glasbandvormende inrichting en een onthardingslehr, de voortbewegingssnelheid van de band zal worden bepaald door de snelheid, waarmee de band wordt gevormd, en dat dit zal variëren naar gelang de capaciteit en 10 het type van de bandvormende inrichting, bijvoorbeeld of dit een glastrekmachine of een inrichting, welke floatglas produceert, betreft, en ook afhankelijk van de dikte van het te produceren glas. De hoogste glasbandsnelheden zijn gewoonlijk echter minder dan 12 meter per minuut, en dientengevolge kan 15 een contacttijd van 20 seconden gewoonlijk worden gegarandeerd, indien de doorgang een zodanige lengte bezit dat het stroomafwaartse einde zich op tenminste 5 meter van de plaats bevindt, waar de vorming van de coating een aanvang neemt.

De precieze manier, waarop het ccoatingprecursor-20 materiaal in de coatingskamer wordt geïntroduceerd is niet kritiek voor het verkrijgen van een regelmatige dikte. Het coatingprecursormateriaal kan in de mengzone van de coatingskamer in één of meer richtingen worden geïntroduceerd, welke richtingen het substraat niet snijden,.maar het coatingpre-25 cursormateriaal wordt bij voorkeur omlaag en in stroomafwaartse richting geïntroduceerd, zodat een in het algemeen stroomafwaartse stroming van de atmosfeer in de coatingskamer wordt bevorderd.

Het coatingprecursormateriaal kan bijvoorbeeld in 30 de mengzone worden geïnjecteerd als een aërosolspray, maar in speciale voorkeursuitvoeringsvormen van de uitvinding wordt het coatingprecursormateriaal in een of meer druppel-stromen aan de mengzone toegevoerd. De uitvinding kan derhalve worden aangepast voor de vorming van coatings, die tot 35 nog toe slechts werden verkregen door vloeibare fasecoatings-technieken, en dit kan worden uitgevoerd zonder het verkrijgen van bepaalde nadelen, waarvan bekend is, dat deze samenhangen 8602905 -7- . Ji € met de bekende vloeibare fasecoatingstechnieken. Bij dergelijke bekende technieken is het zeer moeilijk om verkleuringen van de gevormde coating ten gevolge van het. spatten van ver-sproeide druppels tegen te gaan, wanneer deze tegen het sub-5 straat botsen. Dit probleem behoeft niet op te treden, wanneer de uitvinding wordt toegepast. Bij de toepassing van conventionele vloeibare fasecoatingstechnieken verschaft het contact tussen de in het algemeen tamelijk grote hoeveelheden van de versproeide coatingsoplossing en het hete substraat 10 eveneens aanzienlijke problemen, met name wanneer de coating wordt aangebracht op een zonet gevormde band uit heet glas, omdat het een invloed heeft op een daarop volgende onthardings-behandeling. Het resultaat hiervan is, dat het glas wordt onthard, en in sommige gevallen maken de in de glasband na het 15 koelen opgesloten restspanningen het moeilijk om het glas te snijden, waarbij het tevens mogelijk is, dat het breekt, wanneer het in platen wordt gesneden. Dit probleem kan eveneens worden vermeden door toepassing van de onderhavige uitvinding.

Bij voorkeur worden stromen van coatingsprecursor-20 materiaal en gas in verschillende richtingen in de mengzone ingebracht teneinde turbulentie te veroorzaken voor het bewerkstelligen van de menging. Dit is een zeer eenvoudige manier om de menging te bewerkstelligen zonder een extra meng-inrichting nodig te hebben, die onderworpen zou zijn aan de 25 tamelijk vijandige omstandigheden, die heersen in de mengzone.

De temperatuur, bij welke de coatingsreacties plaatsvinden, bezit een belangrijke invloed op de wijze, waarop de coating wordt opgebouwd. In het algemeen verlopen coatingsreacties niet alleen sneller bij een toename van tem-30 peratuur maar tevens met een verhoogde coatingsopbrengst, en bovendien is gebleken, dat bij hogere temperaturen gevormde coatings een betere hechting aan het glas bezitten en dus een verhoogde duurzaamheid bezitten. Verder is het, naarmate de temperatuur van de coatingskamer hoger is, minder aanneme-35 lijk dat coatingsprecursordampen op het dak van de kamer zullen condenseren, van waar dergelijk materiaal omlaag zou kunnen druipen en de coating zou kunnen vervuilen. Derhalve verdient 8602905 , _ * -8- het bijvoorbeeld de voorkeur om warmte toe te voeren aan de mengzone, tenminste gedeeltelijk door stralingswarrate hierin te leiden. Dit helpt bij het handhaven van een hoge temperatuur, welke van voordeel is voor de kwaliteit en de opbrengst 5 van de gevormde coating en die van bijzonder belang is bij het bevorderen van de verdamping, wanneer het coatingsprecursor-materiaal in de vloeibare fase in een mengzone van de naar beneden open coatingskamer wordt aangebracht.

Bij voorkeur is tenminste een gedeelte van het gas, 10 dat aan de mengzone wordt toegevoerd, voorverwarmd. Dit is van bijzonder belang bij het verhinderen van de condensatie en het meenemen van gevormde precursordampen, zodat tijdens het contact met het substraat een warmteverlies van het substraat wordt gereduceerd..

15 In speciaal bevoorkeurde uitvoeringsvormen van de uitvinding wordt het atmosferische materiaal in de doorgang van bovenaf verwarmd. Dit is met name van voordeel bij het vermijden van condensatie op het dak van de doorgang, en maakt tevens de controle van omstandigheden mogelijk, zodat de tem- 20 peratuur langs de doorgang althans nagenoeg constant blijft waardoor belangrijke voordelen worden verkregen met betrekking tot het verhogen van de vormingssnelheid van de coating en de coatingopbrengst, alsmede voor het bevorderen van de duurzaamheid van de coating.

25 De doorgang kan over zijn breedte uniform worden verwarmd, maar gebleken is dat, wanneer diverse conventionele coatingswerkwijzen op een continue band van zonet gevormd glas worden, uitgevoerd de gevormde coating ter plaatse van de randen van de band ertoe neigt dunner te zijn dan ter plaatse 30 van het centrum daarvan. Deze dunnere randcoating is meestal regelmatig en voorspelbaar, en is toegeschreven aan diverse oorzaken, maar één oorzaak, die het noemen waard is, is, dat de band op natuurlijke wijze afkoelt via de zijwanden van de coatingskamer, zodat de bandranden koeler zijn dan het midden.

35 In feite is gebleken, dat wanneer een conventionele techniek voor het coaten van een zonet gevormde band van heet glas wordt toegepast, zelfs wanneer het glas de coatingskamer 8602905 -9- * % binnentreedt met een althans nagenoeg uniform temperatuurprofiel, ongeveer eenzesde van de bandbreedte ter plaatse van elke zijrand een onacceptabele kwaliteit kan bezitten, zodat eenderde van de totale bandbreedte slechts bruikbaar is als 5 glasafval. Deze tendens in de richting van dunnere rand-coatings kan worden tegengegaan door het over de breedte differentieel verwarmen van de doorgang, zodat het atmosferische materiaal boven de bandranden sterker wordt verwarmd dan ter plaatse van het midden van de doorgang.

10 Van voordeel is het, wanneer het atmosferische materiaal tenminste ter plaatse van het stroomafwaartse uiteinde van de doorgang van het substraatoppervlak wordt afgezogen. Dit bevordert een stroming van atmosferisch materiaal langs en in contact met het substraat, terwijl hierdoor 15 slechts zwakke krachten worden uitgeoefend op het atmosferisch materiaal in het stroomopwaartse gedeelte van de coatingskamer, waar de vorming van de coating begint. De coatingskwaliteit kan nadelig worden beïnvloed, wanneer sterke plaatselijke stromingen ontstaan in dit stroomopwaartse 20 gedeelte. Het toepassen van een dergelijke afzuiging ter plaatse van het stroomafwaartse uiteinde bevordert tevens het verwijderen van coatingsreactieprodukten en overvloedig coatingsprecursormateriaal, dat de coating zou kunnen vervuilen, waardoor de kwaliteit van de gevormde coating wordt ver-25 beterd. Bij voorkeur wordt ter plaatse van het stroomafwaartse uiteinde van het doorgangsgedeelte atmosferisch materiaal van het substraat weggezogen, namelijk in een uitlaatpijp met een of meer inlaten, die boven het substraat zijn aangebracht en zich over tenminste het grootste gedeelte van de breedte daar-30 van uitstrekken. Een dergelijke frontale afzuiging maakt een verhoogde afzuiging ter plaatse van het stroomafwaartse uiteinde van de coatingskamer mogelijk zonder een evenredige toename van de snelheid van het gas, dat de afzuigorganen binnentreedt, hetgeen van belang is voor een uniforme stro-35 ming van de van precursor voorziene atmosfeer, die in aanraking is met het substraat. Het afgezogen materiaal kan derhalve althans nagenoeg in stroomafwaartse richting bewegen totdat 8602905 * * -10-l het de pijp binnentreedt, en dit veroorzaakt de minste ver- N storing van het stromingspatroon binnen de doorgang. Een dergelijke frontale afzuiging over tenminste het grootste gedeelte van de substraatbreedte is in het bijzonder wenselijk, 5 wanneer zeer grote hoeveelheden van het coatingsprecursorma-teriaal in de kamer worden afgegeven..

De toepassing van een dergelijke frontale afzuiging alleen kan echter een hogere concentratie van coatingsprecur-sordamp in het midden van de doorgang dan ter plaatse van de 10 substraatranden veroorzaken. Dit is een andere mogelijke oorzaak van dunnere coatings ter plaatse van de substraatranden. Teneinde deze tendens te verminderen, en teneinde de nuttig gecoate breedte van het substraat te verhogen, verdient het in het bijzonder de voorkeur, dat afzuigkrachten worden opge-15 wekt in een zij-uitlaatpijp, die is aangebracht om ervoor te zorgen, dat atmosferisch materiaal boven het substraat buitenwaarts stroomt, weg van een centraal gedeelte van de sub-straatbaan over tenminste een gedeelte van de lengte van de coatingskamer. De toepassing van dit voorkeurskenmerk biedt 20 voordelen, die van bijzonder belang worden geacht. Het bevordert een goede spreiding van de van precursor voorziene atmosfeer over de gehele breedte van het substraat, waardoor de nuttig gecoate breedte van het substraat wordt verhoogd. Bovendien maakt dit een eerder verwijderen van coatingsreactie-25 produkten en overmatig coatingsprecursormateriaal mogelijk, welke zich op de coating zouden kunnen afzetten en deze zouden kunnen vervuilen. Tevens kan, afhankelijk van de drukomstandigheden boven en onder het substraat ter plaatse van de coatingskamer een tendens aanwezig zijn dat de atmosfeer van 30 beneden het substraat voorbij de zijden naar boven stroomt, alwaar deze de van precursor voorziene atmosfeer boven het substraat zou verstoren, hetgeen een verdere mogelijke oorzaak is voor dunne coatings ter plaatse van de substraatranden.

Deze tendens wordt eveneens verhinderd ter plaatse van de zo-35 ne van buitenwaartse afzuiging.

Bij voorkeur wordt het atmosferische materiaal buitenwaarts afgezogen over een zone, die zich althans nage- 8602905 « 4 4 -η- noeg over de gehele lengte van de doorgang uitstrekt. Dit verhoogt de voordelen, die zijn verkregen door een dergelijke buitenwaartse afzuiging. Opnieuw is gebleken, dat de nuttig gecoate breedte kan worden vergroot en dit is in het bijzonder 5 van nut wanneer een zonet gevormde continue band van glas wordt gecoat. Onder optimale bedrijfsomstandigheden is gebleken, dat de opbrengst aan een nuttig produkt niet zo zeer wordt beperkt door de optische kwaliteit en de dikte van de coating ter plaatse van de bandranden, als wel door de kwali-10 teit van het glas zelf ter plaatse van de randen. Het zal duidelijk zijn, dat ten gevolge van diverse factoren enige centimeters ter plaatse van de rand van een glasband een onregelmatig vorm bezitten en een onacceptabele optische kwaliteit hebben en in ieder geval moeten worden afgedankt of als 15 glasafval worden gebruikt.

