SE463767B - Saett vid pyrolytisk bildning av en metalloxidbelaeggning paa glas och anordning haerfoer - Google Patents

Description

.z '-1 .>-_-_-'_f7 äöö /U: tjocklek av mellan omkring 30 nm och 1200 nm, beroende på arten av beläggningsmaterial och erforderliga egenskaper, kommer variationer i tjockleken hos en beläggning ej endast att betyda att den erforderliga infrarödstrålningen eller energigenomsläppligheten ej uppnås jämnt och enhetligt, utan även att icke önskvärda interferenseffekter kan uppträda. En regelbunden och enhetlig tjocklek är därför viktig för god optisk kvalitet liksom även för att uppnå den önskade utstrål- ningen eller genomsläpplígheten. Det är uppenbart att belägg- ningar som anbringas på glas. som skall användas för förglas- ningsändamål bör ha en hög och jämn optisk kvalitet. Belägg- ningarna bör därför även vara fria från fläckar och andra lokala defekter.

Det är känt att avsätta beläggningar från beläggnings- material i ångfasen i motsats till från flytande fasen och detta kan befordra frihet från lokala defekter. Denna frihet från lokala defekter uppnås genom att leda separata strömmar av högkoncentrerat förångat beläggningsmaterial och oxide- rande gas mot substratet. så att de blandas och reagerar en- dast under det att de är i kontakt med substratet, så att oxiden bildas direkt på substratet och ej i atmosfären ovanför detsamma då partiklar av beläggningsmaterial skulle kunna falla ned på substratet och ingå i beläggningen som defekter.

Den ångbemängda atmosfären avsuges bort från substratet före det att kyld beläggningsånga eller reaktionsprodukter som bildats i atmosfären utan kontakt med substratet kan avsätta sig som defekter på eller i beläggningen som bildas.

Kända ångfasbeläggningstekniker har ej medfört bildning av beläggningar, som har en regelbundenhet i tjocklek, vilken är tillräcklig för att uppfylla hela tiden stegrade komersiella kvalítetsfordringar. särskilt för stora förglasningstorlekar såsom alltmer efterfrågas i modern arkitektur. Försök har gjorts att införa en koncentrerad ström av beläggningsånga i beläggningskammaren. enhetligt i tiden och över hela bredden på substratet som skall beläggas och mera flyktiga belägg- ningsmaterial har valts i ansträngningarna att underlätta 4535 'Fíà7 detta. Olika steg har även tagits för att modifiera kända tek- niker och säkerställa att beläggningsångan strömmar på ett om- sorgsfullt reglerat, turbulensfritt sätt i kontakt med sub- stratet under beläggningsbildning. Tyvärr har man funnit det omöjligt att utöva den grad av reglering som erfordras be- träffande införandet av ångan och dess uppträdande i belägg- ningskammaren, då man arbetar i en kommersiell skala, med re- sultat att oförutsägbara tjockleksvariationer uppträder i be- läggningen och en del av det framställda belagda glaset är ej av acceptabel kvalitet.

Föreliggande uppfinning representerar ett radikalt avsteg från vad som tidigare har ansetts önskvärt'och även väsentligt och har till sin uppgift att tillhandahålla ett pyrolytiskt be- läggningssätt, som är lättare att utföra under det att det ger en beläggning med hög och jämn optisk kvalitet och med mera regelbunden tjocklek och som lätt medger bildning av belägg- ningar vid höga avsättníngshastigheter.

Enligt föreliggande uppfinning avses ett sätt för att pyroly- tiskt bilda en metalloxidbeläggníng på en övre yta av ett varmt glassubstrat i skiv- eller bandform under dess trans- port i en nedströmsriktning utmed en väg, som leder förbi en sig nedåt öppnande beläggningskammare, vid vilket sätt belägg- ningen bildas från beläggningsånga och en oxiderande gas, som matas i nedströmsriktningen utmed en passage i beläggnings- kammaren för vilken substratytan exponeras, och utmärkes av att beläggningsmaterial och oxiderande gas införes i en blandningszon i kammaren i eller intill uppströmsänden av passagen. värmeenergi tillföres blandningszonen och belägg- níngsmaterialet och oxiderande gas blandas ordentligt i bland- ningszonen under det att den är exponerad för substratet, men på en höjd så att beläggningsbildningen börjar från en_i huvudsak homogen ångblandning och sådan blandning bringas att strömma kontinuerligt utmed passagen i kontakt med substratets övre yta.

Vi har funnit att föreliggande uppfinning underlättar bildning 4*';- fjf-'Éi sus /bf av beläggningar med hög och jämn kvalitet och möjliggör att bilda sådana beläggningar i en mera regelbunden tjocklek än som hittills varit möjligt.

Uppfinningen är gynnsam för bildning av tunna beläggningar och även vid bildning av relativt tjocka beläggningar, t.ex. de som har en tjocklek över 200 nm. Vi har funnit att snabbt av- lägsnande av den ångbemängda atmosfären ej är ett krav för en beläggning i huvudsak fri från defekter, så att mera tid kan medges för att bygga upp beläggningen till en önskad tjocklek.

Det är överraskande att vid bildning av en intim blandning av beläggningsmaterialet och en oxiderande atmosfär inom bland- ningszonen under det att den är exponerad för substratet men på en höjd så att beläggningsbildningen börjar från en i huvud- sak homogen ångblandning och sedan bringa den blandningen att strömma utmed passagen i kontakt med substratet är i stånd att uppnå en beläggning, som är i huvudsak fri från oförutsäg- bara variationer i dess tjocklek.

Det är även noterbart att sådan blandning ej innebär för tidig bildning av beläggningsreaktionsprodukter som ej är i kontakt med substratet i atmosfären, som skulle matas utmed passagen ovanför substratet, så att de skulle kunna falla som falska avsättningar och bilda defekter på eller i beläggningen. En möjlig förklaring för detta är att på grund av att blandnings- zonen öppnar sig nedåt mot substratvägen och värmeenergi till- föres densamma, antingen av enbart substratet eller av någon ytterligare uppvärmningsanordning, kan varje reaktionsprodukt i atmosfären upprätthållas tillräckligt varm, så att de ej i praktiken förorsakar problem.

Införandet av föreliggande uppfinning underlättar i hög grad införandet av ett beläggningsmaterial in i beläggningskammaren vid höga volymhastigheter, såsom kan erfordras för bildning av ganska tjocka beläggningar. Den underlättar i hög grad hante- ring av beläggninsmaterialet före dess inträde i blandninga- zonen och det medger även användning av beläggningsmaterial med lägre flyktighet än som erfordras vid kända ångfasbelägg- 5 ¿¿: wa? f 2,1 I ningstekniker, så att ett bredare val av beläggningsmaterial, särskilt mindre dyrbara beläggningsmaterial, är möjligt.

Representativt utföres tidigare kända ångfasbeläggningsför- faranden i ganska korta beläggningskammare. en längd av mindre än 1 m är vanlig och beroende givetvis på substratets hastig- het innebär detta en kontakttid mellan beläggningsångorna och substratet av omkring 2-5 sekunder. Denna uppehållstid är begränsad så att beläggningsreaktionsprodukterna snabbt av- lägsnas från kontakt med den nyfödda beläggningen så att de ej kommer att bilda defekter. Givetvis är en sådan kort uppe- hållstid ett skäl varför dessa sätt ej lämpar sig för bildning av ganska tjocka beläggníngar. I markerad kontrast till detta kan då man tillämpar föreliggande uppfinning beläggningskam- maren ha en längd som står i sådant förhållande till substra- tets transporthastighet att varje del av substratlängden för- blir exponerad för beläggningsånga under 20 sekunder eller även längre. Detta underlättar bildning av tjocka beläggning- ar, t.ex. de över 200 nm tjocka såsom kan erfordras för av- skärmningsändamål för infraröd strålning och vi har ganska överraskande funnit att det finns ingen ofördelaktig verkan på den bildade beläggningens kvalitet. Det inses att där belägg- ningen avsättes mellan utträdet från en glasbandbildningsan- läggning och en kylkanal, bestämmas bandets frammatningshas- tighet av den hastighet med vilken bandet bildas och detta kommer att variera enligt kapaciteten hos och typen av band- bildníngsanläggning, t.ex. huruvida det gäller en glasdrag- ningsmaskin eller en floatglasanläggning och även enligt glasets tjocklek som framställes. Emellertid även de högsta glasbandhastigheterna är vanligen mindre än 12 m/min. och där- med kan vanligen en 20 sekunders exponeringstid säkerställas om passagen har en längd så att dess nedströmsände befinner sig åtminstone 5 m från det ställe där beläggningsbildningen börjar.

Det exakta sätt på vilket beläggningsmaterialet införes i Äfêš 715? beläggníngskammaren är ej kritiskt för att uppnå tjockleks- regelbundenhet. Beläggningsmaterial kan införas i belägg- ningskammarens blandningszon i en eller flera riktningar, som ej skär substratet, men införes företrädesvis nedåt och i ned- strömsriktningen så att ett allmänt nedströmsflöde av atmos- fären befordras inom beläggningskammaren.

Beläggningsmaterialet kan t.ex. införas i blandningszonen som en aerosoldusch, men vid särskilt föredragna utföringsformer av uppfinningen duschas beläggningsmaterialet in i blandnings- zonen i en eller flera strömmar av små droppar. Uppfinningen kan sålunda anpassas till bildning av beläggningar, som hittills endast uppnåtts genom flytande fas-beläggnings- tekniker och detta kan utföras utan att även medföra vissa nackdelar som är kända att höra samman med tidigare kända flytande fas-beläggningstekniker. vid sådana tidigare kända tekniker är det mycket svårt att undvika fläckning av den bildade beläggningen beroende på stänk från de små dropparna, då de slår an mot substratet. Detta problem behöver ej uppstå då man använder denna uppfinning. Även då vanliga flytande fas-beläggningstekniker användes, ger kontakt mellan de vanligen stora mängderna beläggningslösning som duschas och det varma substratet anledning till avsevärda svårigheter, särskilt då beläggningen avsättes på ett just bildat band av varmt glas, emedan det íngriper i en efterföljande kylnings- behandling. Resultatet av detta är att glaset kyles dåligt och i en del fall gör kvarvarande spänningar låsta i glasbandet efter kylning det svårt att skära detsamma och kan även vara sådant att det förorsakar bräckage då det skäres till skivor.

Detta problem kan även undvikas då man använder föreliggande uppfinning.

Med fördel införes strömmar av beläggningsmaterial och gas i blandningszonen i olika riktningar för att så skapa turbu- lens och åstadkomma blandningen. Detta är ett mycket enkelt f sätt att åstadkomma blandning utan att erfordra någon ytter- ligare blandningsanordning, som skall utsättas för de ganska fientliga förhållandena som råder i blandningszonen.

