JP2014007538A - 水晶振動デバイス - Google Patents

Abstract

【課題】水晶板とパッケージの電気的接続の信頼性を向上させ、かつ安価な水晶振動デバイスを提供する。
【解決手段】水晶フィルタはベースに水晶フィルタ素子である水晶板１が気密収納され、リッドにより気密封止された構成である。水晶板１は全体として長辺と短辺を有する長方形のＡＴカット水晶振動板であり、薄肉部１ａとその外周全体に渡って形成された厚肉部１ｂを有している。水晶板の表裏面には励振電極として各々長方形の共通電極１１と分割電極１２，１３が形成されている。これら各電極１１には、引出部１１１ａと伸長部１１１ｂと接続部１１１ｃが形成され、伸長部は厚肉部と薄肉部の稜部１ｃを含んで、当該稜部１ｃに沿って角部に伸びる構成としている。
【選択図】図１

Description

本発明は、通信機器や電子機器等に用いられる水晶振動デバイスに関するものであり、特に薄肉部とその周囲に形成された厚肉部からなる構成の、いわゆる逆メサ型水晶板を用いた水晶振動デバイスに関するものである。

例えば通信機器において、周波数選択デバイスとして水晶フィルタ等の水晶振動デバイスが用いられている。このような水晶フィルタは水晶振動板の一方の主面に共通電極が形成され、他方の主面に前記共通電極に対応した一対の分割電極が形成された構成である。

水晶フィルタや水晶振動子等の水晶振動デバイスはその動作周波数が高くなると、薄肉部とその周囲に形成された厚肉部からなる構成の逆メサ型水晶板を用いることがある。このような逆メサ型水晶板においては、前記共通電極と分割電極を電気的に水晶板の外周である厚肉部に引き出す引出電極を形成した構成であり、当該水晶板をパッケージ（ベース）に収納し、当該パッケージと電気的接続をする。この場合、共通電極と分割電極各々につながる引出電極を薄肉部から厚肉部に伸長して形成する必要があるが、厚肉部と薄肉部間に形成される稜部により電極切れや導通不良を起こす、あるいは水晶板とパッケージの電気的接続不良等を起こす等により、水晶板とパッケージとの電気的接続の信頼性が低下することがあった。特に逆メサ型水晶板で用いられる周波数は１００MHｚ以上となり、その板厚も１０数μｍ以下となる。このような薄板構成の水晶板に形成される電極の厚さは一般的に極めて薄くなり、例えば５００〜１０００オングストローム程度の電極厚さとなる。このような場合、電極切れや導通不良を起こすことが多くなる。

このような問題に対応するために、特許３９１５１１７号（特許文献）においては、段差部に第１の引出電極とは別の工程で形成された第２の引出電極を形成することにより、電気的接続の信頼性を向上させる構成が発案されている。

特許３９１５１１７号

上記特許文献においては、別工程で第２の引出電極を形成する構成としているが、これは水晶振動デバイスのコスト高要因となっていた。

本発明は上記問題点を解決するためになされたもので、水晶板とパッケージの電気的接続の信頼性を向上させ、かつ安価な水晶振動デバイスを提供することを目的としている。

本発明は、上記目的を達成するためになされたもので、薄肉部と、当該薄肉部の全周または部分周に形成され、前記薄肉部より厚い厚肉部とを有する水晶板と、当該水晶板をパッケージに収納し、電気的接続を行った水晶振動デバイスであって、前記薄肉部の一方の主面に一対の励振電極を近接して配置した分割電極と、他方の主面に前記分割電極に対向して形成された共通電極を有し、前記各分割電極および共通電極から前記厚肉部に伸長した引出電極を形成するとともに、前記引出電極は全体として同一厚さであり、かつ前記厚肉部と前記薄肉部間の稜部を被覆し当該稜部に沿って形成された伸長部を有していることを特徴としている。

上記構成によれば、前記引出電極は全体として同一厚さであり、かつ厚肉部と薄肉部間の稜部を被覆し当該稜部に沿って形成された伸長部を有している構成により、一度の成膜手段にて引出電極が形成できるとともに、前記伸長部を有することにより、引出電極が前記稜部を長い寸法で被覆することができる。従って、水晶板をパッケージに収納し、両者を電気的に接続するにあたって、水晶板とパッケージの電気的接続の信頼性を向上させ、かつ安価な水晶振動デバイスを得ることができる。

