KR970706651A - 다중모드 압전필터(multiple-mode piezoelectric filter) - Google Patents

다중모드 압전필터(multiple-mode piezoelectric filter)

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KR970706651A
KR970706651A KR1019970702021A KR19970702021A KR970706651A KR 970706651 A KR970706651 A KR 970706651A KR 1019970702021 A KR1019970702021 A KR 1019970702021A KR 19970702021 A KR19970702021 A KR 19970702021A KR 970706651 A KR970706651 A KR 970706651A
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Abstract

압전기판의 일면에 서로 소정의 갭을 열여서 입출력 진동전극대가 형성되고, 그 반대측의 면에는, 이들과 대향하도록 하는 아스전극이 형성된 다중모드 압전필터소자의 2조를, 하나의 보지기(3) 내에 수용하여 상호종속접속한 다단접속형의 다중모드 압전필터에 있어서, 2조의 소자 사이의 결합의 저지기능을 높게 하고, 최종 조정의 용이화를 도모하는 것을 목적으로 한다.
하나의 보지기(1) 내에, 각각 입출력 진동전극대 및 아스전극이 형성된 2개의 압전기판(2), (3)이 수용되고, 그 압전기관(2), (3)의 각 전극 중 적어도 아스전극(23), (24)을 제외한 전극의 모두가 각각 보지기(1)에 독립적으로 형성된 개별의 접속단자(11)~(16)의 접속된 구성으로 한다.
이상의 구성의 채용에 의하여, 서로 종속접속된 두개의 압전필터소자끼리의 간섭이 억제되어서, 소형으로 고성능의 다단접속 다중모드 압전소자가 얻어져서, 특히 휴대형의 통신기기 등에 사용해서 유용하다.

Description

다중모드 압전필터(MULTIPLE-MODE PIEZOELECTRIC FILTER)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 그 보지기(1)의 하면부분(저부)을 투시해서 표시하는 요부확대 이면도이다, 제4도는 제1발명의 실시의 형태에 있어서, 한쪽의 출력진동전극(22)과 다른쪽의 입력 진동전극(31)을 보지기(1) 내에서 접속하는 경우의 구성의 설명도로, 보지기(1)의 하면부분을 투시해서 표시하는 요부확대 이면도이다, 제5도는 제1발명의 다른 실시의 형태의 보지기(1)의 하면부분을 투시해서 표시하는 이면도이다.

Claims (25)