Vä? Temperaturen vid vilken beläggningsreaktionerna äger rum har ett viktigt inflytande på det sätt på vilket beläggningen byggs upp. I allmänhet fortskrider beläggningsreaktioner ej endast vid högre hastigheter utan även med ökande beläggnings- utbyte med ökning i temperatur och dessutom har man funnit att beläggningar bildade vid högre temperaturer har en bättre vid- häftning till glaset och sålunda förbättrad hållbarhet. Vidare ju högre temperaturen i beläggningskammaren är ju mindre tro- ligt är det att några beläggningsångor kommer att kondensera på dess tak. där sådant material skulle kunna droppa ned och fläcka beläggningen. Sålunda föredrages det t.ex. att tillföra värme till blandningszonen åtminstone delvis genom att rikta strâlningsvärme in i densamma. Detta hjälper till att upprätt- hålla en hög temperatur, som har befunnits vara gynnsam för kvaliteten och utbytet av den bildade beläggningen och är av särskild vikt för att befordra förångning då beläggnings- materialet införes i flytande fas i blandningszonen till den sig nedåt öppnande beläggningskammaren.

Företrädesvis har åtminstone en del av gasen, som matas till blandningszonen förvärmts. Detta är av särskilt värde för att förhindra kondensation och medbringníng av behandlingsångor som bildats, så att vid kontakt med substratet värmeförlust från substratet minskas. vid särskilt föredragna utföringsformer av uppfinningen upp- värmes atmosfäriskt material inom passagen ovanifrân. Detta är särskilt gynnsamt för att förhindra kondensation på taket i passagen och medger även reglering av förhållanden så att tem- peraturen utmed passagen förblir i huvudsak konstant för att ge viktiga fördelar vid ökande beläggningsbildningshastigheter och beläggningsutbyte och för att befordra beläggningens håll- barhet.

Passagen kan uppvärmas jämnt tvärs över dess bredd, men man har lagt märke till att då man genomför olika vanliga belägg- ningsförfaranden på ett kontinuerligt band av just bildat glas, beläggningen som bildas vid bandets kanter tenderar att fií-éš 7G? vara tunnare än i dess mitt. Denna tunnare kantbeläggning ten- derar att vara regelbunden och förutsägbar och den har till- skrivits olika anledningar, men en särskild anledning värd att notera är att bandet har en naturlig tendens att svalna via sidoväggarna på belâggningskammaren. så att bandkanterna är svalare än bandets mitt. Vi har faktiskt noterat att då man använder en konventionell teknik för att belägga ett just bildat band av varmt glas, även om glaset inträder i belägg- ningskammaren med en i huvudsak enhetlig temperaturprofil tvärs över dess bredd, kan sä mycket som en sjättedel av band- bredden på vardera sidokanten ha icke acceptabel kvalitet så att en tredjedel av den totala bandbredden är användbar endast som skärvor. Denna tenden mot tunnare kantbeläggningsavsätt- ningar kan motverkas genom att uppvärma passagen olika tvärs över dess bredd, så att atmosfäriskt material över bandkanter- na uppvärmes mera än i passagens mitt.

Med fördel bortsuges atmosfäriskt material från substratytan åtminstone i nedströmsänden av passagen. Detta befordrar ett flöde av atmosfäriskt material utmed och i kontakt med substratet under det att endast diffusa krafter medges verka på atmosfäriska materialet i uppströmsdelen av beläggningskam- maren där beläggningsbíldníng börjar. Beläggníngskvaliteten kan ofördelaktigt pâverkas om kraftiga lokala strömmar före- ligger i den uppströmsdelen. Valet av sådan sugning i ned- strömsänden befordrar även avlägsnandet av beläggningsreak- tionsprodukter och överskottsbeläggningsmaterial, som skulle kunna fläcka beläggningen, varigenom kvaliteten på den bildade beläggningen förbättras. Företrädesvis vid nedströmsänden av passagedelen suges atmosfäriskt material bort från substratet in i en avgasledning, som uppvisar en eller flera inlopp place- rade över substratet och sträckande sig åtminstone tvärs över huvuddelen av dess bredd. Sådan frontal avsugning medger en ökad avsugning i nedströmsänden på beläggningskammaren utan en samtidig ökning av hastigheten på gasen som inträder i avsug- . ningsanordningarna, vilket är viktigt för jämnt flöde av den med beläggningsmaterial bemängda atmosfären i kontakt med substratet. Det avsugna materialet kan sålunda förflytta sig i huvudsak i nedströmsriktningen till dess att det inträder i ëæöš 7fší' ledningen och detta ger minst störning i flödesmönstret inom passagen. Sådan frontal avsugning över åtminstone huvuddelen av substratbredden är särskilt önskvärd då mycket stora mängder beläggningsmaterial utmatas i kammaren.

Användning av sådan frontal avsugning enbart kan emellertid ge anledning till en högre koncentration av beläggningsånga utmed centrum på passagen än över substratkanterna. Detta är en annan möjlig anledning till tunnare beläggningar på substrat- kanterna. För att minska denna tendens och för att öka den anvândbart belagda bredden på substratet, föredrages det sär- skilt att sugkrafter alstras i en sidoavgasledning placerad så att atmosfäriskt material ovanför substratet bringas att strömma utåt bort från substratvägens centrala del över åt- minstone en del av passagens längd. Användningen av detta föredragna särdrag ger fördelar, som anses ha särskild bety- delse. Det befordrar en god spridning av den med belägg- ningsmaterial bemängda atmosfären över hela bredden på substratet och ökar sålunda den nyttiga belagda bredden på substratet. Dessutom möjliggör ett tidigare avlägsnande av beläggningsreaktionsprodukter och överskottsbeläggnings- material, som skulle kunna avsätta sig på beläggningen och fläcka dem. Beroende på tryckförhållandena ovanför och under substratet vid beläggningskammaren kan det även föreligga en tendens för atmosfären under substratet att strömma uppåt för- bi dess sidor, där den skulle utsprida den beläggningsmaterial- bemängda atmosfären ovanför substratet. varvid detta är ytter- ligare en möjlig anledning till tunnare beläggningsavsätt- ningar på substratkanterna. Denna tendens förhindras även över zonen med utåtriktad avsugning.

Företrädesvis avsuges det atmosfäriska materialet utåt över en zon sträckande sig utmed i huvudsak hela längden av passagen.

Detta ökar fördelarna som sådan utåtriktad avsugning erbjuder. Återigen har vi funnit att den nyttiga belgada bredden kan ökas och detta är särskilt användbart. då man belägger ett just bildat kontinuerligt glasband. Under optimala driftför- lO 7617 hållanden har vi funnit att det nyttiga produktutbytet är begränsat ej så mycket av den optiska kvaliteten och tjock- leken på beläggningen vid bandkanterna som av kvaliteten på själva glaset vid dessa kanter. Man måste komma ihåg att beroende på olika faktorer är några få centimeter av varje kant på ett glasband av oregelbunden form och oacceptabel optisk kvalitet och mäste i alla händelser kasseras eller användas som skärvmaterial. vid vissa föredragna utföringsformer av uppfinningen suges det atmosfäriska materialet utåt på en nivå under substratet. vi har funnit att valet av detta särdrag tenderar att hålla ett skikt av atmosfär rik med tätt beläggningsmaterial ned mot bandet för jämn beläggning tvärs över dess fulla bredd. varvid fördelarna som följer med den utåtriktade sugningen åter ökar. vi har tidigare omnämnt möjligheten för atmosfäriskt material att strömma upp förbi sidokanterna på substratet och utspäda atmosfären ovanför detsamma som är bemängd med beläggnings- material. Beroende på tryckförhållandena ovanför och under substratet vid beläggningskammaren kan det alternativt före- ligga en tendens för den med beläggningsmaterial bemängda atmosfären att strömma under substratet, där det skulle vara i stånd att avsätta en icke önskvärd beläggning på dess undre yta. Beroende på flödesmönstret för atmosfäriska strömmar i och under beläggningskammaren, kan denna icke önskade belägg- ning vara mer eller mindre regelbunden. men så tunn att den ger anledning till i hög grad icke önskvärda interferens- effekter, t.ex. kan den vara en mer eller mindre regelbunden beläggning, vars tjocklek avtar mot mitten på substratet. eller den kan vara en ganska oregelbunden beläggning med ett mönster som av en del synes påminna om markeringarna på ett backgammonbräde. Denna tendens förhindras i viss utsträckning genom utåtriktad avsugning såsom förut nämnts. men för att förhindra denna tendens ytterligare, anordnas vid särskilt föredragna utföringsformer av uppfinningen att över åtminstone en del av kammarens längd, flöde av atmosfäriskt material för- bi sidokanterna på substratet och mellan zonerna vertikalt ll ovanför och vertikalt under substratet förhindras.

En anledning till defekter i en pyrolytiskt bildad beläggning är partiklar av främmande material. som kommer in i belägg- ningen under dess bildning. Oanvänt beläggningsmaterial och beläggningsreaktionsproduker, inbegripande mellanreaktions- produkter och andra föroreningar såsom damm (beläggnings- materialet i sig självt anses som förorening varhelst det kan beröra det varma glaset utanför beläggningskammaren) tenderar att spridas uppströms från kammaren in i vilken beläggnings- materialet utmatas, oberoende av hur litet inträdet göres genom vilket glaset inträder i kammaren och dessa föroreningar är faktiskt benägna att kontakta glaset före det når belägg- ningsområdet och lämna falska avsättningar på substratet. som förblir där och kommer att ingå i beläggningen som defekter. vid föredragna utföringsformer av uppfinningen utmatas gas i substratets omgivning för att så bilda en kontinuerlig ström som strömmar i nedströmsriktningen under varje kant på substratet och utmed åtminstone del av kammarens längd. Överraskande har man funnit att tillämpningen av detta före- dragna särdrag resulterar i en betydande rensning av atmos- fären, som skulle vara i kontakt med glaset före dess inträde i beläggningskammaren, så att det föreligger en avsevärd minskning i mängden föroreningar som är tillgängliga där för att bilda falska avsättningar på glaset före beläggning.

En möjlig förklaring för detta fenomen är följande.

Uppströms om beläggningskammaren finns en anläggning för att värma glassubstratet eller för att aktuellt bilda ett varmt glassubstrat och nedströms om beläggningskammaren finns van- ligen anordningar, t.ex. en kylkanal, som medger reglerad kyl- ning av det belagda substratet. vid sådana konstruktioner kan det föreligga en returström av atmosfäriskt material. som strömmar i uppströmsriktningen under substratvägen. Då denna returström strömmar uppströms kan den ha tendens att stiga 12 23 Z* á 7 ovanför substratvägen, så att eventuella medbringade förore- ningar har benägenhet att avsätta sig på substratet och så bilda defekter inbäddade i beläggningen, antingen vid skilje- ytan beläggning/glas eller inom beläggningens tjocklek.

Sådan utmatning av gas under nivån på substratet erbjuder även vissa mycket viktiga fördelar för att minska oönskad underyte- beläggning och även i vad mån avser kvaliteten på den bildade beläggningen.