なお、上記構成において、薄肉部の外形と厚肉部の外形を長方形とするとともに、薄肉部に形成される共通電極および分割電極も長方形としてもよい。そして、各長方形の電極の長辺から厚肉部に向かって伸びる引出電極を形成してもよい。このような構成においては、薄肉部と厚肉部の稜部に形成された伸長部の距離を長くとることができ、稜部による電極切れ、または導通不足の発生を抑制することができる。特に、高周波の厚みすべり振動で動作する水晶振動デバイスにおいて、電極膜厚が極めて厚くなった場合でも稜部による電極切れ、または導通不足の発生を抑制することができる。

また上記長方形の厚肉部の内側角部に面取部を形成し、前記引出電極を構成する伸長部が前記面取部を通過して形成した構成としてもよい。このような構成については、薄肉部と厚肉部の稜部による電極切れをより抑制する作用を得ることができる。

さらに上記各構成において、厚肉部と薄肉部間にはテーパ部（傾斜部）が形成された構成としてもよい。テーパ部の形成により稜部の角度を鈍化させることができ、電極切れ、導通不足を抑制することができる。

本発明によれば、水晶板とパッケージの電気的接続の信頼性を向上させ、かつ安価な水晶振動デバイスを得ることができる。

本発明による第１の実施形態を示す水晶板の平面図（表面）である。 本発明による第１の実施形態を示す水晶板の平面図（裏面）である。 図１のＡ−Ａ断面図である。 本発明による第１の実施形態を示す水晶板をベースに収納し、導電接合した状態の平面図である。 図４において、リッドによる封止を行った状態でのＢ−Ｂ断面図である。 本発明による第２の実施形態を示す水晶板の平面図（表面）である。 本発明による第３の実施形態を示す水晶板の平面図（裏面）である。 本発明による第４の実施形態を示す水晶板の斜視図である。

以下、本発明による好ましい実施の形態について図面に基づいて説明する。
本発明による第１の実施の形態を水晶振動デバイスとして表面実装型の水晶フィルタを例にとり図１乃至図５とともに説明する。

水晶フィルタはベース２に水晶フィルタ素子である水晶板１が気密収納され、リッド３により気密封止された構成である。

水晶板１は全体として長辺と短辺を有する長方形のＡＴカット水晶振動板であり、薄肉部１ａとその外周全体に渡って形成された厚肉部１ｂを有している。薄肉部１ａは全体として長方形であり、水晶板の外形とほぼ相似した形状を有している。従って、薄肉部１ａと厚肉部１ｂの境界にある稜部１ｃも全体として長方形状を有している。このように薄肉部１ａの外周に厚肉部を有する構成を逆メサ型と称しており、逆メサ型は薄肉部の構成が表裏両面から薄肉化された構成や、表裏いずれかの一方の面から薄肉化された構成があるが、本実施の形態では図３に示すように、表裏両面から薄肉化された構成としている。なお、本実施の形態では、薄肉部１ａと厚肉部１ｂ間には斜面が形成されたテーパ部１ｄを有している。このような構成により外部からの応力の緩衝効果を得るとともに、不要振動の影響を抑止する構成としている。

なお薄肉部１ａの厚さは、厚みすべり振動を用いる場合要求される周波数に依存し、例えば１２０ＭＨｚの周波数を得る場合、その厚さは約１４μｍである。厚肉部１ｂの厚さは薄肉部の３倍以上の厚さを有しており、例えば４０数μｍである。

また水晶板の裏面（図２参照）には厚肉部１ｂの内側角部の一対の対向領域に面取部１ｄが形成されている。この面取部１ｄは角部の一部を厚肉化した面取り構成であり、逆メサ型水晶板の機械的強度を向上させるとともに、後述するように電極切れおよび導通不足を抑制する効果を有する。

