JP2009188484A - 圧電フィルタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】薄肉の振動部6、及びこの振動部6の周縁に沿って形成された厚肉の環状囲繞部7を有する圧電基板5と、振動部6の一方の主面上、つまり平坦側に近接して配置された3つの分割電極10−12と、振動部6の他の主面上、つまり圧電基板5の凹陥部側に、全ての分割電極10−12と対向して配置された共通電極14と、この共通電極14が存在しない他の主面上に配置された非共通電極領域(無電極領域)と、を備えている。共通電極14は、少なくとも全ての分割電極10−12をその内部に含む幅を有し、非共通電極領域(無電極領域)は、共通電極14を分割電極10−12の配列方向へ延長した幅内に位置する他の主面部分と、共通電極14を分割電極10−12の配列方向と直交する方向へ延長した幅内に位置する他の主面部分に形成する。
【選択図】図1
Description
特許文献1には、中心周波数近傍の保証減衰量を改善した三重モード圧電フィルタが開示されている。
図7は三重モード圧電フィルタの構成を示す概略図であり、同図(a)は平面図、同図(b)(c)はそれぞれQ−Q、S−Sにおける断面図、同図(d)は背面図である。一方の主表面に凹陥部56を形成した水晶基板55の他方の主面側(平坦面側)のほぼ中央に、3つの電極(以降、分割電極と称す)60、61、62をX軸方向に沿って近接配置すると共に、該電極60、61、62からそれぞれ水晶基板55の端部に向けてリード電極(引き出し電極)60a、61a、62aを延在し、水晶基板55の厚肉部に設けたパッド電極60b、61b、62bにそれぞれ接続する。そして、水晶基板55の凹陥部56側には分割電極60、61、62の全てより十分に大きな電極(以降、共通電極と称す)を配設して高周波の三重モード圧電フィルタを構成する。
水晶基板55の凹陥部側に以上のような共通電極64を形成することにより、中心周波数近傍の保証減衰量が全体的に改善されると記載されている。
しかしながら、特許文献1に開示されている従来の三重モード圧電フィルタのフィルタ特性は、図8に示すようなものであり、この図8から分かるように特許文献1に示す圧電フィルタでは、中心周波数f0より低域側に910kHz離れた周波数近傍で、十分な減衰量を得ることができない問題があった。
本発明は上記問題を解決するためになされたもので、中心周波数近傍の低域側の保証減衰量を改善した多重モード圧電フィルタを提供することにある。
図1は本発明に係る三重モード圧電フィルタの実施の形態を示す概略図であり、同図(a)は平面図、同図(b)、(c)はそれぞれQ−Q、R−Rにおける断面図、同図(d)は背面図である。
本実施形態に係る三重モード圧電フィルタ1は、薄肉の振動部6、及びこの振動部6の周縁に沿って形成された厚肉の環状囲繞部7を有する圧電基板5と、振動部6の一方の主面上、つまり平坦側に近接して配置された3つの電極10、11、12(以降、「分割電極」と称す)と、振動部6の他の主面上、つまり圧電基板5の凹陥部側に、全ての分割電極10、11、12と対向して配置された電極14(以降、「共通電極」と称す)と、この共通電極14が存在しない他の主面上に配置された非共通電極領域(無電極領域)と、を備えている。
共通電極14は、少なくとも全ての分割電極10、11、12をその内部に含む幅を有し、非共通電極領域(無電極領域)は、共通電極14を分割電極10、11、12の配列方向へ延長した幅内に位置する他の主面部分と、共通電極14を分割電極10、11、12の配列方向と直交する方向へ延長した幅内に位置する前記他の主面部分に形成する。
ATカット水晶基板をウエットエッチングする場合、結晶の異方性のため、各結晶軸のエッチング速度が異なり、図1(b)の断面図に示すようにP1−P2、P4−P5の面は、圧電基板5の裏面(平坦面)に対して、垂直ではなく傾斜を有している。更にP2−P3面も裏面(平坦面)に対し平行ではなく、所定の傾斜を有しているので、振動部6としてはP3−P4面の平坦部を用いるのが一般的である。また、周知のように、ATカット水晶基板の周波数fは、厚さtの逆数に比例し、比例定数をkとするとf=k/tで表される。
共通電極14から環状囲繞部の2つの隅に形成したパッド電極14b1、14b2までリード電極14a1、14a2を延在して、三重モード圧電フィルタ1を構成する。パッド電極11b、14b1及び14b2を接地し、パッド電極10b、12bの一方を入力電極とし、他方を出力電極として、パッド電極10b、12bの各々に適当なインピーダンスを接続することにより三重モード圧電フィルタとして機能する。
そして、このような本実施形態の三重モード圧電フィルタ1を30個製作し、その諸特性を測定した結果、中心周波数における挿入損失は平均で2.64dB、標準偏差σは0.38であった。
