JP3473538B2 - 圧電部品の周波数調整装置及び周波数調整方法 - Google Patents
圧電部品の周波数調整装置及び周波数調整方法Info
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-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
- H03H3/04—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks for obtaining desired frequency or temperature coefficient
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- H03H2003/0414—Resonance frequency
- H03H2003/0478—Resonance frequency in a process for mass production
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は圧電部品の周波数調
整装置及び周波数調整方法に関する。すなわち、圧電基
板の表面に形成された電極を一部削除したり、電極上に
周波数調整物質を付与したりすることにより、圧電セラ
ミック共振子、フィルタ、ディスクリミネータ、トラッ
プ等の圧電部品の周波数を調整する装置及び方法に関す
る。
整装置及び周波数調整方法に関する。すなわち、圧電基
板の表面に形成された電極を一部削除したり、電極上に
周波数調整物質を付与したりすることにより、圧電セラ
ミック共振子、フィルタ、ディスクリミネータ、トラッ
プ等の圧電部品の周波数を調整する装置及び方法に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】近年、圧電フィルタなどの圧電部品にお
いて、周波数の高精度化の要求が高まっている。従来で
は、目標周波数よりも高めの周波数となるよう圧電基板
の表裏面に電極を形成しておき、スクリーン印刷法や吹
き付け法により周波数調整インクを電極上に塗布し、そ
の質量付加により周波数を調整していた。しかしなが
ら、上記のような方法では、インクの塗布量のばらつき
が大きいため、周波数の集中度が低く、高精度化に対応
できなかった。また、スクリーン印刷法は接触式の塗布
方法であるため、対象物に荷重がかかり、圧電基板の割
れなどの問題もあった。
いて、周波数の高精度化の要求が高まっている。従来で
は、目標周波数よりも高めの周波数となるよう圧電基板
の表裏面に電極を形成しておき、スクリーン印刷法や吹
き付け法により周波数調整インクを電極上に塗布し、そ
の質量付加により周波数を調整していた。しかしなが
ら、上記のような方法では、インクの塗布量のばらつき
が大きいため、周波数の集中度が低く、高精度化に対応
できなかった。また、スクリーン印刷法は接触式の塗布
方法であるため、対象物に荷重がかかり、圧電基板の割
れなどの問題もあった。
【０００３】そこで、本発明の出願人は、帯電制御式マ
ーキング法を用いて圧電共振子の表面に周波数調整用被
膜を形成することにより、非接触式でかつ高精度な周波
数調整を行なう方法を提案した（特開平３−２８９８０
７号公報）。この方法によれば、マーキングすべきパタ
ーンをドットマトリクスに領域分割し、それぞれの領域
が持つ位置情報に比例した電圧でインク粒子を帯電さ
せ、帯電したインク粒子を静電場で偏向してマーキング
を行なう対象に到達させることにより、所定のパターン
をマーキングしている。そのため、所定量のインクを質
量のばらつきを生じさせることなく圧電共振子に塗布す
ることができ、高精度に周波数調整を行なうことができ
る。
ーキング法を用いて圧電共振子の表面に周波数調整用被
膜を形成することにより、非接触式でかつ高精度な周波
数調整を行なう方法を提案した（特開平３−２８９８０
７号公報）。この方法によれば、マーキングすべきパタ
ーンをドットマトリクスに領域分割し、それぞれの領域
が持つ位置情報に比例した電圧でインク粒子を帯電さ
せ、帯電したインク粒子を静電場で偏向してマーキング
を行なう対象に到達させることにより、所定のパターン
をマーキングしている。そのため、所定量のインクを質
量のばらつきを生じさせることなく圧電共振子に塗布す
ることができ、高精度に周波数調整を行なうことができ
る。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、圧電部品の
製造にあたっては、量産性を高めるため、多数の素子を
マザー基板の状態で製作し、その後でマザー基板をカッ
トして個々の素子としている。しかし、１つのマザー基
板内でも、さまざまな要因により、個々の素子の周波数
にばらつきが生じることがある。このような場合、単に
スクリーン印刷法などの代替方法として帯電制御式マー
キング法を使用しただけでは、マザー基板間の周波数ば
らつきを小さくすることは可能であるが、マザー基板内
の個々の素子の周波数ばらつきを小さくすることは難し
い。また、マザー基板内の個々の素子の周波数に応じて
インクの塗布量を変化させることも可能であるが、これ
では素子に対して１個ずつインクを塗布しなければなら
ないので、調整時間が長くなるという欠点があった。
製造にあたっては、量産性を高めるため、多数の素子を
マザー基板の状態で製作し、その後でマザー基板をカッ
トして個々の素子としている。しかし、１つのマザー基
板内でも、さまざまな要因により、個々の素子の周波数
にばらつきが生じることがある。このような場合、単に
スクリーン印刷法などの代替方法として帯電制御式マー
キング法を使用しただけでは、マザー基板間の周波数ば
らつきを小さくすることは可能であるが、マザー基板内
の個々の素子の周波数ばらつきを小さくすることは難し
い。また、マザー基板内の個々の素子の周波数に応じて
インクの塗布量を変化させることも可能であるが、これ
では素子に対して１個ずつインクを塗布しなければなら
ないので、調整時間が長くなるという欠点があった。
【０００５】本発明は上述の技術的問題点を解決するた
めになされたものであり、その目的とするところは、１
枚の圧電基板に複数の素子が形成されている場合や、複
数の圧電基板に素子が形成されている場合に、個々の素
子の周波数ばらつきを短時間に調整できる、量産性に優
れた圧電部品の周波数調整装置を提供することにある。
めになされたものであり、その目的とするところは、１
枚の圧電基板に複数の素子が形成されている場合や、複
数の圧電基板に素子が形成されている場合に、個々の素
子の周波数ばらつきを短時間に調整できる、量産性に優
れた圧電部品の周波数調整装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段及びその作用】請求項１に
記載の圧電部品の周波数調整装置は、表面に複数の電極
がマトリックス状に形成された圧電基板の上に配置さ
れ、前記電極を選択的に露出させる開口パターンを有す
るパターン板と、前記パターン板の上に配置され、この
パターン板の所定の開口パターンを選択的に露出させる
窓を有する遮蔽板と、前記パターン板の開口パターンお
よび前記遮蔽板の窓を介して露出する前記圧電基板の電
極の一部を除去する電極除去手段とを有する圧電部品の
周波数調整装置において、前記開口パターンは、前記遮
蔽板の窓から一度に露出可能な列単位の前記電極を構成
する各電極に対応する開口の有無の組み合わせでなるこ
とを特徴としている。
記載の圧電部品の周波数調整装置は、表面に複数の電極
がマトリックス状に形成された圧電基板の上に配置さ
れ、前記電極を選択的に露出させる開口パターンを有す
るパターン板と、前記パターン板の上に配置され、この
パターン板の所定の開口パターンを選択的に露出させる
窓を有する遮蔽板と、前記パターン板の開口パターンお
よび前記遮蔽板の窓を介して露出する前記圧電基板の電
極の一部を除去する電極除去手段とを有する圧電部品の
周波数調整装置において、前記開口パターンは、前記遮
蔽板の窓から一度に露出可能な列単位の前記電極を構成
する各電極に対応する開口の有無の組み合わせでなるこ
とを特徴としている。
【０００７】請求項１に記載の圧電部品の周波数調整装
置にあっては、圧電基板の電極をパターン板の開口パタ
ーンから選択的に露出させ、所定の開口パターンを遮蔽
板の窓から選択的に露出させることができるから、電極
を含んで構成される各素子の目標周波数からのばらつき
に応じ、周波数調整の必要な電極だけを開口パターンか
ら選択的に露出させ、露出させた電極だけを一部除去す
ることにより周波数調整を行なうことができる。
置にあっては、圧電基板の電極をパターン板の開口パタ
ーンから選択的に露出させ、所定の開口パターンを遮蔽
板の窓から選択的に露出させることができるから、電極
を含んで構成される各素子の目標周波数からのばらつき
に応じ、周波数調整の必要な電極だけを開口パターンか
ら選択的に露出させ、露出させた電極だけを一部除去す
ることにより周波数調整を行なうことができる。
【０００８】しかも、請求項１に記載の周波数調整装置
によれば、遮蔽板の窓から同時に露出する電極列を単位
として、複数の電極に一度に、効率よく周波数調整を行
なうことができる。さらに、遮蔽板の窓から露出させる
開口パターンを変更して周波数調整を繰り返すことによ
り、遮蔽板の窓から露出している複数の電極の周波数を
微調整することもでき、個々の素子の周波数調整を精度
よく行なうことができる。
によれば、遮蔽板の窓から同時に露出する電極列を単位
として、複数の電極に一度に、効率よく周波数調整を行
なうことができる。さらに、遮蔽板の窓から露出させる
開口パターンを変更して周波数調整を繰り返すことによ
り、遮蔽板の窓から露出している複数の電極の周波数を
微調整することもでき、個々の素子の周波数調整を精度
よく行なうことができる。
【０００９】請求項２に記載の圧電部品の周波数調整装
置は、表面に複数の電極がマトリックス状に形成された
圧電基板の上に配置され、前記電極を選択的に露出させ
る開口パターンを有するパターン板と、前記パターン板
の上に配置され、このパターン板の所定の開口パターン
を選択的に露出させる窓を有する遮蔽板と、前記パター
ン板の開口パターンおよび前記遮蔽板の窓を介して露出
する前記圧電基板の電極に周波数調整物質を付与する周
波数調整物質付与手段とを有する圧電部品の周波数調整
装置において、前記開口パターンは、前記遮蔽板の窓か
ら一度に露出可能な列単位の前記電極を構成する各電極
に対応する開口の有無の組み合わせでなることを特徴と
している。
置は、表面に複数の電極がマトリックス状に形成された
圧電基板の上に配置され、前記電極を選択的に露出させ
る開口パターンを有するパターン板と、前記パターン板
の上に配置され、このパターン板の所定の開口パターン
を選択的に露出させる窓を有する遮蔽板と、前記パター
ン板の開口パターンおよび前記遮蔽板の窓を介して露出
する前記圧電基板の電極に周波数調整物質を付与する周
波数調整物質付与手段とを有する圧電部品の周波数調整
装置において、前記開口パターンは、前記遮蔽板の窓か
ら一度に露出可能な列単位の前記電極を構成する各電極
に対応する開口の有無の組み合わせでなることを特徴と
している。
【００１０】請求項２に記載の圧電部品の周波数調整装
置にあっては、圧電基板の電極をパターン板の開口パタ
ーンから選択的に露出させ、所定の開口パターンを遮蔽
板の窓から選択的に露出させることができるから、電極
を含んで構成される各素子の目標周波数からのばらつき
に応じ、周波数調整の必要な電極だけを開口パターンか
ら選択的に露出させ、露出させた電極だけに周波数調整
物質を付与することにより周波数調整を行なうことがで
きる。
置にあっては、圧電基板の電極をパターン板の開口パタ
ーンから選択的に露出させ、所定の開口パターンを遮蔽
板の窓から選択的に露出させることができるから、電極
を含んで構成される各素子の目標周波数からのばらつき
に応じ、周波数調整の必要な電極だけを開口パターンか
ら選択的に露出させ、露出させた電極だけに周波数調整
物質を付与することにより周波数調整を行なうことがで
きる。
【００１１】しかも、請求項２に記載の周波数調整装置
によれば、遮蔽板の窓から同時に露出する電極列を単位
として、複数の電極に一度に、効率よく周波数調整を行
なうことができる。さらに、遮蔽板の窓から露出させる
開口パターンを変更して周波数調整を繰り返すことによ
り、遮蔽板の窓から露出している複数の電極の周波数を
微調整することもでき、個々の素子の周波数調整を精度
よく行なうことができる。
によれば、遮蔽板の窓から同時に露出する電極列を単位
として、複数の電極に一度に、効率よく周波数調整を行
なうことができる。さらに、遮蔽板の窓から露出させる
開口パターンを変更して周波数調整を繰り返すことによ
り、遮蔽板の窓から露出している複数の電極の周波数を
微調整することもでき、個々の素子の周波数調整を精度
よく行なうことができる。
【００１２】請求項３に記載の圧電部品の周波数調整装
置は、表面に電極が形成された複数の圧電基板をマトリ
ックス状に並べたものの上に配置され、前記複数の圧電
基板の電極を選択的に露出させる開口パターンを有する
パターン板と、前記パターン板の上に配置され、このパ
ターン板の所定の開口パターンを選択的に露出させる窓
を有する遮蔽板と、前記パターン板の開口パターンおよ
び前記遮蔽板の窓を介して露出する前記圧電基板の電極
の一部を除去する電極除去手段とを有する圧電部品の周
波数調整装置において、前記開口パターンは、前記遮蔽
板の窓から一度に露出可能な列単位の前記電極を構成す
る各電極に対応する開口の有無の組み合わせでなること
を特徴としている。
置は、表面に電極が形成された複数の圧電基板をマトリ
ックス状に並べたものの上に配置され、前記複数の圧電
基板の電極を選択的に露出させる開口パターンを有する
パターン板と、前記パターン板の上に配置され、このパ
ターン板の所定の開口パターンを選択的に露出させる窓
を有する遮蔽板と、前記パターン板の開口パターンおよ
び前記遮蔽板の窓を介して露出する前記圧電基板の電極
の一部を除去する電極除去手段とを有する圧電部品の周
波数調整装置において、前記開口パターンは、前記遮蔽
板の窓から一度に露出可能な列単位の前記電極を構成す
る各電極に対応する開口の有無の組み合わせでなること
を特徴としている。
【００１３】請求項３に記載の圧電部品の周波数調整装
置にあっては、マトリックス状に配置した複数の圧電基
板の電極をパターン板の開口パターンから選択的に露出
させ、所定の開口パターンを遮蔽板の窓から選択的に露
出させることができるから、電極を含んで構成される各
素子の目標周波数からのばらつきに応じ、周波数調整の
必要な電極だけを開口パターンから選択的に露出させ、
露出させた電極だけを一部除去することにより周波数調
整を行なうことができる。
置にあっては、マトリックス状に配置した複数の圧電基
板の電極をパターン板の開口パターンから選択的に露出
させ、所定の開口パターンを遮蔽板の窓から選択的に露
出させることができるから、電極を含んで構成される各
素子の目標周波数からのばらつきに応じ、周波数調整の
必要な電極だけを開口パターンから選択的に露出させ、
露出させた電極だけを一部除去することにより周波数調
整を行なうことができる。
【００１４】しかも、請求項３に記載の周波数調整装置
によれば、遮蔽板の窓から同時に露出する電極列を単位
として、複数の圧電基板に一度に、効率よく周波数調整
を行なうことができる。さらに、遮蔽板の窓から露出さ
せる開口パターンを変更して周波数調整を繰り返すこと
により、遮蔽板の窓から露出している複数の電極の周波
数を微調整することもでき、各圧電基板の素子の周波数
調整を精度よく行なうことができる。
によれば、遮蔽板の窓から同時に露出する電極列を単位
として、複数の圧電基板に一度に、効率よく周波数調整
を行なうことができる。さらに、遮蔽板の窓から露出さ
せる開口パターンを変更して周波数調整を繰り返すこと
により、遮蔽板の窓から露出している複数の電極の周波
数を微調整することもでき、各圧電基板の素子の周波数
調整を精度よく行なうことができる。
【００１５】請求項４に記載の圧電部品の周波数調整装
置は、表面に電極が形成された複数の圧電基板をマトリ
ックス状に並べたものの上に配置され、前記複数の圧電
基板の電極を選択的に露出させる開口パターンを有する
パターン板と、前記パターン板の上に配置され、このパ
ターン板の所定の開口パターンを選択的に露出させる窓
を有する遮蔽板と、前記パターン板の開口パターンおよ
び前記遮蔽板の窓を介して露出する前記圧電基板の電極
に周波数調整物質を付与する周波数調整物質付与手段と
を有する圧電部品の周波数調整装置において、前記開口
パターンは、前記遮蔽板の窓から一度に露出可能な列単
位の前記電極を構成する各電極に対応する開口の有無の
組み合わせでなることを特徴としている。
