JP6097913B2 - シャッタ機構、シャッタ開閉方法、プログラム、及びシャッタ機構を備えた周波数調整装置 - Google Patents
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Description
従って、複数の水晶振動子がマトリクス状に配置されたトレイを用いて、水晶振動子にイオンビームを照射する周波数調整装置においては、列ごとにイオンビームを照射するのが通例である。このような処理を行う場合、一列の水晶振動子の数に対応する孔を有する遮蔽板と、当該孔に対応する数のシャッタと、各シャッタを移動させるモータを設ける必要がある。
シャッタ間のピッチが狭くなると、各シャッタに取り付けられたモータの間隔も狭くなり、モータを並列して配置するには設置スペースの点で限界が生じていた。また、シャッタ間のピッチに適合するために、モータをシャッタの移動方向にずらして配置することもできるが、数が増えると、ずらした分のスペースを必要とし、イオンビーム処理を行う真空チャンバー自体の大型化につながり好ましくない。また、シャッタ長が長くなり信頼性が低下する。
一列に配列された複数の電子部品に対向して配置され、イオンガンからのイオンビームを遮蔽する遮蔽板であって、前記一列に配列された複数の電子部品に対応する位置に複数の孔を有し、当該複数の孔は、前記一列に配列された複数の電子部品に対向する位置で、所定数の電子部品おきに形成される遮蔽板と、
前記遮蔽板を前記一列の電子部品に沿って移動させる第1の駆動部と、
前記遮蔽板に形成された複数の孔に対応して設けられ、各前記孔を閉塞または開放する複数のシャッタと、
前記孔を閉塞または開放するように当該シャッタを駆動する第2の駆動部と、
前記複数のシャッタを開放し、前記遮蔽板の前記一列の電子部品が対向する面と反対の面と対向して配置されたイオンガンにより、前記遮蔽板の複数の孔を介して、複数の電子部品にイオンビームを照射した後、前記遮蔽板を、前記第1の駆動部により前記一列の電子部品に沿って移動させ、前記照射が終了した前記複数の電子部品と隣り合う電子部品上に前記複数の孔を位置決めして停止させる制御部とを備え、
前記第1の駆動部は、前記複数のシャッタと接続され、前記遮蔽板が前記一列の電子部品に沿って移動される動きと同期して、前記複数のシャッタを一体として、前記一列の電子部品に沿って移動させることを特徴とする。
上記目的を達成するため、本発明の第2の観点に係るシャッタ機構は、
一列に配列された複数の圧電素子に対向して配置され、当該複数の圧電素子に対向する面と反対の面に対向して配置されたイオンガンからのイオンビームを遮蔽する遮蔽板であって、前記一列に配列された複数の圧電素子に対応する位置に、所定数の圧電素子おきに形成された複数の孔を有し、当該複数の孔の間隔は、前記遮蔽板と前記圧電素子とを挟んで前記イオンガンの反対側に配置された周波数測定部であって、前記一列に配列された複数の圧電素子に対応する位置に配置された複数の測定部を備え当該測定部により前記圧電素子の発振周波数を測定する周波数測定部の、当該複数の測定部の間隔と同一である遮蔽板と、
前記遮蔽板と前記周波数測定部とを前記一列の圧電素子に沿って移動させる第1の駆動部と、
前記遮蔽板に形成された複数の孔に対応して設けられ、各前記孔を閉塞または開放する複数のシャッタと、
前記孔を閉塞または開放するように当該シャッタを駆動する第2の駆動部と、
前記複数のシャッタを開放し、前記イオンガンにより、前記遮蔽板の複数の孔を介して、前記周波数測定部の測定部により測定された発振周波数に基づき複数の圧電素子にイオンビームを照射した後、前記遮蔽板と前記周波数測定部とを、前記第1の駆動部により前記一列の圧電素子に沿って移動させ、前記照射が終了した前記複数の圧電素子と隣り合う圧電素子上に前記複数の孔と前記複数の測定部とを位置決めして停止させる制御部とを備えることを特徴とする。
イオンガンからのイオンビームを遮蔽する遮蔽板であって、一列に配列された複数の電子部品に対応する位置に複数の孔を有し、当該複数の孔は、前記一列に配列された複数の電子部品に対向する位置で、所定数の電子部品おきに形成される遮蔽板を、前記一列に配列された複数の電子部品に対向して配置する工程と、
前記遮蔽板に形成された各前記孔に対応して設けられた複数のシャッタを第2の駆動部により開放する工程と、
前記複数のシャッタのうち開放されたシャッタと当該シャッタに対応する前記遮蔽板の各前記孔を介して、各前記電子部品にイオンガンからイオンビームを照射する工程と、
前記開放されたシャッタを前記第2の駆動部により閉塞する工程と、