図7に示した従来の三重モード圧電フィルタを30個の製作し、その諸特性を測定した結果、中心周波数における挿入損失は平均で3.3dB、標準偏差σは0.41であった。挿入損失の平均値、標準偏差σとも本実施形態の三重モード圧電フィルタの方が優れていた。
特に、従来の三重モード圧電フィルタでは中心周波数近傍の低域側の保証減衰量が66dB程度であるのに対し、本実施形態の三重モード圧電フィルタでは、図2から明らかなように、中心周波数近傍の低域側の保証減衰量は90dB程度であり20数dB以上と大幅に改善されることがわかった。
以上の説明では、圧電基板のX軸方向に沿って3の電極を近接配置した場合を説明したが、Z’軸方向に沿って3つの電極を近接配置して三重モード圧電フィルタを構成してもよい。この場合、伝搬方向の圧電定数のためモード間の結合係数が小さくなり、フィルタの帯域幅が狭まるので、より狭帯域なフィルタ特性を実現するのに好適である。
本実施形態の二重モード圧電フィルタ2は、薄肉の振動部6、及びこの振動部6の周縁に形成した厚肉の環状囲繞部7を有する圧電基板5の振動部6の一方の主面上、つまり平坦側の主面上に近接して配置された2つの電極(分割電極)15、16と、振動部6の他の主面上、つまり圧電基板5の凹陥部側に、分割電極15、16と対向して配置された電極(共通電極)17と、この共通電極17が存在しない非共通電極領域(無電極領域)と、を備えている。共通電極17は、少なくとも全ての分割電極15、16をその内部に含む幅を有し、非共通電極領域(無電極領域)は、共通電極17を分割電極15、16の配列方向へ延長した幅内に位置する他の主面部分と、共通電極17を分割電極15、16の配列方向と直交する方向へ延長した幅内に位置する他の主面部分に形成する。
図4から明らかなように、中心周波数近傍の低域側、特にf0−910kHzの保証減衰量は85dB程度である。図9は従来の設計に基づいて製作された二重モード圧電フィルタのフィルタ特性であり、f0−910kHzの保証減衰量は70dB程度である。図4と図9に示すフィルタ特性を比較すれば、本実施形態の二重モード圧電フィルタ2の中心周波数近傍の低域側の保証減衰量が大幅に改善されていることは明らかである。
図6は、図3に示した本実施形態の二重モード圧電フィルタを2段縦続接続した圧電フィルタの構成を示す図で、電極配列と接続の状態が分かり易いように裏面からみた図である。入出力IN、OUTに適当なインピーダンスを接続することにより、圧電フィルタとして機能する。
図5及び図6に示したように多重モード圧電フィルタを縦続接続して圧電フィルタを構成するのは、急峻な減衰傾度と、高保証減衰量が要求される場合である。
図5、6では2段縦続接続した圧電フィルタの構成例を示したが、多重モード圧電フィルタの縦続接続段数は3段、4段、5段と複数段であってもよく、更に高減衰量で、急峻なフィルタが実現できる。
また、逆メサ構造の圧電基板の製造方法として、ウエットエッチングの例を説明したが、ドライエッチングを用いると異方性によるエッチング速度の違いが無く、所望に近い形状の圧電基板を得ることができる。
Claims (6)
- 薄肉の振動部、及び該振動部の周縁に形成した厚肉の環状囲繞部を有する圧電基板と、前記振動部の一方の主面上に近接して配置された複数の分割電極と、前記振動部の他の主面上に全ての前記分割電極と対向して配置された共通電極と、該共通電極が存在しない他の主面上に配置された非共通電極領域と、を備え、
前記共通電極は、少なくとも全ての前記分割電極をその内部に含む幅を有し、
前記非共通電極領域は、前記共通電極を前記分割電極の配列方向へ延長した幅内に位置する前記他の主面部分と、前記共通電極を前記分割電極の配列方向と直交する方向へ延長した幅内に位置する前記他の主面部分に形成されていることを特徴とする圧電フィルタ。 - 前記分割電極が2つの近接配置された電極からなることを特徴とする請求項1に記載の圧電フィルタ。
- 前記分割電極が3つの近接配置された電極からなることを特徴とする請求項1に記載の圧電フィルタ。
- 前記分割電極の配列方向が圧電基板のX軸に沿って配列されていることを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載の圧電フィルタ。
- 前記分割電極の配列方向が圧電基板のZ’軸に沿って配列されていることを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載の圧電フィルタ。
- 請求項1乃至5の何れかに記載の圧電フィルタを複数段縦続接続したことを特徴とする圧電フィルタ。
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