置は、表面に電極が形成された複数の圧電基板をマトリ
ックス状に並べたものの上に配置され、前記複数の圧電
基板の電極を選択的に露出させる開口パターンを有する
パターン板と、前記パターン板の上に配置され、このパ
ターン板の所定の開口パターンを選択的に露出させる窓
を有する遮蔽板と、前記パターン板の開口パターンおよ
び前記遮蔽板の窓を介して露出する前記圧電基板の電極
に周波数調整物質を付与する周波数調整物質付与手段と
を有する圧電部品の周波数調整装置において、前記開口
パターンは、前記遮蔽板の窓から一度に露出可能な列単
位の前記電極を構成する各電極に対応する開口の有無の
組み合わせでなることを特徴としている。
【００１６】請求項４に記載の圧電部品の周波数調整装
置にあっては、マトリックス状に並べた複数の圧電基板
の電極をパターン板の開口パターンから選択的に露出さ
せ、所定の開口パターンを遮蔽板の窓から選択的に露出
させることができるから、電極を含んで構成される各素
子の目標周波数からのばらつきに応じ、周波数調整の必
要な電極だけを開口パターンから選択的に露出させ、露
出させた電極だけに周波数調整物質を付与することによ
り周波数調整を行なうことができる。
置にあっては、マトリックス状に並べた複数の圧電基板
の電極をパターン板の開口パターンから選択的に露出さ
せ、所定の開口パターンを遮蔽板の窓から選択的に露出
させることができるから、電極を含んで構成される各素
子の目標周波数からのばらつきに応じ、周波数調整の必
要な電極だけを開口パターンから選択的に露出させ、露
出させた電極だけに周波数調整物質を付与することによ
り周波数調整を行なうことができる。
【００１７】しかも、請求項４に記載の周波数調整装置
によれば、遮蔽板の窓から同時に露出する電極列を単位
として、複数の圧電基板に一度に、効率よく周波数調整
を行なうことができる。さらに、遮蔽板の窓から露出さ
せる開口パターンを変更して周波数調整を繰り返すこと
により、遮蔽板の窓から露出している複数の電極の周波
数を微調整することもでき、各圧電基板の素子の周波数
調整を精度よく行なうことができる。
によれば、遮蔽板の窓から同時に露出する電極列を単位
として、複数の圧電基板に一度に、効率よく周波数調整
を行なうことができる。さらに、遮蔽板の窓から露出さ
せる開口パターンを変更して周波数調整を繰り返すこと
により、遮蔽板の窓から露出している複数の電極の周波
数を微調整することもでき、各圧電基板の素子の周波数
調整を精度よく行なうことができる。
【００１８】請求項５に記載の圧電部品の周波数調整装
置は、請求項１、２、３又は４に記載した圧電部品の周
波数調整装置において、複数枚のパターン板の開口パタ
ーンを組み合わせることにより、電極を選択的に露出さ
せるようにしたことを特徴としている。
置は、請求項１、２、３又は４に記載した圧電部品の周
波数調整装置において、複数枚のパターン板の開口パタ
ーンを組み合わせることにより、電極を選択的に露出さ
せるようにしたことを特徴としている。
【００１９】請求項５に記載の周波数調整装置にあって
は、開口パターンを設けた複数枚のパターン板の組み合
わせによって電極を選択的に露出させるようにしている
から、各パターン板に設ける開口パターン数を少なくで
きる。また、パターン板に設けるトータルの開口パター
ン数も少なくできる。よって、パターン板の構造が簡単
になると共にパターン板の駆動距離も短くでき、周波数
調整を高速化できる。
は、開口パターンを設けた複数枚のパターン板の組み合
わせによって電極を選択的に露出させるようにしている
から、各パターン板に設ける開口パターン数を少なくで
きる。また、パターン板に設けるトータルの開口パター
ン数も少なくできる。よって、パターン板の構造が簡単
になると共にパターン板の駆動距離も短くでき、周波数
調整を高速化できる。
【００２０】請求項６に記載の圧電部品の周波数調整装
置は、請求項１、２、３、４又は５に記載した圧電部品
の周波数調整装置において、前記遮蔽板の窓を開閉する
シャッターを備えていることを特徴としている。
置は、請求項１、２、３、４又は５に記載した圧電部品
の周波数調整装置において、前記遮蔽板の窓を開閉する
シャッターを備えていることを特徴としている。
【００２１】請求項６に記載の圧電部品の周波数調整装
置にあっては、遮蔽板の窓を開閉するシャッターを備え
ているから、シャッターによる窓の開閉時間によって電
極の除去量もしくは周波数調整物質の付加量を制御する
ことができ、素子の周波数を精度よく調整することがで
きる。
置にあっては、遮蔽板の窓を開閉するシャッターを備え
ているから、シャッターによる窓の開閉時間によって電
極の除去量もしくは周波数調整物質の付加量を制御する
ことができ、素子の周波数を精度よく調整することがで
きる。
【００２２】請求項７に記載の圧電部品の周波数調整装
置は、請求項１、２、３、４、５又は６に記載の圧電部
品の周波数調整装置における前記パターン板を直線駆動
させるようにしたことを特徴としている。
置は、請求項１、２、３、４、５又は６に記載の圧電部
品の周波数調整装置における前記パターン板を直線駆動
させるようにしたことを特徴としている。
【００２３】請求項７に記載の圧電部品の周波数調整装
置にあっては、パターン板を直線駆動するようにしてい
るから、パターン板を回転駆動するものと比較すると、
パターン板における無駄な領域（開口パターン間の無駄
領域）を少なくでき、パターン板を有効活用してその面
積を小さくすることができる。
置にあっては、パターン板を直線駆動するようにしてい
るから、パターン板を回転駆動するものと比較すると、
パターン板における無駄な領域（開口パターン間の無駄
領域）を少なくでき、パターン板を有効活用してその面
積を小さくすることができる。
【００２４】請求項８に記載の圧電部品の周波数調整装
置は、請求項１、２、３、４、５又は６に記載の圧電部
品の周波数調整装置において、前記パターン板を回転駆
動させるようにしたことを特徴としている。
置は、請求項１、２、３、４、５又は６に記載の圧電部
品の周波数調整装置において、前記パターン板を回転駆
動させるようにしたことを特徴としている。
【００２５】請求項８に記載の圧電部品の周波数調整装
置にあっては、パターン板を回転駆動するようにしてい
るから、開口パターン板をモータ等によって駆動させる
ことができ、パターン板を直線的に走行駆動させる方式
と比較すると、パターン板の駆動方法を簡易にすること
ができる。
置にあっては、パターン板を回転駆動するようにしてい
るから、開口パターン板をモータ等によって駆動させる
ことができ、パターン板を直線的に走行駆動させる方式
と比較すると、パターン板の駆動方法を簡易にすること
ができる。
【００２６】請求項９に記載の圧電部品の周波数調整方
法は、表面に複数の電極がマトリックス状に形成された
圧電基板を用意する工程と、開口の有無の組み合わせか
らなり、前記圧電基板の列単位の電極のうち所望する電
極を選択的に露出させることができる開口パターンを有
するパターン板を前記圧電基板の上に配置する工程と、
前記列単位の電極を露出可能な窓を有し、当該窓から前
記パターン板の所定の開口パターンを選択的に露出させ
る遮蔽板を前記パターン板の上に配置する工程と、前記
パターン板の開口パターンおよび前記遮蔽板の窓を介し
て露出する前記圧電基板の電極の一部を除去する工程と
を含んでなることを特徴としている。
法は、表面に複数の電極がマトリックス状に形成された
圧電基板を用意する工程と、開口の有無の組み合わせか
らなり、前記圧電基板の列単位の電極のうち所望する電
極を選択的に露出させることができる開口パターンを有
するパターン板を前記圧電基板の上に配置する工程と、
前記列単位の電極を露出可能な窓を有し、当該窓から前
記パターン板の所定の開口パターンを選択的に露出させ
る遮蔽板を前記パターン板の上に配置する工程と、前記
パターン板の開口パターンおよび前記遮蔽板の窓を介し
て露出する前記圧電基板の電極の一部を除去する工程と
を含んでなることを特徴としている。
【００２７】請求項９に記載の圧電部品の周波数調整方
法にあっては、圧電基板の電極をパターン板の開口パタ
ーンから選択的に露出させ、所定の開口パターンを遮蔽
板の窓から選択的に露出させることができるから、電極
を含んで構成される各素子の目標周波数からのばらつき
に応じ、周波数調整の必要な電極だけを開口パターンか
ら選択的に露出させ、露出させた電極だけを一部除去す
ることにより周波数調整を行なうことができる。
法にあっては、圧電基板の電極をパターン板の開口パタ
ーンから選択的に露出させ、所定の開口パターンを遮蔽
板の窓から選択的に露出させることができるから、電極
を含んで構成される各素子の目標周波数からのばらつき
に応じ、周波数調整の必要な電極だけを開口パターンか
ら選択的に露出させ、露出させた電極だけを一部除去す
ることにより周波数調整を行なうことができる。
【００２８】しかも、請求項９に記載の周波数調整方法
によれば、遮蔽板の窓から同時に露出する電極列を単位
として、複数の電極に一度に、効率よく、また、順序よ
く周波数調整を行なうことができる。さらに、遮蔽板の
窓から露出させる開口パターンを変更して周波数調整を
繰り返すことにより、遮蔽板の窓から露出している複数
の電極の周波数を微調整することもでき、個々の素子の
周波数調整を精度よく行なうことができる。
によれば、遮蔽板の窓から同時に露出する電極列を単位
として、複数の電極に一度に、効率よく、また、順序よ
く周波数調整を行なうことができる。さらに、遮蔽板の
窓から露出させる開口パターンを変更して周波数調整を
繰り返すことにより、遮蔽板の窓から露出している複数
の電極の周波数を微調整することもでき、個々の素子の
周波数調整を精度よく行なうことができる。
【００２９】請求項１０に記載の圧電部品の周波数調整
方法は、表面に複数の電極がマトリックス状に形成され
た圧電基板を用意する工程と、開口の有無の組み合わせ
からなり、前記圧電基板の列単位の電極のうち所望する
電極を選択的に露出させることができる開口パターンを
有するパターン板を前記圧電基板の上に配置する工程
と、前記列単位の電極を露出可能な窓を有し、当該窓か
ら前記パターン板の所定の開口パターンを選択的に露出
させる遮蔽板を前記パターン板の上に配置する工程と、
前記パターン板の開口パターンおよび前記遮蔽板の窓を
介して露出する前記圧電基板の電極に周波数調整物質を
付与する工程とを含んでなることを特徴としている。
方法は、表面に複数の電極がマトリックス状に形成され
た圧電基板を用意する工程と、開口の有無の組み合わせ
からなり、前記圧電基板の列単位の電極のうち所望する
電極を選択的に露出させることができる開口パターンを
有するパターン板を前記圧電基板の上に配置する工程
と、前記列単位の電極を露出可能な窓を有し、当該窓か
ら前記パターン板の所定の開口パターンを選択的に露出
させる遮蔽板を前記パターン板の上に配置する工程と、
前記パターン板の開口パターンおよび前記遮蔽板の窓を
介して露出する前記圧電基板の電極に周波数調整物質を
付与する工程とを含んでなることを特徴としている。
【００３０】請求項１０に記載の圧電部品の周波数調整
方法にあっては、圧電基板の電極をパターン板の開口パ
ターンから選択的に露出させ、所定の開口パターンを遮
蔽板の窓から選択的に露出させることができるから、電
極を含んで構成される各素子の目標周波数からのばらつ
きに応じ、周波数調整の必要な電極だけを開口パターン
から選択的に露出させ、露出させた電極だけに周波数調
整物質を付与することにより周波数調整を行なうことが
できる。
方法にあっては、圧電基板の電極をパターン板の開口パ
ターンから選択的に露出させ、所定の開口パターンを遮
蔽板の窓から選択的に露出させることができるから、電
極を含んで構成される各素子の目標周波数からのばらつ
きに応じ、周波数調整の必要な電極だけを開口パターン
から選択的に露出させ、露出させた電極だけに周波数調
整物質を付与することにより周波数調整を行なうことが
できる。
【００３１】しかも、請求項１０に記載の周波数調整方
法によれば、遮蔽板の窓から同時に露出する電極列を単
位として、複数の電極に一度に、効率よく、また順序よ
く周波数調整を行なうことができる。さらに、遮蔽板の
窓から露出させる開口パターンを変更して周波数調整を
繰り返すことにより、遮蔽板の窓から露出している複数
の電極の周波数を微調整することもでき、個々の素子の
周波数調整を精度よく行なうことができる。
法によれば、遮蔽板の窓から同時に露出する電極列を単
位として、複数の電極に一度に、効率よく、また順序よ
く周波数調整を行なうことができる。さらに、遮蔽板の
窓から露出させる開口パターンを変更して周波数調整を
繰り返すことにより、遮蔽板の窓から露出している複数
の電極の周波数を微調整することもでき、個々の素子の
周波数調整を精度よく行なうことができる。
【００３２】請求項１１に記載の圧電部品の周波数調整
方法は、表面に電極が形成された複数の圧電基板をマト
リックス状に並べたものを用意する工程と、開口の有無
の組み合わせからなり、前記複数の圧電基板の列単位の
電極のうち所望する電極を選択的に露出させることがで
きる開口パターンを有するパターン板を前記圧電基板の
上に配置する工程と、前記列単位の電極を前記パターン
板の所定の開口パターンを選択的に露出させる窓を有す
る遮蔽板を前記パターン板の上に配置する工程と、前記
パターン板の開口パターンおよび前記遮蔽板の窓を介し
て露出する前記圧電基板の電極の一部を除去する工程と
を含んでなることを特徴としている。
方法は、表面に電極が形成された複数の圧電基板をマト
リックス状に並べたものを用意する工程と、開口の有無
の組み合わせからなり、前記複数の圧電基板の列単位の
電極のうち所望する電極を選択的に露出させることがで
きる開口パターンを有するパターン板を前記圧電基板の
上に配置する工程と、前記列単位の電極を前記パターン
板の所定の開口パターンを選択的に露出させる窓を有す
る遮蔽板を前記パターン板の上に配置する工程と、前記
パターン板の開口パターンおよび前記遮蔽板の窓を介し
て露出する前記圧電基板の電極の一部を除去する工程と
を含んでなることを特徴としている。
【００３３】請求項１１に記載の圧電部品の周波数調整
方法にあっては、複数の圧電基板の電極をパターン板の
開口パターンから選択的に露出させ、所定の開口パター
ンを遮蔽板の窓から選択的に露出させることができるか
ら、電極を含んで構成される各素子の目標周波数からの
ばらつきに応じ、周波数調整の必要な電極だけを開口パ
ターンから選択的に露出させ、露出させた電極だけを一
部除去することにより周波数調整を行なうことができ
る。
方法にあっては、複数の圧電基板の電極をパターン板の
開口パターンから選択的に露出させ、所定の開口パター
ンを遮蔽板の窓から選択的に露出させることができるか
ら、電極を含んで構成される各素子の目標周波数からの
ばらつきに応じ、周波数調整の必要な電極だけを開口パ
ターンから選択的に露出させ、露出させた電極だけを一
部除去することにより周波数調整を行なうことができ
る。
【００３４】しかも、請求項１１に記載の周波数調整方
法によれば、遮蔽板の窓から同時に露出する電極列を単
位として、複数の圧電基板に一度に、効率よく、また、
順序よく周波数調整を行なうことができる。さらに、遮
蔽板の窓から露出させる開口パターンを変更して周波数
調整を繰り返すことにより、遮蔽板の窓から露出してい
る複数の電極の周波数を微調整することもでき、各圧電
基板の素子の周波数調整を精度よく行なうことができ
る。
法によれば、遮蔽板の窓から同時に露出する電極列を単
位として、複数の圧電基板に一度に、効率よく、また、
順序よく周波数調整を行なうことができる。さらに、遮
蔽板の窓から露出させる開口パターンを変更して周波数
調整を繰り返すことにより、遮蔽板の窓から露出してい
る複数の電極の周波数を微調整することもでき、各圧電
基板の素子の周波数調整を精度よく行なうことができ
る。
【００３５】請求項１２に記載の圧電部品の周波数調整
方法は、表面に電極が形成された複数の圧電基板をマト
リックス状に並べたものを用意する工程と、開口の有無
の組み合わせからなり、前記複数の圧電基板の列単位の
電極のうち所望する電極を選択的に露出させることがで
きる開口パターンを有するパターン板を前記圧電基板の
上に配置する工程と、前記列単位の電極を露出可能な窓
を有し、当該窓から前記パターン板の所定の開口パター
ンを選択的に露出させる遮蔽板を前記パターン板の上に
配置する工程と、前記パターン板の開口パターンおよび
前記遮蔽板の窓を介して露出する前記圧電基板の電極に
周波数調整物質を付与する工程とを含んでなることを特
徴としている。
方法は、表面に電極が形成された複数の圧電基板をマト
リックス状に並べたものを用意する工程と、開口の有無
の組み合わせからなり、前記複数の圧電基板の列単位の
電極のうち所望する電極を選択的に露出させることがで
きる開口パターンを有するパターン板を前記圧電基板の
