KR980005306A - 반도체 소자 패턴의 정렬 키 - Google Patents
반도체 소자 패턴의 정렬 키 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 반도체 소자의 제조공정에서 웨이퍼의 패턴 정렬을 검사하는 반도체 소자 패턴의 정렬 키를 개시한다. 이 정렬 키는 반도체 소자의 형성시 각 층의 패턴 정렬을 위한 키이의 배열방향이 스크라이브 라인과 수직으로 위치하는 것을 특징으로 한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 발명의 실시예에 따른 패턴 정렬 키의 배치 상태를 보여 주는 웨이퍼의 부분 평면도.
제3도는 제2도의 부분 상세도.
Claims (1)
- 반도체 소자의 형성시 각 층의 패턴 정렬을 위한 정렬 키이의 배열방향이 스크라이브 라인과 수직으로 위치하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 패턴의 정렬 키.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960022863A KR980005306A (ko) | 1996-06-21 | 1996-06-21 | 반도체 소자 패턴의 정렬 키 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960022863A KR980005306A (ko) | 1996-06-21 | 1996-06-21 | 반도체 소자 패턴의 정렬 키 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR980005306A true KR980005306A (ko) | 1998-03-30 |
Family
ID=66288220
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960022863A KR980005306A (ko) | 1996-06-21 | 1996-06-21 | 반도체 소자 패턴의 정렬 키 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR980005306A (ko) |
-
1996
- 1996-06-21 KR KR1019960022863A patent/KR980005306A/ko not_active Application Discontinuation
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Legal Events
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