Med fördel finnes en sådan ström av gas under substratet. som strömmar under substratets hela bredd. Tillämpningen av detta särdrag befordrar rensning av atmosfären under substratets väg på ett mycket effektivt sätt, och därmed undvikes falska tidiga avsättningar av material. som har medbringats i retur- strömmar, som strömmar under substratet i uppströmsriktningen.

Företrädesvis förvärmes gas som utmatas att bilda sådan ström (strömmar) under substratet till inom 50°C av medeltemperatur på substratet omedelbart före beläggning, för att så minska varje verkan som gasens insprutning kan ha på temperaturen på substratet och/eller på atmosfären i beläggningsområdet. vid vissa föredragna utföringsformer av uppfinningen införes luft genom passagens tak. Tillämpningen av detta föredragna särdrag minskar sannolikheten för att beläggningsmaterial av- sätter sig på taket hellre än på substratet, som man önskar belägga, så att det föreligger en minskad risk att något sådant material skulle falla ner på det belagda substratet och fläcka beläggningen eller förorsaka någon annan defekt.

Med fördel strypes nedströmsflödet av atmosfäriskt material för vilket substratet är exponerat av en markerad minskning av höjd i den tillgängliga flödesvägen utmed kammaren. Tillämp- ningen av detta särdrag är till hjälp att koncentrera flödet av beläggningsmaterialbemängd atmosfär ned till nära sub- stratet och sålunda befordra beläggningsutbytet. Detta sär- drag kan även innebära en högre eller rymligare blandningszon 13 H “Fzš-L' och detta underlättar förångningen av beläggningsmaterialet då detta ínföres i flytande fas och det befordrar blandning av beläggningsmateríalet och den oxiderande gasen och upprätt- hållandet av en reservoar av atmosfäriskt material som är jämnt bemängd med beläggningsånga, som kan dragas nedströms in i och utmed passagen.

Företrädesvis införes åtminstone ett par snett inåt riktade strömmar av gas, såsom luft i kammaren för att strypa bredden på ångströmmen, som strömmar utmed åtminstone del av passagen.

På detta sätt kan ångströmmen förhindras från att strömma ut- med ut över sidokanterna på substratet, där den skulle för- spillas. Detta skyddar även sídoväggarna i beläggningskammaren från beläggningsmaterialet och reaktionsprodukter och kan skapa strömmar av jämförelsevis ren gas utmed dessa sidoväg- gar, vilket hjälper till att förhindra nedåtriktat flöde av ångor från beläggningskammaren. vid särskilt föredragna utföringsformer av uppfinningen är beläggningskammaren i huvudsak stängd i sin nedströmsände för att förhindra utbyte av atmosfäriskt material mellan ned- strömsänden på beläggningskammaren och ett ytterligare ned- strömsområde för substratvägen. Sådan avstängning kan t.ex. åstadkommas medelst en avgasledning, som sträcker sig över hela bredden på beläggningskammaren i dess nedströmsände.

Tillämpningen av detta särdrag har den fördelen att man undviker varje utspädning eller förorening av atmosfären i nedströmsänden på beläggningskammaren från området ytterligare nedströms och det förhindrar även strömmar av beläggnings- kammaratmosfär att störa någon ytterligare behandling av substratet och från att avsätta något ytterligare oönskat material på beläggningen.

Vid särskilda fördelaktiga utföringsformer av uppfinningen ut- göres glaset av ett just bildat band av varmt glas och belägg- ningen bildas efter det att bandet lämnar en anläggning för formning av ett band och före dess inträde i en kylkanal.

Beläggningskammaren kan sålunda vara placerad på ett ställe 'ióï där glaset i alla fall befinner sig vid en temperatur lämplig för att de pyrolytiska beläggningsreaktionerna äger rum, så att kostnader för omvärmning av glaset till sådan temperatur undvikes eller väsentligt minskas. Det är även viktigt att be- läggningen bör äga rum inom en kammare, som är fysiskt skild från bandbildningsanläggningen å ena sidan och kylkanalen å den andra sidan. Om ingen sådan skillnad finnes och det är vanligt i tidigare kända förslag inom detta område för att genomföra beläggningen inom längden för en kylkanal, då atmos- färiska förhållanden inom beläggningskammaren skulle ha en benägenhet att bli störd av strömmar från gas som strömmar från kylkanalen och från bandbildningsanläggningen - sådana strömmar medför ofta damm och andra föroreningar som skulle kunna komma att ingå i beläggningen som defekter - och även skulle det föreligga en risk att mönstret för atmosfäriska strömmar i kylkanalen skulle störas och leda till mindre gynn- samma kylningsförhållanden. vid vissa särskilt föredragna utföringsformer av uppfinningen bringas förvärmd gas att strömma nedströms in i beläggnings- kammaren i kontakt med substratet. Tillämpningen av detta sär- drag är av värde för att befordra ett allmänt nedströmsflöde av atmosfäriska materialet inom beläggningskammaren och har värde i att behandla atmosfären i zonen där beläggningsbild- ningen börjar. Vid vissa sådana föredragna utföringsformer av uppfinningen bríngas t.ex. sådan förvärmd gas att inträda i beläggningskammaren med en högre volymhastighet över kanterna på substratet än över dess mitt. Detta medger åtminstone partíell kompensation för atmosfärens kylning inom belägg- ningskammaren genom kontakt med dess sidoväggar.

Föreliggande uppfinning kan med fördel verkligen kombineras med den uppfinning som beskrives i vår brittiska patentansökan - nr 85 31 425 inlämnad den 20 december 1985, vilken patent- ansökan beskriver och gör anspråk på ett pyrolytiskt belägg- ~ ningssätt där ett varmt glassubstrat i skív- eller bandform förflyttas i en nedströms riktning under en beläggningskamma- re. som öppnar sig nedåt mot substratet och där beläggningen 15 .a¿7 WÅF? ¿:u~J /Lif bildas på den övre ytan av substratet genom avsättning från beläggninsmaterial och utmärkes av att gasomgivningen i omedelbar närhet av substratets övre yta åtminstone i zonen där sådan bildning av beläggningen börjar, regleras genom att mata förvärmd gas i en nedströms riktning in i kammaren för att inträda i kammaren i kontakt med substratet och bilda ett täckskíkt, som täcker substratet åtminstone så långt som den ZOHQH.

Föreliggande uppfinning är särskilt lämplig för bildning av beläggningar med höga uppbyggnadshastigheter, t.ex. hastig- heter överstigande 20 nm/sek. och för att bilda relativt tjocka beläggningar, såsom beläggningar av omkring 200 nm tjocka och verkligen för att bilda en.mycket tjock beläggning. såsom en beläggning 500 nm till 1000 nm tjock på ett just bildat band av glas, som förflyttar sig med flera meter per minut från en floatglasvanna eller annan planglastillverk- ningsanläggning.

En särskild viktig användning för ett sätt enligt föreliggande uppfinning är bildning av tennoxidbeläggningar med användning av tenn(II)klorid som beläggningsmaterial. Tennoxidbelägg- ningar, som minskar strålningen från glasskivornas ytor på vilka beläggningarna anbringas med avseende på infraröd strål- ning med lång våglängd, användes allmänt för att minska värme- överföring från förglasade konstruktioner. Detta är givetvis endast ett exempel på ändamålet för vilket sättet kan använ- das. Som ett annat exempel kan sättet användas för att bilda en beläggning av titandioxid eller en beläggning av en bland- ning av oxider såsom en blandning av kobolt. järn och krom- oxider.

Föreliggande uppfinning innefattar även en anordning för att pyrolytiskt bilda en metallföreningsbeläggning på varmt glas och därmed anordnas en anordning för att användas vid pyroly- tisk bildning av en metalloxidbeläggning på en övre yta av ett varmt glassubstrat i skiv- eller bandform, där anordningen omfattar transportanordningar för att transportera substratet 16 767 i en nedströmsriktning utmed en väg och en takkonstruktion, som begränsar en beläggningskammare. som öppnar sig nedåt över till vägen och omfattande en passage utmed vilken beläggnings- ånga och oxíderande gas kan ledas nedströms i kontakt med en sådan övre substratyta under substratets transport, och ut- märkes av att takkonstruktionen begränsar i eller intill upp- strömsänden av passagen en blandningszon, som öppnar sig nedåt till substratvägen, anordningar finnes för att injicera be- läggningsmaterial i blandningszonen från en höjd av åtminstone 50 cm ovanför nivån för substratvägen, anordningar finnes för att injicera oxiderande gas i blandningszonen i vilken be- läggningsmaterial och oxiderande gas kan bringas tillsammans. blandas och uppvärmas för att bilda eh atmosfär omfattande en intim blandning av beläggningsånga och oxiderande gas, där blandningszonen står i förbindelse med passagen för att medge en ström av sådan atmosfär att strömma utmed passagen från blandningszonen.

En sådan anordning är särskilt lämpad för bildning av hög- kvalitativa beläggningar, som i huvudsak är fria från oförut- sebara tjockleksvariationer, vid höga avsättningshastigheter vid ett kontinuerligt sätt, t.ex. ett sätt såsom här beskri- vits tidigare. Anordningen har enkel konstruktion och under- lättar hantering av stora mängder beläggningsmaterial såsom kan erfordras för att bilda beläggningar på sig snabbt rörande substrat. Anordningen kan var placerad på något lämpligt ställe.

Med fördel finnes anordningar för att införa strömmar av be- läggningsmaterial och gas in i blandningszonen i olika rikt- ningar för att så skapa turbulens för att åstadkomma bland- ningen. Detta onödiggör behovet av någon ytterligare bland- ningsanordning.

Företrädesvis finnes anordningar för att förvärma åtminstone en ström av gasen som inträder i blandningszonen. Tillämpning- en av detta särdrag förhindrar kondensation av atmosfäríska ångor på väggarna och taket till blandningszonen. där den f: 17 ö skulle förorsaka korrosion eller vid utföringsformer där blandningszonen befinner sig ovan och öppen mot substratet, neddroppning för att fläcka eller bilda någon annan defekt på substrat, som belägges. vid vissa föredragna utföringsformer av uppfinningen finnes strålvärmningsanordning i blandningszonen. Detta är ett mycket enkelt sätt att åstadkomma värme för att upprätthålla en hög koncentration av förbeläggningsånga i den zonen och förhindrar även kondensation av den ångan där. vid särskilt föredragna utföringsformer av uppfinningen finns anordningar för att införa värmeenergi i passagen ovanifrån.

Detta förhindrar kondensation av beläggningsångan där, så att därmed problem med korrosion i taket till passagen minskas och det möjliggör även att använda anordningen på sådant sätt att beläggningsreaktioner kan äga rum vid en enhetlig tempera- tur utmed längden på passagen och därmed ge fördelar i belägg- ningsutbyte och kvalitet.