第1の駆動部により、前記遮蔽板を前記一列の電子部品に沿って移動させ、前記照射が終了した各前記電子部品と隣り合う電子部品上に各前記孔を位置決めして停止させる移動工程と、
前記複数のシャッタに接続された前記第1の駆動部により、前記遮蔽板が前記一列の電子部品に沿って移動される動きと同期して、前記複数のシャッタを一体として、前記一列の電子部品に沿って移動させる工程とを備えることを特徴とする。
コンピュータを、
一列に配列された複数の電子部品に対向して配置され、イオンガンからのイオンビームを遮蔽する遮蔽板であって、前記一列に配列された複数の電子部品に対応する位置に複数の孔を有し、当該複数の孔は、前記一列に配列された複数の電子部品と対向する位置で、所定数の電子部品おきに形成される遮蔽板を、前記一列の電子部品に沿って移動させる第1の駆動部、
前記遮蔽板に形成された複数の孔に対応して設けられ、各前記孔を閉塞または開放する複数のシャッタを、前記孔を閉塞または開放するように当該シャッタを駆動する第2の駆動部、
前記複数のシャッタを開放し、前記遮蔽板の前記一列の電子部品が対向する面と反対の面と対向して配置されたイオンガンにより、前記遮蔽板の複数の孔を介して、複数の電子部品にイオンビームを照射した後、前記遮蔽板を、前記第1の駆動部により前記一列の電子部品に沿って移動させ、前記照射が終了した前記複数の電子部品と隣り合う電子部品上に前記複数の孔を位置決めして停止させる制御部として機能させ、
前記第1の駆動部は、前記複数のシャッタと接続され、前記遮蔽板が前記一列の電子部品に沿って移動される動きと同期して、前記複数のシャッタを一体として、前記一列の電子部品に沿って移動させることを特徴とする。
前記シャッタ機構と、
一列に配列された複数の電子部品に内蔵された圧電素子の発振周波数を測定する周波数測定部と、
測定された発振周波数が、所望の発振周波数から外れた前記圧電素子にイオンビームを照射するイオンガンとを備えることを特徴とする。
以下では、理解を容易にするため、シャッタ機構を利用して本発明が実現される実施の形態を説明するが、以下に説明する実施の形態は説明のためのものであり、本願発明の範囲を制限するものではない。したがって、当業者であればこれらの各要素もしくは全要素をこれと均等なものに置換した実施の形態を採用することが可能であるが、これらの実施の形態も本発明の範囲に含まれる。
なお、コンタクト10は、コンタクト搬送装置25に取り付けられたXYステージ26により、Y軸方向に移動される。
トレイ搬送装置14は、一対のガイドレール21と、ガイドレール21と平行に配置されたボールねじ軸28と、ボールねじナット29と、チャック機構22とからなる。
ボールねじナット29は、キャリア8に向かって垂直に伸びるチャック機構22に固定されている。
図3は、本実施の形態に係るシャッタ機構において、コンタクト10と、トレイ6と、遮蔽板16と、シャッタ12との位置関係を示す概念図であり、図3(a)は、シャッタ機構の位置関係を示す側面図、図3(b)は、同じく背面図である。
したがって、トレイ6に収容された水晶振動子7の隣り合う間隔が狭くなっても、シャッタ間のピッチを狭めることなく、適切にイオンビームを水晶振動子7に照射することができる。
図4(d)に可動台の他の実施例を示す。可動台49は、その上面に、トレイ6の水晶振動子7の一列に対して、所定数おきに孔17を有する遮蔽板16と、遮蔽板16の下方に配置され、遮蔽板16の孔に対応する数の複数のシャッタ12と、複数のシャッタ12の各々に接続されたソレノイド31と、イオンガン11と、コンタクト搬送装置25を載置する。モータ45により、可動台49に載置された遮蔽板16、シャッタ12、コンタクト10、イオンガン11を一体にY軸方向に移動させることができる。可動台49にイオンガンを搭載することで、小型イオンガンであっても大面積の基板を処理することが可能となる。
ストッパ56〜58は、リンク54の動きを規制する部材であり、リンク54の動きが規制されることにより、シャッタ12の往復移動の距離が決定される。シャッタ12の往復移動の距離は、リンク54の長さを調整することにより、変更可能である。また、ストッパに設けられた凸部59〜61の大きさを変更することによっても、シャッタ12の往復移動の距離を変更することが可能である。
そして、ガイドレール21内に搬入されたキャリア8の一端部に設けられた磁性体が、チャック機構22のマグネット部24に結合される。ボールねじ軸28が駆動部42により回転駆動され、ボールねじ軸28に螺合するボールねじナット29がX軸方向に並進する。ボールねじナット29に固定されたチャック機構22及びチャック機構22に結合されたキャリア8は、ボールねじナット29の並進方向と同一方向に搬送される。