上に配置する工程と、前記列単位の電極を露出可能な窓
を有し、当該窓から前記パターン板の所定の開口パター
ンを選択的に露出させる遮蔽板を前記パターン板の上に
配置する工程と、前記パターン板の開口パターンおよび
前記遮蔽板の窓を介して露出する前記圧電基板の電極に
周波数調整物質を付与する工程とを含んでなることを特
徴としている。
【００３６】請求項１２に記載の圧電部品の周波数調整
方法にあっては、複数の圧電基板の電極をパターン板の
開口パターンから選択的に露出させ、所定の開口パター
ンを遮蔽板の窓から選択的に露出させることができるか
ら、電極を含んで構成される各素子の目標周波数からの
ばらつきに応じ、周波数調整の必要な電極だけを開口パ
ターンから選択的に露出させ、露出させた電極だけに周
波数調整物質を付与することにより周波数調整を行なう
ことができる。
方法にあっては、複数の圧電基板の電極をパターン板の
開口パターンから選択的に露出させ、所定の開口パター
ンを遮蔽板の窓から選択的に露出させることができるか
ら、電極を含んで構成される各素子の目標周波数からの
ばらつきに応じ、周波数調整の必要な電極だけを開口パ
ターンから選択的に露出させ、露出させた電極だけに周
波数調整物質を付与することにより周波数調整を行なう
ことができる。
【００３７】しかも、請求項１２に記載の周波数調整方
法によれば、遮蔽板の窓から同時に露出する電極列を単
位として、複数の圧電基板に一度に、効率よく、また、
順序よく周波数調整を行なうことができる。さらに、遮
蔽板の窓から露出させる開口パターンを変更して周波数
調整を繰り返すことにより、遮蔽板の窓から露出してい
る複数の電極の周波数を微調整することもでき、各圧電
基板の素子の周波数調整を精度よく行なうことができ
る。
法によれば、遮蔽板の窓から同時に露出する電極列を単
位として、複数の圧電基板に一度に、効率よく、また、
順序よく周波数調整を行なうことができる。さらに、遮
蔽板の窓から露出させる開口パターンを変更して周波数
調整を繰り返すことにより、遮蔽板の窓から露出してい
る複数の電極の周波数を微調整することもでき、各圧電
基板の素子の周波数調整を精度よく行なうことができ
る。
【００３８】請求項１３に記載の圧電部品の周波数調整
方法は、請求項９、１０、１１又は１２に記載した圧電
部品の周波数調整方法において、複数枚のパターン板の
開口パターンを組み合わせることにより、電極を選択的
に露出させるようにしたことを特徴としている。
方法は、請求項９、１０、１１又は１２に記載した圧電
部品の周波数調整方法において、複数枚のパターン板の
開口パターンを組み合わせることにより、電極を選択的
に露出させるようにしたことを特徴としている。
【００３９】請求項１３に記載の周波数調整方法にあっ
ては、開口パターンを設けた複数枚のパターン板の組み
合わせによって電極を選択的に露出させるようにしてい
るから、各パターン板に設ける開口パターン数を少なく
できる。また、パターン板に設けるトータルの開口パタ
ーン数も少なくできる。よって、パターン板の構造が簡
単になると共にパターン板の駆動距離も短くでき、周波
数調整を高速化できる。
ては、開口パターンを設けた複数枚のパターン板の組み
合わせによって電極を選択的に露出させるようにしてい
るから、各パターン板に設ける開口パターン数を少なく
できる。また、パターン板に設けるトータルの開口パタ
ーン数も少なくできる。よって、パターン板の構造が簡
単になると共にパターン板の駆動距離も短くでき、周波
数調整を高速化できる。
【００４０】請求項１４に記載の圧電部品の周波数調整
方法は、請求項９、１０、１１、１２又は１３に記載し
た圧電部品の周波数調整方法において、前記遮蔽板の窓
を開閉するシャッターを配置する工程を備えていること
を特徴としている。
方法は、請求項９、１０、１１、１２又は１３に記載し
た圧電部品の周波数調整方法において、前記遮蔽板の窓
を開閉するシャッターを配置する工程を備えていること
を特徴としている。
【００４１】請求項１４に記載の圧電部品の周波数調整
方法にあっては、遮蔽板の窓を開閉するシャッターを備
えているから、シャッターによる窓の開閉時間によって
電極の除去量もしくは周波数調整物質の付加量を制御す
ることができ、素子の周波数を精度よく調整することが
できる。
方法にあっては、遮蔽板の窓を開閉するシャッターを備
えているから、シャッターによる窓の開閉時間によって
電極の除去量もしくは周波数調整物質の付加量を制御す
ることができ、素子の周波数を精度よく調整することが
できる。
【００４２】請求項１５に記載の圧電部品の周波数調整
方法は、請求項９、１０、１１、１２、１３又は１４に
記載した圧電部品の周波数調整方法における前記パター
ン板を直線駆動させるようにしたことを特徴としてい
る。
方法は、請求項９、１０、１１、１２、１３又は１４に
記載した圧電部品の周波数調整方法における前記パター
ン板を直線駆動させるようにしたことを特徴としてい
る。
【００４３】請求項１５に記載の圧電部品の周波数調整
装置にあっては、パターン板を直線駆動するようにして
いるから、パターン板を回転駆動するものと比較する
と、パターン板における無駄な領域（開口パターン間の
無駄領域）を少なくでき、パターン板を有効活用してそ
の面積を小さくすることができる。
装置にあっては、パターン板を直線駆動するようにして
いるから、パターン板を回転駆動するものと比較する
と、パターン板における無駄な領域（開口パターン間の
無駄領域）を少なくでき、パターン板を有効活用してそ
の面積を小さくすることができる。
【００４４】請求項１６に記載の圧電部品の周波数調整
方法は、請求項９、１０、１１、１２、１３又は１４に
記載した圧電部品の周波数調整方法における前記パター
ン板を回転駆動させるようにしたことを特徴としてい
る。
方法は、請求項９、１０、１１、１２、１３又は１４に
記載した圧電部品の周波数調整方法における前記パター
ン板を回転駆動させるようにしたことを特徴としてい
る。
【００４５】請求項１６に記載の圧電部品の周波数調整
方法にあっては、パターン板を回転駆動させるようにし
ているから、パターン板をモータ等によって駆動させる
ことができ、パターン板を直線的に走行駆動させる方式
と比較すると、開口パターン部の駆動方法を簡易にする
ことができる。
方法にあっては、パターン板を回転駆動させるようにし
ているから、パターン板をモータ等によって駆動させる
ことができ、パターン板を直線的に走行駆動させる方式
と比較すると、開口パターン部の駆動方法を簡易にする
ことができる。
【００４６】
【００４７】
【００４８】
【００４９】
【００５０】
【発明の実施の形態】（第１の実施形態）まず、周波数
調整の対象となる圧電共振子１を説明する。図１に示す
ものは圧電共振子１の一例であって、圧電基板（マザー
基板）２の表裏両面にそれぞれ複数の電極３が配列され
ている。図１は圧電共振子１の製造途中段階における形
態を表わしており、複数個の素子を含んでいる。圧電共
振子１の各素子は、表裏で対向する電極３と両電極３間
に挟まれた圧電基板２によって構成されている。なお、
説明を簡略にするため、ここでは圧電基板２上に電極３
が３行（Ｉ行〜III行と呼ぶ）５列（ア列〜オ列と呼
ぶ）に整然と配列されている場合を例にとって説明す
る。
調整の対象となる圧電共振子１を説明する。図１に示す
ものは圧電共振子１の一例であって、圧電基板（マザー
基板）２の表裏両面にそれぞれ複数の電極３が配列され
ている。図１は圧電共振子１の製造途中段階における形
態を表わしており、複数個の素子を含んでいる。圧電共
振子１の各素子は、表裏で対向する電極３と両電極３間
に挟まれた圧電基板２によって構成されている。なお、
説明を簡略にするため、ここでは圧電基板２上に電極３
が３行（Ｉ行〜III行と呼ぶ）５列（ア列〜オ列と呼
ぶ）に整然と配列されている場合を例にとって説明す
る。
【００５１】図２は本発明の一実施形態による圧電共振
子１の周波数調整装置４の構成を示す断面図であって、
イオンビーム照射装置５の下方に設置されている。イオ
ンビーム照射装置５のイオンビーム照射部分と周波数調
整装置４は、真空槽６内に設置されている。周波数調整
装置４は、遮蔽板７、シャッター９及び開口パターン設
定部１０から構成されている。遮蔽板７には横長の窓８
が開口されており、遮蔽板７で圧電基板２を覆ったと
き、当該窓８から一列の電極３のみ露出するようにして
いる。遮蔽板７は水平に固定されており、イオンビーム
照射装置５のイオンビーム照射部分の直下に窓８が位置
している。シャッター９は、遮蔽板７の上面側近傍に設
けられており、水平に摺動することによって遮蔽板７の
窓８を開閉できるようになっており、しかもその開閉時
間を精密に制御できるようになっている。
子１の周波数調整装置４の構成を示す断面図であって、
イオンビーム照射装置５の下方に設置されている。イオ
ンビーム照射装置５のイオンビーム照射部分と周波数調
整装置４は、真空槽６内に設置されている。周波数調整
装置４は、遮蔽板７、シャッター９及び開口パターン設
定部１０から構成されている。遮蔽板７には横長の窓８
が開口されており、遮蔽板７で圧電基板２を覆ったと
き、当該窓８から一列の電極３のみ露出するようにして
いる。遮蔽板７は水平に固定されており、イオンビーム
照射装置５のイオンビーム照射部分の直下に窓８が位置
している。シャッター９は、遮蔽板７の上面側近傍に設
けられており、水平に摺動することによって遮蔽板７の
窓８を開閉できるようになっており、しかもその開閉時
間を精密に制御できるようになっている。
【００５２】遮蔽板７の下面側近傍には、開口パターン
設定部１０のパターン板１１が水平に配置されている。
パターン板１１には、図３に示すように、１列３行（Ｉ
行〜III行）の電極３に対応する開口１２の組み合わせ
（以下、開口パターンという）のすべてが開口されてい
る。すなわち、開口パターンとは、遮蔽板７の窓８から
一度に露出可能な電極３（この実施形態では、１列の電
極３）に対応する各位置で開口をあけるか、あけないか
の組み合わせである。図１の圧電共振子１の場合でいう
と、１列に３個の電極３が設けられているから、全部で
２3＝８通りの開口パターンがあり、図３に示すような
Ａ列〜Ｈ列までの組み合わせとなる。ただし、いずれの
電極３に対応する孔もあいていないＨ列は省いても差し
支えない。
設定部１０のパターン板１１が水平に配置されている。
パターン板１１には、図３に示すように、１列３行（Ｉ
行〜III行）の電極３に対応する開口１２の組み合わせ
（以下、開口パターンという）のすべてが開口されてい
る。すなわち、開口パターンとは、遮蔽板７の窓８から
一度に露出可能な電極３（この実施形態では、１列の電
極３）に対応する各位置で開口をあけるか、あけないか
の組み合わせである。図１の圧電共振子１の場合でいう
と、１列に３個の電極３が設けられているから、全部で
２3＝８通りの開口パターンがあり、図３に示すような
Ａ列〜Ｈ列までの組み合わせとなる。ただし、いずれの
電極３に対応する孔もあいていないＨ列は省いても差し
支えない。
【００５３】開口パターンの組み合わせ、すなわちＡ列
〜Ｈ列は、パターン板１１の長さ方向に沿って配列され
ており、各列間の距離（開口１２の中心間距離）は遮蔽
板７の窓８の幅よりも大きくなっている。また、この開
口１２の直径は、イオン照射装置５におけるイオンビー
ムの強度分布を考慮し、電極３の直径よりも少し大きな
ものとしている。パターン板１１は、遮蔽板７の下面側
において、パルスステップモータやサーボモータ等のモ
ータとギア機構などからなる駆動手段（図示せず）によ
り、Ａ列〜Ｈ列の列ピッチ毎に水平移動させられるよう
になっている。
〜Ｈ列は、パターン板１１の長さ方向に沿って配列され
ており、各列間の距離（開口１２の中心間距離）は遮蔽
板７の窓８の幅よりも大きくなっている。また、この開
口１２の直径は、イオン照射装置５におけるイオンビー
ムの強度分布を考慮し、電極３の直径よりも少し大きな
ものとしている。パターン板１１は、遮蔽板７の下面側
において、パルスステップモータやサーボモータ等のモ
ータとギア機構などからなる駆動手段（図示せず）によ
り、Ａ列〜Ｈ列の列ピッチ毎に水平移動させられるよう
になっている。
【００５４】パターン板１１の下面側には、搬送トレー
（図示せず）に載せた圧電共振子１が置かれる。圧電共
振子１は搬送トレーに載置した状態で搬送されており、
パターン板１１の下方においては、電極３の列ピッチと
等しい距離づつ送られ、遮蔽板７の窓８から１列の電極
３だけが露出するように位置決めされる。
（図示せず）に載せた圧電共振子１が置かれる。圧電共
振子１は搬送トレーに載置した状態で搬送されており、
パターン板１１の下方においては、電極３の列ピッチと
等しい距離づつ送られ、遮蔽板７の窓８から１列の電極
３だけが露出するように位置決めされる。
【００５５】次に、上記周波数調整装置４を用いた周波
数調整のための工程を説明する。この周波数調整の工程
では、図４に示すように周波数測定装置１３、周波数調
整装置４およびコントローラ１４が用いられ、以下に説
明する順序に従って周波数調整作業が行なわれる。
数調整のための工程を説明する。この周波数調整の工程
では、図４に示すように周波数測定装置１３、周波数調
整装置４およびコントローラ１４が用いられ、以下に説
明する順序に従って周波数調整作業が行なわれる。
【００５６】図５はこの周波数調整作業の手順を示すフ
ロー図である。圧電基板２の表裏両面には、狙いとする
周波数（目標周波数）よりも低めの周波数となるように
電極３を形成しておく。圧電基板２の両面に複数組の電
極３が形成されると、この周波数調整前の圧電基板２は
搬送トレー上にセットされる（Ｓ１）。搬送トレーに
は、それぞれ識別番号や識別コード等の識別標識が付さ
れている。圧電基板２をセットされた搬送トレーが周波
数測定装置１３内に搬入されると、周波数測定装置１３
は、同一圧電基板２に形成されている各素子の周波数を
測定する（Ｓ２）。周波数測定を終了すると、周波数測
定装置１３は、搬送トレーの識別標識と各素子の測定値
をコントローラ１４へ送信する。
ロー図である。圧電基板２の表裏両面には、狙いとする
周波数（目標周波数）よりも低めの周波数となるように
電極３を形成しておく。圧電基板２の両面に複数組の電
極３が形成されると、この周波数調整前の圧電基板２は
搬送トレー上にセットされる（Ｓ１）。搬送トレーに
は、それぞれ識別番号や識別コード等の識別標識が付さ
れている。圧電基板２をセットされた搬送トレーが周波
数測定装置１３内に搬入されると、周波数測定装置１３
は、同一圧電基板２に形成されている各素子の周波数を
測定する（Ｓ２）。周波数測定を終了すると、周波数測
定装置１３は、搬送トレーの識別標識と各素子の測定値
をコントローラ１４へ送信する。
【００５７】搬送トレーの識別標識と各素子の測定値を
受信すると、コントローラ１４は、各素子の周波数の測
定結果と目標周波数とのずれ量（差）を計算し（Ｓ
３）、さらに各素子毎に周波数のずれ量に応じたイオン
エッチング量（イオンビーム照射時間）を計算する（Ｓ
４）。
受信すると、コントローラ１４は、各素子の周波数の測
定結果と目標周波数とのずれ量（差）を計算し（Ｓ
３）、さらに各素子毎に周波数のずれ量に応じたイオン
エッチング量（イオンビーム照射時間）を計算する（Ｓ
４）。
【００５８】すべての素子のイオンエッチング量が決定
されると、コントローラ１４は、圧電基板２に形成され
ている各列の電極３毎に、その電極３に必要なイオンエ
ッチング量のビームを照射させるための開口パターンＡ
〜Ｈの組合わせと、各開口パターンＡ〜Ｈによるイオン
ビーム照射時間を求める。そして、コントローラ１４
は、周波数調整装置４の制御情報として、搬送トレイの
識別標識と共に各列の電極３毎の開口パターンＡ〜Ｈの
組合わせと各開口パターンＡ〜Ｈによるイオンビーム照
射時間を記憶する（Ｓ５）。
されると、コントローラ１４は、圧電基板２に形成され
ている各列の電極３毎に、その電極３に必要なイオンエ
ッチング量のビームを照射させるための開口パターンＡ
〜Ｈの組合わせと、各開口パターンＡ〜Ｈによるイオン
ビーム照射時間を求める。そして、コントローラ１４
は、周波数調整装置４の制御情報として、搬送トレイの
識別標識と共に各列の電極３毎の開口パターンＡ〜Ｈの
組合わせと各開口パターンＡ〜Ｈによるイオンビーム照
射時間を記憶する（Ｓ５）。
【００５９】例えば、図１の圧電基板２に形成されてい
る各素子の周波数を測定した結果、図６で各電極３内に
示すように、各電極３のイオンビーム照射時間が、ア列
では２ａ.ｕ.（ａ.ｕ.は任意の単位）、３ａ.ｕ.、５
ａ.ｕ.、イ列では４ａ.ｕ.、２ａ.ｕ.、６ａ.ｕ.などで
あったとする。この場合には、ア列の電極３では、開口
パターンＡにより２ａ.ｕ.、開口パターンＣにより１
ａ.ｕ.、開口パターンＧにより２ａ.ｕ.だけイオンビー
ムを照射すればよい。また、イ列の電極３では、開口パ
ターンＡにより２ａ.ｕ.、開口パターンＥにより２ａ.
