CN109789434B - 作业装置和作业方法 - Google Patents

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Abstract

技术问题：提供一种可在具有机械差异的多个作业头之间获得无差异的作业的作业装置和使用其的作业方法。技术方案：一种作业装置和使用其的作业方法，包括执行同一作业的n个(n为2以上的自然数)作业头、保持作业对象物的载置台、使载置台和作业头相对移动的第1方向驱动装置、使载置台和作业头相对移动的第2方向驱动装置、使载置台和作业头相对移动的第3方向驱动装置、测量各作业头的作业量的作业量测量装置、控制装置，第1方向驱动装置能够使n个作业头在第1方向分别独立地移动，第2方向驱动装置包括使n个作业头在第2方向同时移动的第2方向主驱动装置和使n个作业头中的n－1个作业头在第2方向分别独立地移动的第2方向副驱动装置。

Description

作业装置和作业方法
技术领域
本发明涉及一种具有多个作业头的作业装置和作业方法，尤其是涉及一种使用多个排出装置的液体材料涂敷装置和涂敷方法。本发明中的“排出”包括液体材料从排出口离开之前与涂敷对象物接触的类型的排出方式、和液体材料从排出口离开之后与涂敷对象物接触的类型的排出方式。
背景技术
在半导体器件等的制造中，以下情况正在增多，即，在较大的基板例如一边为500mm左右的矩形基板中，以矩阵状形成多个相同半导体器件之后，对各个半导体器件进行切开的“多倒角”加工。为了制造大量半导体器件，始终要求生产性的提高。另外，在本说明书中，生产性主要是指每单位时间的处理数。
为了提高生产性，排列多台相同的制造装置来执行并行处理最为容易，且较为普遍。然而，如此会导致制造装置的大型化或成本的增大。
因此，保持制造装置的尺寸大体不变，通过安装多个作业头，使其同时进行相同的动作，来实现生产性的提高。例如，公开有在液体材料涂敷装置中安装多个作业头即排出装置的如下技术。
专利文献1公开有一种涂敷装置，其通过从涂敷单元的喷嘴将涂敷物排出至涂敷对象物上，而在涂敷对象物上进行期望的图案的描绘，其具有：多个涂敷单元；使涂敷对象物与涂敷物的描绘图案相对应地移动的移动机构；和单独控制多个涂敷单元的涂敷量的控制单元。
另外，专利文献2公开有一种浆料涂敷装置，其包括：涂敷头，其通过螺桨的旋转而从喷嘴向涂敷对象物排出与螺桨的旋转速度相应的量的浆料；移动机构，其使涂敷对象物与涂敷头相对移动；检测部，其检测涂敷在涂敷对象物上的浆料的涂敷量；和控制单元，其基于检测出的涂敷量，调整涂敷对象物与涂敷头的相对移动速度或螺桨的旋转速度，以获得目标涂敷量，并基于调整后的相对移动速度或调整后的旋转速度来控制涂敷头和移动机构。
现有技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利特开2004-290885号公报
专利文献2：日本专利特开2009-50828号公报
发明内容
发明要解决的技术问题
然而，使多个排出装置各自的状态，尤其是排出装置的构成部件或动作等的状态、所排出的液体材料的温度或粘度等状态完全相同，且使多个排出装置之间的液体材料的排出量完全相同较为困难。此外，即便容许某程度的误差，在微细化、高精度化不断推进的当今，所被容许的误差也极小，使排出量相同越发困难。即便在该状态下使排出装置同时进行相同的动作，排出量也存在差异，因此，排出装置伴随动作而向涂敷对象物排出液体材料的结果即涂敷量也会产生差异。这样的问题在具有多个具有机械差异的作业头的作业装置中可谓普遍存在。
因此，本发明的目的在于提供一种可在具有机械差异的多个作业头之间获得无差异的作业的作业装置和作业方法。本发明的目的尤其在于提供一种即便使用排出量存在差异的多个排出装置形成同一涂敷图案，也可在多个排出装置之间获得无差异的涂敷量的液体材料涂敷装置和涂敷方法。
用于解决问题的技术手段
[第1技术思想]
本发明的作业装置的特征在于，包括：执行同一作业的n个(n为2以上的自然数)作业头；用于保持作业对象物的载置台；第1方向驱动装置，其使载置台和n个作业头在第1方向相对移动；第2方向驱动装置，其使载置台和n个作业头在与第1方向正交的第2方向相对移动；第3方向驱动装置，其使载置台和n个作业头在与第1方向和第2方向正交的第3方向相对移动；测量各作业头的作业量的作业量测量装置；和控制装置，其控制n个作业头和第1至第3方向驱动装置的动作，上述第1方向驱动装置能够使上述n个作业头在上述第1方向分别独立地移动，上述第2方向驱动装置包括：使上述n个作业头在上述第2方向同时移动的第2方向主驱动装置；和使上述n个作业头中的n－1个作业头在上述第2方向分别独立地移动的第2方向副驱动装置。