キャリア8は、トレイ6に収容された水晶振動子7の搬送方向(X軸のA方向)の第1番目の列の位置まで移動され、停止される。このとき、遮蔽板16の孔17は、トレイ6上の第1番目の列に配列された水晶振動子7に対して、1つおきに形成されているため、トレイ6と遮蔽板16とシャッタ12とは、図3に示すような位置関係に配置される。すなわち、遮蔽板16の孔17、コンタクト10のプローブピン15、及びシャッタ12は、図3において便宜上黒色で示した水晶振動子7に対して対向するように位置している。ここで、説明を容易にするために、黒色で示した水晶振動子を第1グループの水晶振動子7aとし、第1グループの水晶振動子7aに対して、隣り合う水晶振動子を白色で示した第2グループの水晶振動子7bとする。
図7(a)は、n列目の第1グループの水晶振動子7aの列上に、遮蔽板16とシャッタ12が位置している状態を示す。この状態で、第1グループの水晶振動子7a対してイオンビームの照射が全て終了すると、図7(b)に示すように、n列目の第2グループの水晶振動子上に遮蔽板16とシャッタ12が位置するように、Y軸方向に遮蔽板16とシャッタ12が移動する。
トレイ6上の最後の列に対するイオンビーム照射が終了したと判断されると(ステップS808;YES)、シャッタ開閉動作の処理は終了する。
また、上記実施の形態においては第一の制御部と第二の制御部を用いているが一つの制御部でもよい。
また、上記実施の形態においては、遮蔽板16の孔17の数に一致するプローブピン15の数を設けているが、コンタクト10をY軸方向に駆動して水晶振動子間で切替る手段を設ければ、プローブピン15の数は孔17の数より少なくてもよい。あるいは、搬送方向(矢印A)と垂直なY軸方向に配列された電子部品と同数(上記実施の形態では12個)のプローブピン15を設け、コンタクト10はY軸方向に搬送せず固定のまま測定してもよい。
2 仕込室
3 エッチング室
5 ゲートバルブ
6 トレイ
7 水晶振動子
7a 第1グループの水晶振動子
7b 第2グループの水晶振動子
8 キャリア
9 収容部
10 コンタクト
11 イオンガン
12 シャッタ
13 第1制御部
14 トレイ搬送装置
15 プローブピン
16 遮蔽板
17 孔
21 ガイドレール
22 チャック機構
23 アームベース
24 マグネット部
25 コンタクト搬送装置
26 XYステージ
27 側柱
28 ボールねじ軸
29 ボールねじナット
30 天板
31 ソレノイド
41 可動台
42 駆動部
43 ガイド部
44 通過孔
45 モータ
46 ボールねじ軸
47 ボールねじナット
49 可動台
50 往復移動機構
51 シャッタガイド
52 ストッパ
53 ピン
54 リンク
55 回転軸
56 第1のストッパ
57 第2のストッパ
58 第3のストッパ
59 第1の凸部
60 第2の凸部
61 第3の凸部
Claims (8)
- 一列に配列された複数の電子部品に対向して配置され、イオンガンからのイオンビームを遮蔽する遮蔽板であって、前記一列に配列された複数の電子部品に対応する位置に複数の孔を有し、当該複数の孔は、前記一列に配列された複数の電子部品に対向する位置で、所定数の電子部品おきに形成される遮蔽板と、
前記遮蔽板を前記一列の電子部品に沿って移動させる第1の駆動部と、
前記遮蔽板に形成された複数の孔に対応して設けられ、各前記孔を閉塞または開放する複数のシャッタと、
前記孔を閉塞または開放するように当該シャッタを駆動する第2の駆動部と、
前記複数のシャッタを開放し、前記遮蔽板の前記一列の電子部品が対向する面と反対の面と対向して配置されたイオンガンにより、前記遮蔽板の複数の孔を介して、複数の電子部品にイオンビームを照射した後、前記遮蔽板を、前記第1の駆動部により前記一列の電子部品に沿って移動させ、前記照射が終了した前記複数の電子部品と隣り合う電子部品上に前記複数の孔を位置決めして停止させる制御部とを備え、
前記第1の駆動部は、前記複数のシャッタと接続され、前記遮蔽板が前記一列の電子部品に沿って移動される動きと同期して、前記複数のシャッタを一体として、前記一列の電子部品に沿って移動させる
ことを特徴とするシャッタ機構。 - 前記第2の駆動部は、各シャッタに対応して設けられた
ことを特徴とする請求項1に記載のシャッタ機構。 - 前記電子部品が圧電素子から構成され、前記第1の駆動部は、当該圧電素子の発振周波数を測定する周波数測定部に接続され、前記遮蔽板が前記一列の電子部品に沿って移動される動きと同期して、前記周波数測定部を前記一列の電子部品に沿って移動させる