ｕ.、開口パターンＧにより２ａ.ｕ.だけイオンビーム
を照射すればよい。ウ列以降の電極３でも同様に、最大
のイオンビーム照射時間の電極から開口パターンを選択
し、順にイオンビームを照射すればよい。
る各素子の周波数を測定した結果、図６で各電極３内に
示すように、各電極３のイオンビーム照射時間が、ア列
では２ａ.ｕ.（ａ.ｕ.は任意の単位）、３ａ.ｕ.、５
ａ.ｕ.、イ列では４ａ.ｕ.、２ａ.ｕ.、６ａ.ｕ.などで
あったとする。この場合には、ア列の電極３では、開口
パターンＡにより２ａ.ｕ.、開口パターンＣにより１
ａ.ｕ.、開口パターンＧにより２ａ.ｕ.だけイオンビー
ムを照射すればよい。また、イ列の電極３では、開口パ
ターンＡにより２ａ.ｕ.、開口パターンＥにより２ａ.
ｕ.、開口パターンＧにより２ａ.ｕ.だけイオンビーム
を照射すればよい。ウ列以降の電極３でも同様に、最大
のイオンビーム照射時間の電極から開口パターンを選択
し、順にイオンビームを照射すればよい。
【００６０】一方、周波数測定が終了すると、圧電基板
２を乗せた搬送トレイは周波数測定装置１３から取り出
され、周波数調整装置４に送り込まれる。周波数調整装
置４は、識別標識によって搬送トレーを識別し、対応す
る制御情報（開口パターンＡ〜Ｈの組合わせと各開口パ
ターンＡ〜Ｈによるイオンビーム照射時間）をコントロ
ーラ１４から読み出す（Ｓ６）。
２を乗せた搬送トレイは周波数測定装置１３から取り出
され、周波数調整装置４に送り込まれる。周波数調整装
置４は、識別標識によって搬送トレーを識別し、対応す
る制御情報（開口パターンＡ〜Ｈの組合わせと各開口パ
ターンＡ〜Ｈによるイオンビーム照射時間）をコントロ
ーラ１４から読み出す（Ｓ６）。
【００６１】しかして、遮蔽板７の窓８の直下にア列の
電極３が位置決めされると、制御情報に基づいてア列の
電極３に対応する開口パターンが順次選択され、選択さ
れた開口パターンが遮蔽板７の窓８に位置するように開
口パターン設定部１０が駆動され、シャッター９の開き
時間を制御することによって各開口パターン毎に所定時
間イオンビームが照射される（Ｓ７〜Ｓ９）。
電極３が位置決めされると、制御情報に基づいてア列の
電極３に対応する開口パターンが順次選択され、選択さ
れた開口パターンが遮蔽板７の窓８に位置するように開
口パターン設定部１０が駆動され、シャッター９の開き
時間を制御することによって各開口パターン毎に所定時
間イオンビームが照射される（Ｓ７〜Ｓ９）。
【００６２】具体的にいうと、ア列の電極３が窓８に位
置決めされると、まず開口パターンＡがア列の電極３の
上にセットされ（Ｓ７）、２ａ.ｕ.だけイオンビームが
照射され（Ｓ８）、ついで開口パターンＣがア列の電極
３の上にセットされ（Ｓ７）、１ａ.ｕ.だけイオンビー
ムが照射され（Ｓ８）、開口パターンＧがア列の電極３
の上にセットされ（Ｓ７）、２ａ.ｕ.だけイオンビーム
が照射される（Ｓ８）。なお、開口パターンＡ、Ｃ、Ｇ
を用いる順序は逆順など任意の順序でよい。
置決めされると、まず開口パターンＡがア列の電極３の
上にセットされ（Ｓ７）、２ａ.ｕ.だけイオンビームが
照射され（Ｓ８）、ついで開口パターンＣがア列の電極
３の上にセットされ（Ｓ７）、１ａ.ｕ.だけイオンビー
ムが照射され（Ｓ８）、開口パターンＧがア列の電極３
の上にセットされ（Ｓ７）、２ａ.ｕ.だけイオンビーム
が照射される（Ｓ８）。なお、開口パターンＡ、Ｃ、Ｇ
を用いる順序は逆順など任意の順序でよい。
【００６３】こうして１列分の電極３の処理が終了する
と（Ｓ９）、圧電基板２が電極３の列ピッチ分だけ移動
させられ（Ｓ１１）、つぎの列の電極３が窓８の下にセ
ットされる（Ｓ７）。ついで、制御情報に基づいて当該
列の電極３に対する開口パターンが選択され、選択され
た開口パターンが順次遮蔽板７の窓８に位置するように
開口パターン設定部１０が駆動され、シャッター９の開
き時間を制御することにより各開口パターン毎に所定時
間イオンビームが照射される（Ｓ７〜Ｓ９）。
と（Ｓ９）、圧電基板２が電極３の列ピッチ分だけ移動
させられ（Ｓ１１）、つぎの列の電極３が窓８の下にセ
ットされる（Ｓ７）。ついで、制御情報に基づいて当該
列の電極３に対する開口パターンが選択され、選択され
た開口パターンが順次遮蔽板７の窓８に位置するように
開口パターン設定部１０が駆動され、シャッター９の開
き時間を制御することにより各開口パターン毎に所定時
間イオンビームが照射される（Ｓ７〜Ｓ９）。
【００６４】具体的にいうと、イ列の電極３が窓８の下
へ移動し、まず開口パターンＡがイ列の電極３の上にセ
ットされ（Ｓ７）、２ａ.ｕ.だけイオンビームが照射さ
れ（Ｓ８）、ついで開口パターンＥがイ列の電極３の上
にセットされ（Ｓ７）、２ａ.ｕ.だけイオンビームが照
射され（Ｓ８）、開口パターンＧがイ列の電極３の上に
セットされ（Ｓ７）、２ａ.ｕ.だけイオンビームが照射
される（Ｓ８）。この場合も、開口パターンＡ、Ｅ、Ｇ
をセットする順序は逆順など任意の順序でよい。
へ移動し、まず開口パターンＡがイ列の電極３の上にセ
ットされ（Ｓ７）、２ａ.ｕ.だけイオンビームが照射さ
れ（Ｓ８）、ついで開口パターンＥがイ列の電極３の上
にセットされ（Ｓ７）、２ａ.ｕ.だけイオンビームが照
射され（Ｓ８）、開口パターンＧがイ列の電極３の上に
セットされ（Ｓ７）、２ａ.ｕ.だけイオンビームが照射
される（Ｓ８）。この場合も、開口パターンＡ、Ｅ、Ｇ
をセットする順序は逆順など任意の順序でよい。
【００６５】このような処理（Ｓ７〜Ｓ１１）を繰り返
すことにより、圧電基板２の全ての電極３に対する周波
数調整が終了すると（Ｓ１０）、搬送トレーが周波数調
整装置４から取り出され、周波数調整済みの圧電基板２
は搬送トレーから取り出される（Ｓ１２）。
すことにより、圧電基板２の全ての電極３に対する周波
数調整が終了すると（Ｓ１０）、搬送トレーが周波数調
整装置４から取り出され、周波数調整済みの圧電基板２
は搬送トレーから取り出される（Ｓ１２）。
【００６６】このような周波数調整装置４によれば、パ
ターン板１１にすべての開口パターンが設けられている
ので、各列の各素子の周波数ばらつきに応じて適当な開
口パターンを選択し、イオンビームを適当な時間照射す
ることで各素子毎に周波数を調整することができる。ま
た、あらかじめすべての開口パターンがパターン板１１
に設けられているので、高速かつ簡易に周波数調整を行
なうことができる。
ターン板１１にすべての開口パターンが設けられている
ので、各列の各素子の周波数ばらつきに応じて適当な開
口パターンを選択し、イオンビームを適当な時間照射す
ることで各素子毎に周波数を調整することができる。ま
た、あらかじめすべての開口パターンがパターン板１１
に設けられているので、高速かつ簡易に周波数調整を行
なうことができる。
【００６７】ここで、各素子の周波数ばらつきに応じた
開口パターンを選択するには、マイクロコンピュータ等
によって開口パターンを選択させればよい。その場合に
は、できるだけ少ない開口パターン数となるようにする
ことが好ましい。できるだけ少ない開口パターン数とな
るようにするには、開口数の多い開口パターンを優先し
て使用するようにすればよい。
開口パターンを選択するには、マイクロコンピュータ等
によって開口パターンを選択させればよい。その場合に
は、できるだけ少ない開口パターン数となるようにする
ことが好ましい。できるだけ少ない開口パターン数とな
るようにするには、開口数の多い開口パターンを優先し
て使用するようにすればよい。
【００６８】なお、図４に想像線で示すように、周波数
調整後に再び圧電基板２を周波数測定装置１３へ戻して
各素子の周波数を測定し、図７のステップＳ１３のよう
に周波数のずれ量が許容範囲内に納まるまで周波数測定
と周波数調整を繰り返すようにしてもよい。
調整後に再び圧電基板２を周波数測定装置１３へ戻して
各素子の周波数を測定し、図７のステップＳ１３のよう
に周波数のずれ量が許容範囲内に納まるまで周波数測定
と周波数調整を繰り返すようにしてもよい。
【００６９】（第２の実施形態）前記実施形態のように
１枚のパターン板に全ての開口パターンを設けると、１
列の電極数が増加したとき、開口パターン数が急激に増
加する。例えば、１列の電極数が３個の場合には、開口
パターン数は２3＝８通りであるが、１列の電極数が６
個になると、開口パターン数は２6＝６４通りになる。
そのためパターン板が長くなり、開口パターン切り替え
時の走行距離が長くなり、パターン板の駆動時間が長く
なる。
１枚のパターン板に全ての開口パターンを設けると、１
列の電極数が増加したとき、開口パターン数が急激に増
加する。例えば、１列の電極数が３個の場合には、開口
パターン数は２3＝８通りであるが、１列の電極数が６
個になると、開口パターン数は２6＝６４通りになる。
そのためパターン板が長くなり、開口パターン切り替え
時の走行距離が長くなり、パターン板の駆動時間が長く
なる。
【００７０】図８は本発明の別な実施形態による開口パ
ターン設定部１０の構成を示す図であって、上記課題を
解決するものである。この実施形態では、２枚のパター
ン板１１ａ、１１ｂの組合わせによって全ての開口パタ
ーンを実現できるようにしている。例えば１列が６個の
電極３（Ｉ行〜VI行）で構成されている場合で言えば、
一方のパターン板１１ａには、Ｉ行〜III行の電極３に
対応する３行８列の開口１２の組み合わせＡ〜Ｈを設け
てあり、他方のパターン板１１ｂにも、IV行〜VI行の電
極３に対応する３行８列の開口１２の組み合わせＡ〜Ｈ
を設けている。
ターン設定部１０の構成を示す図であって、上記課題を
解決するものである。この実施形態では、２枚のパター
ン板１１ａ、１１ｂの組合わせによって全ての開口パタ
ーンを実現できるようにしている。例えば１列が６個の
電極３（Ｉ行〜VI行）で構成されている場合で言えば、
一方のパターン板１１ａには、Ｉ行〜III行の電極３に
対応する３行８列の開口１２の組み合わせＡ〜Ｈを設け
てあり、他方のパターン板１１ｂにも、IV行〜VI行の電
極３に対応する３行８列の開口１２の組み合わせＡ〜Ｈ
を設けている。
【００７１】しかして、遮蔽板７の窓８の位置におい
て、パターン板１１ａは圧電基板２のＩ行〜III行の電
極３を覆うように配置され、パターン板１１ｂは圧電基
板２のIV行〜VI行の電極３を覆うように配置され、遮蔽
板７の窓８には両パターン板１１ａ，１１ｂの開口１２
が一列に並んで１列の電極３に対応する開口パターンが
構成される。そして、各パターン板１１ａ、１１ｂを、
Ａ列〜Ｈ列が並んでいる方向と平行な方向で、互いに独
立して移動させることにより、遮蔽板７の窓８にI〜VI
行の電極３に対応する任意の開口パターンを形成できる
ようにしている。
て、パターン板１１ａは圧電基板２のＩ行〜III行の電
極３を覆うように配置され、パターン板１１ｂは圧電基
板２のIV行〜VI行の電極３を覆うように配置され、遮蔽
板７の窓８には両パターン板１１ａ，１１ｂの開口１２
が一列に並んで１列の電極３に対応する開口パターンが
構成される。そして、各パターン板１１ａ、１１ｂを、
Ａ列〜Ｈ列が並んでいる方向と平行な方向で、互いに独
立して移動させることにより、遮蔽板７の窓８にI〜VI
行の電極３に対応する任意の開口パターンを形成できる
ようにしている。
【００７２】このようなパターン板１１ａ、１１ｂを用
いれば、例えば６行の電極３に対してもそれぞれ８列の
開口１２を設けるだけでよいので、パターン板１１ａ、
１１ｂの形状を簡略化できる。その結果、パターン板１
１ａ、１１ｂの走行距離を短くでき、パターン板１１
ａ、１１ｂの駆動時間を短縮できる。
いれば、例えば６行の電極３に対してもそれぞれ８列の
開口１２を設けるだけでよいので、パターン板１１ａ、
１１ｂの形状を簡略化できる。その結果、パターン板１
１ａ、１１ｂの走行距離を短くでき、パターン板１１
ａ、１１ｂの駆動時間を短縮できる。
【００７３】また、この実施形態は、図９に示すよう
に、各パターン板１１ｃ、１１ｄにダミーの開口１５を
設けて各パターン板１１ｃ、１１ｄの開口１２、１５を
６行８列とし（電極３が６行の場合）、全体を重ね合わ
せるようにしてもよい。すなわち、一方のパターン板１
１ｃでは、上記パターン板１１ａのＩ行〜III行と同じ
パターンの開口１２を形成し、IV行〜VI行に対しては電
極３と対応するすべての位置でダミー開口１５を開口し
ている。また、他方のパターン板１１ｄでは、上記パタ
ーン板１１ｂのIV行〜VI行と同じパターンの開口１２を
形成し、Ｉ行〜III行に対しては電極３と対応するすべ
ての位置でダミー開口１５を開口している。従って、両
パターン板１１ｃ、１１ｄを重ね合わせ、互いに位置を
ずらせることにより、６行の電極３に対するすべての開
口パターンを形成することが可能になる。
に、各パターン板１１ｃ、１１ｄにダミーの開口１５を
設けて各パターン板１１ｃ、１１ｄの開口１２、１５を
６行８列とし（電極３が６行の場合）、全体を重ね合わ
せるようにしてもよい。すなわち、一方のパターン板１
１ｃでは、上記パターン板１１ａのＩ行〜III行と同じ
パターンの開口１２を形成し、IV行〜VI行に対しては電
極３と対応するすべての位置でダミー開口１５を開口し
ている。また、他方のパターン板１１ｄでは、上記パタ
ーン板１１ｂのIV行〜VI行と同じパターンの開口１２を
形成し、Ｉ行〜III行に対しては電極３と対応するすべ
ての位置でダミー開口１５を開口している。従って、両
パターン板１１ｃ、１１ｄを重ね合わせ、互いに位置を
ずらせることにより、６行の電極３に対するすべての開
口パターンを形成することが可能になる。
【００７４】なお、図９の実施形態では、ダミー開口１
５は丸孔としているが、複数の電極３に対して長孔状の
ダミー開口を設けてもよい（以下の実施形態においても
同様）。
５は丸孔としているが、複数の電極３に対して長孔状の
ダミー開口を設けてもよい（以下の実施形態においても
同様）。
【００７５】（第３の実施形態）図１０は本発明のさら
に別な実施形態におけるパターン板１１ｅ、１１ｆの構
造を示す平面図である。この開口パターン設定部では、
図１０に示す２枚のパターン板１１ｅ、１１ｆを重ね合
わせて使用することにより、２列の電極３を同時に周波
数調整できるようにしている。
に別な実施形態におけるパターン板１１ｅ、１１ｆの構
造を示す平面図である。この開口パターン設定部では、
図１０に示す２枚のパターン板１１ｅ、１１ｆを重ね合
わせて使用することにより、２列の電極３を同時に周波
数調整できるようにしている。
【００７６】たとえば、３行（Ｉ行〜III行）に配列さ
れている電極３に対して、１枚のパターン板により２列
（６個）の電極３を一度に周波数調整できるようにしよ
うとすれば、やはり２6＝６４通りの組み合わせの開口
パターンが必要となり、パターン板には１２８（＝６４
×２）列の開口が並ぶことになり、一層パターン板が長
くなる。
れている電極３に対して、１枚のパターン板により２列
（６個）の電極３を一度に周波数調整できるようにしよ
うとすれば、やはり２6＝６４通りの組み合わせの開口
パターンが必要となり、パターン板には１２８（＝６４
×２）列の開口が並ぶことになり、一層パターン板が長
