KR980003799A - 반도체 소자 제조용 마스크 - Google Patents
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Abstract
본 발명의 마스크는 일 측의 스크라이브 라인 영역에 사각 모양의 제1크로 패턴으로 된 제1버니어 마크를 삽입하고, 다른 측의 스크라이브 라인 영역에 사각띠 모양의 제2크롬 패턴과 제2크롬 패턴의 중심 부분에 사각 모양의 빛 투과 지역으로 된 제2버니어 마크를 삽입하여 이루어진다. 제1크롬 패턴의 크기는 제2크롬 패턴의 크기보다는 작고, 빛 투과 지역의 크기보다는 크다. 제1버니어 마크와 제2버니어 마크는 동일 선상에 위치되도록 삽입된다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도 본 발명에 따른 마스크의 평면도이다.
제2도는 제1도의 제1버니어 마크를 확대한 평면도.
제3도는 제1도의 제2버니어 마크를 확대한 평면도.
Claims (10)
- 석영 기판상에 형성된 단위 필드 영역; 상기 단위 필드 영역의 외곽 선을 따라 존재하는 스크라이브 라인영역; 일 측의 상기 스크라이브 라인 영역에 삽입된 제1버니어 마크; 및 상기 제1버니어 마크에 대응되도록 다른 측의 상기 스크라이브 라인 영역에 삽입된 제2버니어 마크로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마스크.
- 제1항에 있어서, 상기 제1버니어 마크와 상기 제2버니어 마크는 동일 선상에 위치되도록 상기 스크라이브 라인 영역에 삽입되는 것을 특징으로 하는 마스크.
- 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2 버니어 마크는 사각 모양인 것을 특징으로 하는 마스크.
- 제1항에 있어서, 상기 제1버니어 마크는 상기 제2버니어 마크의 크기보다 작은 것을 특징으로 하는 마스크.
- 제1항에 있어서, 상기 제1버니어 마크는 사각 모양의 제1크롬 패턴으로 이루어지고, 상기 제2버니어 마크는 사각띠 모양의 제2크롬 패턴과 상기 제2크롬 패턴의 중심 부분에 사각 모양의 빛 투과 지역으로 이루어진 것을 특징으로 하는 마스크.
- 제5항에 있어서, 상기 제1크롬 패턴의 크기는 상기 제2크롬 패턴의 크기보다 작고, 상기 빛 투과 지역의 크기보다 큰 것을 특징으로 하는 마스크.
- 제5항에 있어서, 상기 제1크롬 패턴의 가로 및 세로 길이 각각은 20 내지 40um인 것을 특징으로 하는 마스크.
- 제5항에 있어서, 상기 제2크롬 패턴의 가로 및 세로 길이 각각은 25 내지 45um인 것을 특징으로 하는 마스크.
- 제5항에 있어서, 상기 빛 투과 지역의 가로 및 세로 길이 각각은 10 내지 30um인 것을 특징으로 하는 마스크.
- 제5항에 있어서, 상기 빛 투과 지역의 가로 및 세로 길이 각각은 10um이고, 상기 제1크롬 패턴의 가로 및 세로 길이 각각은 20um이며, 상기 제2크롬 패턴의 가로 및 세로 길이 각각은 25um인 것을 특징으로 하는 마스크.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960025558A KR980003799A (ko) | 1996-06-29 | 1996-06-29 | 반도체 소자 제조용 마스크 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960025558A KR980003799A (ko) | 1996-06-29 | 1996-06-29 | 반도체 소자 제조용 마스크 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR980003799A true KR980003799A (ko) | 1998-03-30 |
Family
ID=66241068
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960025558A KR980003799A (ko) | 1996-06-29 | 1996-06-29 | 반도체 소자 제조용 마스크 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR980003799A (ko) |
-
1996
- 1996-06-29 KR KR1019960025558A patent/KR980003799A/ko not_active Application Discontinuation
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| Date | Code | Title | Description |
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| WITN | Withdrawal due to no request for examination |