  1. 압전기판의 일면에 서로 소정의 갭을 열어서 입출력 진동전극대가 형성되고, 그 반대측의 면에는, 이들과 대향하도록 아스전극이 형성된 다중모드 압전필터에 있어서, 하나의 보지기 내에 각각 상기 입출력 전극대 및 아스전극대가 형성된 두개의 압전기판이 수용되고, 그 압전기판의 각 전극 중, 적어도 아스전극을 제외한 전부가 각각 보지기에 독립적으로 설치된 개별의 접속단자에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 다중모드 압전 필터.
  2. 제1항에 있어서, 상기 두개의 압전기판 중 한쪽의 압전기판의 출력진동전극이 접속된 보지기의 접속단자와, 다른쪽의 압전기판의 입력진동전극이 접속된 보지기의 접속단자가 보지기 내에 있어서, 도전성 접착제 또는 와이어본딩에 의하여 상호접속되어 있는 것을 특징으로 하는 다중모드 압전필터.
  3. 제2항에 있어서, 상기 각 압전기판의 아스전극에 대하여도, 각각 보지기 내에 독립적으로 설치된 개별의 접속단자에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 다중모드 압전필터.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 두개의 압전기판은 각각 입출력 진동전극대 사이의 중심선이 서로 밀린 상태로 보지기 내에 수용되어 있는 것을 특징으로 하는 다중모드 압전필터.
  5. 압전기판의 일면에 서로 소정의 갭을 열어서 입출력 진동전극대가 형성되고, 그 반대측의 면에는, 이들과 대향하도록 하는 아스전극이 형성된 다중모드 압전필터에 있어서, 하나의 압전기판에, 상기 입출력 진동전극대와 아스전극대가 2조 형성되어 있음과 아울러, 그 2조의 입출력 진동전극대의 사이에서, 압전기판이 당해 기판과는 음향임피던스가 다른 재료에 의해서 보지기에 대하여 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 다중모드 압전필터.
  6. 제5항에 있어서, 상기 압전기판에는, 2조의 입출력 진동전극대의 형성면과 동일측의 면에 이들 2조의 입출력 진동전극대의 사이를 구획하도록 별도 아스전극이 형성되고, 그 아스전극과 보지기가 압전기판과 음향 임피던스가 다른 도전성 재료에 의하여 상호접속되어 있는 것을 특징으로 하는 다중모드 압전필터.
  7. 제6항에 있어서, 상기 2조의 입출력 진동전극대의 사이를 구획하는 아스전극은, 각각의 입출력 진동전극대의 중심으로 향해서 돌출하는 패턴을 가지며, 그 각 돌출패턴의 폭은, 각 입출력 진동전극대에 가까워질수록 좁게 되어 있는 것을 특징으로 하는 다중모드 압전필터.
  8. 제5항, 제6항 또는 제7항에 있어서, 2조의 입출력 진동전극대가, 상기 압전기판 위에 서로 직교한 상태로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 다중모드 압전필터.
  9. 압전기판의 일면에 서로 소정의 갭을 열어서 입출력 진동전극대가 형성되고, 그 반대측의 면에는, 이들과 대향하도록 하는 아스전극이 형성된 다중모드 압전필터에 있어서, 하나의 기판에, 상기 입출력 진동전극대와 아스전극대의 2조 형성됨과 아울러, 그 2조의 전극군의 사이를 구획하는 위치에, 압전기판을 관통하는 절결, 장공 또는 복수의 관통공, 또는 적어도 각 입출력 진동전극대가 형성된 측의 면상의 홈이 형성되고, 또한, 절결, 장공, 복수의 관통공, 또는 홈 내에는 탄성재료가 매입되어 있는 것을 특징으로 하는 다중모드 압전필터.
  10. 제9항에 있어서, 상기 압전기판이 보지기 내에 수요됨과 아울러, 상기 탄성재가 보지기 내에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 다중모드 압전필터.
  11. 제10항에 있어서, 상기 탄성재가 도전성 재료이고, 그 탄성재료가 보지기에 형성된 아스접속단자에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 다중모드 압전필터.
  12. 제10항 또는 제11항에 있어서, 상기 2조의 입출력 진동전극대가, 상기 압전 기판 상에 서로 직교한 상태로 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 다중모드 압전필터.
  13. 압전기판의 일면에 서로 소정의 갭을 열어서 입출력 진동전극대가 형성되고, 그 반대측의 면에는, 이들과 대향하도록 하는 아스전극이 형성된 다중모드 압전필터에 있어서, 하나의 압전기판에, 상기 입출력 진동전극대와 아스전극이 2조 형성되어 있음과 아울러, 그 압전기판이 구형의 수정편이고, 또한 그 가장자리변은 (x), (z´)축에 따르지 않고, 상기 각 입출력 진동전극대는 각각 x 또는 z´축 방향에 따른 갭을 개재하여 형성되고, 그 입출력 진동전극은 각각 압전기판의 가장자리면부에 형성된 접속용 패드에 대하여, 서로 같은 길이의 인출전극패턴에 의하여 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 다중모드 압전필터.
  14. 압전기판의 일면에 서로 소정의 갭을 열어서 입출력 진동전극대가 형성되고, 그 반대측의 면에는, 이들과 대향하도록 하는 아스전극이 형성되어서 이루어진 다중모드 압전필터소자의 2조가 서로 종속접속된 상태로 하나의 표면실장형의 보지기 내에 수용된 다중모드 압전필터에 있어서, 보지기에 두개의 핏트가 인접형성되고, 상기 압전기판은, 각 입출력 진동전극대가 각각 각 핏트의 저면측을 향한 상태로, 이들 각 핏트의 주변부에 있어서 보지기에 고정되어 있음과 아울러, 상기 각 핏트의 저면은 도전성 재료에 의하여 피복되고, 또한 두개의 핏트 사이의 격벽에 따라서 도전성 재료가 설치되고, 이들의 각 도전성 재료는 보지기에 형성된 아스접속단자에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 다중모드 압전필터.
  15. 제14항에 있어서, 상기 2조의 다중모드 압전필터소자는 각각 개별의 압전기판에 상기 전극군이 1조씩 형성된 것임을 특징으로 하는 다중모드 압전필터.
  16. 제14항에 있어서, 상기 2조의 다중모드 압전필터소자는, 하나의 공통의 압전기판에 상기 전극군이 2조형성된 것임을 특징으로 하는 다중모드 압전필터.
  17. 제14항, 제15항 또는 제16항에 있어서, 두개의 핏트 사이의 격벽에 따르는 도전성 재료가 각 핏트의 내측면을 피복하는 도전성 재료인 것을 특징으로 하는 다중모드 압전필터.
  18. 제14항, 제15항 또는 제16항에 있어서, 상기 두개의 핏트 사이의 격벽에 따르는 도전성 재료가, 각 핏트의 사이의 격벽 내에 삽입된 판형상의 도전성 재료인 것을 특징으로 하는 다중모드 압전필터.
  19. 제14항, 제15항 또는 제16항에 있어서, 상기 두개의 핏트 사이의 격벽에 따르는 도전성 재료가, 각 핏트 사이의 격벽에 형성된 복수의 슬루호올 내의 각각에 매립된 복수의 도전성 재료인 것을 특징으로 하는 다중모드 압전필터.
  20. 압전기판의 일면에 서로 소정의 갭을 열어서 입출력 진동전극대가 형성되고, 그 반대측의 면에는, 이들과 대향하도록 하는 아스전극이 형성되어진 다중모드 압전필터소자의 2조가 서로 종속접속된 상태로 하나의 표면실장형의 보지기 내에 수용된 다중모드 압전필터에 있어서, 보지기에 두개의 핏트가 인접형성되고, 상기 압전기판은, 각 아스전극이 각각 핏트의 저면측을 향한 상태로, 이들 각 핏트의 주변부에 있어서 보지기에 고정되어 있음과 아울러, 그 보지기에는 도전성 재료로 이루어진 뚜껑이 장착되고, 또한, 상기 두개의 핏트 사이의 격벽에 따라서 상단이 적어도 상기 뚜껑의 하면 근방까지 이르는 도전성 재료가 설치되고, 그 도전성 재료 및 뚜껑은 보지기에 형성된 아스접속단자에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 다중모드 압전필터.
  21. 제20항에 있어서, 상기 2조의 다중모드 압전필터소자는 각각 개별의 압전기판에 상기 전극군이 1조씩 형성된 것임을 특징으로 하는 다중모드 압전필터.