In sommige voorkeursuitvoeringsvormen van de uitvinding wordt het atmosferische materiaal buitenwaarts op een niveau onder het substraat afgezogen. Hierbij is gebleken, dat de toepassing van dit kenmerk leidt tot het op de band 30 houden van een laag van een dichte precursorrijke atmosfeer, hetgeen resulteert in een uniforme coating over de gehele breedte, waardoor opnieuw de voordelen samenhangende met de buitenwaartse afzuiging worden versterkt.

In het voorgaande is gewezen op de mogelijkheid, dat 35 atmosferisch materiaal langs de zijranden van het substraat omhoog stroomt en de van precursor voorziene atmosfeer daarboven vervuilt. Afhankelijk van de drukomstandigheden boven en onder het substraat ter plaatse van de coatingskamer kan er anderszins een tendens aanwezig zijn dat de van precursor 30 voorziene atmosfeer onder het substraat stroomt, alwaar het tot een ongewenste coating op het onderoppervlak daarvan zou kunnen leiden. Afhankelijk van het stromingspatroon van atmosferische stromingen in en onder de coatingskamer kan deze ongewenste coating min of meer regelmatig zijn, maar zo dun 35 dat uitermate verwerpelijke interferentie-effecten ontstaan, waarbij dit bijvoorbeeld een min of meer regelmatige coating kan zijn, waarvan de dikte in de richting van het centrum van 8602905 -12- * « 1 ‘ het substraat afneemt, of een tamelijk onregelmatige coating met een patroon, dat door sommigen wordt vergeleken met het patroon van een backgammonspeelbord. Deze tendens wordt enigermate verhinderd door de buitenwaartse afzuiging, zoals in 5 het voorgaande genoemd, maar teneinde deze tendens verder tegen te gaan zorgen speciale voorkeursuitvoeringsvormen van de uitvinding ervoor, dat over tenminste een gedeelte van de lengte van de coatingskamer een stroming van atmosferisch materiaal voorbij de zijranden van het substraat en tussen 10 zones verticaal boven en verticaal onder het substraat, wordt tegengegaan.

Een oorzaak van fouten in een pyroli-tisch gevormde coating vormen deeltjes van vreemd materiaal, dat opgesloten raakt in de coating gedurende de vorming daarvan. Ongebruikt 15 coatingsprecursormateriaal en coatingreactieprodukten, inclusief tussenreactieprodukten en andere vervuilende bestanddelen zoals stof ( het coatingsprecursormateriaal zelf wordt beschouwd als een vervuilend materiaal, wanneer het in contact komt met het hete glas buiten de coatingskamer) neigen ertoe 20 zich uit te spreiden stroomopwaarts van de kamer, waar het coatingsprecursormateriaal wordt afgegeven,, ongeacht hoe smal de ingang wordt gemaakt, door welke het glas de kamer binnentreedt, en in feite kunnen deze vervuilende bestanddelen in aanraking komen met het glas voordat dit de coatingszone be-25 reikt waardoor vervuilende afzettingen op het substraat aanwezig zijn, welke in de coating worden opgenomen als fouten.

In voorkeursuitvoeringsvormen van de uitvinding wordt gas in de omgeving van het substraat afgegeven, teneinde een continue stroming te vormen, die in stroomafwaartse 30 richting onder elke rand van het substraat en over tenminste een gedeelte van de lengte van de coatingskamer stroomt.

Op verrassende wijze is gevonden, dat de toepassing van dit voorkeurskenmerk resulteert in een aanzienlijke verschoning van de atmosfeer, die met het glas in aanraking 35 zou komen voordat dit de coatingskamer binnentreedt, zodat er een aanzienlijke reductie optreedt in de hoeveelheid vervuilende bestanddelen, die daar aanwezig zijn en vervuilende 3602905 •d i -ij- afzettingen op het glas vormen voorafgaande aan het coaten.

Een mogelijke verklaring voor dit fenomeen is als volgt.

Stroomopwaarts van de coatingskamer zal een inrich-5 ting aanwezig zijn voor het verhitten van het glassubstraat, of voor het in feite vormen van een heet glassubstraat, en stroomafwaarts van de coatingskamer zal in het algemeen een orgaan, bijvoorbeeld een onthardingslehr, aanwezig zijn, die een gecontroleerde afkoeling van het gecoate substraat moge-10 lijk maakt. In dergelijke constructies kan er een terugstro-ming van atmosferisch materiaal aanwezig zijn, die in stroom-opwaartse richting onder de substraatbaan stroomt. Wanneer deze terugstroming omhoog stroomt kan deze boven de substraatbaan uitstijgen, zodat meegenomen vervuilende bestanddelen 15 waarschijnlijk een afzetting vormen op het substraat, waardoor in de coating ingebedde fouten worden gevormd, hetzij ter plaatse van het coatings/glasgrensvlak, of in de dikte van de coating.

De afgifte van een gas onder het niveau van het 20 substraat verschaft tevens bepaalde belangrijke voordelen met betrekking tot het reduceren van een ongewenste coating op het onderoppervlak, en met betrekking tot de kwaliteit van de gevormde coating.

Van voordeel is het, wanneer een dergelijke onder 25 het substraat gelegen gasstroming aanwezig is, die onder de gehele breedte van het substraat stroomt. De toepassing van dit kenmerk bevordert de reinheid van de atmosfeer onder de baan van het substraat op een uitermate efficiënte wijze, waardoor de vroege valse afzettingen van materiaal worden ver-30 meden, welk materiaal is meegenomen door de terugstromingen, die onder het substraat in stroomopwaartse richting stromen.

Bij voorkeur is het gas, dat is afgegeven om een dergelijke onder het substraat stromende stroming te vormen, voorverwarmd tot een temperatuur binnen 50°C van de gemiddel-35 de temperatuur van het substraat onmiddellijk voorafgaande aan het coaten, teneinde enig effect van het injecteren van het gas op de temperatuur van het substraat en/of van de §802305 -14- atmosfeer in het coatingsgebied te reduceren.

Volgens sommige voorkeursuitvoeringsvormen van de uitvinding wordt lucht toegevoerd door het dak van de doorgang. Hierdoor wordt de kans, dat coatingsmateriaal wordt 5 afgezet op het dak in plaats van op het substraat, waarvan men wenst dat het gecoat wordt, gereduceerd, zodat een geringere kans bestaat, dat dergelijk materiaal op het gecoate oppervlak zou vallen, waardoor de coating vervuild raakt of andere fouten ontstaan.

10 Van voordeel is het, wanneer de stroomafwaartse stroming van atmosferisch materiaal, waaraan het substraat-oppervlak is blootgesteld, wordt gesmoord door een duidelijke hoogte-afname van de beschikbare stromingsbaan door de coatingskamer. Dit kenmerk is behulpzaam bij het concentreren 15 van de stroming van de van precursor voorziene atmosfeer in benedenwaartse richting in de nabijheid van het substraat, waardoor de coatingsopbrengst wordt verbeterd. Deze eigenschap kan tevens een hogere mengzone inhouden, hetgeen behulpzaam is bij het verdampen van het coatingsprecursormate-20 riaal, wanneer dit in de vloeibare fase wordt ingebracht, terwijl het de menging van dit precursormateriaal en het oxyderende gas bevordert alsmede het handhaven van een reservoir van atmosferisch materiaal, dat uniform is voorzien van coatingsprecursordampen, die stroomafwaarts in en door de 25 doorgang kunnen worden gezogen.

Bij voorkeur wordt tenminste één paar van schuin binnenwaarts gerichte gasstromen in de kamer ingebracht teneinde de breedte van de dampstroming, die door tenminste een gedeelte van de doorgang stroomt, te smoren. Op deze wijze 30 kan worden verhinderd, dat de dampstroom voorbij de zijranden van het substraat stroomt, alwaar deze een verspilling zou vormen. Dit beschermt de zijwanden van de coatingskamer tevens tegen het precursormateriaal en reactieprodukten, en kan stromingen van in verhouding schoon gas vormen langs deze zij-35 wanden, welke helpen bij het verhinderen van de omlaag gerichte stroming van dampen vanuit de coatingskamer.

Volgens speciale voorkeursuitvoeringsvormen van de 8602905 -15- * uitvinding is de coatingskamer ter plaatse van zijn stroomafwaartse uiteinde althans nagenoeg afgesloten, teneinde een uitwisseling van atmosferisch materiaal tussen het stroomafwaartse uiteinde van de coatingskamer en een verder stroom-5 afwaartsgebied van de substraatbaan te verhinderen, Een dergelijke afsluiting kan bijvoorbeeld worden geëffectueerd door een uitlaatpijp, die zich over de gehele breedte van de coatingskamer ter plaatse van het stroomafwaartse uiteinde daarvan uitstrekt. De toepassing van dit kenmerk bezit het 10 voordeel dat elke vervuiling van de atmosfeer ter plaatse van het stroomafwaartse uiteinde van de coatingskamer vanuit het verder stroomafwaarts gelegen gebied wordt vermeden, terwijl tevens wordt tegengegaan, dat stromingen van de atmosfeer in de coatingskamer interfereren met enige verdere be-15 werking van het substraat en extra ongewenst materiaal op de coating afzetten.

In bijzonder voordelige uitvoeringsvormen van de uitvinding omvat het glassubstraat een juist gevormde band uit heet glas, terwijl de coating wordt gevormd nadat de band 20 een bandvorminrichting verlaat en voordat deze een onthardings-lehr binnentreedt. De coatingskamer kan aldus zijn aangebracht op een plaats, alwaar het glas toch al een temperatuur bezit, die geschikt is voor het plaatsvinden van de pyrolitische coatingsreacties, zodat kosten die samenhangen met het op-25 nieuw verwarmen van het glas tot een dergelijke temperatuur worden vermeden of aanzienlijk gereduceerd. Het is tevens belangrijk dat de coating plaatsvindt in een kamer, die fysisch is afgescheiden van de bandvormende inrichting aan de ene zijde en de onthardingslehr aan de andere zijde. Indien er 30 niet een dergelijke afscheiding bestaat, en het is gebruikelijk in bekende voorafgaande voorstellen op dit gebied dat de coating plaatsvindt binnen de lengte van de onthardingslehr, kunnen atmosferische omstandigheden binnen de coatingskamer worden verstoord door gasstromen, die vanaf de onthar-35 dingslehr en vanaf de bandvormende inrichting stromen - dergelijke stromingen nemen vaak stof en andere vervuilende bestanddelen mee, die in de coatings als fouten kunnen worden 8602905 -16- opgenomen - en tevens zou de kans bestaan dat het patroon van atmosferische stromingen in de lehr zou worden verstoord, hetgeen zou leiden tot minder gunstige onthardingscondities.

Bij sommige voorkeursuitvoeringsvormen van de uit-5 vinding stroomt voorverwarmd gas stroomafwaarts in de coatings-kamer en komt in contact met het substraat. De toepassing hiervan is van waarde bij het bevorderen van een in het algemeen stroomafwaartse stroming van atmosferisch materiaal binnen de coatingskamer en is van waarde bij het conditioneren 10 van de atmosfeer in de zone, waar het coatingsmateriaal het eerst op het substraat wordt afgezet. Bij sommige voorkeursuitvoeringsvormen van de uitvinding bijvoorbeeld treedt een dergelijk voorverwarmd gas de coatingskamer binnen met een grotere volumestroom langs de randen van het substraat dan 15 langs het centrum daarvan. Dit staat een althans gedeeltelijke compensatie toe voor het afkoelen van de atmosfeer binnen de coatingskamer door het contact met de zijwanden daarvan.

