JPH07336189A - 圧電フィルタ - Google Patents

圧電フィルタ

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Publication number
JPH07336189A
JPH07336189A JP6127530A JP12753094A JPH07336189A JP H07336189 A JPH07336189 A JP H07336189A JP 6127530 A JP6127530 A JP 6127530A JP 12753094 A JP12753094 A JP 12753094A JP H07336189 A JPH07336189 A JP H07336189A
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JP
Japan
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piezoelectric substrate
vibrating
electrode
piezoelectric
vibration
Prior art date
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Pending
Application number
JP6127530A
Other languages
English (en)
Inventor
Masao Gamo
昌夫 蒲生
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Priority to US08/464,936 priority patent/US5670919A/en
Publication of JPH07336189A publication Critical patent/JPH07336189A/ja
Pending legal-status Critical Current

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    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/46Filters
    • H03H9/54Filters comprising resonators of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/56Monolithic crystal filters

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Acoustics & Sound (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】小形化の妨げになることなく、スプリアス減衰
量を向上させることができる圧電フィルタの提供。 【構成】平面視、矩形状の圧電基板2に複数の振動素子
部3A,3Bを並列配置するとともに、振動素子部3
A,3Bそれぞれが、圧電基板2上において対向配置さ
れた一対の振動電極4,4’を備えており、振動電極
4,4’の対向方向を、圧電基板2の端面に対して、角
度θ(0°<θ≦45°)で傾斜させている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、複数の振動素子部を備
えた圧電フィルタに関する。
【0002】
【従来の技術】従来から、圧電フィルタとして、図4
(a),(b)に示すものがある。図4(a)はこの圧
電フィルタの平面図であり、図4(b)は裏面図であ
る。
【0003】この圧電フィルタ50は平面視矩形状の圧
電基板51を備えており、この圧電基板51の長手方向
両端には振動素子部52A,52Bを備えている。振動
素子部52A,52Bそれぞれは、圧電基板51の表面
51a上に配設された一対の振動電極53,53と、圧
電基板51の裏面51bに配置された対向電極54とを
備えている。振動電極53,53どうしは圧電基板51
の長手方向と直交する方向に沿って対向配置されてお
り、対向電極54は、振動電極53に対して圧電基板5
1を挟んで対向配置されている。
【0004】なお、符号55は、圧電基板51の表面5
1a上の長手方向中央部に配設された容量電極であり、
56は圧電基板51の裏面51b上の長手方向中央部
に、容量電極55と対向して配設されたグランド電極で
あり、57は圧電基板51の表面端部に設けられた入力
電極であり、58は圧電基板の表面端部に設けられた出
力電極である。そして、容量電極55は両振動素子部5
2A,52Bの振動電極53に接続されており、グラン
ド電極56は両振動素子部52A,52Bの対向電極5
4に接続されており、入力電極57は一方の振動素子部
52Aの振動電極53に接続されており、出力電極58
は他方の振動素子部52Bの振動電極53に接続されて