Företrädesvis finns anordning för att alstra sugkrafter på atmosfäriskt material inom sådan passage för att uppmuntra flöde av materialet utmed passagen mot dess nedströmsände och därefter bort från substratets väg. Sådan anordning är lätt att konstruera och enkel att placera och den befordrar ett allmänt nedströmsflöde av atmosfäriskt material inom passagen utan behovet att utöva starka krafter, som förorsakar oönskad turbulens i uppströmsänden av beläggningsstationen nära ytan på substratet.

Med fördel finns anordning för att alstra sugkrafter i en sidoavgasledning placerad för att bringa atmofäriskt material ovanför substratvägen att strömma utåt bort från mitten på substratets väg över åtminstone en del av passagens längd, eftersom detta befordrar en mera jämn fördelning av atmos~ färiskt material inom passagen och kan resultera i ett ökat utbyte av användbart belagt glas i breddriktningen. Det hjälper även till att avlägsna överskottsbeläggnings- 18 76? material och beläggningsreaktionsprodukter i ett stadium före det att de när änden på passagen, varvid korrosionsrisken för väggarna i passagen minskas. Dessa fördelar befordras om, såsom föredrages, sådan sidoavgasledning är placerad för att suga det atmosfäriska materialet utåt över en zon sträckande sig i huvudsak utmed hela passagen. vid vissa föredragna utföringsformer av uppfinningen har sido- avgasledningen inlopp som är placerade under nivån för vägen.

Förutom att underlätta beläggning genom att hålla ner ett skikt av tät beläggningsånga mot substratytan som belägges, är detta gynnsamt emedan det underlättar visuell inspektion av förhållanden inom passagen genom öppningar som kan finnas i dess sidoväggar.

Vid särskilt föredragna utföringsformer av uppfinningen har passagen ett tak. som konvergerar mot glassubstratet i ned- strömsriktningen. Detta tvingar det atmosfäriska materialet inom den passagen att hålla sig i kontakt med substratet även fastän mängden material i passagen kan vara i avtagande. t.ex. beroende på utåtriktad sugning av materialet utmed sidorna på den passagen. vid särskilt föredragna utföringsformer av uppfinningen finnes över åtminstone en del av kammarens längd anordningar för att förhindra flöde av atmosfäriskt material förbi substratvägens sidor och mellan zoner vertikalt ovanför och vertikalt nedan- för den vägen. Ett sådant icke önskvärt flöde av atmosfäriskt material skulle kunna förorsaka oregelbunden avsättning av be- läggningsmaterialet på den övre och/eller undre ytan av substratet särskilt vid dess sidokanter.

Företrädesvis innefattar sådana förebyggande anordningar skär- mar, eftersom det är ett mycket enkelt sätt att uppnå det önskade resultatet. Sådana skärmar kan vara placerade för att skapa en i huvudsak sluten beläggningskammare, så att atmos- fären däri ej påverkas av yttre gasströmmar. Ett mycket enkelt och föredraget sätt att uppnå sådan huvudsaklig förslutning är 19 _ .- ' -7 r: ,- f" 'Lt Ö Ö / Ü 1/ att anordna transportanordningar omfattande rullar. som är falsade över varje kant på substratväggen för att begränsa ett utrymme att upptaga sådana skärmar mellan rullarna och kanter- na på substratvägen. Detta medger att hela övre ytan på substratet kan beläggas. vid vissa föredragna utföringsformer av uppfinningen finnes anordning för att utmata gas till omgivningen av substratvägen för att så bilda ett kontinuerligt flöde, som strömmar i ned- strömsriktningen under varje kant på substratvägen och utmed åtminstone en del av våglängden som upptas av kammaren.

Användningen av en sådan anordning erbjuder vissa viktiga fördelar för att minska icke önskvärd underytebeläggning och för att befordra beläggningens optiska kvalitet, som skall bildas, särskilt vad avser dess jämförelsevisa frihet från defekter bildade i skiljeytan mellan glas/beläggning.

Dessa fördelar förbättras då, såsom det föredrages, anordning- ar för att utmata gas att bilda en sådan ström under vågnivån är lokaliserad till att utmata gas att bilda en sådan ström över substratvägens hela bredd.

Företrädesvis finnes anordning för att införa luft genom taket på passagen. Sådan luft kan införas för att strömma utmed passagens tak för att så skydda den från korrosion genom ångor inom passagen.

Vid vissa föredragna utföringsformer av uppfinningen är passagens tak av jalusikonstruktion för att reglera införandet av sådan luft, eftersom detta är en mycket enkel och billig anordning för att uppnå önskad effekt, under det att vid andra föredragna utföringsformer av uppfinningen passagens tak är av porös konstruktion och anordningar finnes för att blåsa luft genom sådant tak. Detta ger ett mycket effektivt skydd för taket.

Denna takkonstruktion uppvisar med fördel en markerad minsk- ning i höjd ovanför vägen i nedströmsriktningen för att där- 20 »fš-âïš Wíèiï' igenom strypa nedströmsflödet av ånga utmed beläggningskam- maren. Tillämpningen av detta särdrag medger en relativt hög uppströmszon för att ge rikligt med utrymme för god blandning och som kan tjäna som en reservoar för beläggningsmaterial- ångor, som sedan tvingas att strömma ned mot substratet och ned mot nedströmsänden i beläggningskammarens passage i en koncentrerad och jämn ström, som är gynnsam för avsättning av beläggningsmaterial från ångfasen. vid vissa föredragna utföringsformer av uppfinningen. sjunker takkonstruktionen ned som en kurva ledande in i en nedströms- takdel. ovanför passagen. Detta befínnes befordra ett jämnt allmänt nedströmsflöde av beläggningsängbemängd atmosfär inom beläggningskammaren, som befínnes vara gynnsam för enhet- ligheten och jämnheten i den bildade beläggningen däri.

Företrädesvis finnes åtminstone ett par snett inåt riktade gasinblåsare i kammaren för att strypa bredden av ånga. som strömmar utmed åtminstone del av passagen. Användningen av sådana injektorer är gynnsam för att skydda sidoväggarna på beläggningskammaren mot korrosiv verkan från förångat be- läggningsmaterial och beläggningsreaktíonsprodukter.

Med fördel har beläggningskammaren en längd av åtminstone 5 m.

Användningen av en sådan lång beläggningskammare är av sär- skild fördel för att öka beläggningsutbytet, som är nyttigt då man bildar relativt tjocka beläggningar, t.ex. mer än 400 nm tjocka på ett sig ganska snabbt rörande substrat. t.ex. ett band av just bildat floatglas.

Företrädesvis upptar passagen åtminstone 2 m av kammarens längd i nedströmsänden och har där en höjd eller maximihöjd ej överskridande 75 cm ovanför substratvägen. Man har funnit att tillämpningen av detta särdrag även är gynnsamt för att befor- dra hastigheten med vilken beläggningen uppbygges och det är särskilt värdefullt för bildning av relativt tjocka belägg- ningar, t.ex. dem över 400 nm tjocka. 21 -~ vrf? ¿%bÉ: / bf Vid de mest föredragna utföringsformerna av uppfinningen, finnes en krökt avgassamlare sträckande sig tvärs över åtmins- tone huvuddelen av substratvägen i nedströmsänden av belägg- ningskammaren, vilken samlare delvis åtminstone begränsar ett avgasledningsinlopp. En sådan anordning är av enkel konstruk- tion och är lätt att placera. Användningen av en krökt samlare är särskilt värdefull för att styra material, som skall sugas jämnt in i avgasledningsinloppet och hjälper till att undvika svall av baktryck där, som skulle avskära de atmosfäriska strömmarna i passagen. Det är särskilt önskvärt att använda en sådan samlare, som sträcker sig tvärs över fulla bredden på beläggningskammaren och som är justerbar i höjd ovanför substratvägen, t.ex. genom vridbar montering, så att man kan uppnå maximal tillslutning av nedströmsänden i beläggningssta- tionen. vid särskilt föredragna utföringsformer av uppfinningen är en barriärvägg anordnad ovanför substratväggen, som sträcker sig tvärs över fulla bredden på och i huvudsak tillsluter ned- strömsänden på beläggningskammaren. Detta är ett mycket enkelt sätt att säkerställa att ändringar i förhållanden omedelbart nedströms om beläggningskammarens ände ej kommer att ha någon direkt verkan på förhållanden inom beläggningskammaren och vice versa. En sådan barríärvägg kan t.ex. utgöras av en sådan avgassamlare.

Vid särskilt föredragna utföringsformer av uppfinningen är be- läggningsstationen placerad mellan utträdet från en bandbild- ningsanläggning och inträde till en kylkanal. Då detta ut- föres, finner man att glaset kan nå beläggningsstationer vid en temperatur, som är eller är nära till, den som erfordras för att de pyrolytiska beläggningsreaktionerna skall äga rum.

Därmed onödiggör tillämpningen av detta särdrag behovet för ytterligare värmningsanordning, som skulle erfordras för att höja temperaturen på glaset som skall beläggas från rumstempe- Eätulf. vid vissa särskilt föredragna utföringsformer av uppfinningen 22 463 'ïí-šï' finnes anordningar för att bringa gas att strömma genom en substratinträdesspringa på kammaren från uppströmsänden och för att förvärma den gasen och med fördel är anordningen som förorsakar sådant gasinträde och/eller form på inträdes- springan justerbar eller justerbar så att en större volym- flödeshastighet för sådan gas åstadkommas över kanterna på substratvägen än över dess mitt. Tillämpningen av detta sär- drag är av värde för att befordra ett allmänt nedströmsflöde av det atmosfäriska materialet inom beläggningskammaren och har värde i att behandla atmosfären i zonen, där beläggnings- bildningen börjar. Det kan t.ex. medge åtminstone delvis kom- pensation för atmosfärens kylning inom beläggningskammaren genom kontakt med dess sidoväggar.

Anordningen enligt föreliggande uppfinning kan med fördel även ínbegripa ett eller flera särdrag i anordningen som visas i vår nämnda brittiska patentansökan nr 85 31 425 inlämnad 20 december 1985. vilken ansökan beskriver och gör anspråk på anordning för pyrolytisk bildning av en metallföreningsbelägg- ning på en övre yta av ett varmt glassubstrat i skiv- eller bandform, omfattande en transportanordning för att transpor- tera substratet utmed en väg i en nedströmsriktning. en tak- konstruktion, som begränsar en beläggningskammaröppning nedåt över till vägen och anordningar för att utmata beläggnings- material in i kammaren, och utmärkes av att uppströms om be- läggningskammaren finns en förkammare, som står i förbindelse med beläggningskammaren via en inträdesspringa, som begränsas delvis av substratvägen och via vilken gas kan bringas att strömma in i beläggningskammaren för att så bilda (då anord- ningen är i drift) ett täckskikt, som täcker övre ytan på substratet utmed en första del av kammarens längd och av att anordningar finnes för att reglerbart förvärma gasen. som bildar täckskiktet.