De onderhavige uitvinding kan inderdaad met voordeel worden gecombineerd met de uitvinding, die wordt be-20 schreven in de Britse octrooiaanvrage 35.31425, welke octrooiaanvrage betrekking heeft op een pyrolitische coatingswerk-wijze, waarbij een heet glassubstraat in plaat- of handvorm in een stroomafwaartse richting beweegt onder een coatingskamer, die omlaag naar het substraat is geopend en waarin op 25 het oppervlak van het substraat een coating uit coatingspre-cursormateriaal wordt gevormd, met het kenmerk, dat de gasachtige omgeving in de onmiddellijke nabijheid van het oppervlak van het substraat tenminste in de zone waar een dergelijke vorming van de coating begint, wordt gecontroleerd door 30 voorverwarmd gas in een stroomafwaartse richting in de kamer te voeren om de kamer binnen te dringen in contact met het substraat en een bedekkingslaag te vormen, die het substraat tenminste zover als deze zone bedekt.

De onderhavige uitvinding is in het bijzonder ge-35 schikt voor de vorming van coatings met een hoge opbouwsnel-heid, bijvoorbeeld bij snelheden boven 20 nm per seconde, zoals bijvoorbeeld vereist kan zijn bij het vormen van relatief 8602905 4- ï - I /- dikke coatings, zoals een coating met dikte van 500 tot 1000 nm, op een zojuist gevormde glasband, die met een snelheid van enkele meters per second vanuit een floattank of een vlakke glasvormende inrichting beweegt.

5 Een bijzonder belangrijke toepassing voor een werk wijze volgens de uitvinding is de vorming van tinoxydecoatings, die gebruik maken van stannochloride als coatingsprecursor-materiaal. Tinoxydecoatings, die de emissiviteit met betrekking tot infrarode straling met een lage golflengte reduceren 10 op de oppervlakken van glasplaten, waar ze op zijn aangebracht, worden veelvuldig toegepast voor het reduceren van de warmte-overdracht van glasstructuren. Dit is natuurlijk slechts één voorbeeld van de toepassing van de werkwijze volgens de uitvinding. Als ander voorbeeld kan de werkwijze wor-15 den toegepast bij het vormen van een coating uit titaniumdio-xyde of een coating uit een mengsel van oxydes, zoals een mengsel uit kobalt-, ijzer- en chroomoxydes.

De uitvinding heeft tevens betrekking op een inrichting voor het toepassen bij het pyrolitisch vormen van 20 een metaaloxydecoating op een bovenoppervlak van een heet glassubstraat in plaat- of handvorm, met een transportorgaan voor het transporteren van een genoemd substraat in een stroomafwaartse richting langs een baan en een dakstructuur, die een coatingskamer vormt, welke omlaag naar de baan ge-25 opend is en met een doorgang door welke een coatingsprecur- sordamp en een oxyderend gas stroomafwaarts in contact met het bovenoppervlak kunnen worden geleid gedurende het transport van het substraat, met het kenmerk, dat de dakstructuur, in of naast het stroomopwaartse uiteinde van de doorgang, een 30 mengzone bepaalt, die omlaag naar de substraatbaaan geopend is, dat een orgaan aanwezig is voor het injecteren van coatingsprecursormateriaal in de mengzone vanaf een hoogte van tenminste 50 cm boven het niveau van de substraatbaan, en dat een orgaan aanwezig is voor het injecteren van het 35 oxyderende gas in de mengzone, in welke het coatingsprecursormateriaal en oxyderende gas samengebracht, gemengd en verwarmd kunnen worden teneinde een atmosfeer te vormen, die 8602905 -Ίο- een innig mengsel van precursordamp en oxyderend gas bevat, welke mengzone in verbinding staat met de doorgang, teneinde een stroming van een dergelijke atmosfeer door de doorgang vanaf de mengzone mogelijk te maken.

5 Een dergelijke inrichting is in het bijzonder ge schikt voor de vorming van coatings met een hoge kwaliteit, welke althans nagenoeg vrij zijn van onvoorspelbare dikte-variaties, met hoge afzetsnelheden tijdens een continue werkwijze, bijvoorbeeld een werkwijze zoals in het voorgaande is 10 beschreven. De inrichting bezit een eenvoudige constructie en vereenvoudigt het hanteren van grote hoeveelheden coatingsprecursormateriaal, zoals vereist kan zijn bij de vorming van coatings ορ snel bewegende substraten. De inrichting kan op elke geschikte plaats worden aangebracht.

15 Van voordeel is het,,,wanneer middelen aanwezig zijn voor het in de mengzone introduceren van stromen van coatingsprecursormateriaal en gas in verschillende richtingen, teneinde turbulentie te veroorzaken voor het bewerkstelligen van de menging. Dit elimineert de behoefte aan extra mengapparatuur. 20 Bij voorkeur is een orgaan aangebracht voor het voorverwarmen van tenminste één stroom van het gas, dat de mengzone binnentreedt. Hierdoor wordt de condensatie van atmosferische dampen op de wanden en het dak van de mengzone, waar deze corrosie zouden kunnen veroorzaken, of, in uitvoe-25 ringsvormen waarbij de mengzone zich boven het substraat bevindt en in de richting daarvan is geopend, waar deze omlaag zou kunnen druipen en het te coaten substraat zou kunnen vervuilen of andere fouten zou kunnen vormen, verhindert.

Volgens sommige voorkeursuitvoeringsvormen van de 30 uitvinding is een stralingsverwarmingsorgaan aangebracht in de mengzone. Dit is een uitermate eenvoudige manier om warmte toe te voeren voor het handhaven van een hoge concentratie van de coatingsprecursordamp in die zone, terwijl dit tevens de condensatie' - van de damp aldaar verhindert.

35 Volgens speciale voorkeursuitvoeringsvormen van de uitvinding is een orgaan aangebracht voor het van boven in de doorgang aanbrengen van warmte-energie. Dit verhindert de condensatie van de coatingsprecursordamp aldaar, waardoor de 8602905 -19- problemen van het corroderen van het dak van de doorgang worden gereduceerd, terwijl het tevens toestaat, dat de inrichting zodanig wordt gebruikt dat de coatingsreacties bij een uniforme temperatuur over de lengte van de doorgang kunnen 5 plaatsvinden, zodat voordelen ten aanzien van de coatingsop-brengst en kwaliteit worden bereikt.

Bij voorkeur is een orgaan aangebracht voor het opwekken van afzuigkrachten op het atmosferische materiaal binnen de doorgang teneinde een stroming van dit materiaal door 10 de doorgang in de richting van het stroomafwaartse uiteinde daarvan en vervolgens verwijderd van de baan van het substraat te bevorderen. Een dergelijke inrichting kan eenvoudig worden geconstrueerd en aangebracht, en bevordert een in het algemeen stroomafwaartse stroming van atmosferisch materiaal 15 binnen de doorgang zonder de behoefte om sterke krachten uit te moeten oefenen, welke een ongewenste turbulentie ter plaatse van het shroomopwaartse uiteinde van het coatings-station in de nabijheid van het oppervlak van het substraat zouden veroorzaken.

20 Van voordeel is het, wanneer een orgaan is aange bracht voor het opwekken van afzuigkrachten in een zij-uitlaatpijp, die is aangebracht om ervoor te zorgen dat atmosferisch materiaal boven de substraatbaan buitenwaarts weg van het centrum van de substraatbaan over tenminste een gedeelte 25 van de lengte van de doorgang stroomt, aangezien dit een uniformere verdeling van atmosferisch materiaal binnen de doorgang bevordert en kan resulteren in een over de breedte verhoogde opbrengst van nuttig gecoat glas. Het is tevens behulpzaam bij het verwijderen van een overvloedig coatingsprecur-30 sormateriaal en coatingsreactieprodukten in een stadium, voordat deze het eind van de doorgang bereiken, zodat het gevaar van corrosie van de wanden van de doorgang wordt verminderd. Deze voordelen worden versterkt, wanneer, zoals de voorkeur geniet, de zij-uitlaatpijp is aangebracht om het genoemde 35 atmosferische materiaal buitenwaarts over een zone, die zich over althans nagenoeg de gehele doorgang uitstrekt, af te zuigen.

1502905 ; ι , -20-

Volgens sommige voorkeursuitvoeringsvormen van de uitvinding bezit de zij-uitlaatpijp ingangen, die onder het niveau van de substraatbaan zijn geplaatst. Naast het bevorderen van het coatingsproces door een laag van dichte coating-5 precursordampen tegen het substraatoppervlak te houden, dat gecoat moet worden, is dit van voordeel, omdat het de visuele inspectie van de omstandigheden binnen de doorgang door poorten vereenvoudigt, welke kunnen worden aangebracht in de zijwanden daarvan.

10 Volgens speciale voorkeursuitvoeringsvormen van de uitvinding bezit de doorgang een bovenwand, die in stroomafwaartse richting naar het glassubstraat toe convergeert. Dit dwingt het atmosferisch materiaal binnen de doorgang om in aanraking te blijven met het substraat, ook wanneer de hoe-15 veelheid van het materiaal in deze doorgang afneemt, bijvoorbeeld ten gevolge van de buitenwaartse afzuiging van materiaal langs de zijden van de doorgang.

Volgens speciale voorkeursuitvoeringsvormen van de uitvinding is over tenminste een gedeelte van de lengte van 20 de kamer een orgaan aangebracht voor het tegengaan van een stroming van atmosferisch materiaal voorbij de zijden van de substraatbaan en tussenzones verticaal boven en verticaal onder deze baan. Een dergelijke ongewenste stroming van atmosferisch materiaal zou een onregelmatige afzetting van 25 coatingsmateriaal op het boven- en/of onderoppervlak van het substraat kunnen veroorzaken, met name ter plaatse van de zijranden daarvan.

Bij voorkeur bezit een dergelijk orgaan voor het tegengaan van de stroming keerplaten, aangezien deze eenvou-30 _ dige manieren vormen voor het bereiken van het gewenste resultaat. Dergelijke keerplaten kunnen zodanig worden aangebracht, dat ze een althans nagenoeg afgesloten coatingskamer vormen, zodat de atmosfeer daarin niet wordt beïnvloed door externe gasstromen. Een zeer eenvoudige en voorkeursuitvoe-35 ringsvorm voor het verkrijgen van een dergelijke althans nagenoeg gehele afsluiting is het verschaffen van transportor-ganen, die rollen omvat, die boven elke rand van de substraatbaan zijn versmald teneinde een ruimte te vormen voor het 8602905 -21- aanbrengen van de keerplaten tussen de rollen en de randen van de substraatbaan. Hierdoor kan het gehele bovenoppervlak van het substraat worden gecoat.

Volgens sommige voorkeursuitvoeringsvormen van de 5 uitvinding is een orgaan aangebracht voor het afgeven van gas in de omgeving van de substraatbaan teneinde een continue stroming te vormen, die in de stroomafwaartse richting onder elke rand van de substraatbaan en langs tenminste een gedeelte van de baanlengte, die wordt ingenomen door de coatings-10 kamer, stroomt. De toepassing van een dergelijke inrichting verschaft bepaalde belangrijke voordelen ten aanzien van het reduceren van een ongewenst coaten van het onderoppervlak en ten aanzien van het bevorderen van de optische kwaliteit van de coating, welke wordt gevormd, met name met betrekking tot 15 zijn relatieve vrijheid aan fouten, die worden gevormd ter plaatse van het coatings/glasgrensvlak.

Deze voordelen worden versterkt, wanneer volgens een voorkeursuitvoeringsvorm het orgaan voor het afgeven van gas teneinde een dergelijke stroming onder het baanniveau te 20 vormen, is aangebracht om gas af te geven, teneinde een dergelijke stroming over de gehele breedte van de substraatbaan te vormen.