水晶板の表裏面には励振電極として各々長方形の共通電極１１と分割電極１２，１３が形成されている。水晶板の表面（図１参照）には共通電極１１と引出電極１１１が形成されている。本実施の形態においては、共通電極１１は薄肉部１ａのほぼ中央領域に形成され、水晶板の長辺に平行な長辺と水晶板の短辺に平行な短辺を有している。

共通電極１１には２つの引出電極１１１，１１１が接続されている。各引出電極は共通電極の各長辺の中央部分から最短距離の位置にある厚肉部１ｂ（長辺側）に向かって直交するように伸びる引出部１１１ａと、当該引出部１１１ａに続いて厚肉部と薄肉部の稜部１ｃを含んで、当該稜部１ｃに沿って角部に伸びる伸長部１１１ｂと、当該伸長部１１１ｂに続いて角部に形成された接続部１１１ｃをそれぞれ有している。各接続部１１１ｃは長方形の対角の位置に形成されている。本実施の形態においては引出部から伸長部へは約９０度屈曲した構成となっているが、この構成に限定されるものではなく曲率を有する屈曲構成としてもよい。

なお、接続部１１１ｃは図５に示すように水晶板の裏面にも形成されている。これは後述する下塗り接着剤との接合性を向上させるためのものである。また図示していないが水晶板の厚肉部の側面に金属膜を形成して、接続部１１１ｃを表面から裏面に連続した構成としてもよい。

水晶板の裏面（図２参照）には、一対の分割電極１２，１３と、各分割電極１２，１３に対応して形成された引出電極１２１，１３１が形成されている。一対の分割電極１２，１３は薄肉部１ａのほぼ中央領域であって、反対面に形成された前記共通電極１１と対向する位置に形成されている。

分割電極１２，１３はそれぞれ長方形状であり、水晶板の短辺に平行な長辺と、水晶板の長辺に平行な短辺を有しており、相互に一つの長辺が近接した位置に配されている。分割電極１２には引出電極１２１が接続されている。引出電極１２１は分割電極の長辺の中央部から最短距離の位置にある厚肉部１ｂ（水晶板の短辺側）に向かって直交するように伸びる引出部１２１ａと、当該引出部１２１ａに続いて厚肉部と薄肉部の稜部１ｃを含んで、当該稜部１ｃに沿って角部に伸びる伸長部１２１ｂと、当該伸長部１２１ｂに続いて角部に形成された接続部１２１ｃをそれぞれ有している。各接続部１２１ｃは長方形の対角の位置に形成されている。

分割電極１３には引出電極１３１が接続されている。引出電極１３１は分割電極の長辺の中央部から最短距離の位置にある厚肉部１ｂ（水晶板の短辺側）に向かって直交するように伸びる引出部１３１ａと、当該引出部１３１ａに続いて厚肉部と薄肉部の稜部１ｃを含んで、当該稜部１ｃに沿って角部に伸びる伸長部１３１ｂと、当該伸長部１３１ｂに続いて角部に形成された接続部１３１ｃをそれぞれ有している。各接続部１３１ｃは長方形の対角の位置に形成されている。水晶板に以上のような電極を構成することにより、モノリシックフィルタを構成している。

なお、励振電極（共通電極等）の中央部を中心として点対称に電極を配しているので、励振の際の駆動バランスに優れ、特性の安定に寄与している。これは後述の第２，第３の実施形態についても同様である。

上述した共通電極および分割電極およびこれら各励振電極から延出される引出電極は真空蒸着法またはスパッタリング法による金属薄膜形成手段により形成される。具体的な電極膜材料としては、水晶板に接してクロム（Ｃｒ）膜、銀（Ａｇ）膜の順に形成した多層膜構成を採用しているが、この構成に限定されるものではなく、例えばアルミニウム（Ａｌ）膜からなる単層膜構成であってもよい。

共通電極、分割電極および引出電極は同一厚さであり、１００ＭＨｚ以上の高周波数域においては電極厚さが５００〜１０００オングストローム程度と極めて薄くなる。電極厚と導通不足の関係について、検証したところ、電極材料が下地金属がクロム（Ｃｒ）、上部金属が銀（Ａｇ）の場合、電極厚さが１０００オングストローム以下になると導通不良率が高くなった。電極材料がアルミニウム（Ａｌ）単層の場合、電極厚さが１０００オングストローム以下になると導通不良率が高くなった。従って、電極厚さが１０００オングストローム以下の高周波の水晶振動デバイスの場合に特に有効である。

