JP4591570B2 - 周波数調整装置 - Google Patents
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Description
まずウエハ10の先端部(左端部)がパターンマスク15の下方へ導入された時、最初(1番目)に右側のマスク穴15bから露出するのは、A−ロ、A−ニ、A−ヘ、A−チの4個のエリアである。したがって、これら4個のマスク穴15bから露出したエリアに対してイオンビームが照射され、その照射時間がシャッタ14bによって調整される。
全てのシャッタ14bが閉じられた後、ウエハ10を1ピッチだけ搬送方向に移動させると、次に(2番目)に右側のマスク穴15bから露出するのは、B−ロ、B−ニ、B−ヘ、B−チの4個のエリアである。なお、この時点ではウエハ10が左側のマスク穴15aに到達していないため、左側のマスク穴15aからは未だエリアが露出しない。右側のマスク穴15bから露出した4個のエリアに対してイオンビームが照射され、その照射時間がシャッタ14bによって調整される。
全てのシャッタ14bが閉じられた後、ウエハ10を1ピッチだけ搬送方向に移動させると、次に(3番目)に左側のマスク穴15aからA−イ、A−ハ、A−ホ,A−ト,A−リの5個のエリアが露出し、右側のマスク穴15bからC−ロ、C−ニ、C−ヘ、C−チの4個のエリアが露出する。これらマスク穴から露出したエリアに対してイオンビームが照射され、その照射時間がシャッタ14a,14bによって調整される。
その後は3番目と同じ動作を繰り返すため、重複説明を省略する。
2 処理室
5 エッチング用イオンガン5
6 可動ステージ(搬送手段)
10 ウエハ
10a エリア
11 シャッタベース
12(12a,12b) アクチュエータ
14a,14b シャッタ
15 パターンマスク
15a,15b マスク穴
16 制御装置
Claims (6)
- 複数の素子が密に配置されたウエハを搬送手段により一方向に搬送しながら、前記ウエハに対してエッチング用イオンガンによってイオンビームを照射し、前記ウエハのねらいのエリアだけを露出させるマスク穴を有するパターンマスクを前記ウエハの前に配置し、ねらいのエリアのイオンビーム照射時間をシャッタで調整することにより、ねらいのエリアの周波数を調整する装置において、
前記パターンマスクのマスク穴をエリア毎に独立に、かつ前記ウエハ搬送方向と直交する方向のエリアの個数分だけ設けると共に、
前記マスク穴を前記ウエハ搬送方向と直交する方向に多列にかつウエハ搬送方向と直交する方向に交互にずらして設け、
前記マスク穴を個別に開閉できるように前記シャッタを各マスク穴に対応して設け、
前記ウエハの全てのエリアに対して隙間なくかつ個別にイオンビームを照射可能としたことを特徴とする周波数調整装置。 - 複数の素子が密に配置されたウエハを搬送手段により一方向に搬送しながら、前記ウエハに対して周波数調整物質付与手段によって周波数調整物質を付与し、前記ウエハのねらいのエリアだけを露出させるマスク穴を有するパターンマスクを前記ウエハの前に配置し、ねらいのエリアの周波数調整物質付与時間をシャッタで調整することにより、ねらいのエリアの周波数を調整する装置において、
前記パターンマスクのマスク穴をエリア毎に独立に、かつ前記ウエハ搬送方向と直交する方向のエリアの個数分だけ設けると共に、
前記マスク穴を前記ウエハ搬送方向と直交する方向に多列にかつウエハ搬送方向と直交する方向に交互にずらして設け、
前記マスク穴を個別に開閉できるように前記シャッタを各マスク穴に対応して設け、
前記ウエハの全てのエリアに対して隙間なくかつ個別に周波数調整物質を付与可能としたことを特徴とする周波数調整装置。 - 前記エリアには複数の素子が含まれることを特徴とする請求項1又は2に記載の周波数調整装置。
- 前記搬送手段は、前記ウエハの1エリア分を1ピッチとして間欠搬送するものであり、
前記パターンマスクのマスク穴は、前記ウエハ搬送方向と直交する方向に2列にかつウエハ搬送方向に交互に1素子又は複数素子分開けて設けられていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の周波数調整装置。 - 前記搬送手段は、前記ウエハの1エリア分を1ピッチとして間欠搬送するものであり、
前記パターンマスクのマスク穴は、前記ウエハ搬送方向と直交する方向に2列にかつウエハ搬送方向に交互に1ピッチ又は複数ピッチ分開けて設けられていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の周波数調整装置。 - 前記シャッタは、前記ウエハ搬送方向と直交する第1列目のマスク穴を閉じる第1シャッタ群と、前記ウエハ搬送方向と直交する第2列目のマスク穴を閉じる第2シャッタ群とを備え、第1シャッタ群を駆動するアクチュエータと第2シャッタ群を駆動するアクチュエータとは、前記パターンマスクのウエハ搬送方向の両側に対向して配置されていることを特徴とする請求項4又は5に記載の周波数調整装置。
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