Bij voorkeur is een orgaan aangebracht voor het inbrengen van lucht door het dak van de doorgang. Deze lucht 25 kan zodanig worden ingebracht, dat ze langs het dak van de doorgang stroomt en dit beschermt tegen corrosie door dampen in de doorgang.

Volgens sommige voorkeursuitvoeringsvormen van de uitvinding omvat het dak van de doorgang een louvre-construc-30 ' tie voor het controleren van het inbrengen van lucht, aangezien dit een zeer eenvoudige en goedkope inrichting voor het verkrijgen van het gewenste effect vormt, terwijl volgens andere voorkeursuitvoeringsvormen van de uitvinding het dak van de doorgang een poreuze constructie bezit, waarbij midde-35 len aanwezig zijn voor het door het dak blazen van lucht. Dit verschaft een zeer efficiënte bescherming van het dak.

Van voordeel is het, wanneer de dakconstructie in 8602905 stroomafwaartse richting een duidelijke afname in hoogte boven de baan vertoont, waarbij de stroomafwaartse stroming van damp door de coatingskamer wordt gesmoord. Hierdoor wordt een relatief hoge stroomopwaartse zone verschaft, die genoeg ruim-5 te verschaft voor een goede menging en die kan dienen als een reservoir van coatingsprecursormateriaaldampen, die vervolgens omlaag in de richting van het substraat moeten stromen en in de richting van het stroomafwaartse uiteinde van de coatingskamerdoorgang als een geconcentreerde en uniforme 10 stroming, die van voordeel is voor het afzetten van coatings-materiaal vanuit de dampfase.

Volgens sommige voorkeursuitvoeringsvormen van de uitvinding daalt de dakstructuur volgens een kromme en gaat over in een stroomafwaarts dakgedeelte boven de doorgang.

15 Gebleken is, dat dit een regelmatige, in het algemeen stroomafwaartse stroming van de van precursordamp voorziene atmosfeer bevordert binnen de coatingskamer, welke stroming van voordeel is gebleken voor de uniformiteit van de daarin gevormde coating.

20 Bij voorkeur is tenminste een paar van schuin bin nenwaarts gerichte gasinjectoren in de kamer aangebracht teneinde de breedte van de dampstroom, die door tenminste een gedeelte van de doorgang stroomt, te smoren. De toepassing van dergelijke injectoren is van voordeel bij het beschermen 25 van de zijwanden van de coatingskamer tegen de corrosieve werking van het verdampte coatingsprecursormateriaal en de coatingsreactieprodukten.

Op voordelige wijze bezit de coatingskamer een lengte van tenminste 5 meter. De toepassing van een dergelijke 30 lange coatingskamer'is met name van voordeel bij het verhogen van de coatingsopbrengst, hetgeen van nut is, wanneer relatief dikke coatings worden gevormd, bijvoorbeeld meer dan 400 nm dik, op een tamelijk snel bewegend substraat, bijvoorbeeld een band uit zonet gevormd floatglas, 35 Bij voorkeur neemt de doorgang tenminste de stroom afwaarts gelegen laatste twee meters van de lengte van de kamer in en bezit aldaar een hoogte of maximum hoogte, die 8602905 -z J- niet uitgaat boven 75 cm boven de substraatbaan. Gebleken is, dat dit eveneens van voordeel is bij het bevorderen van de snelheid, waarmee de coating wordt opgebouwd, en dit is in het bijzonder van waarde bij de vorming van relatief dikke 5 coatings, bijvoorbeeld met een dikte van meer dan 400 nm.

Volgens de meeste voorkeursuitvoeringsvormen van de uitvinding is ter plaatse van het stroomafwaartse uiteinde van de coatingskamer een gekromde uitlaatschoep aangebracht, die zich over tenminste het grootste gedeelte van de substraat-10 baan uitstrekt, welke schoep gedeeltelijk tenminste één uit-laatpijpinlaat vormt. Een dergelijke inrichting bezit een eenvoudige constructie en kan eenvoudig worden aangebracht.

De toepassing van een gekromde schoep is met name van waarde bij het geleiden van materiaal, dat op regelmatige wijze in 15 de uitlaatpijpinlaat moet worden aangezogen, en dit helpt bij het verwijderen van onderdrukgolven, die de atmosferische stromingen in de doorgang zouden verstoren. Het is met name wenselijk om een dergelijke schoep toe te passen, die zich over de gehele breedte van de coatingskamer uitstrekt en die 20 in hoogte instelbaar is boven de substraatbaan, bijvoorbeeld door middel van een zwenkbare bevestiging, teneinde de maximale afsluiting van het stroomafwaartse uiteinde van de coatingskamer te verkrijgen.

Volgens speciale voorkeursuitvoeringsvormen van de 25 uitvinding is een begrenzingswand aangebracht boven de substraatbaan, die zich over de gehele breedte van het stroomafwaartse uiteinde van de coatingskamer uitstrekt en deze althans nagenoeg afsluit. Dit is een zeer eenvoudige manier om te garanderen, dat veranderingen in de omstandigheden onmid-30 dellijk stroomafwaarts van het uiteinde van de coatingskamer geen directe invloed zullen hebben op de omstandigheden binnen de coatingskamer, en omgekeerd. Een dergelijke begrenzingswand kan bijvoorbeeld worden gevormd door een genoemde uitlaatschoep.

35 In op bijzondere wijze bevoorkeurde uitvoeringsvor men van de uitvinding is het coatingsstation aangebracht tussen de uitgang van een bandvervaardigende inrichting en de 8602905 -24- ingang naar een onthardingslehr. Wanneer dit wordt gedaan blijkt, dat het glas het coatingsstation kan bereiken met een temperatuur, die gelijk is aan, of dicht in de buurt ligt van de temperatuur, welke vereist wordt voor het plaatsvinden van 5 de pyrolitische coatingsreacties. Dientengevolge maakt het toepassen van dit kenmerk het gebruik van verdere verwarmings-inrichtingen overbodig, welke inrichtingen vereist zouden kunnen zijn wanneer het glas vanaf kamertemperatuur zou moeten worden verwarmd.

10 Volgens sommige, voorkeursuitvoeringsvormen van de uitvinding is een orgaan aangebracht om ervoor te zorgen, dat gas door een substraatingangssleuf van de kamer en vanaf stroomopwaarts daarvan stroomt en voor het voorverhitten van gas, terwijl het met voordeel mogelijk is, dat het orgaan, 15 dat ervoor zorgt dat een dergelijk gas binnentreedt en/of de vorm van de inlaatsleuf zodanig is of zodanig instelbaar is, dat een grotere volumestroom van een dergelijk gas langs de randen van de substraatbaan wordt veroorzaakt dan langs het centrum daarvan. Dit is van belang voor het bevorderen 20 van een in het algemeen stroomafwaartse stroming van atmosferisch materiaal binnen de coatingskamer en heeft waarde bij het conditioneren van de atmosfeer in de zone, waar de vorming van de coating begint. Dit kan bijvoorbeeld een althans gedeeltelijke compensatie, mogelijk maken van de afkoe-25 ling van de atmosfeer binnen de coatingskamer ten gevolge van het contact met de zijwanden daarvan.

De inrichting volgens de onderhavige uitvinding kan met voordeel tevens een of meer kenmerken van de inrichting bevatten’, die is beschreven in de Britse octrooiaanvrage 30 85.31425, welke aanvrage betrekking heeft op een inrichting voor het pyrolitisch vormen van een metaalverbindingscoating op een oppervlak van een heet glassubstraat in plaat- of handvorm, met een transportorgaan voor het transporteren van een genoemd substraat langs een baan in een stroomafwaartse 35 richting, een dakstructuur die een coatingskamer vormt, welke omlaag naar de baan is geopend en een orgaan voor het in de kamer afgeven van een coatingsprecursormateriaal, met het 8502905 -25- . * ·* kenmerk, dat stroomafwaarts van de coatingskamer een voorkamer is aangebracht, die in verbinding staat met de coatingskamer via een ingangssleuf, die gedeeltelijk wordt gedefinieerd door de baan van het substraat en via welke gas in de 5 coatingskamer kan stromen, teneinde (wanneer de inrichting in werking is) een bedekkingslaag te vormen, die het oppervlak van het substraat langs een eerste gedeelte van de lengte van deze bedekt en dat een orgaan is aangebracht voor het controleerbaar voorverhitten van het gas, dat de bedekkingslaag 10 vormt.

De uitvinding zal hierna nader worden toegelicht aan de hand van de tekening, waarin een aantal uitvoerings-voorbeelden van de inrichting volgens de uitvinding zijn weergegeven en aan de hand van voorbeelden van werkwijzen volgens 15 de uitvinding, die door dergelijke inrichtingen worden uitgevoerd .

Fig. 1 toont een dwarsdoorsnede door een eerste uitvoeringsvorm van een coatingsinrichting volgens de uitvinding; 20 fig. 2 toont aan de linkerzijde een doorsnede vol gens de lijn IIA-IIA in fig. 1, en aan de rechterzijde een doorsnede volgens de lijn IIB-IIB in fig. 1?

fig. 3 toont een doorsnede volgens de lijn III-III

in fig. 1; 25 fig. 4 is een doorsnede volgens de lijn IV-IV in fig. 1; fig. 5 en 6 tonen respectievelijk dwarsdoorsnedes door een tweede en een derde uitvoeringsvorm van een coatingsinrichting volgens de uitvinding;

30 fig. 7 toont een doorsnede volgens de lijn VII-VII

in fig. 6; fig. 8 toont een dwarsdoorsnede door .een vierde uitvoeringsvorm van een coatingsinrichting volgens de onderhavige uitvinding; 35 fig. 9 is een doorsnede volgens de lijn IX-IX in fig. 8; fig. 10 toont een detail, waarin een andere con- 6602905 -26- structie wordt getoond, gezien in dezelfde richting als fig. 9, en.

fig. 11 toont een dwarsdoorsnede van een vijfde uitvoeringsvorm van een coatingsinrichting volgens de uit-5 vinding.

Figuren 1 tot 4

In de fig. 1 tot 4 omvat de inrichting voor het pyrolitisch vormen van een metaalverbindingscoating op een bovenoppervlak van een heet glassubstraat 1 in plaat- of 10 handvorm een transportorgaan, zoals rollen 2, voor het in stroomafwaartse richting 3 langs een baan 1 transporteren van een substraat. De baan 1 voert door een coatingsstation 4, met een dakstructuur '5, welke een coatingskamer 6 bepaalt, die omlaag naar de substraatbaan 1 is geopend. De dakstructuur 5 15 definieert een verhoogde stroomopwaartse zone 7 van de coatingskamer δ met een stroomopwaartse eindwand 8 en die eindigt in een verticale overbruggingswand 9 ter plaatse van zijn stroomafwaartse uiteinde, waaronder een uitgangssleuf 10 een dampstromingsverbinding vormt met een doorgang 11, die is 20 gevormd als een stroomafwaartse voorzetting van de stroomopwaartse zone 7 met een geringere hoogte, en die de coatingskamer een totale lengte van tenminste twee meter, en bij voorkeur van tenminste 5 meter, verschaft.

In een andere uitvoeringsvorm strekt de dakstruc-25 tuur 5 zich horizontaal uit, zodat de doorgang 11 dezelfde hoogte bezit als het stroomopwaarts gelegen gebied 7.

Middelen zijn aangebracht voor het afgeven van coatingsprecursormateriaal en een oxyderend gas aan de stroomopwaartse zone 7 van de coatingskamer 6 en voor het aan meng-30 krachten onderwerpen van dit materiaal, zodat dit in de stroomopwaartse zone 7 gemengd wordt. De middelen voor het afgeven van het precursormateriaal in deze mengzone 7 zijn duidelijker getoond in fig. 3.

