LU83617A1 - Verfahren zur herstellung von verdampfertiegeln - Google Patents
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Description
i· ' j.
i: i ! * a) Titel der Erfindung
Verfahren sur Herstellung von Verdampfertiegeln ! b) Anwendungsgebiet der Erfindung ] Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von
Verdampfertiegeln, insbesondere von keramischen Tiegeln, vorzugsweise für Elektronenstrahlbedampfungsanlagen, c) Charakteristik der bekannten technischen Lösungen
Verdampfertiegel sind unter anderem in Anlagen erforderlich, in welchen im Hochvakuum kontinuierlich durchlaufender Bandstahl mit einer dünnen Schicht eines anderen Metalls mit Hilfe von Elektronenstrahlen bedampft wird, um bessere Korrosionssigenschaften des Bandstahles zu erreichen. Es sind mehrere Verdampfertiegel aus unterschiedlichsten Materialien, wie beispielsweise Kupfer, Graphit pder keramische Werkstoffe bekannt.
Keramische Tiegel aus Edelkround (WP 77 365) sind in der Herstellung relativ billig und chemisch bestens geeignet, um z.B. Aluminium zu verdampfen. Das betreffende Ver-dampfungsgefäß wird im Stampfverfahren gefertigt oder in Abhängigkeit von den eingesetzten Bindemitteln auch durch Gießen, Rütteln oder Pressen geformt und vor der Verwendung getrocknet oder getrocknet und gebrannt.
Die Tiegel haben den Nachteil, daß sie bei großen Temperaturänderungen etwa bei 1500 K / 30 min reißen und nachfolgend im Betrieb das .flüssige Aluminium ausläuft. Eine derartige Temperatüränderung tritt bei Inbetriebnahme einer »
Anlage an dem Verdampfertiegel auf. Die Standzeit derarti- i <tä vi Φ*ι r>. n*ü Ί Viû+νΐΛ r? 4* 1 C Vi*ic? Q Π Vj t d) Ziel der Erfindung
Das Ziel der Erfindung ist es, die Standzeit der Verdampfertiegel und damit die Leistungsfähigkeit einer kompletten Anlage zu erhöhen.
e) Darlegung des Wesens der Erfindung,
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren zur Herstellung von Verdampfertiegeln zu schaffen, bei welchem zwischen dem Tiegeleinsatz und der Tiegelmanschette eine wärmeisolierc-nde Zwischenschicht eigestampft und der komplette Tiegel so vorbehandelt wird, daß eine unter Betriebsbedingungen bei hohen Temperaturen an dem Einsatz genau angepaßte und festsitzende föanschette zur Erhaltung der mechanischen Festig-keit desselben erzielt wird.
Erfindluigsgemäß wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß der Verdampfertiegeleinsatz in einer Tiegelmanschette aus temperaturbeständigem und nicht magnetischem Stahl gesetzt und am Boden und den Seitenwänden mit flüssigem Feuerbeton hinterfüttert wird. Eine derartige Verfahrensweise widerspricht zwar den allgemeinen theoretischen Erkenntnissen über die Herstellung von Verdampfertiegeln, da die Tiegeleinsätze bei ca. 2200 K gebrannt werden und danach nicht mehr mit Feuchtigkeit in Berührung kommen sollen. Die erfindungsgemäßen weiteren Behandlungsschritte des komplettierten Tiegels korrigieren derartige Ansichten.
Fach dem Hinterfüttern des Tiegeleinsatzes wird der komplettierte Tiegel an der Luft getrocknet und nachfolgend in einem Ausheizofen langsam in einem periodischen Aufheisregime auf 1200 K erwärmt und gebrannt und bei einer Temperatur -c 1000 K im Aufheizofen belassen, f) Ausführungsbeispiel
Die Erfindung soll nachstehend an einem Ausführungsbeispiel näher erläutert werden.
nachdem der Verdampfertiegeleinsatz in die Tiegelmanschette gesetzt und am Boden und den Seitenwänden mit einer Hinterfütterung aus flüssigem Feuerbeton als mechanisch stabili- 3 Γ" "..........Γ· ....................
f sierend wirkende und wärmeisolierende Kasse, dessen Temperaturbeständigkeit bei ca. 1500 - 1600 K liegt, versehen wurde, wird der komplettierte Tiegel 150 - 200 h an der Luft unter relativ hoher und langsam abnehmender Luftfeuchtigkeit getrocknet. Nach dieser B.ehandlungsstufe schließt sich in einem Ausheizofen die thermische Behandlung des Tiegels an. In einem periodischen Aufheizregime wird er bis zu einer Temperatur von 1200 K erwärmt und gebrannt.
Die periodischen Brennstufen haben jeweils eine Haltezeit j von 40 - 60 li. Uach dem Abschluß des Brennvorganges bei * 1200 K wird die Temperatur im Ausheisofen auf einen Wert unter 1000 K gesenkt und der fertig gebrannte Tiegel verbleibt im Ofen.
Der nach dieser Technologie behandelte Verdampfertiegel kann sofort in der Produktion eingesetzt werden, ohne daß Kocherscheinungen, Gasausbrüche oder chemische Reaktionen während der Bedampfung auftreten. Die Standzeiten der nach diesem Verfahren hergestellten Tiegel betragen 300 - 600 h.
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Claims (3)
1. Verfahren zur Herstellung von Verdarapfertiegeln, bestellend auu einem Tiegeleinsatz, einer wärmeisolierenden Kasse und einer Ummantelung aus temperaturbeständigem und nicht magnetischem Stahl, wobei die wärmeisolierende Kasse '.-.wischen Litgeleinsatz und der Ummantelung eingestampft und der Tie-Gel anschließend getrocknet und gebrannt wird, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der Tiegelinanschet te und den k Verdampfertiegeleinsatz dieser mit flüssigem Ecuerbeton hinteriüttert, anschließend der komplettierte Tiegel an der V Luft getrocknet und danach im Ausheisofen langsam i?i einem periodischen Aufheizrogime auf 1200 K erwärmt und gebrannt und bei einer Température 1000 K im Ofen belassen wird,
2. Verfahren zur Herstellung von Verdampfertigeln nach Tunkt 1, dadurch gekennzeichnet, daß nach der llinterfütterung der komplettierte Tiegel 150 - 200 h an der Lui- unter relativ hoher und langsam abnehmender Luftfeuchtigkeit getrocknet wird,
3. Verfahren zur Herstellung von Verdampfertiegeln nach 1 unkt ‘ 1 ujid 2, dadurch gekennzeichnet, daß das periodische Auf- heiareg-ime Haltestufsn von 40 - 60 h Dauer aufweist, \AAUil «
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