Föreliggande uppfinning kommer nu att beskrivas mera detalje- rat med hänvisning till de bifogade schematiska ritningarna över olika föredragna utföringsformer av anordning enligt upp- finningen och som exempel på specifika sätt enligt uppfinning- 23 _.P~ LT~ Cr' en utförda med användning av sådan anordning.

På ritningarna visar fig. 1 en tvärsektionssidovy av en första utföringsform av en beläggningsanordning i enlighet med uppfinningen, fig. 2 på sin vänstra sida en sektion utmed linjen IIA-IIA i fig. 1 och på dess högra sida en sektion utmed linjen IIB-IIB i fig. 1. fig. 3 en sektion utmed linjen III-III i fig. l, fig. 4 en sektion utmed linjen IV-IV i fig. 1, fig. 5 och 6 respektive tvärsektionssidovyer av andra och tredje utföringsformer av beläggningsanordning enligt uppfin- ningen, fig. 7 en sektion utmed linjen VII-VII i fig. 6, fig. 8 en tvärsektionssidovy av en fjärde utföringsform av be- läggningsanordning i enlighet med uppfinningen, fig. 9 en sektion utmed linjen IX-IX i fig. 8, fig. 10 en detalj av en konstruktionsvariant sedd i samma riktning som i fig. 9 och fig. 11 visar slutligen en tvärsektionssidovy av en femte ut- föringsform av beläggningsanordning enligt uppfinningen.

Eï§1_l-_4 I fig. 1-4 omfattar anordning för pyrolytisk bildning av en metallföreningsbeläggning på en övre yta av ett värmt glas- substrat 1 i skiv- eller bandform, transportanordningar såsom rullar 2 för att transportera ett substrat i en nedströms riktning 3 utmed en väg även betecknad med hänvisningsbeteck- ningen 1. Vägen 1 leder genom en beläggningsstation 4 omfat- tande en takkonstruktion 5, som begränsar en beläggningskam- mare 6, som öppnar sig nedåt över till substratvägen 1. Tak- konstruktionen 5 begränsar en förhöjd uppströms zon 7 i be- läggningskammaren 6, som har en uppströmsändvägg 8 och som slutar i en vertikal bryggvägg 9 i sin nedströmsände under vilken en utträdesspringa 10 ger ångflödeförbindelse med en passage 11, som är formad som en nedströms fortsättning av uppströmszonen 7 med mindre höjd och som ger beläggningskam- 24 'ïbfff maren en total längd av åtminstone 2 m och företrädesvis åtminstone 5 m.

Vid en utföringsvariant fortsätter takkonstruktionen 5 horisontellt, så att passagen 11 har samma höjd som uppströms- zonen 7.

Anordningar finnes för att utmata beläggningsmaterial och oxiderande gas in i uppströmszonen 7 i beläggningskammaren 6 och för att underkasta sådant material blandande krafter så att de blir blandade inom uppströmszonen 7. Anordningen för att utmata beläggningsmaterial in i sådan blandningszon 7 visas tydligare i fig. 3.

Sådan utmatningsanordning omfattar en utmatningsledning 12. som leder genom varje sidovägg 13 på beläggningskammaren 6 och innehåller en fläkt 14 för att tvinga luft in i blandnings- zonen 7. Den utmatade luften är lämpligen förvärmd, t.ex. medelst brännare eller genom en värmeväxlare (ej visad) t.ex. till en medeltemperatur i området 300°C till 500°C. En be- läggningsledning 15 för att transportera flytande belägg- ningsmaterial leder till ett utmatningsmunstycke 16 placerat i mynningen på varje utmatningsledning 12 och riktad in i bland- ningszonen 7. Utmatningsmunstyckena 16 är av ultraljudfinför- delningstyp och alstrar en aerosol. eller dimma av mikrodrop- par av beläggningsmaterialet. Detta förångas snabbt, eller hålles i ångfas genom den förvärmda luften som utmatas genom ledningarna 12 och genom nedåt riktade strålningsvärmare 17, som är fästade till taket 5 i blandningszonen och ger ytter- ligare värme. verkan är att en reservoar av atmosfär rikligt bemängd och väl blandad med beläggningsånga upprätthålles i blandningszonen 7.

Vid nedströmsänden av passagen ll, suges atmosfäriskt material ll in i en avgasledning 18 som har ett inlopp 19 begränsat delvis av en krökt avgassamlare 20. Samlaren sträcker sig ovanför vä- gen för substratet 1 tvärs över passagens fulla bredd och till- sluter i huvudsak dess nedströmsände. Detta förhindrar väsent- 25 _ _ f' (3 si' Ch Å ligen flöde av atmosfäriskt material in i eller ut ur belägg- níngskammaren 6 i nedströmsänden på passagen 11. Samlaren 20 kan valfritt vara vridbart monterad, så att den kan justeras för minimíspel i förhållande till substratet l. Även i passa- gens ll nedströmsände suges atmosfäriskt material in i en sido- avgasledníng 21 placerad på vardera sidan om beläggningskamma- ren för att underlätta en sidospridning av det atmosfäriska materialet, som strömmar utmed beläggningskammaren.

Sådan sugning verkar till att draga atmosfär bemängd med för- beläggningsmaterial från blandningszonen 7 genom dess utträ- desspringa 10 och in i och utmed passagen 11.

Utmed passagens ll längd finnes skärmar 22 på vardera sidan om beläggningskammaren, som skjuter inåt från beläggningskam- marens sidoväggar och över kanterna på substratet 1. Dessa skärmar sträcker sig över hela längden på substratvägen, som upptas av passagen och de verkar till att hindra utbyte av atmosfäriskt material mellan zonerna placerade vertikalt ovan- för och vertikalt under substratet 1. vid blandningszonens 7 underdel, ersättes dessa skärmar 22 av tråddukskärmar 23, även visade i fig. 2 och 3, som sticker ut över kanterna på substratet. Tråddukskärmarna 23 är placerade ovanför uppåt riktade fläktar 24, placerade till att blåsa varm luft upp förbi sidokanterna på substratet och in i bland- ningszonen. Detta har den verkan att förhindra ångor rika på beläggningsmateríal från att sjunka ned från blandningszonen för att kontakta den undre ytan av bandet, där de skulle förorsaka icke önskvärd beläggningsavsättning och vidare skapar det en relativt utspädd och varm atmosfär i kontakt med sidoväggarna på blandningskammaren, skyddande dem från korro- sion, förhindrande kondensation på dessa sidoväggar och tende- rar att kompensera för värmeförluster genom dem.

Beläggningsstationen 4 är placerad mellan utträdet från en bandbildningsanläggning (ej visad) t.ex. en floatglasvanna och inträdet till en kylkanal 25. 26 7 1f'7 F Lzh- / .f 1 n a ßl (lf-K En passage som leder från bandbíldningsanläggningen till be- _läggningskammaren 6 har ett tak 26 från vilket nedhänger en skärmvägg 27 i uppströmsänden på beläggningskammaren 6 för att medge spel för substratet 1 att passera in i beläggningskam- maren via en inträdesspringa 28.

Verkan av denna skärmvägg 27 är att begränsa flödet av atmos- färiskt material in i beläggningskammaren 6 från uppströms- riktningen, så att atmosfäriska förhållanden inom den kammaren lättare kan regleras.

Uppströms om skärmväggen 27 finnes en förkammare 29 i vilken värmningsanordningar 30 finnes. Sådana värmningsanordningar kan vara strålningsuppvärmningsanordning. t.ex. en fenförsedd radiator eller kan omfatta en eller flera brännare. En andra skärmvägg 31 finnes ovanför substratvägen vid uppströmsänden av förkammaren 29.

Vid drift kommer en halvnaturlig ström av gas att dragas in i uppströmsänden på beläggningskammaren 6 från förkammaren 29, så att gasomgivningen i den omedelbara närheten av den övre ytan på substratet 1 åtminstone i zonen där beläggningsbild- ning börjar, kan regleras med förvärmd gas inmatad i ned- strömsriktningen 3 in i kammaren 6 för att inträda i kammaren i kontakt med substratet 1 och bilda ett täckskikt, som täcker substratet åtminstone så långt som kontaktzonen med belägg- ningsmaterialet. På detta sätt kan man använda sig av den upp- finning som beskrivits i vår nämnda brittiska patentansökan 85 31 425, inlämnad 20 december 1985.

Denna halvnaturliga gasström kan ökas eller behandlas genom förvärmd gas utmatad från en utmatningsledning 32 placerad intill inträdesspringan 28, som även verkar till att förhindra ångor från att strömma uppströms från blandningszonen 7 genom den springan.

Nedströmsflödet från blandningszonen 7 strypes nedåt av brygg- väggen 9 över utträdesspringan 10. så att beläggningsångor 27 fffï wf'fl “rüçš i ä: f tvingas att strömma i kontakt med substratet och under sådan kontakt bildas en beläggning pyrolytiskt på glaset. För att befordra beläggningsutbyte och kvalitet och för att förhindra kondensation av ångor på taket 5 i passagen ll, finnes värmare 33 under passagens tak.

Detta nedströmsflöde strypes även vid sidorna. Vid blandnings- zonens nedströmsände finnes ett par horisontellt riktade inåt lutade gasstrâleutmatningsmunstycken 34 för att medbringa beläggningsånga, som kommer att alstras inom blandningszonen inåt bort från sidoväggarna av passagen och i nedströmsrikt- ningen.

Exempel l Anordningen enligt fig. 1-4 användes för att avsätta en 30 nm tjock beläggning av titandioxid på ett glasband 6 mm tjockt, som förflyttades med en hastighet av 4.5 m/min.. som inträdde i beläggningskammaren vid en temperatur av 600°C. Den totala längden på beläggningskammaren 6 var 5 m.

Ett par ultraljudfinfördelare tillgängliga från Giesler SA (Frankrike) under deras varumärke SONICORE användes för att bilda en aerosol av titanacetylacetonat i luft, där varje fin- fördelare lämnade omkring 2 kg/tim. beläggningsmaterial från en höjd av just över 50 cm ovanför substratet. Utmatningen gavs en spiralform genom inverkan av fläktarna.

Blandningszonen blev fylld med ett moln av aerosol, som snabbt förångade b1.a. beroende på takvärmarna. Dessa ångor drogs nedströms genom sugning i passagens 11 nedströmsände. under- stödda av gas utmatad vid 600°C från utmatningsledningen 32 nära inträdesspringan och av sidostrypande gasstrålar från munstycken 34.

Resultatet var en beläggning av utomordentligt hög och jämn kvalitet över hela bredden på bandet med undantag för de kant- delar som täcktes av skärmarna 22. 28 r/'v F73 fi' ëišë I Û! Vid en variant av detta exempel avsattes en 100 nm tjock be- läggning av tennoxid med användning av dibutyldiacetat. Denna var även av utomordentlig och jämn kvalitet över hela bredden på bandet med undantag för dess kantdelar.

Fíg. 5 I fig. 5 har delar som tjänar analoga funktioner med dem som visas i fig. 1-4 givits motsvarande hänvisningsbeteckningar.