なお、本実施の形態においては、共通電極の外形サイズが一対の分割電極の外形サイズの合計より大きなサイズ構成とし、平面で見て共通電極内に分割電極が配された構成となっている。このような構成により、電極形成後の周波数調整作業を容易とし、周波数調整作業に基づく特性変動を抑制することができる。具体的には共通電極側にパーシャル蒸着法による質量付加周波数調整、あるいはイオンミリングによる質量減周波数調整を行うが、調整領域を大きくした構成により、安定して周波数調整作業を行うことができる。

共通電極は分割電極に対応した２電極構成であってもよい。この場合、各共通電極は最終的にアースとして共通接続される。

ベース２はその内外部に金属膜からなる配線が施されたセラミックスからなり、全体として外形が上部が開口した長辺と短辺と高さを有する箱形構成である。またベース１の四隅の側面には角が切り欠かれたキャスタレーション２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄが形成され、当該キャスタレーション内に各々側面電極（図示せず）が形成されている。これら各側面電極はその一部または全部が後述の外部接続端子（図示せず）に接続されている。

ベース２は底部２ａと底部の外周近傍から上方に伸長した堤部２ｂを有する構成であり、堤部２ｂの内側には断面凹形の収納部２ｃが形成されている。上記構成により、堤部２ｂはベース２の外周に形成され、また堤部２ｂの上面には周状に金属リング２０が形成されている。当該金属リング２０はコバール（kovar）からなり、その表面に金（Ａｕ）膜またはニッケル（Ｎｉ）膜がメッキ等の手法により形成されている。

収納部２ｃ内の底部上面には接続電極２１，２２，２３，２４が各々形成されている。各接続電極は収納部の底面であって内壁に近接または接した状態で形成されており、かつ収納部２ｃの内側の四隅に各々形成されている。これら接続電極は平面視矩形状であり、タングステン（Ｗ）のメタライズ金属層上にニッケル（Ｎｉ）、金（Ａｕ）の順で金属層がメッキ等の手法により形成することにより構成される。また各接続電極は外部接続端子２６，２７（一部図示せず）に適宜接続されている。外部接続端子は、ベースの底面（実装する基板との対向面）に設けられており、入力用外部接続端子と出力用外部接続端子と、複数のアース接続端子が形成されている。

水晶板１は接続電極２１，２２，２３，２４上に搭載され、銀からなる導電フィラーを含有したシリコーン系樹脂接合材等の導電性樹脂接合材により各接続電極引出電極の接続部とが導電接合される。具体的には、導電性樹脂接合材Ｓ１を接続電極２１，２２，２３上にディスペンサ等を用いて塗布する。この導電性樹脂接合材Ｓ１は水晶板の下面に付着する下塗り接着剤となる。そして水晶板１を各接続電極上に搭載し、上記導電性樹脂接合材Ｓ１にて導電接合する。その後、導電性樹脂接合材Ｓ２を接続電極２２上に搭載された水晶振動板の接続部に塗布する。この導電性樹脂接合材Ｓ２は水晶板１の上面に付着する上塗り接着剤となり、図５に示すように、水晶板の上面から側面を介して下塗りの導電性樹脂接合材Ｓ１に至る領域に塗布される。これにより、共通電極１１は接続電極２２と、分割電極１２は接続電極２１と、分割電極１３は接続電極２３と各々導電接合される。なお、本実施の形態においては、接続電極２１は入力用接続端子に、接続電極２２はアース接続端子２６に、接続電極２３は出力用接続端子２７に各々接続される。

なお、導電性樹脂接合材を加熱により硬化させた後、ベースの開口側に向いている共通電極に対して周波数調整を行う。周波数調整は共通電極の金属膜上に付加的に金属膜を部分的に形成するパーシャル蒸着法や共通電極の表面を一部除去するイオンエッチング法により行う。これら調整が終了するとリッドにて気密封止を行う。