いる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このように
構成された圧電フィルタには、次のような問題があっ
た。すなわち、上記従来の圧電フィルタの構成では、振
動素子部52A,52Bの振動が、振動電極53,53
の対向方向、もしくは、振動電極53,53の対向方向
と直交する方向(両方向とも、図中、波線で表示)に伝
播するようになっているにもかかわらず、振動素子部5
2A,52Bどうしは、振動素子部52A,52Bを構
成する振動電極53,53の対向方向と直交する方向に
沿って対向配置されている。そのため、各振動素子部5
2A,52B間で振動の干渉が生じてしまい、このよう
な振動の干渉により、スプリアス減衰量が減少するとい
う問題があった。
【0006】このような振動の干渉を防止するには、各
振動素子部52A,52Bの振動伝播方向をずらせばよ
く、そのためには、各振動素子部52A,52B自体
を、圧電基板51の端面に沿って互いに位置をずらすこ
とが考えられるが、そのように構成するためには、圧電
基板51を大きくしなければならず、それでは、圧電フ
ィルタの小形化の妨げになるため、好ましい対策とは言
い難かった。
【0007】したがって、本発明においては、小形化の
妨げになることなく、振動の干渉を防止して、スプリア
ス減衰量を向上させることのできる圧電フィルタを提供
することを目的としている。
【0008】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明においては、平面視、矩形状の圧電基
板に複数の振動素子部を並列配置するとともに、前記振
動素子部それぞれが、圧電基板上において対向配置され
た一対の振動電極を備えた圧電フィルタにおいて、前記
振動電極の対向方向を、圧電基板の端面に対して、角度
θ(0°<θ≦45°)で傾斜させたことを特徴として
いる。
【0009】
【作用】上記構成によれば、振動電極の対向方向を、圧
電基板の端面に対して、角度θ(0°<θ≦45°)で
傾斜させた分、各振動素子部の振動伝播方向は互いにず
れるようになる。
【0010】また、振動電極の対向方向を傾斜させるだ
けであり、振動素子部自体を、圧電基板の端面に沿って
互いにずれさせる必要がないので、振動素子部を搭載す
る圧電基板の大きさに影響を与えることはない。
【0011】
【実施例】以下、本発明を図面を参照して詳細に説明す
る。図1(a)は、本発明の第1の実施例の圧電フィル
タの平面図であり、図1(b)はその裏面図である。
【0012】この圧電フィルタ1は基本波を用いた圧電
フィルタであって、平面視矩形状の圧電基板2を備えて
いる。圧電基板2の長手方向両端には振動素子部3A,
3Bを備えている。振動素子部3A,3Bそれぞれは、
圧電基板2の表面2a上に配設された一対の振動電極
4,4と、圧電基板2の裏面2bに配置された対向電極
5とを備えている。各振動素子部3A,3Bの振動電極
4,4’は圧電基板2の長辺側端面2cに対してθ
1(0°<θ1≦45°)、θ2(0°<θ2≦45°)の
角度で傾斜した線α1,α2に沿って対向配置されてお
り、対向電極5は、振動電極4に対して圧電基板2を挟
んで対向配置されている。同様に、対向電極5’は振動
電極4’に対して圧電基板2を挟んで対向配置されてい
る。
【0013】そして、圧電基板2の表面2a上の長手方
向中央部には容量電極6が配設されており、圧電基板2
の裏面2b上の長手方向中央部には、容量電極6と対向
してグランド電極7が配設されている。また、圧電基板
2の表面2a端部には入力電極8と、出力電極9とが設
けられている。そして、容量電極6は両振動素子部3
A,3Bの振動電極4、4’に接続されており、グラン
ド電極7は両振動素子部3A,3Bの対向電極5、5’
に接続されており、入力電極8は一方の振動素子部3A
の振動電極53に接続されており、出力電極9は他方の
振動素子部3Bの振動電極4、4’に接続されている。
【0014】このように、圧電フィルタ1は、振動素子
部3A,3Bを構成する振動電極4,4’が、圧電基板
2の長辺側端面2cに対して、それぞれθ1(0°<θ1
≦45°)、θ2(0°<θ2≦45°)の角度で傾斜し
た線α1,α2に沿って対向配置されており、そのため
に、各振動素子部3A,3Bの振動伝播方向(図中波線
で表示)がずれるので、振動素子部3A,3B間で振動
の干渉が生じにくくなり、このような振動の干渉による
スプリアス減衰量の減少をくい止めることができるよう
になっている。
【0015】また、この圧電フィルタ1では、振動電極
4,4’の対向方向を傾斜させるだけであって、振動素
子部3A,3B自体は圧電基板2の短辺側端面2dに沿
って互いに位置ずれしていない。そのため、圧電基板2
の大きさは、スプリアス減衰量を向上させたにもかかわ
らず、何ら大きくなることはなく、圧電フィルタ1の小
型化要求に沿ったうえでスプリアス減衰量の向上が図る
ことができるようになっている。
【0016】次に本発明の第2の実施例を説明する。図
2(a)は、本発明の第2の実施例の圧電フィルタの平
面図であり、図2(b)はその裏面図であり、図2
