JP2004235757A - 圧電フィルタ - Google Patents
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Abstract
【課題】主振動が第1スプリアス振動及び2次モードスプリアス振動の影響を殆ど受けず、良好な保証減衰量特性を有する圧電フィルタを提供する。
【解決手段】水晶基板1の一方の主面に形成される入力電極2と出力電極3とが対向する方向におけるこれら入力電極2及び出力電極3のそれぞれの長さ寸法をXとし、これら入力電極2と出力電極3とが対向する方向に対して直交する方向におけるこれら入力電極2及び出力電極3のそれぞれの長さ寸法をYとしたとき、「X:Y」を「1:1.1〜1.1:1」の範囲に設定する。これにより、第1スプリアス振動をMCFの中心周波数に対して1MHz以上高い周波数帯にし、且つ2次モードスプリアス振動をMCFの中心周波数に対して800kHz以上高い周波数帯にする。
【選択図】 図1
【解決手段】水晶基板1の一方の主面に形成される入力電極2と出力電極3とが対向する方向におけるこれら入力電極2及び出力電極3のそれぞれの長さ寸法をXとし、これら入力電極2と出力電極3とが対向する方向に対して直交する方向におけるこれら入力電極2及び出力電極3のそれぞれの長さ寸法をYとしたとき、「X:Y」を「1:1.1〜1.1:1」の範囲に設定する。これにより、第1スプリアス振動をMCFの中心周波数に対して1MHz以上高い周波数帯にし、且つ2次モードスプリアス振動をMCFの中心周波数に対して800kHz以上高い周波数帯にする。
【選択図】 図1
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、通信機器等に用いられる水晶フィルタ(MCF:モノリシック クリスタル フィルタ)に代表される圧電フィルタに係る。特に、本発明は、不要振動であるスプリアス振動の影響を抑制し、保証減衰量特性を良好に得るための対策に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、圧電フィルタの一種として、例えば下記の特許文献1に開示されているMCFが知られている。この種のMCFは、図14に示すように、水晶基板aの一主面に入力電極b及び出力電極cが形成されると共に他主面にこれら入出力の各電極b,cに対向する共通電極(アース電極)dが形成された振動片を備えている。また、各電極b,c,dには引出電極b1,c1,d1が接続されている。尚、図14(a)は、振動片の表面側の平面図であって、水晶基板aの表面に形成された入力電極b及び出力電極cの配置状態を実線で示し、裏面に形成された共通電極dの配置状態を破線で示している。また、図14(b)は、振動片の裏面側の平面図であって、水晶基板aの裏面に形成された共通電極dの配置状態を実線で示し、表面に形成された入力電極b及び出力電極cの配置状態を破線で示している。尚、図示していないが、この振動片がパッケージ内に収容され且つ各引出電極b1,c1,d1が入出力端子やアース端子に接続された状態でパッケージが気密封止されてMCFが構成される。
【0003】
この種のMCFは、入力電極b及び共通電極dからなる第1電極対と、出力電極c及び共通電極dからなる第2電極対との間で音響結合が生じることを利用している。この音響結合を利用して、周波数の異なる複数の通信信号の中から所定の周波数の通信信号のみを取り出すようになっている。
【0004】
ところで、この種のMCFでは、フィルタ機能を発揮させるための主振動(公称周波数振動)以外に、高次の非調和オーバートーンモード、例えば第1スプリアスと呼ばれる(1,1,3)モードや(1,3,1)モードのスプリアス振動もこの電極部分に閉じ込められて、同時に励振される。この第1スプリアス振動の各次数は、それぞれ水晶基板aのY′軸(厚み)方向のオーバートーンの次数、X軸方向のオーバートーンの次数、Z′軸方向のオーバートーンの次数である。図15は、この第1スプリアス振動が主振動の近傍に存在する場合のMCFの周波数特性を示している。この第1スプリアス振動は、励振電極下にエネルギが閉じ込められることから定在波として比較的強く励振される。その結果、このスプリアス振動が、主振動に悪影響を与えたり、フィルタとしての通過帯域特性を乱したり、通過帯域外における保証減衰量特性が十分とれなくなる等の課題を生じさせてしまう可能性がある。
【0005】
この課題を解決する手段として、下記の特許文献1には、入出力の各電極の外縁部またはアース電極の外縁部に重み軽減部を設けることが開示されている。具体的には、例えば、共通電極の短辺の中央部分に、重み軽減部としての切り欠き部を形成している。この場合、切り欠き部に沿って振動にアンバランスが生じた状態になるため、非調和オーバートーンモードの振動エネルギが抑制される。これにより、第1スプリアス振動の影響をある程度まで抑制することができ、保証減衰量特性を向上することができる。また、この第1スプリアス振動は、プレートバック量(電極の厚み)を適切に設定することによってもある程度は抑制することが可能である。
【0006】
【特許文献1】
特開平10−98351号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近年、通信機器の高周波数化等に伴ってMCFの更なる高性能化が要求されており、上記スプリアス振動の影響を更に抑制すること、つまり、スプリアス振動の影響を殆ど受けず、良好な保証減衰量特性を有するMCFが求められている。
【0008】
第1スプリアス振動に対しては、上述した各種の対策によって抑制することが可能である。しかしながら、保証減衰量特性を悪化させるもう一つの大きな要因としては、2次モードのスプリアス振動が掲げられる。以下、この2次モードのスプリアス振動の発生要因の一例について説明する。
【0009】
上記図14に示すように、共通電極dに対する引出電極d1,d1の接続位置は、共通電極電極dの隅角部となっている。この場合、共通電極dから引出電極d1,d1へ向かう振動エネルギの漏れが発生しており、この振動エネルギの漏れが原因となって、図14(b)に一点鎖線の矢印で示すような水晶基板aの主面に沿う捻れ方向の振動(以下、この振動をツイスト振動と呼ぶ)が発生する。このツイスト振動は、主振動の周波数帯近傍に2次モードのスプリアス振動を生じさせる原因となる。図16は、この2次モードのスプリアス振動が主振動の近傍に存在する場合のMCFの周波数特性を示している。
【0010】
これまで、この2次モードのスプリアス振動を効果的に抑制することが可能な構成は未だ提案されていないばかりでなく、上記第1スプリアス振動及び2次モードスプリアス振動を共に抑制することを実現した構成は提案されていない。上述した如く通信機器の高周波数化に伴うMCFの更なる高性能化を実現するためには、この第1スプリアス振動及び2次モードスプリアス振動を共に抑制することは必要不可欠な状況となっている。
【0011】
より具体的には、通信機器の高周波数化を可能とするためのMCFの性能(周波数特性)として、上記第1スプリアス振動をMCFの中心周波数に対して1MHz以上高い周波数帯(中心周波数よりも1MHz以上遠い周波数帯)にし、且つ2次モードスプリアス振動をMCFの中心周波数に対して800kHz以上高い周波数帯(中心周波数よりも800kHz以上遠い周波数帯)にすることが求められている。これにより、各スプリアス振動のピーク値と主振動(中心周波数振動)のピーク値との差(図16におけるα,β)として40dB以上の大きな差をもたせることが可能となって良好な保証減衰量特性を実現することができるが、これまで、これを満たすMCFは未だ提案されていないのが現状である。
【0012】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、主振動が第1スプリアス振動及び2次モードスプリアス振動の影響を殆ど受けず、良好な保証減衰量特性を有する圧電フィルタを提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
−発明の概要−
上記の目的を達成するために、本発明は、入力電極及び出力電極の形状として縦横比を適切に設定し、第1スプリアス振動及び2次モードスプリアス振動を共に圧電フィルタの中心周波数から所定周波数だけ遠ざけるようにし、これによって良好な保証減衰量特性が確保できるようにしている。より詳しく説明すると、これまで横寸法(入力電極と出力電極とが対向する方向に沿った寸法)に対する縦寸法(入力電極と出力電極とが対向する方向に対して直交する方向に沿った寸法)の比率が大きく設定されていた入力電極及び出力電極に対し、この比率を次第に小さくしていくと、2次モードスプリアス振動は圧電フィルタの中心周波数から遠ざかっていくのに対し、第1スプリアス振動は圧電フィルタの中心周波数に近付いてくることを本発明の発明者らは見出した。そして、この比率を適切に設定することについて考察し本発明に至った。