リッド３は平面視矩形状で長辺と短辺を有する金属板からなり、前記収納部２ｃを被覆し、前記金属リング２０の全周と接触する領域を有する構成である。具体的にはコア材としてコバール(kovar；Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ合金)を用い、表面にニッケル層を有する構成を有している。そして不活性ガス雰囲気または真空雰囲気中でリッドをパッケージにシーム接合することにより、前記収納部内が不活性ガス雰囲気または真空雰囲気の状態で気密封止が行われる。なお、シーム接合に代えて、レーザー等のビーム接合や、金属ろうまたはガラスろう等によるろう材接合により気密封止を行ってもよい。

本発明の第２の実施の形態について図面に基づいて説明する。図６は水晶板に形成された電極構成の他の実施形態を示す図である。

水晶板４は全体として長辺と短辺を有する長方形のＡＴカット水晶振動板であり、薄肉部４ａとその外周全体に渡って形成された厚肉部４ｂを有している。薄肉部４ａは全体として長方形であり、水晶板の外形とほぼ相似した形状を有している。従って、薄肉部４ａと厚肉部４ｂの境界にある稜部４ｃも全体として長方形状を有している。

また水晶板の表裏面の引出電極が形成された厚肉部の内側の角部には面取部４ｄが形成されている。当該面取部には厚肉部の内側角部に対角で対向して形成され、このような構成によりこの面取部４ｂ１は逆メサ型水晶板の機械的強度を向上させるとともに、後述するように電極切れおよび導通不足を抑制する効果を有する。なお、面取り部は内側の角部すべてに形成した構成でもよい。このような構成によると水晶板の機械的強度をより向上させることができる。

水晶板の表裏面には励振電極として各々長方形の共通電極４１と分割電極４２，４３が形成されている。水晶板の表面には実線で表示したような共通電極４１と引出電極１１が形成されている。本実施の形態においては、共通電極１１は薄肉部のほぼ中央領域に形成され、水晶板の長辺に平行な長辺と水晶板の短辺に平行な短辺を有している。

また共通電極４１には２つの引出電極４１１，４１１が接続されている。各引出電極は共通電極の各長辺の中央部分から最短距離の位置にある厚肉部１ｂ（長辺側）に向かって伸びる引出部４１１ａと、当該引出部４１１ａに続いて厚肉部と薄肉部の稜部４ｃを含んで、当該稜部４ｃに沿って角部に伸びる伸長部４１１ｂと、当該伸長部４１１ｂに続いて角部に形成された接続部４１１ｃをそれぞれ有している。各接続部４１１ｃは長方形の対角の位置に形成されている。さらに本実施の形態においては伸長部と反対方向の稜部４ｃに沿って伸びる第２伸長部４１１ｄを有している。当該第２伸長部４１１ｄにより、さらに引出電極の電極切れまたは導通不足を抑制することができる。

水晶板の裏面には、図６において点線で表示した一対の分割電極４２，４３と、各分割電極４２，４３に対応して形成された引出電極４２１，４３１が形成されている。一対の分割電極４２，４３は薄肉部のほぼ中央領域であって、反対面に形成された前記共通電極４１と対向する位置に形成されている。

各分割電極４２，４３は各長方形状であり、水晶板の短辺に平行な長辺と、水晶板の長辺に平行な短辺を有しており、相互に一つの長辺が近接した位置に配されている。分割電極４２には引出電極４２１が接続されている。引出電極４２１は分割電極の長辺の中央部から最短距離の位置にある厚肉部４ｂ（水晶板の短辺側）に向かって伸びる引出部４２１ａと、当該引出部４２１ａに続いて厚肉部と薄肉部の稜部４ｃを含んで、当該稜部４ｃに沿って角部に伸びる伸長部４２１ｂと、当該伸長部４２１ｂに続いて角部に形成された接続部４２１ｃをそれぞれ有している。各接続部４２１ｃは長方形の対角の位置に形成されている。

さらに本実施の形態においては伸長部と反対方向に稜部４ｃに沿って伸びる第２伸長部４２１ｄを有している。当該第２伸長部４２１ｄにより、さらに引出電極の電極切れまたは導通不足を抑制することができる。