(c)は正面図である。
【0017】この圧電フィルタ20は2倍波を用いた圧
電フィルタであって、平面視矩形状の圧電基板21を備
えている。圧電基板21の長手方向両端には振動素子部
22A,22Bを備えている。振動素子部22A,22
Bそれぞれは、圧電基板21の表面21a上に配設され
た一対の振動電極23,23’と、圧電基板2の裏面2
1bに配置された一対の振動電極24,24’とを備え
ている。振動電極23,23どうしは圧電基板21の長
辺側端面21cに対してθ3(0°<θ3≦45°)、θ
4(0°<θ4≦45°)の角度で傾斜した線α3,α4
沿って対向配置されている。振動電極24,24どうし
も、上述した線α3,α4に沿って対向配置されている。
そして、このように傾斜配置された振動電極23,2
3’と振動電極24,24’とが圧電基板21を挟んで
対向配置されている。
【0018】圧電基板21の裏面21b上の長手方向中
央部には、容量電極25が配設されている。また、圧電
基板21の表面20a端部には入力電極26と、出力電
極27とが設けられている。そして、容量電極25は両
振動素子部22A,22Bの振動電極24,24’に接
続されており、入力電極26は一方の振動素子部22A
の振動電極23に接続されており、出力電極27は他方
の振動素子部22Bの振動電極23に接続されている。
【0019】圧電基板21の内部には、グランドとなる
内部電極28が設けられている。内部電極28の中央部
は容量電極25と対向して配設されている。また、内部
電極28の両端は両振動素子部22A,22Bの配設位
置まで延出して振動電極23,24の間に介在してい
る。
【0020】このように、圧電フィルタ20は、振動素
子部22A,22Bを構成する振動電極23,23’、
および振動電極24,24’の対向方向が、圧電基板2
1の長辺側端面21cに対してθ3、θ4の角度で傾斜し
ており、そのために、各振動素子部22A,22Bの振
動伝播方向(図中、波線で表示)がずれるので、振動素
子部22A,22B間で振動の干渉が生じにくくなり、
このような振動の干渉によるスプリアス減衰量の減少を
くい止めることができるようになっている。
【0021】また、この圧電フィルタ20では、振動電
極23,23’(24,24’)の対向方向を傾斜させ
るだけであって、振動素子部22A,22B自体は圧電
基板21の短辺側端面21dに沿って互いに位置ずれし
ていない。そのため、圧電基板21の大きさは、スプリ
アス減衰量を向上させたにもかかわらず、何ら大きくな
ることはなく、圧電フィルタ20の小型化要求に沿った
うえでスプリアス減衰量の向上が図ることができるよう
になっている。
【0022】なお、上記した各実施例では、振動電極
(4,4’)や(23,23’)や(24,24’)の
傾斜角度θ1,θ2(θ3,θ4)を同一圧電基板2(2
1)で揃えている。しかしながら、振動素子部3A,3
B(22A,22B)どうしで、傾斜角度θ1とθ2、あ
るいはθ3とθ4とを必ずしも揃える必要はなく、傾斜角
度が不揃いであっても同様の効果を得ることができるの
はいうまでもない。
【0023】圧電基板のサイズ3×7mm、振動電極の
傾斜角度45°である本発明の圧電フィルタと、圧電基
板のサイズ3×7mm、振動電極の傾斜角度0°である
従来例品とのスプリアス減衰量を測定した結果を図3に
示している。なお、図中、実線が本発明品を示し、破線
が従来例品を示している。
【0024】この図(特に、図中A部参照)から明らか
なように、本発明の圧電フィルタは、図中、A部に示す
ように、従来例品に比べて、スプリアス減衰量が向上し
ている。
【0025】
【発明の効果】以上のように本発明によれば、振動電極
の対向方向を、圧電基板の端面に対して、角度θ(0°
<θ≦45°)で傾斜させた分、各振動素子部の振動伝
播方向がずれるようになった。そのため、振動伝播方向
がずれた分、各振動素子部間で振動の干渉が生じにくく
なって、その分、このような振動の干渉によって生じる
スプリアス減衰量の減少を防止することができるように
なった。
【0026】また、振動電極の対向方向を傾斜させるだ
けであり、振動素子部自体を、圧電基板の端面に沿って
互いにずれさせる必要がないので、圧電基板の大きさに
影響を与えることはない。したがって、このようなスプ
リアス減衰量の向上を、圧電フィルタの大型化を招くこ
となく達成できた。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施例に係る圧電フィルタの構
成を示す平面図、および裏面図である。
【図2】本発明の第2の実施例に係る圧電フィルタの構
成を示す平面図、裏面図、および正面図である。
【図3】本発明の圧電フィルタのスプリアス減衰量と従
来例の圧電フィルタのスプリアス減衰量とを比較した線
図である。
【図4】従来例の圧電フィルタの構成を示す平面図、お
よび裏面図である。
【符号の説明】
2 圧電基板 3A,3B 振動素子部 4 振動電極 21 圧電基板 22A,22B 振動素子部 23 振動電極 24 振動電極