【0014】
−解決手段−
具体的には、圧電体の一方の主面に入力電極及び出力電極がギャップを存して形成され、他方の主面に上記入力電極及び出力電極に対応するアース電極が形成されて成る振動片を備えた圧電フィルタを前提とする。この圧電フィルタに対し、入力電極と出力電極とが対向する方向におけるこれら入力電極及び出力電極のそれぞれの長さ寸法をXとし、これら入力電極と出力電極とが対向する方向に対して直交する方向におけるこれら入力電極及び出力電極のそれぞれの長さ寸法をYとしたとき、「X:Y」を「1:1.1〜1.1:1」の範囲に設定している。つまり、入力電極及び出力電極の横縦比(入力電極と出力電極とが対向する方向を横とした場合)を「1:1.1〜1.1:1」の範囲に設定している。
【0015】
この特定事項により、通信機器の高周波数化を可能とするための圧電フィルタの性能(周波数特性)として求められていた性能、つまり、第1スプリアス振動を圧電フィルタの中心周波数に対して1MHz以上高い周波数帯にし、且つ2次モードスプリアス振動を圧電フィルタの中心周波数に対して800kHz以上高い周波数帯にすることが可能になる(具体的な計測結果については後述する)。上記Xに対するYの比が「1.1」を越えてしまうと、圧電フィルタの中心周波数に対して800kHz未満の帯域で2次モードスプリアス振動が発生してしまう。一方、上記Yに対するXの比が「1.1」を越えてしまうと、圧電フィルタの中心周波数に対して1MHz未満の帯域で第1スプリアス振動が発生してしまう。つまり、「X:Y」を「1:1.1〜1.1:1」の範囲に設定することより、上記の要求を満たす周波数特性を得ることが可能となり、第1スプリアス振動及び2次モードスプリアス振動の影響を抑制できて、各スプリアス振動のピーク値と主振動(中心周波数振動)のピーク値との差として40dB以上の大きな差をもたせることが可能となり、良好な保証減衰量特性を有する圧電フィルタが得られる。
【0016】
この場合、アース電極を、入力電極の形成位置から出力電極の形成位置に亘って対応する共通電極として形成し、上記入力電極と出力電極とが対向する方向における共通電極の長さ寸法をZとし、入力電極と出力電極とが対向する方向におけるギャップの寸法をGとしたとき、「Z≒2X+G」の関係が成立するように各電極を形成することが好ましい。これにより、必要最小限の電極面積で良好な周波数特性の圧電フィルタを提供することが可能になる。
【0017】
上記各解決手段に加えて以下の構成を付加することも可能である。先ず、入力電極及び出力電極それぞれから細幅の導出電極を延出し、これら各導出電極を圧電体の同一平面上で近接させることにより、橋絡容量を形成するものである。この構成によれば、入力電極及び出力電極を外部に引き出す引出電極とは別の電極である導出電極によって橋絡容量を形成しているので、端子間の短絡事故を防止し、また所望の橋絡容量を得ることができる。
【0018】
また、入力電極に接続する引出電極及び出力電極に接続する引出電極それぞれから細幅の導出電極を延出し、これら各導出電極を圧電体の同一平面上で近接させることにより、橋絡容量を形成する構成としてもよい。このように引出電極から導出電極を延出することにより、入出力電極とアース電極(共通電極)からなる主電極で形成される振動領域から離れた位置を開始点として導出電極を形成することができる。この構成により、導出電極形成による振動特性低下を防止することができるとともに、主電極の電極形状設計を容易に行うことができる。
【0019】
更に、入力電極に接続する引出電極及び出力電極に接続する引出電極のうち少なくとも一方の引出電極から少なくとも一つの細幅の導出電極を延出し、この導出電極を他方の入力電極または出力電極に近接させることにより、橋絡容量を形成する構成としてもよい。この構成により、主電極すなわち入力電極または出力電極と導出電極との間において、比較的大きな面積で対向することになり、橋絡容量を大きく得ることができる。
【0020】
これら導出電極を形成するものにおいて、振動片に形成される入出力電極、共通電極、引出電極、導出電極等の各電極を振動片の同一厚み領域に形成するとよい。
【0021】
振動片は、厚さが均一な平板構成のものであってもよいし、中央部分に薄肉部を形成するとともに、この薄肉部の周囲に厚肉部を形成した構成であって薄肉部に入力電極、出力電極、共通電極および導出電極と橋絡容量が形成されている構成であってもよい。この場合、引出電極は薄肉部と厚肉部により形成される角部を通るが、比較的幅広に形成することにより、電極切れを防止することができる。
【0022】
これら構成によれば、橋絡容量を構成する導出電極が同一厚み平板状部分に形成されるので、角部形成による電極切断事故が防止できる。また電極切断のおそれが少ないので導出電極は極力薄くしたり細くすることができ、よって、フィルタの励振を阻害しにくくなる。
【0023】
更に、導出電極が、対向する入力電極と出力電極間を中心とする点対称構成、または上記中心を通り縦または横に延びる線(例えば矩形水晶振動板の短辺または長辺方向に延びる線)を中心線とする線対称形状に構成してもよい。
【0024】
このように対称形状に電極を配置することにより、振動片に形成される重みのバランスがとれ、重みのアンバランスに基づくスプリアス振動、例えば特願2001 −386546号で開示したような、水晶振動案の主面に沿うねじれ方向の振動、すなわちツイスト振動等の発生を抑制できる。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。以下の各実施形態では、本発明をMCFに適用した場合について説明する。
【0026】
(第1実施形態)
先ず、本発明の第1実施形態について説明する。図1は本形態に係るMCFに備えられた水晶振動片を示す図である。図1(a)は、水晶振動片の表面側の平面図であって、水晶基板(圧電体)1の表面に形成された入力電極2及び出力電極3の配置状態を実線で示している。また、図1(b)は、水晶振動片の裏面側の平面図であって、水晶基板1の裏面に形成された共通電極(アース電極)4の配置状態を実線で示している。
【0027】
この水晶振動片を構成する水晶基板1としては、ATカット水晶板が用いられており、矩形状に加工されている。この水晶基板1の一方の主面(表面)には、Z’軸方向(図中の左右方向)で所定のギャップGを存した位置にそれぞれ矩形状の入力電極2及び出力電極3が近接して形成されている。
【0028】
また、入力電極2及び出力電極3には、水晶基板1の短辺側に向かって(図中左右方向の外側に向かって)延びた後、この水晶基板1の隅角部に向かって(図中上下方向の外側に向かって)延びる引出電極2a,3aがそれぞれ接続されている。
【0029】
また、他方の主面(裏面)には、入力電極2及び出力電極3に対向する位置に矩形状の共通電極4が形成されている。この共通電極4には、その長辺側の中央位置から水晶基板1の長辺側に向かって(図中の下方に向かって)延びた後、この水晶基板1の短辺側(図1(b)の左方向に向かって)延びる引出電極4aが接続されている。詳しくは、水晶基板1としては、例えば、1.5mm(Z’軸方向寸法)×1.0mm(X軸方向寸法)のATカット矩形水晶板であって、中心周波数を約130MHzに設定したものを用いている。この寸法及び中心周波数はこれに限るものではない。
【0030】
尚、上記各電極2,3,4及び引出電極2a,3a,4aは、例えば真空蒸着法によって薄膜形成されており、その材料としては例えば銀またはアルミニウムが採用されている。
【0031】
また、このMCFは、図示していないが、例えば支持体に各々つながるリード端子を有するベースを用意し、上述した電極構成を有する水晶基板1をリード端子と接合された支持体で支持し、キャップにより気密封止されたものであってもよいし、または、外部導出電極パッドを有するパッケージに水晶基板1を搭載し、気密封止したものであってもよい。
【0032】
このような構成により、電極への信号入力を行った際、入力電極2及び共通電極4からなる第1電極対と、出力電極3及び共通電極4からなる第2電極対との間で音響結合が生じ、これによって周波数の異なる複数の通信信号の中から所定の周波数の通信信号のみを取り出すフィルタ機能が発揮されるようになっている。
【0033】
そして、本形態の特徴とするところは、上記入力電極2及び出力電極3の形状にある。
【0034】
先ず、入力電極2としては、図1に示すように、入力電極2と出力電極3とが対向する方向(図中の左右方向)における入力電極2の長さ寸法(横寸法)をXとし、入力電極2と出力電極3とが対向する方向に対して直交する方向(図中の上下方向)における入力電極2の長さ寸法をYとしたとき、「X:Y」が「1:1.1〜1.1:1」の範囲に設定されている。
【0035】