I fig. 5 sticker uppströmsändväggen 8 nästan ned till substra- tets 1 nivå, lämnande endast en mycket liten inträdesspringa 28 för att i huvudsak förhindra att någon gas inträder i be- läggningskammaren 6 från uppströmssidan.

Be1äggningsutmatningsanordningen omfattar ett duschmunstycke schematiskt representerat vid 35 för att duscha en ström av beläggningslösning in i blandningszonen 7 till beläggnings- kammaren 6. Duschmunstyckets 35 utmatningsaxel är antydd vid 36 och denna pekar i nedströmsriktningen 3, nedåt mot substratet 1. vid den visade utföringsformen är duschmunstycket 35 placerat för att duscha beläggningsmaterial från en höjd av åtmins- tone 60 cm ovanför substratvägen och det är av en typ som är väl känd i och för sig. vid andra utföringsformer kan utmat- ningshöjden vara över 75 cm och är företrädesvis åtminstone 1,2 m. Munstycket är rörligt fram och tillbaka utmed ett spår (ej visat) tvärs över substratvägens bredd, mellan ett par gasutmatningssprinqor 37 matade med förvärmd luft via ledning 38. Luft som utträder från dessa springor bildar en varmluft- gardin på vardera sidan om den sig förflyttande strömmen av beläggningsmaterial och i vilket material förångas från den duschade strömmen, huvudsakligen beroende på den värme som ges av värmarna 17, blir medbringat och blandat. Den fram- och återgående rörelsen på munstycket 35 och den därmed följande rörelsen av det utmatade materialet skapar väsentlig turbu- lens inom den övre delen av blandningszonen 7, och befor- 29 Cßš ~ r s v. i; :i *r u drar så intim blandning av det förångade beläggnings- materialet och den varma luften.

I passagen ll är avgasledningen 18 över substratet avlägsnad, men ytterligare sidoavgasledningar 21 finns. Dessa avgasled- ningar 21 är fördelade över hela längden av den passagen och den mest uppströms belägna av dessa ledningar ligger inom blandningszonen 7. Skärmar 22 sträcker sig utmed inloppen till alla dessa sidoavgasledningar. För att kompensera för den fortskridande minskningen av atmosfäriskt material. som går utmed passagen beroende på denna ökade sidoutsugning går tak- konstruktionen 5 nedåt mot substratet 1 i nedströmsriktningen 3 utmed passagen.

Nedströmsänden av passagen 11 är stängd av två grindar 39 upp- hängda ledat respektive till takkonstruktionen 5 och till in- trädet till kylkanalen 28 för att så förhindra utbyte av at- mosfäriskt material mellan kylkanalen och beläggningskammaren. under det att möjligheten då förefinnes för ytterligare spel, t.ex. för bräckt glas ifall bandet skulle gå sönder beroende på någon olyckshändelse i anläggningen.

Egemgel 2 Anordningen enligt fig. 5 användes för att bilda en beläggning av en blandning av metalloxíder nämligen: Fe2O3 + C00 + Cr2O3 genom att duscha en lösning i dimetylformamid av en blandning av acetylacetonaterna av järn(II), kobolt(II) och krom(III).

Duschmunstycket 35 var anordnat att utmata beläggningslös- ningen från en höjd av 60 cm då den förflyttades fram och tillbaka tvärs över substratvägen med sin utmatningsaxel 36 lutad 45° mot det horisontella. Mängden utmatad lösning var omkring 100 l/tim. för att bilda en beläggning 45 nm tjock på ett floatglasband 4 mm tjockt, som förflyttades med en hastig- het av 11 m/min. 30 1.: j: rv f fi' ~ vx .' ' ,-' “r v v 1 Ö 1 Glaset inträdde i beläggningskammaren. som hade en total längd av 7 m vid en temperatur av 580°C och luft förvärmd till 375°C utmatades från springorna 37 med en hastighet av 1500 Nm3/tim. I huvudsak all lösning förångades före kontakt med glaset genom uppvärmning beroende på takvärmarna 17 och ångan som sålunda bildades medbringades i luftströmmarna från dessa springor och drogs nedströms av sidoavgasledníng 21 i vilka sugkrafter reglerades för att uppnå en jämn beläggning av önskad tjocklek.

Den bildade beläggningen hade utomordentlig jämnhet i tjocklek över huvudsakligen hela användbara bredden på bandet och hade en mycket hög optisk kvalitet.

Fig. 6 och 7 I fig. 6 och 7 har återigen delar som tjänar lika funktioner med dem som visas i föregående figurer givits motsvarande hän- visningsbeteckningar.

I blandningszonen 7 i uppströmsänden på beläggníngskammaren 6 finnes ej utmatningsledning 38, men ersättes av ledning 40, som har ett utmatningsmunstycke 41, som är riktat mot upp- strömssidan på den utmatade strömmen av beläggningsmaterial.

Utmatningsmunstycket 41 har en mindre bredd än beläggnings- kammaren 6 och det röres fram och tillbaka tvärs över dusch- ningszonen i tandem med duschmunstycket 35. vid en variant sträcker sig utmatníngsmunstycket 41 tvärs över nästan hela bredden på beläggningskammaren 6.

Nedströms om utträdesspringan 10 under bryggväggen 9 fortsät- ter takkonstruktionen 5 för att begränsa en passagedel ll av beläggningskammaren 6, som går nedåt i nedströmsriktningen.

Vid denna utföringsform är emellertid takkonstruktionen över passagen 11 utformad av ett flertal jalusier 42, som är vrid- bart öppningsbara, så att förvärmd luft kan bringas att ström- ma in i passagen och utmed dess tak för att öka temperaturen där och förhindra beläggningsavsättning eller kondensation på 31 det taket.

Utmed längden på den passagen ll finnes avgasanordning på var- dera sidan om beläggningskammaren under substratvägens 1 nivå.

Denna avgasanordning omfattar ett flertal avgaslådor 43 öppna i toppen vilka står i förbindelse med avgasledningar 44. Av fig. 6 framgår det att dessa avgaslådor 43 sträcker sig över hela längden på substratvägen, som upptages av passagen och att uppströms-avgaslådan faktiskt är placerad under bland- ningszonen. Skärmar 45 sträcker sig uppåt och inåt från avgas- lådorna och sträcker sig under kanterna på substratvägen och mellan transportrullarna 2. Detta arrangemang ger en effektiv separation av atmosfärerna vertikalt ovanför och vertikalt under substratvägen utmed passagen.

Exempel 1 Anordningen enligt fig. 6 och 7 användes för att bilda en dopad tennoxidbeläggning med en tjocklek av 750 nm på ett 3 m brett band av 6 mm floatglas. som förflyttades med en hastig- het av 8,5 m/min. och inträdde i beläggningkammaren med en temperatur av 600°C. Beläggningskammaren hade en total längd på 8 m. En vattenlösning av tenn(II)klorid innehållande ammoniumbifluorid utmatades med en hastighet av omkring 220 1/tim. vid ett tryck av 25 bar från en höjd av 1,8 m ovanför glaset med användning av ett duschmunstycke lutat i nedströms- riktningen i en vinkel av 50° mot det horisontella och som fördes fram och tillbaka tvärs över bandvägen med en hastighet av 23 cykler per minut.

Den totala mängden atmosfärískt material som sögs ut genom av- . _ 3 _ _ gasledningen 18 och 44 var omkring 100 000 m /tim. vid en temperatur av omkring 300° till 350°C.

Varm luft blåstes in i blandningszonen 7 genom utmatningsmun- stycket 41 sammankopplat med duschmunstycket, vid en tempera- tur av 600°C och med en hastighet av omkring 5000 m3/tim.

Strålningsvärmare 17 i taket hjälpte till att säkerställa för- 32 f f -fl f? f' f" ¿_ g.. 1 ,-~. _- l- L: q I kl 1 ångning av den största delen av beläggningsmaterialet och lösningsmedlet före kontakt med glaset. Förvärmd luft drogs in i beläggninqskammaren 6 från uppströmsförkammaren 29 för att bidraga till det avsugna atmosfäriska materialet.

Vid en variant sträckte sig utmatningsmunstycket 41 över fulla bredden på beläggningskammaren och användes för utmatning av I I 3 I luft uppvärmd till 600°C med en hastighet av 25 000 m /tim. som resultat uppvisade den bildade beläggníngen en hög kvali- tet med enhetlig struktur och tjocklek över hela bredden på bandet och därmed goda optiska kvaliteter. Inneslutningen av beläggningsreaktionsprodukter. som skulle leda till felaktig- heter undveks väsentligen.

Förvärmd luft drogs in i beläggningskammaren 6 från förkam- maren 29 genom inträdesspringan 28. Detta återigen innebar användning av uppfinningen beskriven i vår nämnda brittiska patentansökan 85 31 425, inlämnad 20 december 1985.

Vid en variant blåstes förvärmd luft direkt in i förkammaren 29. gig. 8 och 9 I fig. 8 och 9 har återigen delar som tjänar analoga funktio- ner med dem som visas i föregående figurer givits motsvarande hänvisningsbeteckningar.

Vid utföringsformen enligt fig. 8 och 9, finnes värmare 46, förutom takvärmarna 17 på uppströmsändväggen 8 i beläggnings- kammaren för att befordra förångning särskilt i den bakre delen av strömmen av beläggningsmaterial, som duschas från munstycket 35.

På nedströmssidan av blandningszonen 7 sjunker takkonstruk- tionen återigen ned för att bilda en vertikal bryggvägg 9. Ett inlopp 47 med full bredd för avgasledningen 48 för utsugning 33 -,~ r-f x f? !_.._ --. fx f uriJu' U I av ångor från blandningszonen är placerat i bryggväggen 9 för att förhindra bildning av någon stagnerande zon i blandninga- ZOflêïl.

Vid inträdesspringan 28 till beläggningskammaren 6 uppbär skärmvväggen 27, som skiljer beläggningskammare från förkam- maren 29, en vertikalt rörlig grind 49, som medger en variabel inträdesspringa 28, så att hastigheten med vilken atmosfäriskt material kan dragas in i beläggningskammaren från förkammaren 29 kan lättare regleras. Grinden 49 kan vara konstruerad i flera oberoende rörliga sektioner, så att öppningen i inträ- desspringan 28 kan varieras tvärs över substratets 1 väg.

Dessutom finnes gasutmatningsledning 50 för utmatning av för- värmd gas nedåt in i förkammaren för att bilda skiktet av atmosfäriskt material omedelbart ovanför substratet l fram till åtminstone zonen där beläggningsbildning börjar. Upp- strömsänden i förkammaren är i huvudsak stängd av barriärvägg 31.

Anordningar 52 finnes för att utmata gas i omgivningen av substratet 1 för att så bilda en kontinuerlig ström, som strömmar i nedströmsriktningen 3 under varje kant på substrat- vägen 1 och utmed åtminstone del av väglängden. som upptages av beläggningskammaren 6.