  22. 제20항에 있어서, 상기 2조의 다중모드 압전필터소자는, 하나의 공통의 압전 기판에 상기 전극군이 2조 형성된 것임을 특징으로 하는 다중모드 압전필터.
  23. 제20항, 제21항 또는 제22항에 있어서, 상기 두개의 핏트 사이의 격벽에 따르는 도전성 재료가, 각 핏트의 내측면을 피복하는 도전성 재료인 것을 특징으로 하는 다중모드 압접필터.
  24. 제20항, 제21항 또는 제22항에 있어서, 상기 두개의 핏트 사이의 격벽에 따르는 도전성 재료가, 각 핏트 사이의 격벽 내에 삽입된 판형상의 도전성 재료인 것을 특징으로 하는 다중모드 압전필터.
  25. 제20항, 제21항 또는 제22항에 있어서, 상기 두개의 핏트 사이의 격벽에 따르는 도전성 재료가, 각 핏트 사이의 격벽에 형성된 복수의 슬루호올 내의 각각에 묻혀 들어 사이 복수의 도전성 재료인 것을 특징으로 하는 다중모드 압전필터.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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JP95-192142 1995-07-27
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Families Citing this family (31)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE19649332C1 (de) * 1996-11-28 1998-01-22 Tele Quarz Gmbh Resonator mit Kristall
JPH10215143A (ja) * 1997-01-31 1998-08-11 Nec Corp 弾性表面波装置
SE9800189L (sv) * 1998-01-23 1999-07-24 Sense Ab Q Anordning vid en piezoelektrisk kristalloscillator
US6150703A (en) * 1998-06-29 2000-11-21 Trw Inc. Lateral mode suppression in semiconductor bulk acoustic resonator (SBAR) devices using tapered electrodes, and electrodes edge damping materials
GB2352101B (en) * 1999-07-13 2003-02-26 Peter Kenneth Wall Balanced monolithic resonators
JP2001077664A (ja) * 1999-09-06 2001-03-23 Ngk Spark Plug Co Ltd エネルギー閉じ込め型圧電フィルタ
EP1170862B1 (en) * 2000-06-23 2012-10-10 Murata Manufacturing Co., Ltd. Piezoelectric resonator and piezoelectric filter using the same
EP1202455A3 (en) * 2000-10-31 2004-09-15 Agilent Technologies, Inc. (a Delaware corporation) A packaging methodology for duplexers using fbars
JP3838024B2 (ja) * 2000-11-27 2006-10-25 株式会社村田製作所 縦結合型マルチモード圧電フィルタ
JP3682224B2 (ja) * 2000-12-19 2005-08-10 日本電波工業株式会社 4ポール・モノリシック・フィルタ
JP2002368577A (ja) * 2001-04-06 2002-12-20 Murata Mfg Co Ltd 二重モードフィルタ
US6794958B2 (en) * 2002-07-25 2004-09-21 Agilent Technologies, Inc. Method of fabricating a semiconductor device and an apparatus embodying the method
WO2010077311A1 (en) * 2008-12-17 2010-07-08 Sand9, Inc. Multi-port mechanical resonating devices and related methods
US8689426B2 (en) 2008-12-17 2014-04-08 Sand 9, Inc. Method of manufacturing a resonating structure
EP2377176B1 (en) 2008-12-17 2016-12-14 Analog Devices, Inc. Mechanical resonating structures including a temperature compensation structure
EP2394361A2 (en) * 2009-02-04 2011-12-14 Sand 9, Inc. Methods and apparatus for tuning devices having mechanical resonators
US8456250B2 (en) * 2009-02-04 2013-06-04 Sand 9, Inc. Methods and apparatus for tuning devices having resonators
US8395456B2 (en) 2009-02-04 2013-03-12 Sand 9, Inc. Variable phase amplifier circuit and method of use
US8736388B2 (en) 2009-12-23 2014-05-27 Sand 9, Inc. Oscillators having arbitrary frequencies and related systems and methods
CN101800524B (zh) * 2010-01-05 2011-12-14 浙江大学 一种非对称结构的剪切模式fbar
WO2011109382A1 (en) 2010-03-01 2011-09-09 Sand9, Inc. Microelectromechanical gyroscopes and related apparatus and methods
CN101800525A (zh) * 2010-03-05 2010-08-11 中国电子科技集团公司第二十六研究所 小型化多级级联单片压电滤波器
WO2011133682A1 (en) 2010-04-20 2011-10-27 Guiti Zolfagharkhani Microelectromechanical gyroscopes and related apparatus and methods
US9075077B2 (en) 2010-09-20 2015-07-07 Analog Devices, Inc. Resonant sensing using extensional modes of a plate
US9383208B2 (en) 2011-10-13 2016-07-05 Analog Devices, Inc. Electromechanical magnetometer and applications thereof
JP5510695B1 (ja) * 2012-09-25 2014-06-04 株式会社村田製作所 弾性波装置及びその製造方法
JP5949445B2 (ja) * 2012-10-26 2016-07-06 株式会社大真空 圧電フィルタ
CN103187946B (zh) * 2013-03-23 2015-12-09 湖南嘉业达电子有限公司 一种压电陶瓷滤波器
US10800649B2 (en) 2016-11-28 2020-10-13 Analog Devices International Unlimited Company Planar processing of suspended microelectromechanical systems (MEMS) devices
WO2019150992A1 (ja) * 2018-02-02 2019-08-08 株式会社大真空 圧電フィルタ
US10843920B2 (en) 2019-03-08 2020-11-24 Analog Devices International Unlimited Company Suspended microelectromechanical system (MEMS) devices