出力電極3の形状は入力電極2と同形状である。つまり、この出力電極3においても、図1に示すように、入力電極2と出力電極3とが対向する方向(図中の左右方向)における出力電極3の長さ寸法(横寸法)をXとし、入力電極2と出力電極3とが対向する方向に対して直交する方向(図中の上下方向)における出力電極3の長さ寸法をYとしたとき、「X:Y」が「1:1.1〜1.1:1」の範囲に設定されている。
【0036】
以下、この数値限定の根拠について説明する。上述した如く、通信機器の高周波数化を可能とするためのMCFの性能(周波数特性)としては、上記第1スプリアス振動をMCFの中心周波数に対して1MHz以上高い周波数帯にし、且つ2次モードスプリアス振動をMCFの中心周波数に対して800kHz以上高い周波数帯にすることが要求されている。
【0037】
図2〜6は、入力電極2と出力電極3とを互いに同形状としながらもそれぞれの縦横比を変更した場合におけるMCFの周波数特性の測定結果を示している。具体的には、図2及び図3は各電極2,3を縦長形状(X<Y)にした場合、図4は各電極2,3を正方形(X=Y)にした場合、図5及び図6は各電極2,3を横長形状(X>Y)にした場合である。具体的な比「X:Y」は以下のとおりである。
【0038】
図2はX:Y=1.0:1.2、図3はX:Y=1.0:1.1、図4はX:Y=1.0:1.0、図5はX:Y=1.1:1.0、図6はX:Y=1.2:1.0となっている。また、各周波数特性図においては、第1スプリアス振動を「I」で示し、2次モードスプリアス振動を「II」で示している。また、図2〜6に示す各周波数特性図における横軸の1目盛りは500kHzであり、縦軸の1目盛りは10dBである。これら各周波数特性について以下に検証する。
【0039】
<X:Y=1.0:1.2(図2)の場合>
第1スプリアス振動はMCFの中心周波数に対して1MHz以上高い周波数帯(約1.4MHz)であるものの、2次モードスプリアス振動はMCFの中心周波数に対して780kHz程度になっており、この2次モードスプリアス振動が、主振動に悪影響を与える可能性がある。
【0040】
<X:Y=1.0:1.1(図3)の場合>
第1スプリアス振動はMCFの中心周波数に対して1MHz以上高い周波数帯(約1.2MHz)であり、且つ2次モードスプリアス振動はMCFの中心周波数に対して800kHz以上高い周波数帯(約850kHz)になっており、各スプリアス振動が、主振動に悪影響を与えることがない。
【0041】
<X:Y=1.0:1.0(図4)の場合>
第1スプリアス振動はMCFの中心周波数に対して1MHz以上高い周波数帯(約1.2MHz)であり、且つ2次モードスプリアス振動はMCFの中心周波数に対して800kHz以上高い周波数帯(約900kHz)になっており、各スプリアス振動が、主振動に悪影響を与えることがない。
【0042】
<X:Y=1.1:1.0(図5)の場合>
第1スプリアス振動はMCFの中心周波数に対して1MHz以上高い周波数帯(約1.05MHz)であり、且つ2次モードスプリアス振動はMCFの中心周波数に対して800kHz以上高い周波数帯(約920kHz)になっており、各スプリアス振動が、主振動に悪影響を与えることがない。
【0043】
<X:Y=1.2:1.0(図6)の場合>
第1スプリアス振動と2次モードスプリアス振動とが合体し、2次モードスプリアス振動はMCFの中心周波数に対して800kHz以上高い周波数帯(約950kHz)であるものの、第1スプリアス振動はMCFの中心周波数に対して950kHz程度になっており、この第1スプリアス振動が、主振動に悪影響を与える可能性がある。
【0044】
尚、ここでは中心周波数を約130MHzに設定したMCFについての測定結果を示したが、中心周波数が異なる他のMCFについて行った測定においても同様の結果が得られた。
【0045】
以上の結果から、「X:Y」を「1:1.1〜1.1:1」の範囲に設定することより、上記の要求(第1スプリアス振動をMCFの中心周波数に対して1MHz以上高い周波数帯にし、且つ2次モードスプリアス振動をMCFの中心周波数に対して800kHz以上高い周波数帯にするといった要求)を満たす周波数特性を得ることが可能となり、第1スプリアス振動及び2次モードスプリアス振動の影響を抑制できて、各スプリアス振動のピーク値と主振動(中心周波数振動)のピーク値との差として40dB以上の大きな差をもたせることが可能となり、良好な保証減衰量特性を有するMCFが得られる。
【0046】
また、共通電極4の長さ寸法をAとし(図1(b)参照)、入力電極2と出力電極3とが対向する方向におけるギャップの寸法をGとしたとき、「Z≒2X+G」の関係が成立するように各電極2,3,4を形成すれば、必要最小限の電極面積で良好な周波数特性のMCFを提供することが可能になる。
【0047】
(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態について図7及び図8を用いて説明する。ここでは、上述した第1実施形態との相違点についてのみ説明する。図7(a)は、本形態に係る水晶振動片の表面側の平面図であって、水晶基板1の表面に形成された入力電極2及び出力電極3の配置状態を実線で示している。また、図7(b)は、本形態に係る水晶振動片の裏面側の平面図であって、水晶基板1の裏面に形成された共通電極(アース電極)4の配置状態を実線で示している。
【0048】
本形態における入力電極2及び出力電極3の図中上側辺の端部(図中左右方向の外側端部)からは導出電極51,52が形成され、この導出電極51,52は水晶基板1の短辺方向に沿って延出した後、長辺方向に沿って屈曲し、相互に近接することにより橋絡容量Cを形成している。この橋絡容量Cは導出電極51,52の近接部分間tの距離や近接対向する電極面積を変化させることによりその値を調整することができる。
【0049】
また、このように導出電極51,52を形成した場合にもスプリアス振動の抑制効果を得ることができる。つまり、電極形成後に、その電極形成材料と同等の材質の薄膜を蒸着させて周波数調整を行うパーシャル調整において、その蒸着位置が所望の位置よりも導出電極51,52の形成側(図7における上側)にずれたとしても2次モードスプリアス振動の成長を抑制することが可能である。これは、導出電極51,52が入力電極2及び出力電極3に対して重み付けとなっており、この重み付けされた側にパーシャル位置がずれてもそのずれによる重み付けの影響度合いが小さいことに起因する。この効果は、以下に示す実施形態においても言えることである。
【0050】
図8は橋絡容量を異ならせた場合の減衰量特性変化を示す図である。各導出電極51,52の近接距離tを近づけ橋絡容量を増加させると図8中AまたはBで示すように減衰帯域幅が狭くなる方向に特性が変化する。逆に各導出電極51,52の近接距離tを離し、橋絡容量を減少させると、図8中CまたはDで示すように減衰帯域幅が広くなる方向に特性が変化する。このような調整により、減衰極を創出するとともに、この減衰極を所定の位置にスイープさせることができ、いわゆるイメージ周波数における減衰量を極小化することができる。なお、減衰帯域幅の広狭は要求される仕様により決定される。
【0051】
(第3実施形態)
次に、本発明の第3実施形態について図9を用いて説明する。ここでも、上述した第1実施形態との相違点についてのみ説明する。図9は本実施形態を示す水晶振動板の一方面の平面図である。本実施形態のものは上記第2実施形態のもの比べて、導出電極の構成が異なっている。
【0052】
具体的には、入力電極2及び出力電極3それぞれから延びる引出電極2a,3aの途中から導出電極53,54が形成されている。各導出電極53,54は水晶基板1の短辺方向に沿って伸長し、端面において屈曲するとともに長辺方向に沿って伸長し相互に近接して、橋絡容量Cを形成している。
【0053】
本実施の形態では導出電極53,54が、引出電極2a,3aにおける入出力電極2,3と水晶基板1の短辺の略中間部分から導出されているが、短辺まで延びた引出電極部分を導出電極53,54を形成する開始点としてもよい。本実施形態によれば、入出力電極2,3と共通電極4とからなる主電極で形成される振動領域から離れた位置を開始点として導出電極を形成することができる。この構成により、導出電極53,54の形成による振動特性低下を防止することができるとともに、主電極の電極形状設計を容易に行うことができ、導出電極53,54の形成による信頼性低下を防止することができる。
【0054】
(第4実施形態)
次に、本発明の第4実施形態について図10、図11を用いて説明する。ここでも、上述した第1実施形態との相違点についてのみ説明する。
【0055】
図10は本実施形態を示す水晶振動板の一方面の平面図であり、図11は導出電極の構成を異ならせた実施形態を示す水晶振動板の一方面の平面図である。
【0056】