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 平面視、矩形状の圧電基板に複数の振動
    素子部を並列配置するとともに、前記振動素子部それぞ
    れが、圧電基板上において対向配置された一対の振動電
    極を備えている圧電フィルタであって、 前記振動電極の対向方向を、圧電基板の端面に対して、
    角度θ(0°<θ≦45°)で傾斜させたことを特徴と
    する圧電フィルタ。
JP6127530A 1994-06-09 1994-06-09 圧電フィルタ Pending JPH07336189A (ja)

Priority Applications (2)

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JP6127530A JPH07336189A (ja) 1994-06-09 1994-06-09 圧電フィルタ
US08/464,936 US5670919A (en) 1994-06-09 1995-06-05 Piezoelectric filter

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JP6127530A JPH07336189A (ja) 1994-06-09 1994-06-09 圧電フィルタ

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Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW438155U (en) * 1995-07-27 2001-05-28 Daishinku Corp Multi-mode piezoelectric filter
JPH1141062A (ja) * 1997-07-17 1999-02-12 Murata Mfg Co Ltd 圧電フィルタ
US6150703A (en) * 1998-06-29 2000-11-21 Trw Inc. Lateral mode suppression in semiconductor bulk acoustic resonator (SBAR) devices using tapered electrodes, and electrodes edge damping materials
JP3473538B2 (ja) * 1999-05-14 2003-12-08 株式会社村田製作所 圧電部品の周波数調整装置及び周波数調整方法
GB2352101B (en) * 1999-07-13 2003-02-26 Peter Kenneth Wall Balanced monolithic resonators
JP3682224B2 (ja) * 2000-12-19 2005-08-10 日本電波工業株式会社 4ポール・モノリシック・フィルタ
JP3729090B2 (ja) * 2001-06-06 2005-12-21 株式会社村田製作所 圧電フィルタ
CN101800525A (zh) * 2010-03-05 2010-08-11 中国电子科技集团公司第二十六研究所 小型化多级级联单片压电滤波器

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3633134A (en) * 1969-10-10 1972-01-04 Motorola Inc Crystal band pass filter circuit
DE2715202A1 (de) * 1977-04-05 1978-10-19 Draloric Electronic Piezoelektrisches filter und verfahren zu seiner herstellung
JPS55636A (en) * 1978-06-15 1980-01-07 Nec Corp Piezoelectric filter
JPS6058364B2 (ja) * 1981-07-13 1985-12-19 株式会社同和 気化バ−ナ
JPH0671188B2 (ja) * 1985-04-01 1994-09-07 株式会社村田製作所 圧電共振子
FR2596593A1 (fr) * 1986-03-25 1987-10-02 Thomson Csf Procede de suppression des echos parasites dans les lignes a retard electroacoustiques a ondes de volume, et ligne a retard mettant en oeuvre ce procede
JPH02312310A (ja) * 1989-05-27 1990-12-27 Murata Mfg Co Ltd 圧電部品及びその製造方法
JPH0426212A (ja) * 1990-05-21 1992-01-29 Murata Mfg Co Ltd 圧電共振子
US5166570A (en) * 1990-06-08 1992-11-24 Murata Manufacturing Co. Ltd. Electronic component
KR0164660B1 (ko) * 1994-02-23 1999-03-30 무라타 야스타카 압전부품

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