分割電極４３には引出電極４３１が接続されている。引出電極４３１は分割電極の長辺の中央部から最短距離の位置にある厚肉部４ｂ（水晶板の短辺側）に向かって伸びる引出部４３１ａと、当該引出部４３１ａに続いて厚肉部と薄肉部の稜部４ｃを含んで、当該稜部４ｃに沿って角部に伸びる伸長部４３１ｂと、当該伸長部４３１ｂに続いて角部に形成された接続部４３１ｃをそれぞれ有している。各接続部４３１ｃは長方形の対角の位置に形成されている。

さらに本実施の形態においては伸長部と反対方向に稜部４ｃに沿って伸びる第２伸長部４３１ｄを有している。当該第２伸長部４３１ｄにより、さらに引出電極の電極切れまたは導通不足を抑制することができる。水晶板に以上のような電極を構成することにより、モノリシックフィルタを構成している。

本発明の第３の実施の形態について図面に基づいて説明する。図７は電極が形成された水晶板の裏面の平面図であり、パッケージへは当該裏面側がパッケージに搭載される構成となる。

水晶板５は全体として長辺と短辺を有する長方形のＡＴカット水晶振動板であり、薄肉部５ａとその外周全体に渡って形成された厚肉部５ｂを有している。薄肉部５ａは全体として長方形であり、水晶板の外形とほぼ相似した形状を有している。従って、薄肉部５ａと厚肉部５ｂの境界にある稜部５ｃも全体として長方形状を有している。

水晶板５の裏面には対向する厚肉部の角部に切り欠き部５ｅ、５ｅが形成されている。切り欠き部５ｅは薄肉部を一部の薄肉部に伸長させた構成で、当該切り欠き部は厚肉部による側壁が近接している。当該切り欠き部に後述する分割電極の引出電極が形成されている。この切り欠き部５ｄは裏面の引出電極が形成される角部に追加的に形成してもよい。このような構成により水晶板とパッケージの接続電極とを導電接合する導電性樹脂接合材を保持することができ、電気的接続の信頼性を向上させることができる。

水晶板５の表面には厚肉部５ｂの内側角部の一対の対向領域に面取部５ｄ、５ｄ（点線で図示）が形成されている。当該面取部には後述する引出電極が形成され、このような構成によりこの面取部５ｄは逆メサ型水晶板の機械的強度を向上させるとともに、後述するように電極切れおよび導通不足を抑制する効果を有する。

水晶板の表裏面には励振電極として各々長方形の共通電極５１と分割電極５２，５３が形成されている。水晶板の表面には点線で表示したような共通電極５１と引出電極１１が形成されている。本実施の形態においては、共通電極１１は薄肉部のほぼ中央領域に形成され、水晶板の長辺に平行な長辺と水晶板の短辺に平行な短辺を有している。

また共通電極５１には２つの引出電極５１１，５１１が接続されている。各引出電極５１１は共通電極の相互に対向する角部から厚肉部５ｂの内側角部に向かって伸びる引出部５１１ａと、当該引出部５１１ａに続いて厚肉部と薄肉部の稜部５ｃを含んで、水晶板の短辺に沿って伸びる伸長部５１１ｂと、前記引出部５１１ａと伸長部５１１ｂとにつながる接続部５１１ｃをそれぞれ有している。各接続部５１１ｃは長方形の対角の位置に形成されている。

水晶板の裏面には、図６において実線で表示した一対の分割電極５２，５３と、各分割電極５２，５３に対応して形成された引出電極５２１，５３１が形成されている。一対の分割電極５２，５３は薄肉部のほぼ中央領域であって、反対面に形成された前記共通電極５１と対向する位置に形成されている。