くなる。
【００７７】これに対し、図１０の実施形態では、２枚
のパターン板１１ｅ、１１ｆの組合わせによってすべて
の開口パターンを実現できるようにしている。例えば１
列が３個の電極３（Ｉ行〜III行）で構成されている場
合でいえば、一方のパターン板１１ａには、Ｉ行〜III
行の電極３に対応する８種の開口パターンＡ〜Ｈからな
る開口１２とＪ列で表わしたダミー開口１５とが交互に
配列されており、他方のパターン板１１ｂには、Ｊ列で
表わしたダミー開口１５とＩ行〜III行の電極３に対応
する８種の開口パターンＡ〜Ｈからなる開口１２とが交
互に配列されている。
のパターン板１１ｅ、１１ｆの組合わせによってすべて
の開口パターンを実現できるようにしている。例えば１
列が３個の電極３（Ｉ行〜III行）で構成されている場
合でいえば、一方のパターン板１１ａには、Ｉ行〜III
行の電極３に対応する８種の開口パターンＡ〜Ｈからな
る開口１２とＪ列で表わしたダミー開口１５とが交互に
配列されており、他方のパターン板１１ｂには、Ｊ列で
表わしたダミー開口１５とＩ行〜III行の電極３に対応
する８種の開口パターンＡ〜Ｈからなる開口１２とが交
互に配列されている。
【００７８】しかして、遮蔽板７の窓８の位置において
は２列の開口パターン（Ａ列〜Ｈ列とＪ列）が一度に露
出させられる。すなわち、パターン板１１ｅ、１１ｆど
うしは互いに重ね合わせるように配置され、パターン板
１１ｅの開口１２（Ａ列〜Ｈ列）とパターン板１１ｆの
ダミー開口１５（Ｊ列）とを重ね合わせ、またパターン
板１１ｅのダミー開口１５（Ｊ列）とパターン板１１ｆ
の開口１２（Ａ列〜Ｈ列）とを重ね合わせることによ
り、２列の電極３に対するすべての開口パターンを構成
できるようになっている。
は２列の開口パターン（Ａ列〜Ｈ列とＪ列）が一度に露
出させられる。すなわち、パターン板１１ｅ、１１ｆど
うしは互いに重ね合わせるように配置され、パターン板
１１ｅの開口１２（Ａ列〜Ｈ列）とパターン板１１ｆの
ダミー開口１５（Ｊ列）とを重ね合わせ、またパターン
板１１ｅのダミー開口１５（Ｊ列）とパターン板１１ｆ
の開口１２（Ａ列〜Ｈ列）とを重ね合わせることによ
り、２列の電極３に対するすべての開口パターンを構成
できるようになっている。
【００７９】このようなパターン板１１ｅ、１１ｆを用
いれば、例えば３行２列の電極３を一度に処理する場合
にもそれぞれ１６列の開口１２、１５を設けるだけでよ
いので、パターン板１１ｅ、１１ｆの形状を簡略化でき
る。その結果、パターン板１１ｅ、１１ｆの走行距離を
短くでき、パターン板１１ｅ、１１ｆの駆動時間を短縮
できる。
いれば、例えば３行２列の電極３を一度に処理する場合
にもそれぞれ１６列の開口１２、１５を設けるだけでよ
いので、パターン板１１ｅ、１１ｆの形状を簡略化でき
る。その結果、パターン板１１ｅ、１１ｆの走行距離を
短くでき、パターン板１１ｅ、１１ｆの駆動時間を短縮
できる。
【００８０】（第４の実施形態）図１１は本発明のさら
に別な実施形態による周波数調整装置４の構成を示す概
略断面図である。これは開口パターン設定部１０を回転
型としたものであって、サーボモータやパルスステップ
モータ等のモータ１６の回転軸１７にパターン板１１を
取付け、パターン板１１を回転駆動するようにしてい
る。
に別な実施形態による周波数調整装置４の構成を示す概
略断面図である。これは開口パターン設定部１０を回転
型としたものであって、サーボモータやパルスステップ
モータ等のモータ１６の回転軸１７にパターン板１１を
取付け、パターン板１１を回転駆動するようにしてい
る。
【００８１】パターン板１１は、図１２に示すように円
板状をしており、パターン板１１には３つの電極３に対
する開口パターンＡ〜Ｈが放射状に設けられている。遮
蔽板７の窓８に対しては、パターン板１１の半径方向が
平行となるように開口パターン設定部１０が配置されて
いるので、パターン板１１をモータ１６で回転させるこ
とにより任意の開口パターンＡ〜Ｈを窓８の下に露出さ
せることができる。
板状をしており、パターン板１１には３つの電極３に対
する開口パターンＡ〜Ｈが放射状に設けられている。遮
蔽板７の窓８に対しては、パターン板１１の半径方向が
平行となるように開口パターン設定部１０が配置されて
いるので、パターン板１１をモータ１６で回転させるこ
とにより任意の開口パターンＡ〜Ｈを窓８の下に露出さ
せることができる。
【００８２】この実施形態のように、パターン板１１を
回転させるようにすれば、モータ１６によって直接にパ
ターン板１１を駆動できるので、パターン板１１を直線
状に走行駆動させる方式と比較して開口パターン設定部
１０の駆動機構を簡略にすることができる。また、右回
転と左回転を選択できるようにすれば、さらに高速駆動
が可能になる。一方、第１から第２の実施形態のように
パターン板１１を直線駆動する方式にすれば、パターン
板１１における開口のない領域を少なくでき、パターン
板１１を有効活用してパターン板１１を小さくできる。
回転させるようにすれば、モータ１６によって直接にパ
ターン板１１を駆動できるので、パターン板１１を直線
状に走行駆動させる方式と比較して開口パターン設定部
１０の駆動機構を簡略にすることができる。また、右回
転と左回転を選択できるようにすれば、さらに高速駆動
が可能になる。一方、第１から第２の実施形態のように
パターン板１１を直線駆動する方式にすれば、パターン
板１１における開口のない領域を少なくでき、パターン
板１１を有効活用してパターン板１１を小さくできる。
【００８３】（第５の実施形態）図１３（ａ）（ｂ）は
本発明のさらに別な実施形態による開口パターン設定部
１０を示す平面図及び正面図である。これは開口パター
ン設定部１０を回転型としたもので、しかも、２列の電
極３を一度に周波数調整できるようにしたものであっ
て、パターン板１１ｅ、１１ｆを直線駆動するようにし
た図１０の実施形態に対応するものである。
本発明のさらに別な実施形態による開口パターン設定部
１０を示す平面図及び正面図である。これは開口パター
ン設定部１０を回転型としたもので、しかも、２列の電
極３を一度に周波数調整できるようにしたものであっ
て、パターン板１１ｅ、１１ｆを直線駆動するようにし
た図１０の実施形態に対応するものである。
【００８４】この開口パターン設定部１０では、モータ
１６の２軸の各回転軸１７ａ、１７ｂに２枚のパターン
板１１ｇ、１１ｈが取り付けられており、２枚のパター
ン板１１ｇ、１１ｈはそれぞれ別々に回転させられるよ
うになっている。上面側のパターン板１１ｇには、図１
３（ａ）に示すように１列の電極３に対応した開口１２
の組み合わせからなる開口パターンＡ〜Ｈとダミー開口
１５からなるダミー開口パターンＪとが隣接して放射状
に設けられており、下面側のパターン板１１ｈには、図
１４に示すようにダミー開口１５からなるダミー開口パ
ターンＪと１列の電極３に対応した開口１２の組み合わ
せからなる開口パターンＡ〜Ｈとが隣接して放射状に設
けられており、上面側のパターン板１１ｇの開口パター
ンＡ〜Ｈと下面側のパターン板１１ｈのダミー開口パタ
ーンＪとが重なり合い、上面側のパターン板１１ｇのダ
ミー開口パターンＪと下面側のパターン板１１ｈの開口
パターンＡ〜Ｈとが重なり合うようになっている。
１６の２軸の各回転軸１７ａ、１７ｂに２枚のパターン
板１１ｇ、１１ｈが取り付けられており、２枚のパター
ン板１１ｇ、１１ｈはそれぞれ別々に回転させられるよ
うになっている。上面側のパターン板１１ｇには、図１
３（ａ）に示すように１列の電極３に対応した開口１２
の組み合わせからなる開口パターンＡ〜Ｈとダミー開口
１５からなるダミー開口パターンＪとが隣接して放射状
に設けられており、下面側のパターン板１１ｈには、図
１４に示すようにダミー開口１５からなるダミー開口パ
ターンＪと１列の電極３に対応した開口１２の組み合わ
せからなる開口パターンＡ〜Ｈとが隣接して放射状に設
けられており、上面側のパターン板１１ｇの開口パター
ンＡ〜Ｈと下面側のパターン板１１ｈのダミー開口パタ
ーンＪとが重なり合い、上面側のパターン板１１ｇのダ
ミー開口パターンＪと下面側のパターン板１１ｈの開口
パターンＡ〜Ｈとが重なり合うようになっている。
【００８５】（第６の実施形態）図１５（ａ）（ｂ）は
本発明のさらに別な実施形態による開口パターン設定部
１０を示す平面図及び正面図である。これは開口パター
ン設定部１０を回転型としたもので、しかも、行数の大
きな電極３を２枚のパターン板１１ｉ，１１ｊで周波数
調整できるようにしたものであって、パターン板１１
ｃ、１１ｄを直線駆動するようにした図９の実施形態に
ほぼ対応するものである。
本発明のさらに別な実施形態による開口パターン設定部
１０を示す平面図及び正面図である。これは開口パター
ン設定部１０を回転型としたもので、しかも、行数の大
きな電極３を２枚のパターン板１１ｉ，１１ｊで周波数
調整できるようにしたものであって、パターン板１１
ｃ、１１ｄを直線駆動するようにした図９の実施形態に
ほぼ対応するものである。
【００８６】この開口パターン設定部１０では、モータ
１６の２軸の各回転軸１７ａ、１７ｂに２枚のパターン
板１１ｉ、１１ｊが取り付けられており、２枚のパター
ン板１１ｉ、１１ｊはそれぞれ別々に回転させられるよ
うになっている。上面側のパターン板１１ｉには、図１
５（ａ）に示すように１列の電極３のうち半分に対応し
た開口１２の組み合わせからなる開口パターンＡ〜Ｈが
放射状に設けられており、下面側のパターン板１１ｊに
は、図１６に示すように１列の電極３のうち残りの半分
に対応した開口１２の組み合わせからなる開口パターン
Ａ〜Ｈ（周縁側）とダミー開口１５からなるダミー開口
パターンＪ（中心側）とが一直線状に並べて放射状に設
けられており、上面側のパターン板１１ｉの開口パター
ンＡ〜Ｈと下面側のパターン板１１ｊのダミー開口パタ
ーンＪとが重なり合うようになっている。
１６の２軸の各回転軸１７ａ、１７ｂに２枚のパターン
板１１ｉ、１１ｊが取り付けられており、２枚のパター
ン板１１ｉ、１１ｊはそれぞれ別々に回転させられるよ
うになっている。上面側のパターン板１１ｉには、図１
５（ａ）に示すように１列の電極３のうち半分に対応し
た開口１２の組み合わせからなる開口パターンＡ〜Ｈが
放射状に設けられており、下面側のパターン板１１ｊに
は、図１６に示すように１列の電極３のうち残りの半分
に対応した開口１２の組み合わせからなる開口パターン
Ａ〜Ｈ（周縁側）とダミー開口１５からなるダミー開口
パターンＪ（中心側）とが一直線状に並べて放射状に設
けられており、上面側のパターン板１１ｉの開口パター
ンＡ〜Ｈと下面側のパターン板１１ｊのダミー開口パタ
ーンＪとが重なり合うようになっている。
【００８７】（第７の実施形態）図１７は本発明のさら
に別な実施形態による開口パターン設定部１０を示す正
面図、図１８（ａ）はその上面側のパターン板１１ｍを
示す平面図、図１８（ｂ）はその下面側のパターン板１
１ｎを示す平面図である。これも開口パターン設定部１
０を回転型としたものであって、パターン板１１ｃ、１
１ｄを直線駆動するようにした図９の実施形態に対応す
るもの（あるいは、図１５の実施形態の変形例）であ
る。
に別な実施形態による開口パターン設定部１０を示す正
面図、図１８（ａ）はその上面側のパターン板１１ｍを
示す平面図、図１８（ｂ）はその下面側のパターン板１
１ｎを示す平面図である。これも開口パターン設定部１
０を回転型としたものであって、パターン板１１ｃ、１
１ｄを直線駆動するようにした図９の実施形態に対応す
るもの（あるいは、図１５の実施形態の変形例）であ
る。
【００８８】この開口パターン設定部１０でも、モータ
１６の２軸の各回転軸１７ａ、１７ｂに同じ外形寸法を
有する２枚のパターン板１１ｍ、１１ｎが取り付けられ
ており、２枚のパターン板１１ｍ、１１ｎはそれぞれ別
々に回転させられるようになっている。上面側のパター
ン板１１ｍには、図１８（ａ）に示すように１列の電極
３のうち半分に対応した開口１２の組み合わせからなる
開口パターンＡ〜Ｈ（中心側）とダミー開口１５からな
るダミー開口パターンＪ（周縁側）とが一直線状に並べ
て放射状に設けられている。下面側のパターン板１１ｎ
には、図１８（ｂ）に示すように１列の電極３のうち残
りの半分に対応した開口１２の組み合わせからなる開口
パターンＡ〜Ｈ（周縁側）とダミー開口１５からなるダ
ミー開口パターンＪ（中心側）とが一直線状に並べて放
射状に設けられている。そして、上面側のパターン板１
１ｍの開口パターンＡ〜Ｈと下面側のパターン板１１ｎ
のダミー開口パターンＪとが重なり合い、かつ、上面側
のパターン板１１ｍのダミー開口パターンＪと下面側の
パターン板１１ｎの開口パターンＡ〜Ｈとが重なり合う
ようになっている。
１６の２軸の各回転軸１７ａ、１７ｂに同じ外形寸法を
有する２枚のパターン板１１ｍ、１１ｎが取り付けられ
ており、２枚のパターン板１１ｍ、１１ｎはそれぞれ別
々に回転させられるようになっている。上面側のパター
ン板１１ｍには、図１８（ａ）に示すように１列の電極
３のうち半分に対応した開口１２の組み合わせからなる
開口パターンＡ〜Ｈ（中心側）とダミー開口１５からな
るダミー開口パターンＪ（周縁側）とが一直線状に並べ
て放射状に設けられている。下面側のパターン板１１ｎ
には、図１８（ｂ）に示すように１列の電極３のうち残
りの半分に対応した開口１２の組み合わせからなる開口
パターンＡ〜Ｈ（周縁側）とダミー開口１５からなるダ
ミー開口パターンＪ（中心側）とが一直線状に並べて放
射状に設けられている。そして、上面側のパターン板１
１ｍの開口パターンＡ〜Ｈと下面側のパターン板１１ｎ
のダミー開口パターンＪとが重なり合い、かつ、上面側
のパターン板１１ｍのダミー開口パターンＪと下面側の
パターン板１１ｎの開口パターンＡ〜Ｈとが重なり合う
ようになっている。
【００８９】（第８の実施形態）図１９（ａ）（ｂ）は
本発明のさらに別な実施形態による開口パターン設定部
１０を示す平面図及び正面図である。これも開口パター
ン設定部１０を回転型としたもので、しかも、行数の大
きな電極３を２枚のパターン板１１ｐ，１１ｑで周波数
調整できるようにしたものであって、パターン板１１
ａ、１１ｂを直線駆動するようにした図８の実施形態に
対応するものである。
本発明のさらに別な実施形態による開口パターン設定部
１０を示す平面図及び正面図である。これも開口パター
ン設定部１０を回転型としたもので、しかも、行数の大
きな電極３を２枚のパターン板１１ｐ，１１ｑで周波数
調整できるようにしたものであって、パターン板１１
ａ、１１ｂを直線駆動するようにした図８の実施形態に
対応するものである。
【００９０】この開口パターン設定部１０では、パター
ン板１１ｐ、１１ｑがそれぞれ個別のモータ１６に取り
付けられており、それぞれ別々に回転させられるように
なっている。一方のパターン板１１ｐには、１列の電極
３のうち半分に対応した開口１２の組み合わせからなる
開口パターンＡ〜Ｈが放射状に設けられており、他方の
パターン板１１ｑには、１列の電極３のうち残りの半分
に対応した開口１２の組み合わせからなる開口パターン