これら図に示すように、引出電極2a,3aから導出電極55,56が入出力電極2,3の対向方向に沿って延びており、入出力電極2,3との間で橋絡容量C(C1,C2)を形成している。
【0057】
より具体的には、引出電極2a及び引出電極3aにおける水晶基板1の短辺に沿って伸長する部分から各導出電極55,56がそれぞれ延長され、入力電極2と出力電極3の配列方向(図中左右方向)に沿ってそれぞれ他極である入力電極2または出力電極3まで延出している。これにより導出電極55の先端部分と出力電極3と間で橋絡容量C1を形成するとともに、導出電極56の先端部分と入力電極2と間で橋絡容量C2を形成することになり、本MCFに形成された橋絡容量CはC1とC2とを合計した値となる。なお、これら橋絡容量C1,C2はいずれか一方のみの構成としてもよい。
【0058】
また図11に示すように導出電極55,56の先端部分等に入出力電極2,3側に向けて突出する対向部55a,56a,55b,56bを形成してもよい。より具体的には、引出電極2aと引出電極3aの水晶基板1の短辺に沿って伸長する部分からそれぞれ各導出電極55,56を延長し、これら導出電極55,56を、入力電極2と出力電極3の配列方向に沿ってそれぞれ他方の入力電極2または出力電極3まで延出する。そして、各導出電極55,56の先端部分にはそれぞれ対向部55a,56aを形成しており、入力電極2,出力電極3との近接部分を形成し、橋絡容量を創出している。また導出電極55の入力電極2との対向部分に対向部55aが、導出電極56の出力電極3との対向部分に対向部56bがそれぞれ形成され、対向部55aと出力電極3とで橋絡容量C1を形成し、対向部56aと入力電極2とで橋絡容量C2を形成している。上記対向部55b,56bはそれぞれ対向部55a,56aとバランスを取るために形成しているが、形成しない構成とすることも可能である。
【0059】
本実施の形態によれば、比較的広い面積で対極の電極と橋絡容量を形成することができる。また図11に示す構成であれば、水晶基板1上において導出電極55,56を入出力電極2,3と離れた領域に形成し、対向部55a,56a,55b,56bにて各入出力電極2,3に近接させる構成であるので、導出電極55,56による振動領域への弊害を極力抑制することができる。また、対向部55b,56bを設けることにより、電極形成の重みにおいてバランスを取ることができ、上述のツイスト振動等の不要振動を抑制することができる。
【0060】
なお、本実施形態においては、全体として入出力電極間の中心に対し概ね点対称に各電極が配置されているので、電極形成における全体のバランスが取れ、この点からも上述のツイスト振動等の不要振動を抑制することができる。
【0061】
(第5実施形態)
次に、本発明の第5実施形態について図12、図13を用いて説明する。ここでも、上述した第1実施形態との相違点についてのみ説明する。
【0062】
図12は本実施形態に係る水晶振動板の一方面の平面図であり、図13は水晶振動板の断面図(図12におけるXIII−XIII線に沿った断面図)である。本実施形態では第2実施実施の形態に比べて、水晶振動板の構成並びに導出電極の構成が異なっている。
【0063】
水晶基板1は周囲に厚肉部1aが形成されたATカット水晶板からなり、周囲以外の中央部分を含む領域は薄肉部1bとなっている。薄肉部1bの一方面には入力電極2と出力電極3とが所定の間隔を持って形成され、他方面にはこれら入力電極2と出力電極3に対応する1つの共通電極4が形成されている。
【0064】
また、これら入力電極2及び出力電極3からは図中上下方向すなわち水晶基板1の短辺に沿う方向に導出電極57,57,58,58が導出されて、他方面(反対面)に形成された共通電極形成領域を外れた薄肉部において、相互に近接し各々導出電極57,58により橋絡容量C1,C2を形成している。なお、水晶振動板の薄肉領域においては表裏全体として対称構成を採用しており、例えば引出電極2a,3a,4a,4aについてもほぼ同形状になるよう配置され、不要振動(スプリアス振動)を極力抑制することができる。
【0065】
特に、水晶フィルタが超小型化を要求されるなかで、本形態のように薄肉部の周囲に厚肉部を形成した構成においても、CI値を良好に保つために、入出力電極形成領域に対して薄肉部を広く形成する必要が出てきている。このような場合、薄肉部において電極の形成されない領域を利用して、導出電極を形成し橋絡容量を形成することにより限られたスペースを有効活用することができる利点もある。
【0066】
更に、本形態のように導出電極57,57,58,58を形成した場合には、上記パーシャル調整において、その蒸着位置が所望の位置よりも導出電極57,58と入出力電極2,3とが対向する方向(図12における上下方向)の何れの方向にずれたとしても2次モードスプリアス振動の成長を抑制することが可能である。これは、上述の場合と同様に、導出電極57,57,58,58が入力電極2及び出力電極3に対して重み付けとなっており、パーシャル位置がずれてもそのずれによる重み付けの影響度合いが小さいことに起因する。
【0067】
なお、本実施形態においては各引出電極2a,3a,4a,4aが薄肉部1bと厚肉部1aにより形成される角部を通るが、比較的幅広に形成する等、電極切れ防止を考慮する必要がある。また厚肉部1aと薄肉部1bとを有する構成は図13に示す構成のみならず、断面が逆凹形構成を採用することも可能である。
【0068】
−その他の実施形態−
上記各実施形態では、圧電材料として水晶を使用した場合について説明したが、その他、ニオブ酸リチウムやタンタル酸リチウムなどを使用した圧電フィルタに対しても本発明は適用可能である。
【0069】
また、上記各実施形態では、水晶基板1の裏面側のアース電極を共通電極4として構成したが、このアース電極を入力電極2及び出力電極3に対応した分割電極として構成してもよい。
【0070】
さらに上記説明において2ポールタイプのモノリシック水晶フィルタを例示したが、3ポールあるいは4ポールの水晶フィルタに対しても同様に適用することができる。
【0071】
【発明の効果】
以上のように、本発明では、圧電フィルタに対し、入力電極及び出力電極の形状として縦横比を適切に設定し、第1スプリアス振動及び2次モードスプリアス振動を共に圧電フィルタの中心周波数から所定周波数だけ遠ざけるようにし、これによって良好な保証減衰量特性が確保できるようにしている。このため、従来から要求されていた特性、つまり、第1スプリアス振動を圧電フィルタの中心周波数に対して1MHz以上高い周波数帯にし、且つ2次モードスプリアス振動を圧電フィルタの中心周波数に対して800kHz以上高い周波数帯にするといった特性を得ることができ、良好な保証減衰量特性を有する圧電フィルタを提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施形態に係る水晶振動片を示し、(a)は表面側の平面図であり、(b)は裏面側の平面図である。
【図2】X:Y=1.0:1.2とした場合のMCFの周波数特性を示す図である。
【図3】X:Y=1.0:1.1とした場合のMCFの周波数特性を示す図である。
【図4】X:Y=1.0:1.0とした場合のMCFの周波数特性を示す図である。
【図5】X:Y=1.1:1.0とした場合のMCFの周波数特性を示す図である。
【図6】X:Y=1.2:1.0とした場合のMCFの周波数特性を示す図である。
【図7】第2実施形態に係る水晶振動片を示し、(a)は表面側の平面図であり、(b)は裏面側の平面図である。
【図8】橋絡容量を異ならせた場合の減衰量特性変化を示す図である。
【図9】第3実施形態に係る水晶振動片の一方面の平面図である。
【図10】第4実施形態に係る水晶振動片の一方面の平面図である。
【図11】第4実施形態の他の形態に係る水晶振動片の一方面の平面図である。
【図12】第5実施形態に係る水晶振動片の一方面の平面図である。
【図13】第5実施形態に係る水晶振動板の断面図である。
【図14】従来の水晶振動片を示す図1相当図である。
【図15】従来例における第1スプリアス振動の発生状態を示す周波数特性図である。
【図16】従来例における2次モードスプリアス振動の発生状態を示す周波数特性図である。
【符号の説明】
1 水晶基板(圧電体)
2 入力電極
3 出力電極
4 共通電極(アース電極)
2a,3a,4a 引出電極
51〜56 導出電極
【発明の属する技術分野】
