MD626G2 - Способ изготовления гетероструктур p+ InP-pInP/CdS и p+GaAs-pGaAs/CdS - Google Patents
Способ изготовления гетероструктур p+ InP-pInP/CdS и p+GaAs-pGaAs/CdSInfo
- Publication number
- MD626G2 MD626G2 MD94-0004A MD940004A MD626G2 MD 626 G2 MD626 G2 MD 626G2 MD 940004 A MD940004 A MD 940004A MD 626 G2 MD626 G2 MD 626G2
- Authority
- MD
- Moldova
- Prior art keywords
- cds
- reactor
- pgaas
- pinp
- inp
- Prior art date
Links
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
Изобретение относится к полупроводниковой технологии и может быть использовано при изготовлении в открытой газотранспортной системе гетероструктур p+InP-pInP/CdS и p+GaAs-pGaAs/CdS для солнечных элементов и фотоэлементов.Для повышения производительности и качества электрофизических параметров солнечных элементов с помощью заявляемого способа, включающего рост структур p+InP-pInP и p+GaAs-pGaAs в хлоридной газотранспортной системе, химическое травление, расположение структур в реакторе, продувку реактора водородом, нагрев печи, выращивание слоя CdS выполняют после помещения реактора в печь и стабилизации температур, затем выдвигают реактор из печи, причем скорости потока водорода во время выращивания в зоне источника и роста равны, соответственно, 150 см3/мин. и 220...240 см3/мин., а во время стабилизации температуры и охлаждения - соответственно, 20...30 см3/мин. и 1000 см3/мин.Технический результат заключается в сокращении времени стабилизации температуры в реакторе, что обеспечивает сохранение электрофизических параметров слоев и компонента источника, торможение процесса взаимной диффузии компонентов гетероструктуры.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| MD94-0004A MD626G2 (ru) | 1994-01-13 | 1994-01-13 | Способ изготовления гетероструктур p+ InP-pInP/CdS и p+GaAs-pGaAs/CdS |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| MD94-0004A MD626G2 (ru) | 1994-01-13 | 1994-01-13 | Способ изготовления гетероструктур p+ InP-pInP/CdS и p+GaAs-pGaAs/CdS |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| MD940004A MD940004A (ro) | 1995-07-31 |
| MD626F2 MD626F2 (en) | 1996-11-29 |
| MD626G2 true MD626G2 (ru) | 1997-06-30 |
Family
ID=19738508
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| MD94-0004A MD626G2 (ru) | 1994-01-13 | 1994-01-13 | Способ изготовления гетероструктур p+ InP-pInP/CdS и p+GaAs-pGaAs/CdS |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| MD (1) | MD626G2 (ru) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| MD972Z (ru) * | 2015-02-19 | 2016-06-30 | Государственный Университет Молд0 | Способ роста структуры p+InP-p-InP-n+CdS для фотоэлектрических элементов |
| MD4510C1 (ru) * | 2016-06-23 | 2018-03-31 | Государственный Университет Молд0 | Способ роста структуры n+-p-p+ InP для солнечных батарей |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| MD4280C1 (ru) * | 2013-09-04 | 2014-10-31 | Государственный Университет Молд0 | Способ роста структуры pInP-nCdS |
-
1994
- 1994-01-13 MD MD94-0004A patent/MD626G2/ru active IP Right Grant
Non-Patent Citations (1)
| Title |
|---|
| J.Choy Appl. Physics, v. 8, nr. 4, 1977 (M. Bettini, K. J. Bochmann. E. Buchler, J. L. Choy, S.Wagner "Preparation of CdS/InP solar cells by chemical vapor deposition of CdS", p. 1603-1606). * |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| MD972Z (ru) * | 2015-02-19 | 2016-06-30 | Государственный Университет Молд0 | Способ роста структуры p+InP-p-InP-n+CdS для фотоэлектрических элементов |
| MD4510C1 (ru) * | 2016-06-23 | 2018-03-31 | Государственный Университет Молд0 | Способ роста структуры n+-p-p+ InP для солнечных батарей |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| MD626F2 (en) | 1996-11-29 |
| MD940004A (ro) | 1995-07-31 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TW337031B (en) | Manufacturing method of a silicon wafer having a controlled BMD concentration in the bulk and a good DZ layer | |
| WO2003069027A3 (en) | Energy efficient method for growing polycrystalline silicon | |
| ATE471397T1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur herstellung eines iii-v-nitridfilms | |
| JPS5556098A (en) | Method and apparatus for producing si single crystal rod | |
| MY129966A (en) | Method and device for producing monocrystals | |
| MD626G2 (ru) | Способ изготовления гетероструктур p+ InP-pInP/CdS и p+GaAs-pGaAs/CdS | |
| JPS5740940A (en) | Semiconductor device | |
| JPS54136274A (en) | Semiconductor device | |
| JPS5717125A (en) | Manufacture of semiconductor device | |
| US3092462A (en) | Method for the manufacture of rods of meltable material | |
| JPS5645899A (en) | Vapor phase growing method for gallium nitride | |
| MY133116A (en) | Process for preparing defect free silicon crystals which allows for variability in process conditions | |
| JPS55130897A (en) | Silicon single crystal | |
| Druminski | Optimization of the Deposition Conditions for Epitaxial Silicon Films on Czochralski Sapphire in the Silane‐Hydrogen System | |
| JPS55120129A (en) | Method for gaseous-phase growth of semiconductor | |
| JPS59137400A (ja) | 低転位密度p型砒化ガリウム単結晶およびその製造方法 | |
| JPS54106081A (en) | Growth method in vapor phase | |
| JPS59131598A (ja) | GaAs単結晶の製造方法 | |
| RU2057211C1 (ru) | Способ получения монокристаллического кремния | |
| JPS5795898A (en) | Growing method for silicon single crystal | |
| JPS5717496A (en) | Liquid phase growing method for single crystal of compound semiconductor | |
| JPS6421074A (en) | Method for selectively growing thin metallic film | |
| JPH03236219A (ja) | 半導体基板の表面処理方法 | |
| JPS5948788B2 (ja) | 気相エピタキシヤル成長方法 | |
| JPS57211725A (en) | Liquid epitaxial growth method |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| FG3A | Granted patent for invention | ||
| IF99 | Valid patent on 19990615 |
Free format text: EXPIRES: 20140113 |