Ａ〜Ｈが放射状に設けられており、両パターン板１１
ｐ、１１ｑは外周縁を互いに近接させて配置されてい
る。しかして、両パターン板１１ｐ、１１ｑの各開口パ
ターンＡ〜Ｈを一直線状に並べることにより、１列の電
極に対するすべての開口パターンが形成されるようにな
っている。
ン板１１ｐ、１１ｑがそれぞれ個別のモータ１６に取り
付けられており、それぞれ別々に回転させられるように
なっている。一方のパターン板１１ｐには、１列の電極
３のうち半分に対応した開口１２の組み合わせからなる
開口パターンＡ〜Ｈが放射状に設けられており、他方の
パターン板１１ｑには、１列の電極３のうち残りの半分
に対応した開口１２の組み合わせからなる開口パターン
Ａ〜Ｈが放射状に設けられており、両パターン板１１
ｐ、１１ｑは外周縁を互いに近接させて配置されてい
る。しかして、両パターン板１１ｐ、１１ｑの各開口パ
ターンＡ〜Ｈを一直線状に並べることにより、１列の電
極に対するすべての開口パターンが形成されるようにな
っている。
【００９１】（第９の実施形態）また、本発明の周波数
調整装置は、複数の電極を設けられた圧電共振子に限ら
ず、図２０に示すように片面に１つの電極（振動電極）
しか有しない圧電共振子の周波数調整にも用いることが
できる。図２０に示す圧電共振器２１は、基板２２と、
圧電共振子１と、キャップ２３とで構成されている。基
板２２の両端部には、２個の外部電極２４が形成されて
おり、外部電極２４の端部は、基板２２の両側縁部に形
成された凹状のスルーホール部２５（スルーホールを２
分割したもの）まで引き出され、スルーホール部２５の
内面に形成された電極と導通している。外部電極２４の
上には、導電性接着剤や半田のような導電性と接着性の
機能を併せ持つ導電性接着剤２８によって圧電共振子１
が接着固定されている。この圧電共振子１は厚み滑り振
動モードの共振子であり、圧電基板２の表面の一端側か
ら約２／３の領域にわたって電極２６が形成され、裏面
の他端側から約２／３の領域にわたって電極２７が形成
されている。両電極２６、２７の一端部は、圧電基板２
を介してその中間部位で対向して振動部となる電極（振
動電極）２９を構成しており、この電極２９は導電性接
着剤２８の厚みによって基板２２と接触しないように一
定の空間が確保されている。
調整装置は、複数の電極を設けられた圧電共振子に限ら
ず、図２０に示すように片面に１つの電極（振動電極）
しか有しない圧電共振子の周波数調整にも用いることが
できる。図２０に示す圧電共振器２１は、基板２２と、
圧電共振子１と、キャップ２３とで構成されている。基
板２２の両端部には、２個の外部電極２４が形成されて
おり、外部電極２４の端部は、基板２２の両側縁部に形
成された凹状のスルーホール部２５（スルーホールを２
分割したもの）まで引き出され、スルーホール部２５の
内面に形成された電極と導通している。外部電極２４の
上には、導電性接着剤や半田のような導電性と接着性の
機能を併せ持つ導電性接着剤２８によって圧電共振子１
が接着固定されている。この圧電共振子１は厚み滑り振
動モードの共振子であり、圧電基板２の表面の一端側か
ら約２／３の領域にわたって電極２６が形成され、裏面
の他端側から約２／３の領域にわたって電極２７が形成
されている。両電極２６、２７の一端部は、圧電基板２
を介してその中間部位で対向して振動部となる電極（振
動電極）２９を構成しており、この電極２９は導電性接
着剤２８の厚みによって基板２２と接触しないように一
定の空間が確保されている。
【００９２】このように圧電共振子１の表面に１個の電
極２９しか存在しない場合でも、図２１に示すように基
板２２に実装された圧電共振子１を並べることにより
（あるいは、複数の圧電共振子１を実装された親基板を
個々の基板２２にカットする前の段階で）本発明の周波
数調整装置を用いて周波数調整を行うことにより、複数
個の圧電共振子１に対して一度に周波数調整を行わせる
ことができる。
極２９しか存在しない場合でも、図２１に示すように基
板２２に実装された圧電共振子１を並べることにより
（あるいは、複数の圧電共振子１を実装された親基板を
個々の基板２２にカットする前の段階で）本発明の周波
数調整装置を用いて周波数調整を行うことにより、複数
個の圧電共振子１に対して一度に周波数調整を行わせる
ことができる。
【００９３】なお、上記各実施形態では、予め各素子の
周波数が目標値よりも低めとなるように電極を形成して
おき、各素子の周波数測定結果に応じてイオンビーム照
射により電極を一部エッチングして周波数調整を行なっ
たが、これとは逆に、予め各素子の周波数が目標値より
も高めとなるように電極を形成しておき、各素子の周波
数測定結果に応じて電極に周波数調整物質を付加するよ
うにしてもよい。あるいは、各素子の周波数を測定し、
周波数が目標値よりも低い素子についてはイオンエッチ
ングにより電極を一部削除し、周波数が目標値よりも高
い素子については電極に周波数調整物質を付加するよう
にしてもよい。
周波数が目標値よりも低めとなるように電極を形成して
おき、各素子の周波数測定結果に応じてイオンビーム照
射により電極を一部エッチングして周波数調整を行なっ
たが、これとは逆に、予め各素子の周波数が目標値より
も高めとなるように電極を形成しておき、各素子の周波
数測定結果に応じて電極に周波数調整物質を付加するよ
うにしてもよい。あるいは、各素子の周波数を測定し、
周波数が目標値よりも低い素子についてはイオンエッチ
ングにより電極を一部削除し、周波数が目標値よりも高
い素子については電極に周波数調整物質を付加するよう
にしてもよい。
【００９４】
【発明の効果】請求項１に記載の圧電部品の周波数調整
装置によれば、圧電基板の電極をパターン板の開口パタ
ーンから選択的に露出させ、所定の開口パターンを遮蔽
板の窓から選択的に露出させることができるから、電極
を含んで構成される各素子の目標周波数からのばらつき
に応じ、周波数調整の必要な電極だけを開口パターンか
ら選択的に露出させ、露出させた電極だけを一部除去す
ることにより周波数調整を行なうことができる。
装置によれば、圧電基板の電極をパターン板の開口パタ
ーンから選択的に露出させ、所定の開口パターンを遮蔽
板の窓から選択的に露出させることができるから、電極
を含んで構成される各素子の目標周波数からのばらつき
に応じ、周波数調整の必要な電極だけを開口パターンか
ら選択的に露出させ、露出させた電極だけを一部除去す
ることにより周波数調整を行なうことができる。
【００９５】しかも、請求項１に記載の周波数調整装置
によれば、遮蔽板の窓から同時に露出する数の電極を単
位として、複数の電極に一度に、効率よく周波数調整を
行なうことができる。さらに、遮蔽板の窓から露出させ
る開口パターンを変更して周波数調整を繰り返すことに
より、遮蔽板の窓から露出している複数の電極の周波数
を微調整することもでき、個々の素子の周波数調整を精
度よく行なうことができる。
によれば、遮蔽板の窓から同時に露出する数の電極を単
位として、複数の電極に一度に、効率よく周波数調整を
行なうことができる。さらに、遮蔽板の窓から露出させ
る開口パターンを変更して周波数調整を繰り返すことに
より、遮蔽板の窓から露出している複数の電極の周波数
を微調整することもでき、個々の素子の周波数調整を精
度よく行なうことができる。
【００９６】請求項２に記載の圧電部品の周波数調整装
置によれば、圧電基板の電極をパターン板の開口パター
ンから選択的に露出させ、所定の開口パターンを遮蔽板
の窓から選択的に露出させることができるから、電極を
含んで構成される各素子の目標周波数からのばらつきに
応じ、周波数調整の必要な電極だけを開口パターンから
選択的に露出させ、露出させた電極だけに周波数調整物
質を付与することにより周波数調整を行なうことができ
る。
置によれば、圧電基板の電極をパターン板の開口パター
ンから選択的に露出させ、所定の開口パターンを遮蔽板
の窓から選択的に露出させることができるから、電極を
含んで構成される各素子の目標周波数からのばらつきに
応じ、周波数調整の必要な電極だけを開口パターンから
選択的に露出させ、露出させた電極だけに周波数調整物
質を付与することにより周波数調整を行なうことができ
る。
【００９７】しかも、請求項２に記載の周波数調整装置
によれば、遮蔽板の窓から同時に露出する数の電極を単
位として、複数の電極に一度に、効率よく周波数調整を
行なうことができる。さらに、遮蔽板の窓から露出させ
る開口パターンを変更して周波数調整を繰り返すことに
より、遮蔽板の窓から露出している複数の電極の周波数
を微調整することもでき、個々の素子の周波数調整を精
度よく行なうことができる。
によれば、遮蔽板の窓から同時に露出する数の電極を単
位として、複数の電極に一度に、効率よく周波数調整を
行なうことができる。さらに、遮蔽板の窓から露出させ
る開口パターンを変更して周波数調整を繰り返すことに
より、遮蔽板の窓から露出している複数の電極の周波数
を微調整することもでき、個々の素子の周波数調整を精
度よく行なうことができる。
【００９８】請求項３に記載の圧電部品の周波数調整装
置によれば、複数の圧電基板の電極をパターン板の開口
パターンから選択的に露出させ、所定の開口パターンを
遮蔽板の窓から選択的に露出させることができるから、
電極を含んで構成される各素子の目標周波数からのばら
つきに応じ、周波数調整の必要な電極だけを開口パター
ンから選択的に露出させ、露出させた電極だけを一部除
去することにより周波数調整を行なうことができる。
置によれば、複数の圧電基板の電極をパターン板の開口
パターンから選択的に露出させ、所定の開口パターンを
遮蔽板の窓から選択的に露出させることができるから、
電極を含んで構成される各素子の目標周波数からのばら
つきに応じ、周波数調整の必要な電極だけを開口パター
ンから選択的に露出させ、露出させた電極だけを一部除
去することにより周波数調整を行なうことができる。
【００９９】しかも、請求項３に記載の周波数調整装置
によれば、遮蔽板の窓から同時に露出する数の電極を単
位として、複数の圧電基板に一度に、効率よく周波数調
整を行なうことができる。さらに、遮蔽板の窓から露出
させる開口パターンを変更して周波数調整を繰り返すこ
とにより、遮蔽板の窓から露出している複数の電極の周
波数を微調整することもでき、各圧電基板の素子の周波
数調整を精度よく行なうことができる。
によれば、遮蔽板の窓から同時に露出する数の電極を単
位として、複数の圧電基板に一度に、効率よく周波数調
整を行なうことができる。さらに、遮蔽板の窓から露出
させる開口パターンを変更して周波数調整を繰り返すこ
とにより、遮蔽板の窓から露出している複数の電極の周
波数を微調整することもでき、各圧電基板の素子の周波
数調整を精度よく行なうことができる。
【０１００】請求項４に記載の圧電部品の周波数調整装
置によれば、複数の圧電基板の電極をパターン板の開口
パターンから選択的に露出させ、所定の開口パターンを
遮蔽板の窓から選択的に露出させることができるから、
電極を含んで構成される各素子の目標周波数からのばら
つきに応じ、周波数調整の必要な電極だけを開口パター
ンから選択的に露出させ、露出させた電極だけに周波数
調整物質を付与することにより周波数調整を行なうこと
ができる。
置によれば、複数の圧電基板の電極をパターン板の開口
パターンから選択的に露出させ、所定の開口パターンを
遮蔽板の窓から選択的に露出させることができるから、
電極を含んで構成される各素子の目標周波数からのばら
つきに応じ、周波数調整の必要な電極だけを開口パター
ンから選択的に露出させ、露出させた電極だけに周波数
調整物質を付与することにより周波数調整を行なうこと
ができる。
【０１０１】しかも、請求項４に記載の周波数調整装置
によれば、遮蔽板の窓から同時に露出する数の電極を単
位として、複数の圧電基板に一度に、効率よく周波数調
整を行なうことができる。さらに、遮蔽板の窓から露出
させる開口パターンを変更して周波数調整を繰り返すこ
とにより、遮蔽板の窓から露出している複数の電極の周
波数を微調整することもでき、各圧電基板の素子の周波
数調整を精度よく行なうことができる。
によれば、遮蔽板の窓から同時に露出する数の電極を単
位として、複数の圧電基板に一度に、効率よく周波数調
整を行なうことができる。さらに、遮蔽板の窓から露出
させる開口パターンを変更して周波数調整を繰り返すこ
とにより、遮蔽板の窓から露出している複数の電極の周
波数を微調整することもでき、各圧電基板の素子の周波
数調整を精度よく行なうことができる。
【０１０２】請求項５に記載の周波数調整装置によれ
ば、開口パターンを設けた複数枚のパターン板の組み合
わせによって電極を選択的に露出させるようにしている
から、各パターン板に設ける開口パターン数を少なくで
きる。また、パターン板に設けるトータルの開口パター
ン数も少なくできる。よって、パターン板の構造が簡単
になると共にパターン板の駆動距離も短くでき、周波数
調整を高速化できる。
ば、開口パターンを設けた複数枚のパターン板の組み合
わせによって電極を選択的に露出させるようにしている
から、各パターン板に設ける開口パターン数を少なくで
きる。また、パターン板に設けるトータルの開口パター
ン数も少なくできる。よって、パターン板の構造が簡単
になると共にパターン板の駆動距離も短くでき、周波数
調整を高速化できる。
【０１０３】請求項６に記載の圧電部品の周波数調整装
置によれば、遮蔽板の窓を開閉するシャッターを備えて
いるから、シャッターによる窓の開閉時間によって電極
の除去量もしくは周波数調整物質の付加量を制御するこ
とができ、素子の周波数を精度よく調整することができ
る。
置によれば、遮蔽板の窓を開閉するシャッターを備えて
いるから、シャッターによる窓の開閉時間によって電極
の除去量もしくは周波数調整物質の付加量を制御するこ
とができ、素子の周波数を精度よく調整することができ
る。
【０１０４】請求項７に記載の圧電部品の周波数調整装
置によれば、パターン板を直線駆動するようにしている
から、パターン板を回転駆動するものと比較すると、パ
ターン板における無駄な領域を少なくでき、パターン板
を有効活用してその面積を小さくすることができる。
置によれば、パターン板を直線駆動するようにしている
から、パターン板を回転駆動するものと比較すると、パ
ターン板における無駄な領域を少なくでき、パターン板
を有効活用してその面積を小さくすることができる。
【０１０５】請求項８に記載の圧電部品の周波数調整装
置によれば、パターン板を回転駆動するようにしている
から、開口パターン板をモータ等によって駆動させるこ
とができ、パターン板を直線的に走行駆動させる方式と
比較すると、パターン板の駆動方法を簡易にすることが
できる。
置によれば、パターン板を回転駆動するようにしている
から、開口パターン板をモータ等によって駆動させるこ
とができ、パターン板を直線的に走行駆動させる方式と
比較すると、パターン板の駆動方法を簡易にすることが
できる。
【０１０６】請求項９に記載の圧電部品の周波数調整方
法によれば、圧電基板の電極をパターン板の開口パター
ンから選択的に露出させ、所定の開口パターンを遮蔽板