本発明は、通信機器等に用いられる水晶フィルタ(MCF:モノリシック クリスタル フィルタ)に代表される圧電フィルタに係る。特に、本発明は、不要振動であるスプリアス振動の影響を抑制し、保証減衰量特性を良好に得るための対策に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来より、圧電フィルタの一種として、例えば下記の特許文献1に開示されているMCFが知られている。この種のMCFは、図14に示すように、水晶基板aの一主面に入力電極b及び出力電極cが形成されると共に他主面にこれら入出力の各電極b,cに対向する共通電極(アース電極)dが形成された振動片を備えている。また、各電極b,c,dには引出電極b1,c1,d1が接続されている。尚、図14(a)は、振動片の表面側の平面図であって、水晶基板aの表面に形成された入力電極b及び出力電極cの配置状態を実線で示し、裏面に形成された共通電極dの配置状態を破線で示している。また、図14(b)は、振動片の裏面側の平面図であって、水晶基板aの裏面に形成された共通電極dの配置状態を実線で示し、表面に形成された入力電極b及び出力電極cの配置状態を破線で示している。尚、図示していないが、この振動片がパッケージ内に収容され且つ各引出電極b1,c1,d1が入出力端子やアース端子に接続された状態でパッケージが気密封止されてMCFが構成される。
【0003】
この種のMCFは、入力電極b及び共通電極dからなる第1電極対と、出力電極c及び共通電極dからなる第2電極対との間で音響結合が生じることを利用している。この音響結合を利用して、周波数の異なる複数の通信信号の中から所定の周波数の通信信号のみを取り出すようになっている。
【0004】
ところで、この種のMCFでは、フィルタ機能を発揮させるための主振動(公称周波数振動)以外に、高次の非調和オーバートーンモード、例えば第1スプリアスと呼ばれる(1,1,3)モードや(1,3,1)モードのスプリアス振動もこの電極部分に閉じ込められて、同時に励振される。この第1スプリアス振動の各次数は、それぞれ水晶基板aのY′軸(厚み)方向のオーバートーンの次数、X軸方向のオーバートーンの次数、Z′軸方向のオーバートーンの次数である。図15は、この第1スプリアス振動が主振動の近傍に存在する場合のMCFの周波数特性を示している。この第1スプリアス振動は、励振電極下にエネルギが閉じ込められることから定在波として比較的強く励振される。その結果、このスプリアス振動が、主振動に悪影響を与えたり、フィルタとしての通過帯域特性を乱したり、通過帯域外における保証減衰量特性が十分とれなくなる等の課題を生じさせてしまう可能性がある。
【0005】
この課題を解決する手段として、下記の特許文献1には、入出力の各電極の外縁部またはアース電極の外縁部に重み軽減部を設けることが開示されている。具体的には、例えば、共通電極の短辺の中央部分に、重み軽減部としての切り欠き部を形成している。この場合、切り欠き部に沿って振動にアンバランスが生じた状態になるため、非調和オーバートーンモードの振動エネルギが抑制される。これにより、第1スプリアス振動の影響をある程度まで抑制することができ、保証減衰量特性を向上することができる。また、この第1スプリアス振動は、プレートバック量(電極の厚み)を適切に設定することによってもある程度は抑制することが可能である。
【0006】
【特許文献1】
特開平10−98351号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、近年、通信機器の高周波数化等に伴ってMCFの更なる高性能化が要求されており、上記スプリアス振動の影響を更に抑制すること、つまり、スプリアス振動の影響を殆ど受けず、良好な保証減衰量特性を有するMCFが求められている。
【0008】
第1スプリアス振動に対しては、上述した各種の対策によって抑制することが可能である。しかしながら、保証減衰量特性を悪化させるもう一つの大きな要因としては、2次モードのスプリアス振動が掲げられる。以下、この2次モードのスプリアス振動の発生要因の一例について説明する。
【0009】
上記図14に示すように、共通電極dに対する引出電極d1,d1の接続位置は、共通電極電極dの隅角部となっている。この場合、共通電極dから引出電極d1,d1へ向かう振動エネルギの漏れが発生しており、この振動エネルギの漏れが原因となって、図14(b)に一点鎖線の矢印で示すような水晶基板aの主面に沿う捻れ方向の振動(以下、この振動をツイスト振動と呼ぶ)が発生する。このツイスト振動は、主振動の周波数帯近傍に2次モードのスプリアス振動を生じさせる原因となる。図16は、この2次モードのスプリアス振動が主振動の近傍に存在する場合のMCFの周波数特性を示している。
【0010】
これまで、この2次モードのスプリアス振動を効果的に抑制することが可能な構成は未だ提案されていないばかりでなく、上記第1スプリアス振動及び2次モードスプリアス振動を共に抑制することを実現した構成は提案されていない。上述した如く通信機器の高周波数化に伴うMCFの更なる高性能化を実現するためには、この第1スプリアス振動及び2次モードスプリアス振動を共に抑制することは必要不可欠な状況となっている。
【0011】
より具体的には、通信機器の高周波数化を可能とするためのMCFの性能(周波数特性)として、上記第1スプリアス振動をMCFの中心周波数に対して1MHz以上高い周波数帯(中心周波数よりも1MHz以上遠い周波数帯)にし、且つ2次モードスプリアス振動をMCFの中心周波数に対して800kHz以上高い周波数帯(中心周波数よりも800kHz以上遠い周波数帯)にすることが求められている。これにより、各スプリアス振動のピーク値と主振動(中心周波数振動)のピーク値との差(図16におけるα,β)として40dB以上の大きな差をもたせることが可能となって良好な保証減衰量特性を実現することができるが、これまで、これを満たすMCFは未だ提案されていないのが現状である。
【0012】
本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、主振動が第1スプリアス振動及び2次モードスプリアス振動の影響を殆ど受けず、良好な保証減衰量特性を有する圧電フィルタを提供することにある。
【0013】
【課題を解決するための手段】
−発明の概要−
上記の目的を達成するために、本発明は、入力電極及び出力電極の形状として縦横比を適切に設定し、第1スプリアス振動及び2次モードスプリアス振動を共に圧電フィルタの中心周波数から所定周波数だけ遠ざけるようにし、これによって良好な保証減衰量特性が確保できるようにしている。より詳しく説明すると、これまで横寸法(入力電極と出力電極とが対向する方向に沿った寸法)に対する縦寸法(入力電極と出力電極とが対向する方向に対して直交する方向に沿った寸法)の比率が大きく設定されていた入力電極及び出力電極に対し、この比率を次第に小さくしていくと、2次モードスプリアス振動は圧電フィルタの中心周波数から遠ざかっていくのに対し、第1スプリアス振動は圧電フィルタの中心周波数に近付いてくることを本発明の発明者らは見出した。そして、この比率を適切に設定することについて考察し本発明に至った。
【0014】
−解決手段−
具体的には、圧電体の一方の主面に入力電極及び出力電極がギャップを存して形成され、他方の主面に上記入力電極及び出力電極に対応するアース電極が形成されて成る振動片を備えた圧電フィルタを前提とする。この圧電フィルタに対し、入力電極と出力電極とが対向する方向におけるこれら入力電極及び出力電極のそれぞれの長さ寸法をXとし、これら入力電極と出力電極とが対向する方向に対して直交する方向におけるこれら入力電極及び出力電極のそれぞれの長さ寸法をYとしたとき、「X:Y」を「1:1.1〜1.1:1」の範囲に設定している。つまり、入力電極及び出力電極の横縦比(入力電極と出力電極とが対向する方向を横とした場合)を「1:1.1〜1.1:1」の範囲に設定している。
【0015】
この特定事項により、通信機器の高周波数化を可能とするための圧電フィルタの性能(周波数特性)として求められていた性能、つまり、第1スプリアス振動を圧電フィルタの中心周波数に対して1MHz以上高い周波数帯にし、且つ2次モードスプリアス振動を圧電フィルタの中心周波数に対して800kHz以上高い周波数帯にすることが可能になる(具体的な計測結果については後述する)。上記Xに対するYの比が「1.1」を越えてしまうと、圧電フィルタの中心周波数に対して800kHz未満の帯域で2次モードスプリアス振動が発生してしまう。一方、上記Yに対するXの比が「1.1」を越えてしまうと、圧電フィルタの中心周波数に対して1MHz未満の帯域で第1スプリアス振動が発生してしまう。つまり、「X:Y」を「1:1.1〜1.1:1」の範囲に設定することより、上記の要求を満たす周波数特性を得ることが可能となり、第1スプリアス振動及び2次モードスプリアス振動の影響を抑制できて、各スプリアス振動のピーク値と主振動(中心周波数振動)のピーク値との差として40dB以上の大きな差をもたせることが可能となり、良好な保証減衰量特性を有する圧電フィルタが得られる。
【0016】
この場合、アース電極を、入力電極の形成位置から出力電極の形成位置に亘って対応する共通電極として形成し、上記入力電極と出力電極とが対向する方向における共通電極の長さ寸法をZとし、入力電極と出力電極とが対向する方向におけるギャップの寸法をGとしたとき、「Z≒2X+G」の関係が成立するように各電極を形成することが好ましい。これにより、必要最小限の電極面積で良好な周波数特性の圧電フィルタを提供することが可能になる。