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5846577Y2 (ja) * 1976-05-14 1983-10-24 キンセキ株式会社 複合振動子の保持容器
JPS5743383Y2 (ko) * 1976-05-08 1982-09-24
JPS52152636A (en) * 1976-06-15 1977-12-19 Tadashi Hagiwara Rotary refuse removing device
DE2715202A1 (de) * 1977-04-05 1978-10-19 Draloric Electronic Piezoelektrisches filter und verfahren zu seiner herstellung
JPS5617710A (en) * 1979-07-17 1981-02-19 Asahi Glass Co Ltd Connection mechanism for forklift towing trailer
JPS5617710U (ko) * 1979-07-18 1981-02-16
US4365181A (en) * 1979-07-18 1982-12-21 Murata Manufacturing Co., Ltd. Piezoelectric vibrator with damping electrodes
JPS56137519U (ko) * 1980-03-18 1981-10-17
JPS6032885B2 (ja) * 1980-03-26 1985-07-31 松下電器産業株式会社 薄膜磁気ヘッド
JPS5743383A (en) * 1980-08-28 1982-03-11 Matsushita Electric Ind Co Ltd Infrared radiation heater and method of manufacturing same
GB2100950A (en) * 1981-06-23 1983-01-06 Standard Telephones Cables Ltd Crystal filter
JPS5923910A (ja) * 1982-07-30 1984-02-07 Toyo Commun Equip Co Ltd 多段接続モノリシツク・フイルタ
JPH066175A (ja) * 1992-06-19 1994-01-14 Murata Mfg Co Ltd 圧電部品
US5382929A (en) * 1992-07-31 1995-01-17 Ndk, Nihon Dempa Kogyo Company, Ltd. Monolithic crystal filter
DE69415202T2 (de) * 1993-04-15 1999-06-17 Murata Manufacturing Co Piezoelektrisches Filter
JPH07336189A (ja) * 1994-06-09 1995-12-22 Murata Mfg Co Ltd 圧電フィルタ
US5572082A (en) * 1994-11-14 1996-11-05 Sokol; Thomas J. Monolithic crystal strip filter

Also Published As

Publication number Publication date
EP0783205A4 (en) 2002-04-17
DE69637883D1 (de) 2009-05-07
CN1404222A (zh) 2003-03-19
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CN1080953C (zh) 2002-03-13
EP0783205B1 (en) 2009-03-25
US5939956A (en) 1999-08-17
TW438155U (en) 2001-05-28
CN1240184C (zh) 2006-02-01
EP0783205A1 (en) 1997-07-09
CN1164940A (zh) 1997-11-12
KR100294103B1 (ko) 2001-09-17

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