ことを特徴とする請求項1または2に記載のシャッタ機構。 - 前記第1の駆動部は、前記イオンガンと接続され、前記遮蔽板が前記一列の電子部品に沿って移動される動きと同期して、前記イオンガンを一体として、前記一列の電子部品に沿って移動させる
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のシャッタ機構。 - 一列に配列された複数の圧電素子に対向して配置され、当該複数の圧電素子に対向する面と反対の面に対向して配置されたイオンガンからのイオンビームを遮蔽する遮蔽板であって、前記一列に配列された複数の圧電素子に対応する位置に、所定数の圧電素子おきに形成された複数の孔を有し、当該複数の孔の間隔は、前記遮蔽板と前記圧電素子とを挟んで前記イオンガンの反対側に配置された周波数測定部であって、前記一列に配列された複数の圧電素子に対応する位置に配置された複数の測定部を備え当該測定部により前記圧電素子の発振周波数を測定する周波数測定部の、当該複数の測定部の間隔と同一である遮蔽板と、
前記遮蔽板と前記周波数測定部とを前記一列の圧電素子に沿って移動させる第1の駆動部と、
前記遮蔽板に形成された複数の孔に対応して設けられ、各前記孔を閉塞または開放する複数のシャッタと、
前記孔を閉塞または開放するように当該シャッタを駆動する第2の駆動部と、
前記複数のシャッタを開放し、前記イオンガンにより、前記遮蔽板の複数の孔を介して、前記周波数測定部の測定部により測定された発振周波数に基づき複数の圧電素子にイオンビームを照射した後、前記遮蔽板と前記周波数測定部とを、前記第1の駆動部により前記一列の圧電素子に沿って移動させ、前記照射が終了した前記複数の圧電素子と隣り合う圧電素子上に前記複数の孔と前記複数の測定部とを位置決めして停止させる制御部とを備える
ことを特徴とするシャッタ機構。 - イオンガンからのイオンビームを遮蔽する遮蔽板であって、一列に配列された複数の電子部品に対応する位置に複数の孔を有し、当該複数の孔は、前記一列に配列された複数の電子部品に対向する位置で、所定数の電子部品おきに形成される遮蔽板を、前記一列に配列された複数の電子部品に対向して配置する工程と、
前記遮蔽板に形成された各前記孔に対応して設けられた複数のシャッタを第2の駆動部により開放する工程と、
前記複数のシャッタのうち開放されたシャッタと当該シャッタに対応する前記遮蔽板の各前記孔を介して、各前記電子部品にイオンガンからイオンビームを照射する工程と、
前記開放されたシャッタを前記第2の駆動部により閉塞する工程と、
第1の駆動部により、前記遮蔽板を前記一列の電子部品に沿って移動させ、前記照射が終了した各前記電子部品と隣り合う電子部品上に各前記孔を位置決めして停止させる移動工程と、
前記複数のシャッタに接続された前記第1の駆動部により、前記遮蔽板が前記一列の電子部品に沿って移動される動きと同期して、前記複数のシャッタを一体として、前記一列の電子部品に沿って移動させる工程とを備える
ことを特徴とするシャッタ開閉方法。 - コンピュータを、
一列に配列された複数の電子部品に対向して配置され、イオンガンからのイオンビームを遮蔽する遮蔽板であって、前記一列に配列された複数の電子部品に対応する位置に複数の孔を有し、当該複数の孔は、前記一列に配列された複数の電子部品と対向する位置で、所定数の電子部品おきに形成される遮蔽板を、前記一列の電子部品に沿って移動させる第1の駆動部、
前記遮蔽板に形成された複数の孔に対応して設けられ、各前記孔を閉塞または開放する複数のシャッタを、前記孔を閉塞または開放するように当該シャッタを駆動する第2の駆動部、
前記複数のシャッタを開放し、前記遮蔽板の前記一列の電子部品が対向する面と反対の面と対向して配置されたイオンガンにより、前記遮蔽板の複数の孔を介して、複数の電子部品にイオンビームを照射した後、前記遮蔽板を、前記第1の駆動部により前記一列の電子部品に沿って移動させ、前記照射が終了した前記複数の電子部品と隣り合う電子部品上に前記複数の孔を位置決めして停止させる制御部
として機能させ、
前記第1の駆動部は、前記複数のシャッタと接続され、前記遮蔽板が前記一列の電子部品に沿って移動される動きと同期して、前記複数のシャッタを一体として、前記一列の電子部品に沿って移動させることを特徴とするプログラム。 - 請求項1乃至5のいずれか1項に記載のシャッタ機構と、
一列に配列された複数の電子部品に内蔵された圧電素子の発振周波数を測定する周波数測定部と、
測定された発振周波数が、所望の発振周波数から外れた前記圧電素子にイオンビームを照射するイオンガンとを備える
ことを特徴とする周波数調整装置。
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