【0017】
上記各解決手段に加えて以下の構成を付加することも可能である。先ず、入力電極及び出力電極それぞれから細幅の導出電極を延出し、これら各導出電極を圧電体の同一平面上で近接させることにより、橋絡容量を形成するものである。この構成によれば、入力電極及び出力電極を外部に引き出す引出電極とは別の電極である導出電極によって橋絡容量を形成しているので、端子間の短絡事故を防止し、また所望の橋絡容量を得ることができる。
【0018】
また、入力電極に接続する引出電極及び出力電極に接続する引出電極それぞれから細幅の導出電極を延出し、これら各導出電極を圧電体の同一平面上で近接させることにより、橋絡容量を形成する構成としてもよい。このように引出電極から導出電極を延出することにより、入出力電極とアース電極(共通電極)からなる主電極で形成される振動領域から離れた位置を開始点として導出電極を形成することができる。この構成により、導出電極形成による振動特性低下を防止することができるとともに、主電極の電極形状設計を容易に行うことができる。
【0019】
更に、入力電極に接続する引出電極及び出力電極に接続する引出電極のうち少なくとも一方の引出電極から少なくとも一つの細幅の導出電極を延出し、この導出電極を他方の入力電極または出力電極に近接させることにより、橋絡容量を形成する構成としてもよい。この構成により、主電極すなわち入力電極または出力電極と導出電極との間において、比較的大きな面積で対向することになり、橋絡容量を大きく得ることができる。
【0020】
これら導出電極を形成するものにおいて、振動片に形成される入出力電極、共通電極、引出電極、導出電極等の各電極を振動片の同一厚み領域に形成するとよい。
【0021】
振動片は、厚さが均一な平板構成のものであってもよいし、中央部分に薄肉部を形成するとともに、この薄肉部の周囲に厚肉部を形成した構成であって薄肉部に入力電極、出力電極、共通電極および導出電極と橋絡容量が形成されている構成であってもよい。この場合、引出電極は薄肉部と厚肉部により形成される角部を通るが、比較的幅広に形成することにより、電極切れを防止することができる。
【0022】
これら構成によれば、橋絡容量を構成する導出電極が同一厚み平板状部分に形成されるので、角部形成による電極切断事故が防止できる。また電極切断のおそれが少ないので導出電極は極力薄くしたり細くすることができ、よって、フィルタの励振を阻害しにくくなる。
【0023】
更に、導出電極が、対向する入力電極と出力電極間を中心とする点対称構成、または上記中心を通り縦または横に延びる線(例えば矩形水晶振動板の短辺または長辺方向に延びる線)を中心線とする線対称形状に構成してもよい。
【0024】
このように対称形状に電極を配置することにより、振動片に形成される重みのバランスがとれ、重みのアンバランスに基づくスプリアス振動、例えば特願2001 −386546号で開示したような、水晶振動案の主面に沿うねじれ方向の振動、すなわちツイスト振動等の発生を抑制できる。
【0025】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。以下の各実施形態では、本発明をMCFに適用した場合について説明する。
【0026】
(第1実施形態)
先ず、本発明の第1実施形態について説明する。図1は本形態に係るMCFに備えられた水晶振動片を示す図である。図1(a)は、水晶振動片の表面側の平面図であって、水晶基板(圧電体)1の表面に形成された入力電極2及び出力電極3の配置状態を実線で示している。また、図1(b)は、水晶振動片の裏面側の平面図であって、水晶基板1の裏面に形成された共通電極(アース電極)4の配置状態を実線で示している。
【0027】
この水晶振動片を構成する水晶基板1としては、ATカット水晶板が用いられており、矩形状に加工されている。この水晶基板1の一方の主面(表面)には、Z’軸方向(図中の左右方向)で所定のギャップGを存した位置にそれぞれ矩形状の入力電極2及び出力電極3が近接して形成されている。
【0028】
また、入力電極2及び出力電極3には、水晶基板1の短辺側に向かって(図中左右方向の外側に向かって)延びた後、この水晶基板1の隅角部に向かって(図中上下方向の外側に向かって)延びる引出電極2a,3aがそれぞれ接続されている。
【0029】
また、他方の主面(裏面)には、入力電極2及び出力電極3に対向する位置に矩形状の共通電極4が形成されている。この共通電極4には、その長辺側の中央位置から水晶基板1の長辺側に向かって(図中の下方に向かって)延びた後、この水晶基板1の短辺側(図1(b)の左方向に向かって)延びる引出電極4aが接続されている。詳しくは、水晶基板1としては、例えば、1.5mm(Z’軸方向寸法)×1.0mm(X軸方向寸法)のATカット矩形水晶板であって、中心周波数を約130MHzに設定したものを用いている。この寸法及び中心周波数はこれに限るものではない。
【0030】
尚、上記各電極2,3,4及び引出電極2a,3a,4aは、例えば真空蒸着法によって薄膜形成されており、その材料としては例えば銀またはアルミニウムが採用されている。
【0031】
また、このMCFは、図示していないが、例えば支持体に各々つながるリード端子を有するベースを用意し、上述した電極構成を有する水晶基板1をリード端子と接合された支持体で支持し、キャップにより気密封止されたものであってもよいし、または、外部導出電極パッドを有するパッケージに水晶基板1を搭載し、気密封止したものであってもよい。
【0032】
このような構成により、電極への信号入力を行った際、入力電極2及び共通電極4からなる第1電極対と、出力電極3及び共通電極4からなる第2電極対との間で音響結合が生じ、これによって周波数の異なる複数の通信信号の中から所定の周波数の通信信号のみを取り出すフィルタ機能が発揮されるようになっている。
【0033】
そして、本形態の特徴とするところは、上記入力電極2及び出力電極3の形状にある。
【0034】
先ず、入力電極2としては、図1に示すように、入力電極2と出力電極3とが対向する方向(図中の左右方向)における入力電極2の長さ寸法(横寸法)をXとし、入力電極2と出力電極3とが対向する方向に対して直交する方向(図中の上下方向)における入力電極2の長さ寸法をYとしたとき、「X:Y」が「1:1.1〜1.1:1」の範囲に設定されている。
【0035】
出力電極3の形状は入力電極2と同形状である。つまり、この出力電極3においても、図1に示すように、入力電極2と出力電極3とが対向する方向(図中の左右方向)における出力電極3の長さ寸法(横寸法)をXとし、入力電極2と出力電極3とが対向する方向に対して直交する方向(図中の上下方向)における出力電極3の長さ寸法をYとしたとき、「X:Y」が「1:1.1〜1.1:1」の範囲に設定されている。
【0036】
以下、この数値限定の根拠について説明する。上述した如く、通信機器の高周波数化を可能とするためのMCFの性能(周波数特性)としては、上記第1スプリアス振動をMCFの中心周波数に対して1MHz以上高い周波数帯にし、且つ2次モードスプリアス振動をMCFの中心周波数に対して800kHz以上高い周波数帯にすることが要求されている。
【0037】
図2〜6は、入力電極2と出力電極3とを互いに同形状としながらもそれぞれの縦横比を変更した場合におけるMCFの周波数特性の測定結果を示している。具体的には、図2及び図3は各電極2,3を縦長形状(X<Y)にした場合、図4は各電極2,3を正方形(X=Y)にした場合、図5及び図6は各電極2,3を横長形状(X>Y)にした場合である。具体的な比「X:Y」は以下のとおりである。
【0038】
図2はX:Y=1.0:1.2、図3はX:Y=1.0:1.1、図4はX:Y=1.0:1.0、図5はX:Y=1.1:1.0、図6はX:Y=1.2:1.0となっている。また、各周波数特性図においては、第1スプリアス振動を「I」で示し、2次モードスプリアス振動を「II」で示している。また、図2〜6に示す各周波数特性図における横軸の1目盛りは500kHzであり、縦軸の1目盛りは10dBである。これら各周波数特性について以下に検証する。
【0039】
<X:Y=1.0:1.2(図2)の場合>
第1スプリアス振動はMCFの中心周波数に対して1MHz以上高い周波数帯(約1.4MHz)であるものの、2次モードスプリアス振動はMCFの中心周波数に対して780kHz程度になっており、この2次モードスプリアス振動が、主振動に悪影響を与える可能性がある。
【0040】
<X:Y=1.0:1.1(図3)の場合>
第1スプリアス振動はMCFの中心周波数に対して1MHz以上高い周波数帯(約1.2MHz)であり、且つ2次モードスプリアス振動はMCFの中心周波数に対して800kHz以上高い周波数帯(約850kHz)になっており、各スプリアス振動が、主振動に悪影響を与えることがない。