Gasutmatningsanordningen 52 för utmatning av gas under bandet omfattar fyra samlingskammare 53 placerade två och två och sträckande sig tvärs över i huvudsak hela bredden på belägg- ningsstationen 4. I överdelen av varje samlingskammare 53 är en springa 54 utbildad till vilken en avböjningsläpp 55 gränsar, så att gas insprutad genom springorna 54 riktas i nedströmsriktningen 3 utmed beläggningsstationen 4. Springorna 54 sträcker sig fulla längden av varje samlingskammare 53 tvärs över beläggningsstationen 4. Om så önskas skulle sådana springor kunna ersättas av ett flertal munstycken på avstånd från varandra. Såsom visas i fig. 8 är en avlänkningsplåt 56 placerad ovanför samlingskamrarna 53, så att den injicerade gasen ej utmatas direkt mot substratet 1. Samlingskamrarna 53 34 f? I: fi' f; '-7 'T U vJ I' \J I' kan matas med förvärmd gas från båda sidor om beläggningssta- tionen 4, t.ex. från värmeväxlare. Luft kan användas som den utmatade gasen och denna kan lätt uppvärmas av värmeväxling med ugnsavgaser. Sådan gas förvärmes företrädesvis till inom 50° av temperaturen på substratet då det senare inträder i beläggningskammaren 6.

Gas som utmatas under substratet l kan avlägsnas från substra- tets 1 omgivning genom valfri avgasledning (ej visad), som uppvisar ett eller flera inlopp, som sträcker sig tvärs under substratvägen t.ex. placerade i överensstämmelse med avgasin- loppet 19 ovanför vägen. ggempel 4 Anordningen enligt fig. 8 och 9 användes för att bilda en tennoxidbeläggning med en tjocklek av 750 nm dopad med 0,22 antimonoxid på ett 3 m brett band av 6 mm floatglas, som för- flyttades med 8,5 m/min. och inträdde i beläggningskammaren med en temperatur av 600°C. Beläggningskammaren hade en total längd av 8 m. En vattenlösning av tenn(II)klorid innehållande antímonklorid utmatades med en hastighet av omkring 230 1/tim. vid ett tryck av 25 bar från en höjd av 1,5 m ovanför glaset med användning av ett duschmunstycke lutat i nedströmsrikt- ningen i en vinkel av 47° mot det horisontella, vilket fördes fram och tillbaka tvärs över bandvägen. värmare 17 och 46 reglerades för att förânga i huvudsak allt det duschade materialet inom den övre halvan av blandnings- zonen 7 och på grund av duschmunstyckets 35 fram- och åter- gående rörelse och det strömmönster som förorsakades därav, blev detta förångade material intimt blandat med luften inom den delen av blandningszonen.

Den totala mänden atmosfäriskt material, som avsögs genom av- . 3 . . gasledning 18 och 2l var omkring 60 000 m /tim. vid en tem- peratur av omkring 350°C. Avsugning genom blandningszonsled- ning 48 upprätthölls vid miniminivån nödvändig för att hålla 35 /ñf rfff? 'TUQ lv: atmosfären i den övre delen av blandningszonens 7 nedströms- ände klar.

Varm luft blåstes in i förkammaren 29 genom ledningen 50 vid en temperatur av 620°C (samma temperatur som bandet där) och med en hastighet av omkring 7000 Nm3/tim. Grinden 49 juste- rades så att inträdesspringan 28 hade en jämn öppning tvärs över bandets bredd.

Luft förvärmd till 550°C utmatades med en hastighet av 3000 3 . . .

Nm /tim. från utmatningsanordningen 52 under substratvägen.

Detta sätt resulterade även i bildning av en i huvudsak defektfri beläggning, i detta fall med ett blåaktigt utseende, med utomordentliga optiska egenskaper och jämnhet i tjocklek.

Fíg. 10 Fig. 10 visar en modifiering hänförande sig till sidoskärmar 22. I fig. 10 är transportrullarna 2 falsade vid 57 mot sina ändar och detta ger ett spel in i vilket skärmarna 22 fästade till sidoväggarna 13 på beläggningskammaren kan passa in. under kanterna på substratet 1. Detta ger en bättre tillslut- ning av beläggningskammaren och det gör detta utan att av- skärma ens kanterna på substratet från kontakt med förbelägg- ningsmaterial. Utföringsformerna som visas i fig. 1-4, 5. B och 9. eller fig. ll som är den nästa som beskrives, kan lätt modifieras på detta sätt.

Fíg. ll Vid utföringsformen i fig. ll finnes ledning 58 för att utmata en ström av förvärmd luft in i blandningszonen 7 i en riktning för att skära den duschade strömmen av beläggningsmaterial.

Ledningen 58 har sitt utmatningsmunstycke 59 placerat i den övre hälften av höjden mellan duschmunstycket 35 och substra- tet 1 och är anordnad att utmata den gasströmmen uppströms om beläggningsduschutmatningsaxeln 36. Munstycket 59 sträcker 36 -v från 75? sig horisontellt över hela bredden på substratvägen 1 och vertikalt över den övre tredjedelen av höjden på duschmun- stycket 35 ovanför glassubstratet. Luft utmatad från mun- stycket 59 riktas från början i huvudsak horisontellt. tvärs över den tvärgående vägen för strömmen av små droppar, för att upprätthålla ett flöde av atmosfäriskt material genom bland- níngszonen 7.

Den utmatade luften är lämpligen förvärmd, t.ex. till en medeltemperatur i området 300°C till 600°C. Värmarna 17 be- fordrar förångning av lösningsmedlet från de små dropparna under deras resa mot substratet 1 och det förångade materialet medbringas och blandas i den där förvärmda luften. vid en valfri variant uppdelas ledningen 58 i två ledningar. som slutar i lika stora övre och nedre munstycken, som upptar läget för munstycket 59, så att strömmar av luft vid olika temperaturer, t.ex. 400°C och 600°C kan utmatas på olika nivåer där.

Takkonstruktionen 5 går nedåt i en kontinuerlig delvis krökt profil ovanför blandningszonen 7 för att underlätta ett jämnt allmänt nedströmsflöde av material inom beläggningskammaren 6.

Takkonstruktionen 5 fortsätter att gå nedåt så att passagen 11 har avtagande höjd i nedströmsriktningen för att kompensera för minskande halt av atmosfäriskt material beroende på avsug- ning från passagen genom sidoavgasledningar 21 anordnade över dess hela längd.

Exempel 5 Anordningen enligt fig. 11 användes för att bilda ett 400 nm tjock fluordopad tennoxidbeläggning på ett 5 mm tjockt glas- band, som förflyttades från en floatkammare med en hastighet av 8.5 m/min. för att inträda i beläggningsstationen vid en temperatur av 600°C. Beläggningskammaren hade en total längd avßm. 37 Kf» rfi-ff? I. fäoi- / 'J Beläggningsmaterialet som användes var en vattenlösning av tenn(II)klorid innehållande ammoniumbifluorid för att åstad- komma dopningsjoner i beläggningen. Denna lösning duschades från munstycket med en hastighet av ll0 1/tim. under ett tryck av 23 bar under det att munstycket fördes fram och tillbaka med en hastighet av 22 cykler per minut. Munstycket var place- rat såsom i exempel 4.

Luft förvärmd till 600°C utmatades med en hastighet av 5400 Nm3/tim. från utmatningsmunstycket 59 och luften som utmata- des från hjälpgasutmatningsledningen 32 var även förvärmd till 600°C. Förkammaren 29 innefattade brännare 30 för att förvärma atmosfären däri. Avsugning ovanför substratets nivå upprätt- hölls vid en hastighet av 80 000 m3/tim. för att upprätthål- la ett allmänt nedströmsflöde av material inom beläggningskam- mârên.

Detta sätt medförde även bildning av en högjämn beläggning, väsentligen fri från lokala defekter.

EXQMQBI 6 Anordning baserad på det som visas i fig. ll användes för att bilda en tennoxidbeläggning 250 nm tjock. Anordningen modifie- rades genom att utelämna förkammaren 29 och utmatningsledning- en 32. Längden på beläggningskammaren 6 var omkring 6 m.

Glasskívor leddes successivt genom beläggningskammaren vid en temperatur av 600°C med en hastighet av 10 m/min.

Beläggningsmaterialet som användes var en lösning av tenn(II)klorid innehållande ammoniumbifluorid för att till- handahålla dopningsjoner i beläggningen. Denna lösning duscha- des från munstycket med en hastighet av 70 1/tim. under ett tryck av 20 bar under det att munstycket fördes fram och till- baka med en hastighet av 22 cykler per minut. Munstycket var placerat l m ovanför glasnivån och var vinklat nedåt 45°. 38 [ff /ïJf Luft förvärmd till 600°C utmatades i duschningszonen genom ut- matningsmunstycke 59. Hastigheten på sådan utmatning och has- tigheten med vilken atmosfäriskt material avsögs från belägg- ningskammaren justerades för att uppnå en beläggning av önsk- värd tjocklek.

Den bildade beläggningen genom sättet enligt detta exempel var även av utomordentligt hög kvalitet och jämnt utseende och var väsentligen fri från lokala defekter.

Exempel 7-11 Vid en variant av vart och ett av de föregående exemplen 1-5, användes den visade anordningen för att bilda en beläggning på glas, som hade skurits till skivor och därefter omvärmts.

Liknande resultat uttryckta i beläggningskvalitet erhölls.

Claims (46)

39 Ü-x Q! Patentkrav

1. l. Sätt vid pyrolytisk bildning av en metalloxidbeläggning på en övre yta av ett varmt glassubstrat i skiv- eller bandform under dess transport i en nedströmsriktning utmed en väg. som leder under en sig nedåt öppnande beläggningskammare, vid vilket sätt beläggningen bildas av beläggningsânga och en oxiderande gas, som matas i nedströmsriktningen utmed en passage till beläggningskammaren, för vilken substratytan är exponerad, k ä n n e t e c k n a t av att beläggnings- materialet och oxiderande gas införes i en blandningszon i kammaren i eller i närheten av passagens uppströmsände. värme- energi tillföres blandningszonen och beläggningsmaterialet och oxiderande gasen blandas omsorgsfullt i blandningszonen, under exponering för substratet. men på en höjd så att belägg- ningsbildningen börjar från en i huvudsak homogen ångblandning och sådan blandning bringas att strömma kontinuerligt utmed passagen i kontakt med den övre ytan på substratet.

2. Sätt enligt krav l, k ä n n e t e c k n a t av att be- läggningsmaterialet matas in i blandningszonen i en eller flera strömmar av små droppar.

3. Sätt enligt krav 1 eller 2. k ä n n e t e c k n a t av att strömmar av beläggningsmaterial och gas införes i bland- ningszonen i olika riktningar för att så skapa turbulens och åstadkomma blandningen.

4. Sätt enligt något av de föregående kraven, k ä n n e - t e c k n a t av att åtminstone en del av gasen, som matas till blandningszonen har förvärmts.