の窓から選択的に露出させることができるから、電極を
含んで構成される各素子の目標周波数からのばらつきに
応じ、周波数調整の必要な電極だけを開口パターンから
選択的に露出させ、露出させた電極だけを一部除去する
ことにより周波数調整を行なうことができる。
法によれば、圧電基板の電極をパターン板の開口パター
ンから選択的に露出させ、所定の開口パターンを遮蔽板
の窓から選択的に露出させることができるから、電極を
含んで構成される各素子の目標周波数からのばらつきに
応じ、周波数調整の必要な電極だけを開口パターンから
選択的に露出させ、露出させた電極だけを一部除去する
ことにより周波数調整を行なうことができる。
【０１０７】しかも、請求項９に記載の周波数調整方法
によれば、遮蔽板の窓から同時に露出する数の電極を単
位として、複数の電極に一度に、効率よく周波数調整を
行なうことができる。さらに、遮蔽板の窓から露出させ
る開口パターンを変更して周波数調整を繰り返すことに
より、遮蔽板の窓から露出している複数の電極の周波数
を微調整することもでき、個々の素子の周波数調整を精
度よく行なうことができる。
によれば、遮蔽板の窓から同時に露出する数の電極を単
位として、複数の電極に一度に、効率よく周波数調整を
行なうことができる。さらに、遮蔽板の窓から露出させ
る開口パターンを変更して周波数調整を繰り返すことに
より、遮蔽板の窓から露出している複数の電極の周波数
を微調整することもでき、個々の素子の周波数調整を精
度よく行なうことができる。
【０１０８】請求項１０に記載の圧電部品の周波数調整
方法によれば、圧電基板の電極をパターン板の開口パタ
ーンから選択的に露出させ、所定の開口パターンを遮蔽
板の窓から選択的に露出させることができるから、電極
を含んで構成される各素子の目標周波数からのばらつき
に応じ、周波数調整の必要な電極だけを開口パターンか
ら選択的に露出させ、露出させた電極だけに周波数調整
物質を付与することにより周波数調整を行なうことがで
きる。
方法によれば、圧電基板の電極をパターン板の開口パタ
ーンから選択的に露出させ、所定の開口パターンを遮蔽
板の窓から選択的に露出させることができるから、電極
を含んで構成される各素子の目標周波数からのばらつき
に応じ、周波数調整の必要な電極だけを開口パターンか
ら選択的に露出させ、露出させた電極だけに周波数調整
物質を付与することにより周波数調整を行なうことがで
きる。
【０１０９】しかも、請求項１０に記載の周波数調整方
法によれば、遮蔽板の窓から同時に露出する数の電極を
単位として、複数の電極に一度に、効率よく周波数調整
を行なうことができる。さらに、遮蔽板の窓から露出さ
せる開口パターンを変更して周波数調整を繰り返すこと
により、遮蔽板の窓から露出している複数の電極の周波
数を微調整することもでき、個々の素子の周波数調整を
精度よく行なうことができる。
法によれば、遮蔽板の窓から同時に露出する数の電極を
単位として、複数の電極に一度に、効率よく周波数調整
を行なうことができる。さらに、遮蔽板の窓から露出さ
せる開口パターンを変更して周波数調整を繰り返すこと
により、遮蔽板の窓から露出している複数の電極の周波
数を微調整することもでき、個々の素子の周波数調整を
精度よく行なうことができる。
【０１１０】請求項１１に記載の圧電部品の周波数調整
方法によれば、複数の圧電基板の電極をパターン板の開
口パターンから選択的に露出させ、所定の開口パターン
を遮蔽板の窓から選択的に露出させることができるか
ら、電極を含んで構成される各素子の目標周波数からの
ばらつきに応じ、周波数調整の必要な電極だけを開口パ
ターンから選択的に露出させ、露出させた電極だけを一
部除去することにより周波数調整を行なうことができ
る。
方法によれば、複数の圧電基板の電極をパターン板の開
口パターンから選択的に露出させ、所定の開口パターン
を遮蔽板の窓から選択的に露出させることができるか
ら、電極を含んで構成される各素子の目標周波数からの
ばらつきに応じ、周波数調整の必要な電極だけを開口パ
ターンから選択的に露出させ、露出させた電極だけを一
部除去することにより周波数調整を行なうことができ
る。
【０１１１】しかも、請求項１１に記載の周波数調整方
法によれば、遮蔽板の窓から同時に露出する数の電極を
単位として、複数の圧電基板に一度に、効率よく周波数
調整を行なうことができる。さらに、遮蔽板の窓から露
出させる開口パターンを変更して周波数調整を繰り返す
ことにより、遮蔽板の窓から露出している複数の電極の
周波数を微調整することもでき、各圧電基板の素子の周
波数調整を精度よく行なうことができる。
法によれば、遮蔽板の窓から同時に露出する数の電極を
単位として、複数の圧電基板に一度に、効率よく周波数
調整を行なうことができる。さらに、遮蔽板の窓から露
出させる開口パターンを変更して周波数調整を繰り返す
ことにより、遮蔽板の窓から露出している複数の電極の
周波数を微調整することもでき、各圧電基板の素子の周
波数調整を精度よく行なうことができる。
【０１１２】請求項１２に記載の圧電部品の周波数調整
方法によれば、複数の圧電基板の電極をパターン板の開
口パターンから選択的に露出させ、所定の開口パターン
を遮蔽板の窓から選択的に露出させることができるか
ら、電極を含んで構成される各素子の目標周波数からの
ばらつきに応じ、周波数調整の必要な電極だけを開口パ
ターンから選択的に露出させ、露出させた電極だけに周
波数調整物質を付与することにより周波数調整を行なう
ことができる。
方法によれば、複数の圧電基板の電極をパターン板の開
口パターンから選択的に露出させ、所定の開口パターン
を遮蔽板の窓から選択的に露出させることができるか
ら、電極を含んで構成される各素子の目標周波数からの
ばらつきに応じ、周波数調整の必要な電極だけを開口パ
ターンから選択的に露出させ、露出させた電極だけに周
波数調整物質を付与することにより周波数調整を行なう
ことができる。
【０１１３】しかも、請求項１２に記載の周波数調整方
法によれば、遮蔽板の窓から同時に露出する数の電極を
単位として、複数の圧電基板に一度に、効率よく周波数
調整を行なうことができる。さらに、遮蔽板の窓から露
出させる開口パターンを変更して周波数調整を繰り返す
ことにより、遮蔽板の窓から露出している複数の電極の
周波数を微調整することもでき、各圧電基板の素子の周
波数調整を精度よく行なうことができる。
法によれば、遮蔽板の窓から同時に露出する数の電極を
単位として、複数の圧電基板に一度に、効率よく周波数
調整を行なうことができる。さらに、遮蔽板の窓から露
出させる開口パターンを変更して周波数調整を繰り返す
ことにより、遮蔽板の窓から露出している複数の電極の
周波数を微調整することもでき、各圧電基板の素子の周
波数調整を精度よく行なうことができる。
【０１１４】請求項１３に記載の周波数調整方法によれ
ば、開口パターンを設けた複数枚のパターン板の組み合
わせによって電極を選択的に露出させるようにしている
から、各パターン板に設ける開口パターン数を少なくで
きる。また、パターン板に設けるトータルの開口パター
ン数も少なくできる。よって、パターン板の構造が簡単
になると共にパターン板の駆動距離も短くでき、周波数
調整を高速化できる。
ば、開口パターンを設けた複数枚のパターン板の組み合
わせによって電極を選択的に露出させるようにしている
から、各パターン板に設ける開口パターン数を少なくで
きる。また、パターン板に設けるトータルの開口パター
ン数も少なくできる。よって、パターン板の構造が簡単
になると共にパターン板の駆動距離も短くでき、周波数
調整を高速化できる。
【０１１５】請求項１４に記載の圧電部品の周波数調整
方法によれば、遮蔽板の窓を開閉するシャッターを配置
する工程を備えているから、シャッターによる窓の開閉
時間によって電極の除去量もしくは周波数調整物質の付
加量を制御することができ、素子の周波数を精度よく調
整することができる。
方法によれば、遮蔽板の窓を開閉するシャッターを配置
する工程を備えているから、シャッターによる窓の開閉
時間によって電極の除去量もしくは周波数調整物質の付
加量を制御することができ、素子の周波数を精度よく調
整することができる。
【０１１６】請求項１５に記載の圧電部品の周波数調整
装置によれば、パターン板を直線駆動するようにしてい
るから、パターン板を回転駆動するものと比較すると、
パターン板における無駄な領域を少なくでき、パターン
板を有効活用してその面積を小さくすることができる。
装置によれば、パターン板を直線駆動するようにしてい
るから、パターン板を回転駆動するものと比較すると、
パターン板における無駄な領域を少なくでき、パターン
板を有効活用してその面積を小さくすることができる。
【０１１７】請求項１６に記載の圧電部品の周波数調整
方法によれば、パターン板を回転駆動させるようにして
いるから、パターン板をモータ等によって駆動させるこ
とができ、パターン板を直線的に走行駆動させる方式と
比較すると、開口パターン部の駆動方法を簡易にするこ
とができる。
方法によれば、パターン板を回転駆動させるようにして
いるから、パターン板をモータ等によって駆動させるこ
とができ、パターン板を直線的に走行駆動させる方式と
比較すると、開口パターン部の駆動方法を簡易にするこ
とができる。
【０１１８】請求項１７に記載の圧電部品の周波数調整
方法によれば、電極をマトリックス状に形成し、この電
極を開口パターンから列単位で露出させて列単位でそれ
ぞれの電極に対して周波数調整を行なえるようにしてい
るから、圧電板に配列されている電極に対して列を単位
として順序よく周波数調整することができる。
方法によれば、電極をマトリックス状に形成し、この電
極を開口パターンから列単位で露出させて列単位でそれ
ぞれの電極に対して周波数調整を行なえるようにしてい
るから、圧電板に配列されている電極に対して列を単位
として順序よく周波数調整することができる。
【０１１９】請求項１８に記載の圧電部品の周波数調整
方法によれば、電極が形成された圧電基板をマトリック
ス状に配置し、これらの圧電基板に形成された電極を開
口パターンから列単位で露出させて列単位でそれぞれの
電極に対して周波数調整を行なえるようにしているか
ら、電極が形成されている圧電板に対して列を単位とし
て順序よく周波数調整することができる。
方法によれば、電極が形成された圧電基板をマトリック
ス状に配置し、これらの圧電基板に形成された電極を開
口パターンから列単位で露出させて列単位でそれぞれの
電極に対して周波数調整を行なえるようにしているか
ら、電極が形成されている圧電板に対して列を単位とし
て順序よく周波数調整することができる。
【図１】圧電共振子の一例を示す平面図である。
【図２】本発明の一実施形態による周波数調整装置の構
成を示す断面図である。
成を示す断面図である。
【図３】図２の周波数調整装置を構成するパターン板の
平面図である。
平面図である。
【図４】周波数測定及び周波数調整の工程を示す概略図
である。
である。
【図５】同上の工程における周波数調整の手順を示すフ
ロー図である。
ロー図である。
【図６】圧電基板に設けられた各素子に対するイオンビ
ーム照射時間の一例を示す図である。
ーム照射時間の一例を示す図である。
【図７】周波数調整工程における周波数調整の別な手順
を示すフロー図である。
を示すフロー図である。
【図８】本発明の別な実施形態によるパターン板を示す
平面図である。
平面図である。
【図９】異なる構成のパターン板を示す平面図である。
【図１０】本発明のさらに別な実施形態によるパターン
板を示す平面図である。
板を示す平面図である。
【図１１】本発明のさらに別な実施形態による周波数調
整装置の構造を示す断面図である。
整装置の構造を示す断面図である。
【図１２】図１１の周波数調整装置に用いられているパ
ターン板の平面図である。
ターン板の平面図である。
【図１３】（ａ）（ｂ）は本発明のさらに別な実施形態
による開口パターン設定部を示す平面図及び正面図であ
る。
による開口パターン設定部を示す平面図及び正面図であ
る。
【図１４】図１３の開口パターン設定部に用いられてい
る各パターン板を示す平面図である。
る各パターン板を示す平面図である。
【図１５】（ａ）（ｂ）は本発明のさらに別な実施形態
による開口パターン設定部を示す平面図及び正面図であ
る。
による開口パターン設定部を示す平面図及び正面図であ
る。
【図１６】図１５の開口パターン設定部に用いられてい
る下面側のパターン板を示す平面図である。
る下面側のパターン板を示す平面図である。
【図１７】本発明のさらに別な実施形態による開口パタ
ーン設定部を示す正面図である。
ーン設定部を示す正面図である。
【図１８】（ａ）（ｂ）は図１７の開口パターン設定部
に用いられている上面側のパターン板と下面側のパター
ン板を示す平面図である。
に用いられている上面側のパターン板と下面側のパター
ン板を示す平面図である。
【図１９】（ａ）（ｂ）は本発明のさらに別な実施形態
による開口パターン設定部を示す平面図及び正面図であ
る。
による開口パターン設定部を示す平面図及び正面図であ
る。
【図２０】本発明のさらに別な実施形態による周波数調
整の対象となる圧電共振器を示す分解斜視図である。
整の対象となる圧電共振器を示す分解斜視図である。
【図２１】図２０に示した圧電共振器を、キャップを除
いた状態で並べた様子を示す平面図である。
いた状態で並べた様子を示す平面図である。
１ 圧電共振子
２ 圧電基板
３ 電極
４ 周波数調整装置
５ イオンビーム照射装置
７ 遮蔽板
８ 遮蔽板の窓
９ シャッター
１０ 開口パターン設定部
１１、１１ａ〜１１ｊ、１１ｍ、１１ｎ、１１ｐ、１１
ｑ パターン板 １２ 開口 １５ ダミー開口 １６ モータ
ｑ パターン板 １２ 開口 １５ ダミー開口 １６ モータ
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(56)参考文献 特開 平11−112261（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−298435（ＪＰ，Ａ)
特開 平９−162667（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−303071（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−106892（ＪＰ，Ａ)
特開 昭53−104191（ＪＰ，Ａ)
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
H03H 3/04
Claims (16)
- 【請求項１】 表面に複数の電極がマトリックス状に形
成された圧電基板の上に配置され、前記電極を選択的に
露出させる開口パターンを有するパターン板、 前記パターン板の上に配置され、このパターン板の所定
の開口パターンを選択的に露出させる窓を有する遮蔽
板、 前記パターン板の開口パターンおよび前記遮蔽板の窓を
介して露出する前記圧電基板の電極の一部を除去する電