Deze afgiftemiddelen omvatten een afgiftepijp 12, 35 die door elke zijwand 13 van de coatingskamer 6 leidt, en die een ventilator 14 omvatten voor het in de mengzone 7 persen van lucht. De afgegeven lucht is op geschikte wijze voorver- 86 0 2 905 -27- warmd, bijvoorbeeld door branders of door een warmtewisselaar (niet getoond), en bijvoorbeeld verwarmd tot een gemiddelde temperatuur in het bereik van 300°C tot 500°C. Een coatings-precursorleiding 15 voor het transporteren van een vloeibaar 5 coatingsprecursormateriaal leidt naar een afgiftemondstuk 16, dat in de monding van elke afgiftepijp 12 is aangebracht en wijst in de richting van de mengzone 7. De afgiftemondstukken 16 zijn van een ultrasoonverpulveringstype en vormen een aërosol, of een mist van microdruppels, van het coatingspre-10 cursormateriaal. Dit wordt snel verdampt, of in de dampfase gehandhaafd door de door de leiding 12 afgegeven voorverwarmde lucht, alsmede door omlaag gerichte stralingsverwarmens 17, die aan het dak 5 van de mengzone 7 zijn bevestigd en extra warmte afgeven. Het resultaat is, dat een reservoir van een 15 atmosfeer, die rijk is aan en goed vermengd is met een coatingsprecursordamp, in de mengzone 7 wordt gehandhaafd.

Ter plaatse van het stroomafwaartse uiteinde van de doorgang 11 wordt atmosferisch materiaal afgezogen in uitlaatpijpen 18 met een inlaat 19, die gedeeltelijk wordt ge-20 vormd door een gekromde uitlaatschoep 20. De schoep strekt zich boven de baan van het substraat 1 over de gehele breedte van de doorgang uit, en sluit het stroomafwaartse uiteinde daarvan althans nagenoeg af. Dit verhindert althans nagenoeg de stroming van atmosferisch materiaal in of uit de coatings-25 kamer 6 ter plaatse van het stroomafwaartse uiteinde van de doorgang 11. De schoep 20 kan eventueel zwenkbaar zijn bevestigd, zodat deze kan worden ingesteld voor een minimale afstand tot het substraat 1. Ter plaatse van het stroomafwaartse uiteinde van de doorgang 11 wordt atmosferisch materiaal te-30 vens afgezogen in zij-uitlaatpijpen 21, die aan weerszijden van de coatingskamer zijn aangebracht, teneinde een zijdelingse verspreiding van het atmosferische materiaal, dat door de coatingskamer stroomt, te bevorderen.

Een dergelijke afzuiging zuigt van precursor voor-35 ziene atmosfeer vanuit de mengzone 7 door de uitlaatsleuf 10 daarvan in en door de doorgang 11.

Over de lengte van de doorgang 11 zijn keerplaten 22 8602905 -28- aangebracht aan weerszijden van de coatingskamer, welke binnenwaarts vanaf de zijwanden van de coatingskamer over de randen van het substraat 1 uitsteken. Deze keerplaten strekken zich over de gehele lengte van de substraatbaan, welke 5 wordt gevormd door de doorgang, uit en verhinderen de menging van atmosferisch materiaal tussen zones verticaal boven en verticaal onder het substraat 1.

Ter plaatse van de basis van de mengzone 7 zijn deze keerplaten 22 vervangen door gaasschermen 23, die tevens 10 in de fig. 2 en 3 zijn getoond, en die boven de randen van het substraat uitsteken. De gaasschermen 23 zijn aangebracht boven omhoog gerichte ventilatoren 24, die zijn aangebracht om hete lucht voorbij de zijranden van het substraat in de mengzone te blazen. Dit resulteert, in het verhinderen van het 15 afdalen van precursorrijke dampen vanuit de mengzone in contact met het onderoppervlak van de band, alwaar dit een ongewenste coatingsafzetting zou veroorzaken, terwijl dit tevens een relatief verdunde en hete atmosfeer vormt, die in aanraking is met de zijwanden van de mengzone, zodat deze tegen 20 corrosie worden beschermd, terwijl condensatie op deze zijwanden wordt verhinderd, alsmede een compensatie wordt verschaft voor warmteverlies door deze wanden.

Het coatingsstation 4 is aangebracht tussen de uitgang van een bandvormende inrichting (niet getoond), bij-25 voorbeeld een floattank, en de ingang van een onthardingslehr 25.

Een doorgang, die leidt van de bandvormende inrichting naar de coatingskamer 6 bezit een dak 26, van welke een afschermingswand 27 omlaag hangt ter plaatse van het stroom-30 opwaartse uiteinde van de coatingskamer 6, waarbij een ruimte wordt opgelaten voor het via een ingangssleuf 28 in de coatingskamer binnentreden van het substraat 1.

Het effect van deze afschermingswand 27 is de beperking van de stroom van atmosferisch materiaal in de 35 coatingskamer 6 vanaf de stroomopwaartse richting, zodat de atmosferische omstandigheden in deze kamer eenvoudiger kunnen worden gecontroleerd.

8602 90S

Stroomopwaarts van de afschermingswand 27 bevindt zich een voorkamer 29, waarin verwarmingsorganen 30 zijn aangebracht. Deze verwarmingsorganen kunnen bestaan uit stra-lingsverwarmingsorganen, bijvoorbeeld een van vinnen voorziene 5 radiator, of kunnen een of meer branders omvatten. Een tweede afschermingswand 31 is aangebracht boven de substraatbaan ter plaatse van het stroomopwaartse uiteinde van de voorkamer 29.

Tijdens de werking zal een half-natuurlijke stroming van gas in het stroomopwaartse uiteinde van de coatings-10 kamer 6 vanuit de voorkamer 29 worden aangezogen, zodat de gasachtige omgeving in de onmiddellijke nabijheid van het bovenoppervlak van het substraat 1, tenminste in de zone waar de vorming van de coating begint,, kan worden gecontroleerd, door voorverwarmd gas, dat in stroomafwaartse richting 3 in 15 de kamer 6 wordt toegevoerd, de kamer te laten binnentreden in aanraking met het substraat 1 en een bedekkingslaag te laten vormen, die het substraat tenminste in de zone van contact met het coatingsprecursormateriaal bedekt. Op deze wijze kan gebruik worden gemaakt van de beschreven uitvinding vol-20 gens de Britse octrooiaanvrage 85.31425.

Deze half-natuurlijke gasstroming kan worden versterkt of geconditioneerd door voorverwarmd gas, dat wordt afgegeven door een afgifteleiding 32, die is aangebracht nabij de ingangssleuf 28, en welke tevens dient voor het verhinde-25 ren, dat dampen stroomopwaarts stromen vanuit de mengzone 7 door deze sleuf.

De stroomafwaartse stroming vanuit de mengzone 7 wordt benedenwaarts gesmoord door de overbruggingswand 9 boven de uitgangssleuf 10, zodat de coatingsprecursordampen 30 gedwongen worden in contact met het substraat te stromen, en tijdens dit contact wordt pyrolitisch een coating op het glas gevormd. Teneinde de coatingsopbrengst en kwaliteit te bevorderen en teneinde de condensatie van dampen op het dak 5 van de doorgang 11 te verhinderen, zijn onder het dak van de door-35 gang verwarmers 33 aangebracht.

De stroomafwaartse stroming wordt tevens gesmoord ter plaatse van de zijden. Ter plaatse van het stroomafwaartse 8602905 -30- uiteinde van de mengzone is een paar horizontaal gerichte binnenwaarts hellende gasstraalafgiftemondstukken 34 aangebracht voor het binnenwaarts verwijderd van de zijwanden van de doorgang en in de stroomafwaartse richting meenemen van de 5 coatingsprecursordamp, die in de mengzone zal worden gevormd.

VOORBEELD 1

De inrichting volgens de fig. 1 tot 4 werd gebruikt om een 30 nm dikke coating uit titaniumdioxyde af te zetten op een 6 mm dikke glasband, die met een snelheid van 10 4,5m/min voortbewoog en decoatingskamer binnentrad met een temperatuur van 600°C. De totale lengte van de coatingskamer 6 bedroeg 5 meter.

Een paar ultrasone pulverisators, die beschikbaar zijn van Giesler SA (Frankrijk) onder de handelsnaam SONICORE 15 werd toegepast teneinde een aerosol van titaniumacethylace-tonaat in lucht te vormen, waarbij elke pulverisator ongeveer 2kg/u aan precursor afgaf vanaf een hoogte van net 50 cm boven het substraat. De aërosol kreeg een spiraalvormige baan door de werking van de ventilatoren.

20 De mengzone werd gevuld met een nevel van aërosol, die snel verdampte, o.a. ten gevolge van de verwarmers in het dak. Deze dampen werden stroomafwaarts gezogen door de afzuiging ter plaatse van het stroomafwaartse uiteinde van de doorgang 11, geholpen door met een temperatuur van 600°C door 25 de afgifteleiding 32 in de nabijheid van de ingangssleuf afgegeven gas, en door de ter plaatse van de zijden smorende gasstromen vanuit de mondstukken 34.

Het resultaat omvat een coating met een extreem hoge en uniforme kwaliteit over de gehele breedte van de band, 30 behalve de randgedeelten, welke werden bedekt door de keerplaten 22.

Bij een variant van dit voorbeeld werd een 100 nm dikke coating uit tinoxyde aangebracht onder toepassing van tindibutyldiacetaat. Hierbij werd eveneens een excellente en 35 uniforme kwaliteit over de gehele breedte van de band, behalve de genoemde randgedeelten, bereikt.

8602905 -31- FIGUÜR 5

In fig. 5 hebben onderdelen, welke een zelfde functie, bezitten, dezelfde referentiecijfers als in de fig. 1 tot 4.

5 In fig. 5 daalt de stroomopwaartse eindwand 8 af tot bijna op het niveau van het substraat 1, waarbij slechts een zeer smalle ingangssleuf 28 wordt opengelaten, teneinde het van stroomopwaarts in de coatingskamer 6 binnentreden van gas althans nagenoeg te verhinderen.

10 De coatingsprecursorafgifteorganen omvatten een sproeimondstuk, dat schematisch is weergegeven met 35, welk mondstuk een coatingsprecursoroplossingstroom in de mengzone 7 van de coatingskamer 6 versproeit. De afgifte als van het sproeimondstuk 35, welke is aangeduid met 36 is in stroomaf-15 waartse richting 3, omlaag naar het substraat 1 gericht.

In de getoonde uitvoeringsvorm is het sproeimondstuk 35 zodanig geplaatst, dat het coatingsprecursormateriaal vanaf een hoogte van tenminste 60 cm boven de substraatbaan 1 versproeit, en dit mondstuk is van een op zichzelf bekend 20 type. Bij andere uitvoeringsvormen kan de afgiftehoogte meer zijn dan 75 cm, en bij voorkeur tenminste 1,2 meter bedragen. Het mondstuk is heen en weer beweegbaar langs een baan (niet getoond) over de breedte van de substraatbaan, tussen een paar gasafgiftesleuven 37, die via pijpen 38 worden voorzien 25 van voorverwarmde lucht. Uit de sleuven tredende lucht vormt een heet luchtgordijn aan weerszijden van de bewegende stroom van versproeid precursormateriaal, waarin materiaal, dat is verdampt vanuit de versproeide stroom, hoofdzakelijk ten gevolge van de door de verwarmers 17 verschafte warmte, wordt 30 meegenomen en gemengd. De heen en weer gaande beweging van het mondstuk 35 en de resulterende beweging van het afgegeven materiaal veroorzaakt een aanzienlijke turbulentie in het bovenste gedeelte van de mengzone 7, waardoor de innige menging van het verdampte precursormateriaal en de hete lucht wordt 35 bevorderd.