各分割電極５２，５３は各長方形状であり、水晶板の短辺に平行な長辺と、水晶板の長辺に平行な短辺を有しており、相互に一つの長辺が近接した位置に配されている。分割電極５２には引出電極５２１が接続されている。引出電極５２１は分割電極の一つの角部から厚肉部５ｂの角部に向かって伸びる引出部５２１ａと、当該引出部５１１ａに続いて厚肉部と薄肉部の稜部５ｃを含んで、水晶板の長辺に沿って伸びる伸長部５１１ｂと、前記引出部５１１ａと伸長部５１１ｂとにつながる接続部５１１ｃをそれぞれ有している。各接続部５１１ｃは長方形の対角の位置に形成されている。水晶板に以上のような電極を構成することにより、モノリシックフィルタを構成している。

本発明の第４の実施の形態について図面に基づいて説明する。図８は水晶板の構成および水晶板に形成された電極構成の他の実施形態を示す斜視図であり、パッケージへは当該斜視図の上面側がパッケージ側に搭載される構成となる。

水晶板６は全体として長辺と短辺を有する長方形のＡＴカット水晶振動板であり、薄肉部６ａとその外周全体に渡って形成された厚肉部６ｂを有している。薄肉部６ａは全体として長方形であり、水晶板の外形とほぼ相似した形状を有している。従って、薄肉部６ａと厚肉部６ｂの境界にある稜部６ｃも全体として長方形状を有している。

水晶板の裏面（図８中の上面側）には一対の対向する厚肉部の角部の外側に切り欠き部６ｅ、６ｅが形成され、当該切り欠き部に後述の分割電極の引出電極が延長して形成されている。このような構成により水晶板をパッケージ（図示せず）に収納しパッケージの接続電極とペースト状の導電性樹脂接合材（図示せず）で接合した際、当該導電性樹脂接合材の余分を切り欠き部内に保持することができ、電気的接続の信頼性を向上させることができる。また切り欠き部が厚肉部の外側に形成されていることにより、導電性樹脂接合材が薄肉部に流入することを抑制し、導電性樹脂接合材による水晶板の励振への悪影響を無くすことができる。

水晶板の表裏面には励振電極として各々長方形の共通電極６１（図示せず）と分割電極６２，６３が形成されている。上記各実施の形態と同様に共通電極と分割電極それぞれに引出電極が形成されており、各引出電極は引出部と伸長部と接続部を有する構成となっている。以上、本実施に形態においては、水晶板とパッケージの電気的接続の信頼性を向上させ、かつ安価な水晶振動デバイスを得ることができるとともに、水晶板とパッケージを接合する接合材による水晶板の励振（駆動）への悪影響を抑制することができ、良好な特性の水晶振動デバイスを得ることができる。

なお、上記各実施の形態において、水晶フィルタ素子を例示したが、これに代えて水晶振動子に適用してもよい。また水晶板と発振回路を構成する回路素子を収納した水晶発振器に適用してもよい。

なお、本発明は、その精神や主旨または主要な特徴から逸脱することなく、他のいろいろな形で実施することができる。そのため、上述の実施例はあらゆる点で単なる例示にすぎず、限定的に解釈してはならない。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示すものであって、明細書本文には、なんら拘束されない。さらに、特許請求の範囲の均等範囲に属する変形や変更は、全て本発明の範囲内のものである。

水晶フィルタ等の水晶振動デバイスの生産に適用できる。

１、４，５，６ 水晶板
１１，４１，５１ 共通電極
１２，１３，４２，４３、５２，５３，６２，６３ 分割電極
１１１，１２１，１３１，４１１，４２１，４３１，５１１，５２１，５３１，６２１，６３１ 引出電極
２ ベース
２１，２２，２３，２４ 接続電極
３ リッド

Claims (1)

1. 薄肉部と、当該薄肉部の全周または部分周に形成され、前記薄肉部より厚い厚肉部とを有する水晶板と、当該水晶板をパッケージに収納し、電気的接続を行った水晶振動デバイスであって、
   前記薄肉部の一方の主面に一対の励振電極を近接して配置した分割電極と、他方の主面に前記分割電極に対向して形成された共通電極を有し、前記各分割電極および共通電極から前記厚肉部に伸長した引出電極を形成するとともに、前記引出電極は全体として同一厚さであり、かつ前記厚肉部と前記薄肉部間の稜部を被覆し当該稜部に沿って形成された伸長部を有していることを特徴とする水晶振動デバイス。

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