【0041】
<X:Y=1.0:1.0(図4)の場合>
第1スプリアス振動はMCFの中心周波数に対して1MHz以上高い周波数帯(約1.2MHz)であり、且つ2次モードスプリアス振動はMCFの中心周波数に対して800kHz以上高い周波数帯(約900kHz)になっており、各スプリアス振動が、主振動に悪影響を与えることがない。
【0042】
<X:Y=1.1:1.0(図5)の場合>
第1スプリアス振動はMCFの中心周波数に対して1MHz以上高い周波数帯(約1.05MHz)であり、且つ2次モードスプリアス振動はMCFの中心周波数に対して800kHz以上高い周波数帯(約920kHz)になっており、各スプリアス振動が、主振動に悪影響を与えることがない。
【0043】
<X:Y=1.2:1.0(図6)の場合>
第1スプリアス振動と2次モードスプリアス振動とが合体し、2次モードスプリアス振動はMCFの中心周波数に対して800kHz以上高い周波数帯(約950kHz)であるものの、第1スプリアス振動はMCFの中心周波数に対して950kHz程度になっており、この第1スプリアス振動が、主振動に悪影響を与える可能性がある。
【0044】
尚、ここでは中心周波数を約130MHzに設定したMCFについての測定結果を示したが、中心周波数が異なる他のMCFについて行った測定においても同様の結果が得られた。
【0045】
以上の結果から、「X:Y」を「1:1.1〜1.1:1」の範囲に設定することより、上記の要求(第1スプリアス振動をMCFの中心周波数に対して1MHz以上高い周波数帯にし、且つ2次モードスプリアス振動をMCFの中心周波数に対して800kHz以上高い周波数帯にするといった要求)を満たす周波数特性を得ることが可能となり、第1スプリアス振動及び2次モードスプリアス振動の影響を抑制できて、各スプリアス振動のピーク値と主振動(中心周波数振動)のピーク値との差として40dB以上の大きな差をもたせることが可能となり、良好な保証減衰量特性を有するMCFが得られる。
【0046】
また、共通電極4の長さ寸法をAとし(図1(b)参照)、入力電極2と出力電極3とが対向する方向におけるギャップの寸法をGとしたとき、「Z≒2X+G」の関係が成立するように各電極2,3,4を形成すれば、必要最小限の電極面積で良好な周波数特性のMCFを提供することが可能になる。
【0047】
(第2実施形態)
次に、本発明の第2実施形態について図7及び図8を用いて説明する。ここでは、上述した第1実施形態との相違点についてのみ説明する。図7(a)は、本形態に係る水晶振動片の表面側の平面図であって、水晶基板1の表面に形成された入力電極2及び出力電極3の配置状態を実線で示している。また、図7(b)は、本形態に係る水晶振動片の裏面側の平面図であって、水晶基板1の裏面に形成された共通電極(アース電極)4の配置状態を実線で示している。
【0048】
本形態における入力電極2及び出力電極3の図中上側辺の端部(図中左右方向の外側端部)からは導出電極51,52が形成され、この導出電極51,52は水晶基板1の短辺方向に沿って延出した後、長辺方向に沿って屈曲し、相互に近接することにより橋絡容量Cを形成している。この橋絡容量Cは導出電極51,52の近接部分間tの距離や近接対向する電極面積を変化させることによりその値を調整することができる。
【0049】
また、このように導出電極51,52を形成した場合にもスプリアス振動の抑制効果を得ることができる。つまり、電極形成後に、その電極形成材料と同等の材質の薄膜を蒸着させて周波数調整を行うパーシャル調整において、その蒸着位置が所望の位置よりも導出電極51,52の形成側(図7における上側)にずれたとしても2次モードスプリアス振動の成長を抑制することが可能である。これは、導出電極51,52が入力電極2及び出力電極3に対して重み付けとなっており、この重み付けされた側にパーシャル位置がずれてもそのずれによる重み付けの影響度合いが小さいことに起因する。この効果は、以下に示す実施形態においても言えることである。
【0050】
図8は橋絡容量を異ならせた場合の減衰量特性変化を示す図である。各導出電極51,52の近接距離tを近づけ橋絡容量を増加させると図8中AまたはBで示すように減衰帯域幅が狭くなる方向に特性が変化する。逆に各導出電極51,52の近接距離tを離し、橋絡容量を減少させると、図8中CまたはDで示すように減衰帯域幅が広くなる方向に特性が変化する。このような調整により、減衰極を創出するとともに、この減衰極を所定の位置にスイープさせることができ、いわゆるイメージ周波数における減衰量を極小化することができる。なお、減衰帯域幅の広狭は要求される仕様により決定される。
【0051】
(第3実施形態)
次に、本発明の第3実施形態について図9を用いて説明する。ここでも、上述した第1実施形態との相違点についてのみ説明する。図9は本実施形態を示す水晶振動板の一方面の平面図である。本実施形態のものは上記第2実施形態のもの比べて、導出電極の構成が異なっている。
【0052】
具体的には、入力電極2及び出力電極3それぞれから延びる引出電極2a,3aの途中から導出電極53,54が形成されている。各導出電極53,54は水晶基板1の短辺方向に沿って伸長し、端面において屈曲するとともに長辺方向に沿って伸長し相互に近接して、橋絡容量Cを形成している。
【0053】
本実施の形態では導出電極53,54が、引出電極2a,3aにおける入出力電極2,3と水晶基板1の短辺の略中間部分から導出されているが、短辺まで延びた引出電極部分を導出電極53,54を形成する開始点としてもよい。本実施形態によれば、入出力電極2,3と共通電極4とからなる主電極で形成される振動領域から離れた位置を開始点として導出電極を形成することができる。この構成により、導出電極53,54の形成による振動特性低下を防止することができるとともに、主電極の電極形状設計を容易に行うことができ、導出電極53,54の形成による信頼性低下を防止することができる。
【0054】
(第4実施形態)
次に、本発明の第4実施形態について図10、図11を用いて説明する。ここでも、上述した第1実施形態との相違点についてのみ説明する。
【0055】
図10は本実施形態を示す水晶振動板の一方面の平面図であり、図11は導出電極の構成を異ならせた実施形態を示す水晶振動板の一方面の平面図である。
【0056】
これら図に示すように、引出電極2a,3aから導出電極55,56が入出力電極2,3の対向方向に沿って延びており、入出力電極2,3との間で橋絡容量C(C1,C2)を形成している。
【0057】
より具体的には、引出電極2a及び引出電極3aにおける水晶基板1の短辺に沿って伸長する部分から各導出電極55,56がそれぞれ延長され、入力電極2と出力電極3の配列方向(図中左右方向)に沿ってそれぞれ他極である入力電極2または出力電極3まで延出している。これにより導出電極55の先端部分と出力電極3と間で橋絡容量C1を形成するとともに、導出電極56の先端部分と入力電極2と間で橋絡容量C2を形成することになり、本MCFに形成された橋絡容量CはC1とC2とを合計した値となる。なお、これら橋絡容量C1,C2はいずれか一方のみの構成としてもよい。
【0058】
また図11に示すように導出電極55,56の先端部分等に入出力電極2,3側に向けて突出する対向部55a,56a,55b,56bを形成してもよい。より具体的には、引出電極2aと引出電極3aの水晶基板1の短辺に沿って伸長する部分からそれぞれ各導出電極55,56を延長し、これら導出電極55,56を、入力電極2と出力電極3の配列方向に沿ってそれぞれ他方の入力電極2または出力電極3まで延出する。そして、各導出電極55,56の先端部分にはそれぞれ対向部55a,56aを形成しており、入力電極2,出力電極3との近接部分を形成し、橋絡容量を創出している。また導出電極55の入力電極2との対向部分に対向部55aが、導出電極56の出力電極3との対向部分に対向部56bがそれぞれ形成され、対向部55aと出力電極3とで橋絡容量C1を形成し、対向部56aと入力電極2とで橋絡容量C2を形成している。上記対向部55b,56bはそれぞれ対向部55a,56aとバランスを取るために形成しているが、形成しない構成とすることも可能である。
【0059】
本実施の形態によれば、比較的広い面積で対極の電極と橋絡容量を形成することができる。また図11に示す構成であれば、水晶基板1上において導出電極55,56を入出力電極2,3と離れた領域に形成し、対向部55a,56a,55b,56bにて各入出力電極2,3に近接させる構成であるので、導出電極55,56による振動領域への弊害を極力抑制することができる。また、対向部55b,56bを設けることにより、電極形成の重みにおいてバランスを取ることができ、上述のツイスト振動等の不要振動を抑制することができる。
【0060】