In de doorgang 11 is de boven het substraat gelegen uitlaatpijp 18 weggenomen, maar extra zij-uitlaatpijpen 21 ' 8602905 -32- zijn aangebracht. In feite zijn deze uitlaatpijpen 21 over de gehele lengte van de doorgang verdeeld, en de meest stroomopwaarts gelegen van deze pijpen bevindt zich in de mengzone 7. Onder de ingangen naar al deze zij-uitlaatpijpen strekken zich 5 keerplaten 22 uit. Ter compensatie van de progressieve vermindering van de hoeveelheid atmosferisch materiaal, dat ten gevolge van deze verhoogde zijafzuiging door de doorgang stroomt, daalt de dakstructuur 5 in stroomafwaartse richting 3 in de doorgang af in de richting van het substraat 1.

10 Het stroomafwaartse uiteinde van de doorgang 11 is afgesloten door twee poorten 39, die respectievelijk scharnierend zijn verbonden met de dakstructuur 5 en de ingang van de onthardingslehr 28, teneinde een uitwisseling van atmosferisch materiaal tussen de lehr en de coatingskamer te ver-15 hinderen, terwijl toch de mogelijkheid van extra ruimte wordt geboden, bijvoorbeeld voor gebroken glas, wanneer de band zou breken ten gevolge van een ongeluk in de inrichting.

VOORBEELD 2

De inrichting volgens fig. 5 werd toegepast om een 20 coating uit een mengsel van metaaloxyden, namelijk

Fe2Q3 + CoO + Cr203 te vormen door het versproeien van een oplossing in dimethylformamide van een mengsel van de acetylacetonaten van ijzer (II), cobalt (II) en chroom (III).

Het sproeimondstuk 35 was zodanig aangebracht, dat 25 het de coatingsprecursoroplossing vanaf een hoogte van 60 cm afgaf, terwijl het heen en weer bewoog dwars op de substraat-baan, waarbij de afgifteas 36 een hoek van 45° maakte met de horizontaal. De hoeveelheid afgegeven oplossing bedroeg ongeveer 100L/u teneinde een 45 nm dikke.coating te vormen op een 30 4 mm dikke floatglasband, die met een snelheid van 11m/min voortbewoog.

Het glas trad de coatingskamer binnen, welke een totale lengte van 7 meter bezat, met een temperatuur van 580°C, terwijl tot een temperatuur van 375°C voorverwarmde 3 35 lucht vanuit de sleuven 37 met een snelheid van 1500Nm /u werd afgegeven. Althans nagenoeg alle versproeide oplossing werd verdampt voorafgaande aan het contact met het glas ten 8602905 -33- gevolge van de verwarming door de dakverwarmers 17, en de aldus gevormde precursordamp werd meegenomen in de luchtstromingen vanuit de sleuven en stroomafwaarts gezogen door de zij-uitlaatpijpen 21, in welke de afzuigkrachten werden gere-5 geld teneinde een uniforme coating van de gewenste dikte te verkrijgen.

De gevormde coating bezat een excellente dikte-uniformiteit over althans nagenoeg de gehele bruikbare breedte van de band, en bezat een zeer hoge optische kwaliteit.

10 FIGUREN 6 & 7

In de fig. 6 en 7 bezitten de onderdelen met dezelfde functie als in het voorgaande overeenkomstige referen-tiecijfers.

In de mengzone 7 ter plaatse van het stroomopwaartse 15 uiteinde van de coatingskamer 6 is de gasafgiftepijp 38 afwezig, maar is vervangen door de pijp 40 met een afgiftemon-ding 41, die in de richting van de stroomopwaartse zijde van de versproeide stroom van coatingsprecursormateriaal is gericht. De afgiftemonding 41 bezit een geringere breedte dan 20 de coatingskamer 6 en wordt dwars op de sproeizone samen met het sproeimondstuk 35 heen en weer bewogen. In een variant strekt de afgiftemonding 41 zich over nagenoeg de gehele breedte van de coatingskamer 6 uit.

Stroomafwaarts van de uitgangssleuf 10 onder de 25 overbruggingswand 9 zet de dakstructuur 5 zich voort, teneinde een doorgangsgedeelte 11 van de coatingskamer 6 te vormen, dat in stroomafwaartse richting afdaalt. In deze uitvoeringsvorm echter wordt de dakstructuur van de doorgang 11 gevormd door een aantal lamellen 42, die zwenkbaar kunnen worden ge-30 opend zodat voorverwarmde lucht in de doorgang kan stromen en langs het dak daarvan teneinde de temperatuur aldaar te verhogen en om de afzetting van een coating of de condensatie op het dak te verhinderen.

Over de lengte van de doorgang 11 is aan weerszij-35 den van de coatingskamer onder het niveau van de substraat-baan 1 een afzuigorgaan aangebracht. Dit afzuigorgaan omvat een aantal uitlaatkasten 43, die aan de bovenzijde open zijn, 860 2 905 , . * -34- en die in verbinding staan met uitlaatpijpen 44. Uit fig. 6 kan worden opgemerkt, dat deze uitlaatkasten 43 zich over de gehele lengte van de substraatbaan, die wordt ingenomen door de doorgang, uitstrekken, en dat de meest stroomopwaartse 5 uitlaatkast in feite onder de mengzone is geplaatst. Keerplaten 45 strekken zich omhoog en binnenwaarts vanaf de uitlaatkasten uit en strekken zich onder de randen van de substraatbaan en tussen de transportrollen 2 uit. Deze plaatsing bewerkstelligt een effectieve scheiding van de atmosferen verti-10 caal boven en verticaal onder de substraatbaan in de doorgang.

VOORBEELD 3

De inrichting volgens de fig. 6 en 7 werd gebruikt om een gedopete tinoxyde coating van 750nm dik op een 3 meter brede band van 6 mm dik floatglas te vormen, dat voortbewoog 15 met een snelheid van 8,5m/min., en de coatingskamer binnentrad met een temperatuur van 600°C. De coatingskamer bezat een totale lengte van 8 meter. Een waterige oplossing van stannochloride, met ammoniumbifluoride, werd afgegeven met een snelheid van ongeveer 220L/u bij een druk van 25 bar van-20 af een hoogte van 1,8 meter boven het glas, waarbij gebruik werd gemaakt van een sproeimondstuk, dat een hoek van 50° in stroomafwaartse richting maakte met de horizontaal en dat over de bandbaan heen en weer werd bewogen met een snelheid van 23 slagen per minuut.

25 De totale hoeveelheid door de uitlaatpijpen 18 en 44 afgezogen atmosferisch materiaal bedroeg ongeveer 3 100.000m /u bij een temperatuur van ongeveer 300° tot 350°C.

Door de met het sproeimondstuk verbonden afgifte-monding 41 werd hete lucht in de mengzone 7 geblazen, met een 30 temperatuur van 600°C en met een hoeveelheid van 5000m /u.

Stralingsdakverwarmers 17 hielpen bij het bewerkstelligen van ' de verdamping van de meerderheid van het coatingsprecursor-materiaal en het oplosmiddel voorafgaande aan het contact met het glas. Voorverwarmde lucht werd vanuit de stroomop-35 waartse voorkamer 29 in de coatingskamer 6 gezogen om bij te dragen aan het afgezogen atmosferische materiaal.

In een variant strekte de afgiftemonding 41 zich S60 2 9 05 -35- over de gehele breedte van de coatingskamer uit, en werd deze gebruikt voor de afgifte van tot een temperatuur van 600°Cver- 3 warmde lucht met een snelheid van 25.000m /u.

Resulterend werd een coating gevormd die over de 5 gehele breedte van de band een uniforme structuur en dikte met een hoge kwaliteit bezat en derhalve goede optische kwaliteiten vertoonde. De insluiting van coatingsreactiepro-dukten, welke tot fouten zouden leiden, werd althans nagenoeg vermeden.

10 Voorverwarmde lucht werd vanuit de voorkamer 29 door de ingangssleuf 28 in de coatingskamer 6 gezogen. Hierbij werd opnieuw gebruik gemaakt van de uitvinding, welke is beschreven in de Britse octrooiaanvrage 85.31425.

In een variant werd voorverwarmde lucht recht-15 streeks in de voorkamer 29 geblazen.

FIGUREN 8 & 9

In de fig. 8 en 9 bezitten onderdelen, welke dezelfde functies vervullen als in de voorgaande figuren, dezelfde referentiecijfers.

20 In de uitvoeringsvorm volgens de fig. 8 en 9 zijn verwarmingsorganen 46, aanvullend op de dakverwarmers 17, aangebracht op de stroomopwaartse eindwand 8 van de coatingskamer 9 teneinde de verdamping te bevorderen, met name aan de achterzijde van de vanuit het mondstuk 35 versproeide 25 coatingsprecursormateriaalstroom.

Ter plaatse van de stroomafwaartse zijde van de mengzone 7 daalt de dakstructuur opnieuw af teneinde een verticale overbruggingswand 9 te vormen. Een zich over de gehele breedte uitstrekkende inlaat 47 voor de uitlaatpijpen 48 voor 30 het afzuigen van dampen vanuit de mengzone is aangebracht in de overbruggingswand 9 teneinde de vorming van een stagnatie-zone in de mengzone te verhinderen.

Ter plaatse van de ingangssleuf 28 naar de coatingskamer 6 draagt de afschermingswand 27, die de coatingskamer 35 scheidt van de voorkamer 29, een verticaal beweegbare poort 49, die een variabele inlaatsleuf 28 mogelijk maakt, zodat de snelheid, waarmee het atmosferische materiaal in de coatings- @@02 905 * \ -36- kamer kan worden aangezogen vanuit de voorkamer 29, eenvoudiger kan worden gecontroleerd. De poort 49 kan zijn opgebouwd uit diverse onafhankelijk beweegbare delen, zodat de opening van de ingangssleuf 28 over de breedte van de baan van het 5 substraat 1 kan worden gevarieerd. Bovendien is een gasafgif-tepijp 50 aangebracht voor het afgeven van voorverwarmd gas omlaag in de voorkamer, teneinde de laag van atmosferisch materiaal onmiddellijk boven de substraat 1 te vormen tot tenminste aan de zone, waar de vorming van de coating begint.

10 Het stroomopwaartse uiteinde van de voorkamer is althans nagenoeg afgesloten door de begrenzingswand 31.

Middelen 52 zijn aangebracht voor het afgeven van gas in de omgeving van het substraat 1 teneinde een continue stroming te vormen, die in stroomafwaartse richting 3 onder 15 elke rand van de substraatbaan 1 en door tenminste een gedeel-'te van de baanlengte te stromen, welke wordt ingenomen door de coatingskamer 6.

De middelen 52 voor het onder de band afgeven van gas omvatten vier distributieruimten 53, die twee aan twee 20 zijn geplaatst en zich over althans nagenoeg de gehele breedte van het coatingsstation 4 uitstrekken. Aan de bovenzijde van elke distributieruimte 53 is een sleuf 54 gevormd, die wordt begrensd door een afbuiglip 55, zodat door de sleuven 54 geïnjecteerd gas in stroomafwaartse richting 3 door het 25 coatingsstation 4 wordt gericht. De sleuven 54 strekken zich over de gehele lengte van elke distributieruimte 53 dwars op het coatingsstation 4 uit- Indien gewenst kunnen dergelijke sleuven worden vervangen door een aantal op afstand van elkaar gelegen openingen. Zoals in fig. 1 is getoond is een 30 afbuigplaat 56 boven de distributieruimten 53 geplaatst, zodat het geïnjecteerde gas niet direct tegen het substraat 1 wordt afgegeven. De distributieruimten 53 kunnen vanaf beide zijden van het coatingsstation 4, bijvoorbeeld vanaf warmtewisselaars, worden voorzien van voorverwarmd gas. Lucht kan 35 worden toegepast als afgegeven gas en deze kan op eenvoudige wijze worden verwarmd door de warmte-uitwisseling met verbrandingsovenverbrandingsgassen. Een dergelijk gas is bij 860 2 905 -37- • * -¼ voorkeur voorverwarmd tot een temperatuur binnen 50°C van de temperatuur van het substraat, wanneer dit de coatingskamer 6 binnentreedt.