5. Sätt enligt något av de föregående kraven, k ä n n e - t e c k n a t av att atmosfäriskt material inom passagen upp- värmes ovanifrân.

6. Sätt enligt något av de föregående kraven, k ä n n e - t e c k n a t av att atmosfäriskt material suges bort från substratytan vid åtminstone nedströmsänden av passagen. 40 , -.u;~; 1 v L? CJ I'

7. Sätt enligt något av föregående krav, k ä n n e t e c k _ n a t av att sugkrafter alstras i en sidoavgasledning place- rad för att bringa atmosfäriskt material ovanför substratet att strömma utåt bort från en central del av substratvägen över åtminstone en del av passagens längd.

8. Sätt enligt krav 7, k ä n n e t e c k n a t av att det atmosfäriska materialet suges utåt över en zon sträckande sig utmed huvudsakligen hela passagens längd.

9. Sätt enligt krav 7 eller 8, k ä n n e t e c k n a t av att det atmosfäriska materialet suges utåt på en nivå under substratet.

10. Sätt enligt något av föregående krav, k ä n n e t e c k - n a t av att över åtminstone en del av beläggningskammarens längd, flöde av atmosfäriskt material förbi substratets sido- kanter och mellan zoner vertikalt ovanför och vertikalt under substratet förhindras.

11. ll. Sätt enligt något av föregående krav. k ä n n e t e c k _ n a t av att gas utmatas i substratets omgivning för att så bilda en kontinuerlig ström, som strömmar i nedströmsriktning- en under varje kant på substratet och åtminstone utmed del av beläggningskammarens längd.

12. Sätt enligt krav 11, k ä n n e t e c k n a t av att det finns en sådan ström av gas under substratet, som strömmar under hela bredden på substratet.

13. Sätt enligt något av föregående krav, k ä n n e t e c k - n a t av att luft införes genom passagens tak.

14. Sätt enligt något av föregående krav, k ä n n e t e c k - n a t av att det atmosfäriska materialets nedströmsflöde för vilket substratytan är exponerad. strypes genom en markerad höjdminskning i den tillgängliga flödesvägen utmed belägg- ningskammaren. 41 _ _ _ H ^%DC iüi

15. Sätt enligt något av föregående krav, k ä n n e t e c k - n a t av att åtminstone ett par snett inåt riktade strömmar av gas införes i kammaren för att strypa bredden på strömmen av ånga. som strömmar utmed åtminstone del av passagen.

16. Sätt enligt något av föregående krav, k ä n n e t e c k - n a t av att beläggníngskammaren väsentligen är stängd i sin nedströmsände för att förhindra utbyte av atmosfäriskt materi- al mellan passagens nedströmsände och ett ytterligare ned- strömsområde av substratvägen.

17. Sätt enligt krav 16, k ä n n e t e c k n a t av att glassubstratet utgöres av ett just bildat band av varmt glas och beläggningen bildas efter det att bandet lämnar en band- bildningsanläggning och före dess inträde i en kylkanal.

18. Sätt enligt något av föregående krav, k ä n n e t e c k - n a t av att förvärmd gas bringas att strömma nedströms in i beläggníngskammaren i kontakt med substratet.

19. Sätt enligt krav 18, k ä n n e t e c k n a t av att sådan förvärmd gas bringas att inträda i beläggníngskammaren med en högre volymhastighet över kanterna på substratet än över dess mittre del.

20. Anordning för användning vid pyrolytisk bildning av en metalloxidbeläggning på en övre yta av ett varmt glassubstrat (1) i skív- eller bandform, där anordningen omfattar en trans- portanordning (2) för att transportera substratet (1) i en ned- ströms riktning (3) utmed en väg och en takkonstruktion (5), som begränsar en beläggningskammare (6) som öppnar sig nedåt mot vägen och omfattar en passage (ll) utmed vilken belägg- ningsånga och oxiderande gas kan ledas nedströms i kontakt med en övre yta på substratet (1) under substratets transport, k ä n n e t e c k n a d av att takkonstruktionen (5) begrän- sar. i eller intill uppströmsänden av passagen (11), en bland- ningszon (7), som öppnar sig nedåt mot substratvägen, anord- ning (16, 35) finnes för att injicera beläggningsmateríal in i blandningszonen (7) från en höjd av åtmistone 50 cm 42 “SC i f' ovanför substratvägens nivå, en anordning (58) finnes för att injicera oxiderande gas in i blandningszonen i vilken be- läggningsmaterial och oxíderande gas kan bringas samman, blan- das och uppvärmas för att bilda en atmosfär omfattande en intim blandning av beläggningsånga och oxiderande gas. varvid blandningszonen (7) står i förbindelse med passagen för att medge en ström av sådan atmosfär att strömma utmed passagen från blandningszonen.

21. Anordning enligt krav 20, k ä n n e t e c k n a d av att anordningar (16) finnes för att införa strömmar av belägg- ningsmaterial och gas in i blandningszonen (7) i olika rikt- ningar för att så skapa turbulens för att åstadkomma bland- ningen.

22. Anordning enligt krav 20 eller 21, k ä n n e t e c k - n a d av att anordningar (32) finnes för att förvärma åtmin- stone en ström av gasen, som inträder i blandningszonen.

23. Anordning enligt något av krav 20-22, k ä n n e t e c k - n a d av att strâlningsvärmanordning (17) finnes i bland- ningszonen (7).

24. Anordning enligt något av krav 20-23, k ä n n e t e c k - n a d av att anordning (33) finnes för att införa värmeenergi i passagen ovanifrån.

25. Anordning enligt något av krav 20-24, k ä n n e t e c k - n a d av att en anordning (18) finnes för att alstra sugkraf- ter på atmosfäriskt material inom sådan passage för att under- lätta flöde av det materialet utmed passagen mot dess ned- strömsände och sedan bort från substratets väg.

26. Anordning enligt något av krav 20-25, k ä n n e t e c k - n a d av att anordningar (21) finnes för att alstra sugkraf- ter i sidoavgasledning placerad för att bringa atmosfäriskt material ovanför substratvägen att strömma utåt bort från sub- stratvägens mitt över åtminstone en del av passagens (11) längd. 43 f- å, f-Å I? n-l- g b, i ~___» 1

27. Anordning enligt krav 26, k ä n n e t e c k n a d av att en sådan sidoavgasledning (21) är placerad för att suga atmosfäriska materialet utåt över en zon, sträckande sig i huvudsak utmed hela passagen (ll).

28. Anordning enligt krav 26 eller 27, k ä n n e t e c k - n a d av att sidoavgasledningen har inträden som är placerade under vägens nivå.

29. Anordning enligt något av krav 20-28, k ä n n e t e c k - n a d av att passagen har ett tak (5), som konvergerar mot glassubstratet i nedströmsriktningen.

30. Anordning enligt något av krav 20-29, k ä n n e t e c k - n a d av att över åtminstone en del av kammarens (6) längd en anordning (22. 45) finnes för att förhindra flöde av atmos- färiskt material förbi substratvägens sidor och mellan zoner vertikalt ovanför och vertikalt nedanför den vägen.

31. Anordning enligt krav 30, k ä n n e t e c k n a d av att sådan flödesförhindrande anordning omfattar skärmar (22, 45).

32. Anordning enligt krav 31, k ä n n e t e c k n a d av att transportanordningen omfattar rullar (2). som är falsade över varje kant av substratvägen för att begränsa ett utrymme för att upptaga skärmarna (45) mellan rullarna (2) och kanterna på substratvägen.

33. Anordning enligt något av krav 20-32, k ä n n e t e c k - n a d av att anordningar (52) finnes för att utmata gas i substratvägens omgivning för att bilda en kontinuerlig ström. som strömmar i nedströmsriktningen under varje kant på sub- stratvägen och åtminstone utmed del av våglängden som upptas av kammaren (6).

34. Anordning enligt krav 33. k ä n n e t e c k n a d av att anordningar (52) för att utmata gas och bilda en sådan ström under vägens nivå är placerade att utmata gas för att bilda en sådan ström över hela substratvägens bredd. 44 ,ff'f =?f'W L: U Ö i' '-3 .'

35. Anordning enligt något av krav 20-34, k ä n n e t e c k - n a d av att en anordning finnes för att införa luft genom passagens (ll) tak (5).

36. Anordning enligt krav 35, k ä n n e t e c k n a d av att passagens (ll) tak (5) är utförd i jalusikonstruktion (42) för att reglera införseln av sådan luft.

37. Anordning enligt krav 35, k ä n n e t e c k n a d av att passagens tak (5) har porös konstruktion och anordningar fin- nes för att blåsa luft genom sådant tak.

38. Anordning enligt något av krav 20-37, k ä n n e t e c k - n a d av att takkonstruktionen (5) uppvisar en markerad sänkning i höjd ovanför vägen i nedströmsriktningen för att därvid strypa nedströmsflödet av ånga utmed beläggningskammaren (6).

39. Anordning enligt något av krav 20-38. k ä n n e t e c k - n a d av att takkonstruktionen (5) går nedåt som en kurva ledande in i en nedströmstakdel ovanför passagen (11).

40. Anordning enligt något av krav 20-39, k ä n n e t e c k - n a d av att åtminstone ett par snett inåt riktade gasinjek- torer (34) är anordnade i kammaren (6) för att strypa bredden på ångströmmen. som strömmar åtminstone utmed en del av passagen (ll).

41. Anordning enligt något av krav 20-40, k ä n n e t e c k - n a d av att passagen upptar åtminstone i nedströmsänden 2 m av kammarens (6) längd och där har en höjd eller maximihöjd icke överstigande 75 cm ovanför substratvägen.

42. Anordning enligt något av krav 20-41. k ä n n e t e c k - n a d av att en krökt avgassamlare (18). som sträcker sig tvärs över åtminstone huvuddelen av substratvägen finnes i nedströmsänden av beläggningskammaren (6), vilken samlare till en del begränsar åtminstone ett avgasledningsinlopp (19).

43. Anordning enligt något av krav 20-42. k ä n n e t e c k - 45 463 767 n a d av att en barriärvägg (39) finnes ovanför substrat- vägen, som sträcker sig tvärs över hela bredden av och i huvudsak stänger till nedströmsänden i beläggningskammaren.

44. Anordning enligt något av krav 20-43, k ä n n e t e c k _ n a d av att beläggningsstationen (6) är placerad mellan utträdet från en bandbildningsanläggning och inträdet till en kylkanal (25).

45. Anordning enligt något av krav 20-44, k ä n n e t e c k - n a d av att anordningar (29, 30) finnes för att bringa gas att strömma genom en inträdesspringa (28) för substrat till kammaren från dess uppströmssida och för att uppvärma den QGSQII.

46. Anordning enligt krav 45, k ä n n e t e c k n a d av att anordningar (49) som åstadkommer sådant gasinträde och/eller formen på inträdesspríngan (28) är eller är justerbar för att åstadkomma en större volymflödeshastíghet för sådan gas över kanter på substratvägen än över dess mittre del.