なお、本実施形態においては、全体として入出力電極間の中心に対し概ね点対称に各電極が配置されているので、電極形成における全体のバランスが取れ、この点からも上述のツイスト振動等の不要振動を抑制することができる。
【0061】
(第5実施形態)
次に、本発明の第5実施形態について図12、図13を用いて説明する。ここでも、上述した第1実施形態との相違点についてのみ説明する。
【0062】
図12は本実施形態に係る水晶振動板の一方面の平面図であり、図13は水晶振動板の断面図(図12におけるXIII−XIII線に沿った断面図)である。本実施形態では第2実施実施の形態に比べて、水晶振動板の構成並びに導出電極の構成が異なっている。
【0063】
水晶基板1は周囲に厚肉部1aが形成されたATカット水晶板からなり、周囲以外の中央部分を含む領域は薄肉部1bとなっている。薄肉部1bの一方面には入力電極2と出力電極3とが所定の間隔を持って形成され、他方面にはこれら入力電極2と出力電極3に対応する1つの共通電極4が形成されている。
【0064】
また、これら入力電極2及び出力電極3からは図中上下方向すなわち水晶基板1の短辺に沿う方向に導出電極57,57,58,58が導出されて、他方面(反対面)に形成された共通電極形成領域を外れた薄肉部において、相互に近接し各々導出電極57,58により橋絡容量C1,C2を形成している。なお、水晶振動板の薄肉領域においては表裏全体として対称構成を採用しており、例えば引出電極2a,3a,4a,4aについてもほぼ同形状になるよう配置され、不要振動(スプリアス振動)を極力抑制することができる。
【0065】
特に、水晶フィルタが超小型化を要求されるなかで、本形態のように薄肉部の周囲に厚肉部を形成した構成においても、CI値を良好に保つために、入出力電極形成領域に対して薄肉部を広く形成する必要が出てきている。このような場合、薄肉部において電極の形成されない領域を利用して、導出電極を形成し橋絡容量を形成することにより限られたスペースを有効活用することができる利点もある。
【0066】
更に、本形態のように導出電極57,57,58,58を形成した場合には、上記パーシャル調整において、その蒸着位置が所望の位置よりも導出電極57,58と入出力電極2,3とが対向する方向(図12における上下方向)の何れの方向にずれたとしても2次モードスプリアス振動の成長を抑制することが可能である。これは、上述の場合と同様に、導出電極57,57,58,58が入力電極2及び出力電極3に対して重み付けとなっており、パーシャル位置がずれてもそのずれによる重み付けの影響度合いが小さいことに起因する。
【0067】
なお、本実施形態においては各引出電極2a,3a,4a,4aが薄肉部1bと厚肉部1aにより形成される角部を通るが、比較的幅広に形成する等、電極切れ防止を考慮する必要がある。また厚肉部1aと薄肉部1bとを有する構成は図13に示す構成のみならず、断面が逆凹形構成を採用することも可能である。
【0068】
−その他の実施形態−
上記各実施形態では、圧電材料として水晶を使用した場合について説明したが、その他、ニオブ酸リチウムやタンタル酸リチウムなどを使用した圧電フィルタに対しても本発明は適用可能である。
【0069】
また、上記各実施形態では、水晶基板1の裏面側のアース電極を共通電極4として構成したが、このアース電極を入力電極2及び出力電極3に対応した分割電極として構成してもよい。
【0070】
さらに上記説明において2ポールタイプのモノリシック水晶フィルタを例示したが、3ポールあるいは4ポールの水晶フィルタに対しても同様に適用することができる。
【0071】
【発明の効果】
以上のように、本発明では、圧電フィルタに対し、入力電極及び出力電極の形状として縦横比を適切に設定し、第1スプリアス振動及び2次モードスプリアス振動を共に圧電フィルタの中心周波数から所定周波数だけ遠ざけるようにし、これによって良好な保証減衰量特性が確保できるようにしている。このため、従来から要求されていた特性、つまり、第1スプリアス振動を圧電フィルタの中心周波数に対して1MHz以上高い周波数帯にし、且つ2次モードスプリアス振動を圧電フィルタの中心周波数に対して800kHz以上高い周波数帯にするといった特性を得ることができ、良好な保証減衰量特性を有する圧電フィルタを提供することが可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】第1実施形態に係る水晶振動片を示し、(a)は表面側の平面図であり、(b)は裏面側の平面図である。
【図2】X:Y=1.0:1.2とした場合のMCFの周波数特性を示す図である。
【図3】X:Y=1.0:1.1とした場合のMCFの周波数特性を示す図である。
【図4】X:Y=1.0:1.0とした場合のMCFの周波数特性を示す図である。
【図5】X:Y=1.1:1.0とした場合のMCFの周波数特性を示す図である。
【図6】X:Y=1.2:1.0とした場合のMCFの周波数特性を示す図である。
【図7】第2実施形態に係る水晶振動片を示し、(a)は表面側の平面図であり、(b)は裏面側の平面図である。
【図8】橋絡容量を異ならせた場合の減衰量特性変化を示す図である。
【図9】第3実施形態に係る水晶振動片の一方面の平面図である。
【図10】第4実施形態に係る水晶振動片の一方面の平面図である。
【図11】第4実施形態の他の形態に係る水晶振動片の一方面の平面図である。
【図12】第5実施形態に係る水晶振動片の一方面の平面図である。
【図13】第5実施形態に係る水晶振動板の断面図である。
【図14】従来の水晶振動片を示す図1相当図である。
【図15】従来例における第1スプリアス振動の発生状態を示す周波数特性図である。
【図16】従来例における2次モードスプリアス振動の発生状態を示す周波数特性図である。
【符号の説明】
1 水晶基板(圧電体)
2 入力電極
3 出力電極
4 共通電極(アース電極)
2a,3a,4a 引出電極
51〜56 導出電極
Claims (5)
- 圧電体の一方の主面に入力電極及び出力電極がギャップを存して形成され、他方の主面に上記入力電極及び出力電極に対応するアース電極が形成されて成る振動片を備えた圧電フィルタにおいて、
上記入力電極と出力電極とが対向する方向におけるこれら入力電極及び出力電極のそれぞれの長さ寸法をXとし、これら入力電極と出力電極とが対向する方向に対して直交する方向におけるこれら入力電極及び出力電極のそれぞれの長さ寸法をYとしたとき、「X:Y」が「1:1.1〜1.1:1」の範囲に設定されていることを特徴とする圧電フィルタ。 - 請求項1記載の圧電フィルタにおいて、
アース電極は、入力電極の形成位置から出力電極の形成位置に亘って対応する共通電極として形成されており、
上記入力電極と出力電極とが対向する方向における共通電極の長さ寸法をZとし、入力電極と出力電極とが対向する方向におけるギャップの寸法をGとしたとき、「Z≒2X+G」の関係が成立していることを特徴とする圧電フィルタ。 - 請求項1または2記載の圧電フィルタにおいて、
入力電極及び出力電極それぞれから細幅の導出電極を延出し、これら各導出電極を圧電体の同一平面上で近接させることにより、橋絡容量が形成されていることを特徴とする圧電フィルタ。 - 請求項1または2記載の圧電フィルタにおいて、
入力電極に接続する引出電極及び出力電極に接続する引出電極それぞれから細幅の導出電極を延出し、これら各導出電極を圧電体の同一平面上で近接させることにより、橋絡容量が形成されていることを特徴とする圧電フィルタ。 - 請求項1または2記載の圧電フィルタにおいて、
入力電極に接続する引出電極及び出力電極に接続する引出電極のうち少なくとも一方の引出電極から少なくとも一つの細幅の導出電極を延出し、この導出電極を他方の入力電極または出力電極に近接させることにより、橋絡容量が形成されていることを特徴とする圧電フィルタ。
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Cited By (3)
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JP4802184B2 (ja) * | 2005-01-28 | 2011-10-26 | 京セラ株式会社 | 圧電発振素子及びそれを用いた圧電発振部品 |
JP2014007538A (ja) * | 2012-06-25 | 2014-01-16 | Daishinku Corp | 水晶振動デバイス |
JP7428567B2 (ja) | 2020-03-26 | 2024-02-06 | 日本電波工業株式会社 | 水晶デバイス |
-
2003
- 2003-01-28 JP JP2003019268A patent/JP2004235757A/ja active Pending
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