Onder het substraat 1 afgegeven gas kan vanuit de 5 omgeving van het substraat 1 worden verwijderd door een eventuele uitlaatpijp (niet getoond), die een of meer inlaten bezit, die zich dwars onder de substraatbaan uitstrekken, bijvoorbeeld in overeenstemming met de boven de baan geplaatste uitlaatinlaat 19.

10 VOORBEELD 4

De inrichting volgens de fig. 8 en 9 werd toegepast om een tinoxydecoating van 750nm dik, die was gedopet met 0,2 % antimoonoxyde te vormen op een 3 meter brede band van 6 mm dik floatglas, dat voortbewoog met een snelheid van 15 8,5m/min. en dat de coatingsfcamsr binnen trad met een tempera tuur van 600°C. De coatingskamer had een totale lengte van 8 meter. Een waterige oplossing van stannochloride met antimoonchloride werd afgegeven met een snelheid van ongeveer 230L/u bij een druk van 25 bar vanaf een hoogte van 1,5 meter 20 boven het glas, waarbij gebruik werd gemaakt van een sproei-mondstuk, dat in stroomafwaartse richting een hoek van 47° maakte met de horizontaal, en dat dwars op de bandbaan heen en weer werd bewogen.

Verwarmers 17 en 46 werden bestuurd teneinde althans 25 nagenoeg al het versproeide materiaal in de bovenste helft van de mengzone 7 te verdampen, en door de heen en weer gaande beweging van het sproeimondstuk 35 en het daardoor veroorzaakte stromingspatroon werd dit verdampte materiaal innig vermengd met de lucht in dit gedeelte van de mengzone.

30 De totale hoeveelheid door de uitlaatpijpen 18 en 21 aangezogen atmosferisch materiaal bedroeg ongeveer 60.00Om /u bij een temperatuur van ongeveer 350°C. De afzuiging door de mengzonepijp 48 werd gehandhaafd op een minimum niveau, dat vereist was om de atmosfeer in het bovenste gedeelte van het 35 stroomafwaarste uiteinde van de mengzone 7 schoon te houden.

Via de pijp 50 werd hete lucht met een temperatuur van 620°C (dezelfde temperatuur als de band aldaar) met een 8602905 -38- 3 snelheid van ongeveer 7000Nm /u in de voorkamer 29 geblazen.

De poort 49 was zodanig ingesteld, dat de ingangssleuf 28 een uniforme opening over de breedte van de band bezat.

Tot een temperatuur van 550°C voorverwarmde lucht 3 5 werd met een snelheid van 3000Nm /u vanuit het afgifteorgaan 22 onder de substraatbaan afgegeven.

Deze werkwijze resulteerde eveneens in de vorming van een althans nagenoeg foutenvrije coating, met in dit geval een blauwachtig uiterlijk, met excellente optische eigen-10 schappen en een excellente dikte-uniformiteit.

FIGUUR 10

Fig. 10 toont een wijziging met betrekking tot de zijkeerplaten 22- In fig. 10 zijn de transportrollen 2 ter plaatse van 57 in de richting van hun uiteinden versmald, het-15 geen een ruimte verschaft, waarin de keerplaten 22, die aan de zijwanden 13 van de coatingskamer zijn bevestigd, kunnen passen, namelijk onder de randen van het substraat 1. Dit verschaft een betere afsluiting van de coatingskamer, hetgeen plaatsvindt zonder afscherming van de randen van het substraat 20 voor een contact met het coatingsprecursormateriaal. De in de fig. 1 tot 4, 5, 8 en 9 getoonde of in fig. 11 nog te tonen uitvoeringsvormen kunnen eenvoudig op deze wijze worden gewijzigd.

FIGUUR 11 25 In de uitvoeringsvorm volgens fig. 11 is een pijp 58 aangebracht voor het afgeven van een stroom van voorverwarmde lucht in de mengzone 7, in een zodanige richting, dat deze de versproeide stroom van coatingsprecursormateriaal snijdt. De afgifte-opening 59 van de pijp 58 is in de bovenste helft van 30 de hoogte tussen het sproeimondstuk 35 en het substraat 1 geplaatst, en zodanig aangebracht, dat de gasstroom van een stroomopwaartse positie van de afgifteas 36 van de versproeide coatingsprecursor wordt afgegeven. De monding 59 strekt zich horizontaal over de gehele breedte van de substraatbaan 1 35 uit alsmede in verticale richting over het bovenste derde deel van de hoogte van het sproeimondstuk 35 boven het glassubstraat. Door de monding 59 afgegeven lucht wordt in eerste 860 2 905 -39- instantie althans nagenoeg horizontaal gericht, dwars op de dwars gerichte baan van de druppelstroom, teneinde een stroming van atmosferisch materiaal door de mengzone 7 te handhaven.

5 De afgegeven lucht wordt op geschikte wijze voorver warmd, bijvoorbeeld tot een gemiddelde temperatuur in het bereik van 300°C tot 600°C. De verwarmers 17 bevorderen de verdamping van het oplosmiddel vanuit de versproeide druppels gedurende een beweging in de richting van het substraat 1, 10 en het verdampte materiaal wordt meegenomen en gemengd in deze voorverwarmde lucht.

In een mogelijke andere uitvoeringsvorm is de pijp 58 voor het afgeven van de luchtstroom verdeeld in twee pijpen, die eindigen in een bovenste en een onderste monding met 15 een gelijke afmeting, en die de plaats van de monding 59 innemen, zodat luchtstromingen met verschillende temperaturen, bijvoorbeeld 400°C en 600°C, op verschillende niveaus aldaar kunnen worden afgegeven.

De dakstructuur 5 daalt volgens een continu gedeel-20 telijk gekromd profiel boven de mengzone 7 af teneinde een regelmatige in het algemeen stroomafwaartse stroming van materiaal binnen de coatingskamer 6 te vereenvoudigen. De dakstructuur 5 daalt verder af, zodat de doorgang 11 in stroomafwaartse richting een afnemende hoogte bezit teneinde' de 25 reductie van de hoeveelheid atmosferisch materiaal ten gevolge van de afzuiging vanuit de doorgang door de zij-uitlaatpijpen 21, die over de gehele lengte daarvan zijn aangebracht, te compenseren.

VOORBEELD 5 30 De inrichting volgens fig. 11 werd gebruikt om een 400nm dikke fluor-dopetinoxydecoating te vormen op een 5 mm dikke glasband, die vanuit een floatkamer voortbewoog met een snelheid van 8,5m/min. en de coatingskamer binnentrad met een temperatuur 600°C. De coatingskamer bezat een totale lengte 35 van 8 meter.

Het toegepaste coatingsprecursormateriaal bestond uit een waterige oplossing van stannochloride met 8 60 2 §05 ' -40- ammoniumbifluoride voor het aanbrengen van dope-ionen in de coating. Deze oplossing werd vanuit het mondstuk met een snelheid van 110L/u onder een druk van 23 bar versproeid, terwijl het mondstuk heen en weer werd bewogen met een snelheid van 5 22 slagen per minuut. Het mondstuk was geplaatst zoals in voorbeeld 4.

Tot een temperatuur van 600 °C voorverwarmde lucht 3 werd met een snelheid van 5400Nm /u vanuit de afgiftemonding 59 afgegeven, en de door de hulpgasafgifteleiding 32 afgege-10 ven lucht was eveneens voorverwarmd tot 600°C. De voorkamer 29 omvatte branders 30 voor het voorverwarmen van de daarin aanwezige atmosfeer. De afzuiging boven het niveau van het substraat werd gehandhaafd op een snelheid van 80.00Om /u teneinde een in het algemeen stroomafwaartse stroming van ma-15 teriaal binnen de coatingskamer te handhaven.

Deze werkwijze resulteerde eveneens in de vorming van een uitermate uniforme coating, die althans nagenoeg vrij was van plaatselijke fouten.

VOORBEELD 6 20 Een inrichting, welke was gebaseerd op de inrichting die is getoond in fig. 11, werd toegepast om een tinoxyde-coating met een dikte van 250nm te vormen. De inrichting was gewijzigd door het uitsluiten van de voorkamer 29 en de af-giftepijp 32. De lengte van de coatingskamer 6 bedroeg onge-25 veer 6 meter.

Glasplaten werden ,opeenvolgend door de coatingskamer geleid bij een temperatuur van 600°C en een snelheid van 10m/min.

De toegepaste coatingsprecursor bestond uit een 30 oplossing van stannochloride met ammoniumbifluoride voor het aanbrengen van dope-ionen in de coating. Deze oplossing werd vanuit het mondstuk versproeid met een snelheid van 70L/u en een druk van 20 bar, terwijl het mondstuk heen en weer werd bewogen met een snelheid van 22 slagen per minuut. Het mond-35 stuk was aangebracht op een hoogte van 1 meter boven het niveau van het glas en maakte een omlaag gerichte hoek van 45° .

Tot een temperatuur van 600°C voorverwarmde lucht 8602905 -41- werd in de sproeizone door de afgiftemonding 59 afgegeven. De snelheid van deze afgifte en de snelheid, waarmee het atmosferisch materiaal werd afgezogen vanuit de coatingskamer, werden aangepast teneinde een coating met de vereiste dikte 5 te verkrijgen.

De met behulp van deze werkwijze gevormde coating bezat eveneens een uitermate hoge kwaliteit en een uniform uiterlijk, en was althans nagenoeg vrij van plaatselijke fouten.

1Q VOORBEELDEN 7 tot 11

In een variant van elk van de voorgaande voorbeelden 1 tot 5 worden de getoonde inrichtingen gevormd om een coating te vormen op glas, dat in platen is gesneden en vervolgens opnieuw is verwarmd.

15 Overeenkomstige resultaten met betrekking tot de coatingskwaliteit werden verkregen.

De uitvinding is niet beperkt tot de in het voorgaande beschreven uitvoeringsvormen, die binnen het kader der uitvinding op velerlei wijzen kunnen worden gevarieerd.

8602905

Claims (46)

1. Werkwijze voor het pyrolitisch vormen van een metaaloxydecoating op een bovenoppervlak van een heet glas-substraat in plaat- of handvorm gedurende het transport daarvan in een stroomafwaartse richting langs een baan, die on- 5 der een naar beneden open coatingskamer leidt, bij welke werkwijze de coating wordt gevormd door een coatingprecursor— damp en een oxyderend gas, die worden toegevoerd in de stroomafwaartse richting door een doorgang van de coatingskamer, aan welke het substraatoppervlak wordt blootgesteld, met 10 het kenmerk, dat het coatingsprecursormateriaal en het oxyderende gas worden geïntroduceerd in een mengzone van de kamer in of naast het stroomopwaartse uiteinde van de doorgang, dat warmte-energie aan de mengzone wordt toegevoerd en het precursormateriaal en het oxyderende gas innig worden 15 gemengd in de mengzone, terwijl ze worden blootgesteld aan het substraat, maar op een zodanige hoogte, dat de vorming van de coating begint vanuit een althans nagenoeg homogeen dampmengsel, en waarbij ervoor wordt gezorgd, dat dit mengsel continu door de doorgang, in contact met het bovenoppervlak 20 van het substraat, stroomt.

2. Werkwij ze volgens conclusie 1, met het kenmerk, dat het coatingprecursormateriaal in een of meer druppelstromen 'aan de mengzone wordt toegevoerd.

3. Werkwijze volgens conclusie 1 of 2, met 25 het kenmerk, dat stromen van coatingsprecursormateriaal en gas in verschillende richtingen in de mengzone worden ingebracht teneinde turbulentie te veroorzaken voor het bewerkstelligen van de menging.

4. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, 30 met het kenmerk, dat tenminste een gedeelte van het gas, dat aan de mengzone wordt toegevoerd, voorverwarmd is.

5. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat het atmosferische materiaal 35 in de doorgang van bovenaf wordt verwarmd. 880 2 905 -43-

6. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat het atmosferische materiaal tenminste ter plaatse van het stroomafwaartse uiteinde van de doorgang van het suhstraatoppervlak wordt afgezogen.

7. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat afzuigkrachten worden opgewekt in een zij-uitlaatpijp, die is aangebracht om ervoor te . zorgen, dat atmosferisch materiaal boven het substraat buitenwaarts stroomt, weg van een centraal gedeelte van de sub- 10 straatbaan over tenminste een gedeelte van de lengte van de coatingskamer.

8. Werkwijze volgens conclusie 7, met het kenmerk, dat het atmosferische materiaal buitenwaarts wordt afgezogen over een zone, die zich althans nagenoeg over 15 de gehele lengte van de doorgang uitstrekt.

9. Werkwijze volgens conclusie 7 of 8, met het kenmerk, dat het atmosferische materiaal buitenwaarts op een niveau onder het substraat wordt afgezogen.

10. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, 20 met het kenmerk, dat over tenminste een gedeelte van de lengte van de coatingskamer een stroming van atmosferisch materiaal voorbij de zijranden van het substraat en tussen zones verticaal boven en verticaal onder het substraat, wordt tegengegaan»

11. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat gas in de omgeving van het substraat wordt afgegeven, teneinde een continue stroming te vormen, die in stroomafwaartse richting onder elke rand van het substraat en over tenminste een gedeelte van de lengte 30 van de coatingskamer stroomt.

12. Werkwijze volgens conclusie 11, met het kenmerk, dat een dergelijke onder het substraat gelegen gasstroming aanwezig is, die onder de gehele breedte van het substraat stroomt.

13. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat lucht wordt toegevoerd door het dak van de doorgang. 8602905 p -44-

14. Werkwijze volgens( een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de stroomafwaartse stroming van atmosferisch materiaal, waaraan het substraatoppervlak is blootgesteld, wordt gesmoord door een duidelijke hoogte-afname 5 van de beschikbare stromingsbaan door de coatingskamer.

15. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat tenminste één paar van schuin binnenwaarts gerichte gasstromen in de kamer worden ingebracht teneinde de breedte van de dampstroming, die door 10 tenminste een gedeelte van de doorgang stroomt, te smoren.

16. Werkwij ze volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat de coatingskamer ter plaatse van zijn stroomafwaartse uiteinde althans nagenoeg is afgesloten, teneinde een uitwisseling van atmosferisch materiaal 15 tussen het stroomafwaartse uiteinde van de coatingskamer en een verder stroomafwaartsgebied van de substraatbaan te verhinderen.

17. Werkwijze volgens conclusie 16, met het kenmerk, dat het glassubstraat een juist gevormde band 20 uit heet glas omvat, terwijl de coating wordt gevormd nadat de band een bandvorminrichting verlaat en voordat deze een ,onthardingslehr binnentreedt.

18. Werkwijze volgens een der voorgaande conclusies, met het kenmerk, dat voorverwarmd gas stroomaf- 25 waarts in de coatingskamer stroomt en in contact komt met het substraat.

19. Werkwijze volgens conclusie 18, met het kenmerk, dat een dergelijk voorverwarrad gas de coatingskamer binnentreedt met een grotere volumestroom langs de ran- 30 den van het substraat dan langs het centrum daarvan.

20. Inrichting voor het toepassen bij het pyroli-tisch vormen van een metaaloxydecoating op een bovenoppervlak van een heet glassubstraat in plaat- of handvorm, met een transportorgaan voor het transporteren van een genoemd sub- 35 straat in een stroomafwaartse richting langs een baan en een dakstructuur, die een coatingskamer vormt, welke omlaag naar de baan geopend is en met een doorgang door welke een 860 2 905 -45- coatingsprecursordamp en een oxyderend gas stroomafwaarts in contact met het bovenoppervlak kunnen worden geleid gedurende het transport van het substraat, met het kenmerk, dat de dakstructuur, in of naast het stroomopwaartse uiteinde 5 van de doorgang, een mengzone bepaalt, die omlaag naar de substraatbaan geopend is, dat een orgaan aanwezig is voor het injecteren van coatingsprecursormateriaal in de mengzone vanaf een hoogte van tenminste 50 cm boven het niveau van de substraatbaan, en dat een orgaan aanwezig is voor het injec-10 teren van het oxyderende gas in de mengzone, in welke het coatingsprecursormateriaal en oxyderende gas samengebracht, gemengd en verwarmd kunnen worden teneinde een atmosfeer te vormen, die een innig mengsel van precursordamp en oxyderend gas bevat, welke mengzone in verbinding staat met de doorgang, 15 teneinde een stroming van een dergelijke atmosfeer door de doorgang vanaf de mengzone mogelijk te maken.

21. Inrichting volgens conclusie 20, met het kenmerk, dat middelen aanwezig zijn voor het in de mengzone introduceren van stromen van coatingsprecursormate- 20 riaal en gas in verschillende richtingen, teneinde turbulentie te veroorzaken voor het bewerkstelligen van de menging.

22. Inrichting volgens conclusie 20 of 21, met het kenmerk, dat een orgaan is aangebracht voor het voorverwarmen van tenminste éën stroom van het gas, dat de 2. meng zone b innentreedt.

23. Inrichting volgens een der conclusies 20-22, met het kenmerk, dat een stralingsverwarmings-orgaan is aangebracht in de mengzone.

24. Inrichting volgens een der conclusies 20-23, 30 met het kenmerk, dat een orgaan is aangebracht voor het van boven in de doorgang aanbrengen van warmte-ener-gie.

25. Inrichting volgens een der conclusies 20-24, met het kenmerk, dat een orgaan is aangebracht 35 voor het opwekken van afzuigkrachten op het atmosferische materiaal binnen de doorgang teneinde een stroming van dit materiaal door de doorgang in de richting van het stroomaf- 8602905 -46- waartse uiteinde daarvan en vervolgens verwijderd van de baan van het substraat te bevorderen.

26. Inrichting volgens een der conclusies 20-25, met het kenmerk, dat een orgaan is aangebracht 5 voor het opwekken van afzuigkrachten in een zij-uitlaatpijp, die is aangebracht om ervoor te zorgen dat atmosferisch materiaal boven de substraatbaan buitenwaarts weg van het centrum van de substraatbaan over tenminste een gedeelte van de lengte van de doorgang stroomt.

27. Inrichting volgens conclusie 26, met het kenmerk, dat de zij-uitlaatpijp is aangebracht om het genoemde atmosferische materiaal buitenwaarts over een zone, die zich over althans nagenoeg de gehele doorgang uitstrekt, af te zuigen.

28. Inrichting volgens conclusie 26 of 27, met het kenmerk, dat de zij-uitlaatpijp ingangen bezit, die onder het niveau van de substraatbaan zijn geplaatst.

29. Inrichting volgens een der conclusies 20-28, met het kenmerk, dat de doorgang een bovenwand 20 bezit, die in stroomafwaartse richting naar het glassubstraat toe convergeert.

30. Inrichting volgens een der conclusies 20-29, met het kenmerk, dat over tenminste een gedeelte van de lengte van de kamer een orgaan is aangebracht voor 25 het tegengaan van een stroming van atmosferisch materiaal voorbij de zijden van de substraatbaan en tussenzones verticaal boven en verticaal onder deze baan.

31. Inrichting volgens conclusie 30, met het k e n m e r k, dat een dergelijk orgaan voor het tegengaan 30 van de stroming keerplaten bezit.

32. Inrichting volgens conclusie 31, met het kenmerk, dat het transportorgaan rollen omvat, die boven elke rand van de substraatbaan zijn versmald teneinde een ruimte te vormen voor het aanbrengen van de keerplaten 35 tussen de rollen en de randen van de substraatbaan.

33. Inrichting volgens een der conclusies 20-32, met- het kenmerk, dat een orgaan is aangebracht 860 2 905 -47- voor het afgeven van gas in de omgeving van de substraatbaan teneinde een continue stroming te vormen, die in de stroomafwaartse richting onder elke rand van de substraatbaan en langs tenminste een gedeelte van de baanlengte, die wordt ingenomen 5 door de coatingskamer, stroomt.

34. Inrichting volgens conclusie 33, met het kenmerk,· dat het orgaan voor het afgeven van gas teneinde een dergelijke stroming onder het baanniveau te vormen, is aangebracht om gas af te geven, teneinde een dergelijke 10 stroming over de gehele breedte van de substraatbaan te vormen.

35. Inrichting volgens een der conclusies 20-34, met het kenmerk, dat een orgaan is aangebracht voor het inbrengen van lucht door het dak van de doorgang.

36. Inrichting volgens conclusie 35, met het kenmerk, dat het dak van de doorgang een louvre-con-structie omvat voor het controleren van het inbrengen van lucht.

37. Inrichting volgens conclusie 35, met het 20 kenmerk, dat het dak van de doorgang een poreuze constructie bezit, waarbij middelen aanwezig zijn voor het door het dak blazen van lucht.

38. Inrichting volgens een der conclusies 20-37, met het kenmerk, dat de dakconstructie in 25 stroomafwaartse richting een duidelijke afname in hoogte boven de baan vertoont, waarbij de stroomafwaartse stroming van damp door de coatingskamer wordt gesmoord.

39. Inrichting volgens een der conclusies 20-38, met het kenmerk, dat de dakstructuur volgens een 30 kromme daalt en overgaat in een stroomafwaarts dakgedeelte boven de doorgang.

40. Inrichting volgens een der conclusies 20-39, met het kenmerk, dat tenminste een paar van schuin binnenwaarts gerichte gasinjectoren in de kamer is 35 aangebracht teneinde de breedte van de dampstroom, die door tenminste een gedeelte van de doorgang stroomt, te smoren.

41. Inrichting volgens een der conclusies 20-40, 8 60 2 905 ·* . Z3 -48- met het kenmerk, dat de doorgang tenminste de stroomafwaarts gelegen laatste twee meters van de lengte van de kamer inneemt en aldaar een hoogte of maximum hoogte bezit, die niet uitgaat boven 75 cm boven de substraatbaan.

42. Inrichting volgens een der conclusies 20-41, met het kenmerk, dat ter plaatse van het stroomafwaartse uiteinde van de coatingskamer een gekromde uitlaatschoep is aangebracht, die zich over tenminste het grootste gedeelte van de substraatbaan uitstrekt, welke 10 schoep gedeeltelijk tenminste één uitlaatpijpinlaat vormt.

43. Inrichting volgens een der conclusies 20-42, met het kenmerk, dat een begrenzingswand is aangebracht boven de substraatbaan, die zich over de gehele breedte van het stroomafwaartse uiteinde van de coatingskamer 15 uitstrekt en deze althans nagenoeg afsluit.

44. Inrichting volgens een der conclusies 20-43, met het kenmerk, dat het caotingsstation is aangebracht tussen de uitgang van een bandvervaardigende inrichting en de ingang naar een onthardingslehr.

45. Inrichting volgens een der conclusies 20-44, met het kenmerk, dat een orgaan is aangebracht om ervoor te zorgen, dat gas door een substraatingangssleuf van de kamer en vanaf stroomopwaarts daarvan stroomt en voor het voorverhitten van het gas.

46. Inrichting volgens conclusie 45, met het kenmerk, dat het orgaan, dat ervoor zorgt dat een dergelijk gas binnentreedt en/of de vorm van de inlaatsleuf zodanig is of zodanig instelbaar is, dat een grotere volume-stroom van een dergelijk gas langs de randen van de substraat- 30 baan wordt veroorzaakt dan langs het centrum daarvan. 8 60 2 905