極除去手段、 を有する圧電部品の周波数調整装置において、 前記開口パターンは、前記遮蔽板の窓から一度に露出可
能な列単位の前記電極を構成する各電極に対応する開口
の有無の組み合わせでなる ことを特徴とする圧電部品の
周波数調整装置。 - 【請求項２】 表面に複数の電極がマトリックス状に形
成された圧電基板の上に配置され、前記電極を選択的に
露出させる開口パターンを有するパターン板、 前記パターン板の上に配置され、このパターン板の所定
の開口パターンを選択的に露出させる窓を有する遮蔽
板、 前記パターン板の開口パターンおよび前記遮蔽板の窓を
介して露出する前記圧電基板の電極に周波数調整物質を
付与する周波数調整物質付与手段、 を有する圧電部品の周波数調整装置において、 前記開口パターンは、前記遮蔽板の窓から一度に露出可
能な列単位の前記電極を構成する各電極に対応する開口
の有無の組み合わせでなる ことを特徴とする圧電部品の
周波数調整装置。 - 【請求項３】 表面に電極が形成された複数の圧電基板
をマトリックス状に並べたものの上に配置され、前記複
数の圧電基板の電極を選択的に露出させる開口パターン
を有するパターン板、 前記パターン板の上に配置され、このパターン板の所定
の開口パターンを選択的に露出させる窓を有する遮蔽
板、 前記パターン板の開口パターンおよび前記遮蔽板の窓を
介して露出する前記圧電基板の電極の一部を除去する電
極除去手段、 を有する圧電部品の周波数調整装置において、 前記開口パターンは、前記遮蔽板の窓から一度に露出可
能な列単位の前記電極を構成する各電極に対応する開口
の有無の組み合わせでなる ことを特徴とする圧電部品の
周波数調整装置。 - 【請求項４】 表面に電極が形成された複数の圧電基板
をマトリックス状に並べたものの上に配置され、前記複
数の圧電基板の電極を選択的に露出させる開口パターン
を有するパターン板、 前記パターン板の上に配置され、このパターン板の所定
の開口パターンを選択的に露出させる窓を有する遮蔽
板、 前記パターン板の開口パターンおよび前記遮蔽板の窓を
介して露出する前記圧電基板の電極に周波数調整物質を
付与する周波数調整物質付与手段、 を有する圧電部品の周波数調整装置において、 前記開口パターンは、前記遮蔽板の窓から一度に露出可
能な列単位の前記電極を構成する各電極に対応する開口
の有無の組み合わせでなる ことを特徴とする圧電部品の
周波数調整装置。 - 【請求項５】 複数枚のパターン板の開口パターンを組
み合わせることにより、電極を選択的に露出させるよう
にしたことを特徴とする、請求項１、２、３又は４に記
載の圧電部品の周波数調整装置。 - 【請求項６】 前記遮蔽板の窓を開閉するシャッターを
備えていることを特徴とする、請求項１、２、３、４又
は５に記載の圧電部品の周波数調整装置。 - 【請求項７】 前記パターン板を直線駆動させるように
したことを特徴とする、請求項１、２、３、４、５又は
６に記載の圧電部品の周波数調整装置。 - 【請求項８】 前記パターン板を回転駆動させるように
したことを特徴とする、請求項１、２、３、４、５又は
６に記載の圧電部品の周波数調整装置。 - 【請求項９】 表面に複数の電極がマトリックス状に形
成された圧電基板を用意する工程、開口の有無の組み合わせからなり、 前記圧電基板の列単
位の電極のうち所望する電極を選択的に露出させること
ができる開口パターンを有するパターン板を前記圧電基
板の上に配置する工程、前記列単位の電極を露出可能な窓を有し、当該窓から 前
記パターン板の所定の開口パターンを選択的に露出させ
る遮蔽板を前記パターン板の上に配置する工程、 前記パターン板の開口パターンおよび前記遮蔽板の窓を
介して露出する前記圧電基板の電極の一部を除去する工
程、 を含んでなることを特徴とする圧電部品の周波数調整方
法。 - 【請求項１０】 表面に複数の電極がマトリックス状に
形成された圧電基板を用意する工程、開口の有無の組み合わせからなり、 前記圧電基板の列単
位の電極のうち所望する電極を選択的に露出させること
ができる開口パターンを有するパターン板を前記圧電基
板の上に配置する工程、前記列単位の電極を露出可能な窓を有し、当該窓から 前
記パターン板の所定の開口パターンを選択的に露出させ
る遮蔽板を前記パターン板の上に配置する工程、 前記パターン板の開口パターンおよび前記遮蔽板の窓を
介して露出する前記圧電基板の電極に周波数調整物質を
付与する工程、 を含んでなることを特徴とする圧電部品の周波数調整方
法。 - 【請求項１１】 表面に電極が形成された複数の圧電基
板をマトリックス状に並べたものを用意する工程、開口の有無の組み合わせからなり、 前記複数の圧電基板
の列単位の電極のうち所望する電極を選択的に露出させ
ることができる開口パターンを有するパターン板を前記
圧電基板の上に配置する工程、前記列単位の電極を露出可能な窓を有し、当該窓から 前
記パターン板の所定の開口パターンを選択的に露出させ
る遮蔽板を前記パターン板の上に配置する工程、 前記パターン板の開口パターンおよび前記遮蔽板の窓を
介して露出する前記圧電基板の電極の一部を除去する工
程、 を含んでなることを特徴とする圧電部品の周波数調整方
法。 - 【請求項１２】 表面に電極が形成された複数の圧電基
板をマトリックス状に並べたものを用意する工程、開口の有無の組み合わせからなり、 前記複数の圧電基板
の列単位の電極のうち所望する電極を選択的に露出させ
ることができる開口パターンを有するパターン板を前記
圧電基板の上に配置する工程、前記列単位の電極を露出可能な窓を有し、当該窓から 前
記パターン板の所定の開口パターンを選択的に露出させ
る遮蔽板を前記パターン板の上に配置する工程、 前記パターン板の開口パターンおよび前記遮蔽板の窓を
介して露出する前記圧電基板の電極に周波数調整物質を
付与する工程、 を含んでなることを特徴とする圧電部品の周波数調整方
法。 - 【請求項１３】 複数枚のパターン板の開口パターンを
組み合わせることにより、電極を選択的に露出させるよ
うにしたことを特徴とする、請求項９、１０、１１又は
１２に記載の圧電部品の周波数調整方法。 - 【請求項１４】 前記遮蔽板の窓を開閉するシャッター
を備えていることを特徴とする、請求項９、１０、１
１、１２又は１３に記載の圧電部品の周波数調整方法。 - 【請求項１５】 前記パターン板を直線駆動させるよう
にしたことを特徴とする、請求項９、１０、１１、１
２、１３又は１４に記載の圧電部品の周波数調整方法。 - 【請求項１６】 前記パターン板を回転駆動させるよう
にしたことを特徴とする、請求項９、１０、１１、１
２、１３又は１４に記載の圧電部品の周波数調整方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000031683A JP3473538B2 (ja) | 1999-05-14 | 2000-02-09 | 圧電部品の周波数調整装置及び周波数調整方法 |
| US09/570,748 US6458285B1 (en) | 1999-05-14 | 2000-05-13 | Method and apparatus for frequency control of piezoelectric components |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11-134582 | 1999-05-14 | ||
| JP13458299 | 1999-05-14 | ||
| JP2000031683A JP3473538B2 (ja) | 1999-05-14 | 2000-02-09 | 圧電部品の周波数調整装置及び周波数調整方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001036370A JP2001036370A (ja) | 2001-02-09 |
| JP3473538B2 true JP3473538B2 (ja) | 2003-12-08 |
Family
ID=26468651
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000031683A Expired - Lifetime JP3473538B2 (ja) | 1999-05-14 | 2000-02-09 | 圧電部品の周波数調整装置及び周波数調整方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6458285B1 (ja) |
| JP (1) | JP3473538B2 (ja) |
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| US7125587B2 (en) * | 2002-05-20 | 2006-10-24 | Varian Semiconductor Equipment Associates Inc. | Ion beam for enhancing optical properties of materials |
| JP4567488B2 (ja) * | 2005-02-28 | 2010-10-20 | 京セラキンセキ株式会社 | 圧電デバイスの周波数調整方法 |
| JP2007209000A (ja) * | 2007-02-21 | 2007-08-16 | Infineon Technologies Ag | 所定の層の厚さ特性を有する層の製造方法 |
| US8771483B2 (en) * | 2007-09-05 | 2014-07-08 | Intermolecular, Inc. | Combinatorial process system |
| JP5092846B2 (ja) * | 2008-03-31 | 2012-12-05 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイスの周波数調整装置 |
| JP4591570B2 (ja) | 2008-07-28 | 2010-12-01 | 株式会社村田製作所 | 周波数調整装置 |
| JP5163366B2 (ja) * | 2008-08-26 | 2013-03-13 | 株式会社村田製作所 | 周波数調整装置 |
| JP5120201B2 (ja) * | 2008-10-27 | 2013-01-16 | 株式会社大真空 | 圧電振動板の周波数調整方法 |
| JP5604643B2 (ja) * | 2010-04-20 | 2014-10-08 | 株式会社昭和真空 | 圧電振動子の周波数調整装置及び周波数調整方法 |
| JP6097913B2 (ja) * | 2012-06-19 | 2017-03-22 | 株式会社昭和真空 | シャッタ機構、シャッタ開閉方法、プログラム、及びシャッタ機構を備えた周波数調整装置 |
| JP5944353B2 (ja) * | 2013-07-17 | 2016-07-05 | サンダース アンド アソシエイツ エルエルシー | 水晶振動子のエッチング方法、及び、エッチング装置。 |
| JP6457736B2 (ja) * | 2014-05-01 | 2019-01-23 | 京セラ株式会社 | 水晶振動素子の製造方法 |
| TWI679961B (zh) | 2018-12-06 | 2019-12-21 | 財團法人工業技術研究院 | 血管縫合的固定裝置 |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4454639A (en) * | 1982-06-03 | 1984-06-19 | Motorola, Inc. | Method for tuning piezoelectric resonators |
| FR2557732B1 (fr) * | 1983-12-28 | 1986-04-11 | Lefevre Rene | Procede de realisation de dispositifs piezoelectriques miniatures utilisant un usinage par laser et dispositifs obtenus par ce procede |
| US4758863A (en) * | 1987-02-17 | 1988-07-19 | Hewlett-Packard Company | Multi-image reticle |
| JPH03289807A (ja) | 1990-04-06 | 1991-12-19 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電共振子の周波数調整方法 |
| FR2699765B1 (fr) * | 1992-12-22 | 1995-01-20 | Cepe | Procédé d'ajustage en fréquence d'un dispositif piézoélectrique et équipement pour la mise en Óoeuvre du procédé. |
| US5662782A (en) * | 1994-05-26 | 1997-09-02 | Seiko Epson Corporation | Method and apparatus for adjusting a resonance frequency of piezoelectric elements |
| JPH07336189A (ja) * | 1994-06-09 | 1995-12-22 | Murata Mfg Co Ltd | 圧電フィルタ |
| US6045671A (en) * | 1994-10-18 | 2000-04-04 | Symyx Technologies, Inc. | Systems and methods for the combinatorial synthesis of novel materials |
| US5759753A (en) * | 1995-07-19 | 1998-06-02 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Piezoelectric device and method of manufacturing the same |
-
2000
- 2000-02-09 JP JP2000031683A patent/JP3473538B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2000-05-13 US US09/570,748 patent/US6458285B1/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
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| US6458285B1 (en) | 2002-10-01 |
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