在上述作业装置中，也可以具有如下特征：上述第2方向副驱动装置的可动距离为上述第2方向主驱动装置的可动距离L的一半以下。
在上述作业装置中，也可以具有如下特征：上述第2方向副驱动装置的可动距离为上述第2方向主驱动装置的可动距离L的1/5以下。
在上述作业装置中，也可以具有如下特征：上述第1方向驱动装置包括：使上述n个排出装置在上述第1方向同时移动的第1方向主驱动装置；和使上述n个排出装置中的n－1个排出装置在上述第1方向分别独立地移动的第1方向副驱动装置。
在上述作业装置中，也可以具有如下特征：上述第1方向驱动装置由使上述n个排出装置在上述第1方向分别独立地移动的n个第1方向主驱动装置构成。
在上述作业装置中，也可以具有如下特征：上述控制装置具有在使上述n个作业头执行同一作业图案的形成时，对上述n个作业头分别设定出射次数、作业时间和作业速度的功能。
在上述作业装置中，也可以具有如下特征：上述控制装置具有在使上述n个作业头执行同一作业图案的形成时，基于上述作业量测量装置对上述n个作业头分别测量得到的测量值，计算并排设置定上述n个作业头各自的排出次数、作业时间和相对移动速度的功能。
在上述作业装置中，也可以具有如下特征：上述控制装置具有在使上述n个作业头执行同一作业图案的形成时，以不改变排出频率的方式计算并排设置定上述n个作业头各自的排出次数、作业时间和相对移动速度的功能。
在上述作业装置中，也可以具有如下特征：还包括安装于上述第1方向驱动装置和上述第2方向驱动装置的摄像装置，上述控制装置具有如下功能：基于上述摄像装置拍摄的拍摄图像计算上述n个作业头与上述作业对象物在第1方向和第2方向上的位置关系，并基于该计算的结果设定上述n个作业头在第1方向和第2方向上的作业开始位置。
在上述作业装置中，也可以具有如下特征：还包括安装于上述第1方向驱动装置和上述第2方向驱动装置的距离测量装置，上述控制装置具有如下功能：基于来自上述距离测量装置的接收信号，计算上述作业头与上述作业对象物的距离，并基于该计算的结果设定上述作业头在第3方向上的作业开始位置。
在上述作业装置中，也可以具有如下特征：上述作业头是安装有能够从排出口排出液体材料的排出装置的作业头。
本发明的第1方面的作业方法是使用以上记载的作业装置，该作业方法的特征在于：使用上述第1方向驱动装置，使上述n个作业头在上述第1方向分别独立地移动，使用上述第2方向主驱动装置，使上述n个作业头在上述第2方向同时移动，使用上述第2方向副驱动装置，使上述n个作业头中的n－1个作业头在上述第2方向分别独立地移动，从而一边使上述n个作业头与上述作业对象物相对移动，一边进行作业。
本发明的第2方面的作业方法是使用以上记载的作业装置，在上述作业对象物形成n×m个(m为1以上的自然数)作业图案，该作业方法的特征在于：上述作业头是安装有能够从排出口排出液体材料的排出装置的作业头，上述作业方法包括：排出次数计算步骤，基于上述n个作业头各自要排出的1个液滴的重量，对上述n个作业头分别计算形成1个作业图案所需的排出次数；涂敷时间计算步骤，基于计算出的上述形成1个作业图案所需的排出次数，对上述n个作业头分别计算形成1个作业图案所需的时间；校正后移动速度计算步骤，基于计算出的上述形成1个作业图案所需的时间，对上述n个作业头分别计算校正后移动速度；和涂敷步骤，基于计算出的上述校正后移动速度，一边使上述n个作业头与上述作业对象物相对移动，一边进行涂敷。
本发明的第3方面的作业方法是使用以上记载的作业装置，在上述作业对象物形成上述排出装置的个数的m倍个(m为1以上的自然数)作业图案，该作业方法的特征在于：上述作业头是安装有能够从排出口排出液体材料的排出装置的作业头，上述作业方法包括：排出次数计算步骤，基于上述n个作业头各自要排出的1个液滴的重量，对上述n个作业头分别计算形成1个作业图案所需的排出次数；涂敷时间计算步骤，基于计算出的上述形成1个作业图案所需的排出次数，对上述n个作业头分别计算形成1个作业图案所需的时间；校正后移动速度计算步骤，基于计算出的上述形成1个作业图案所需的时间，对上述n个作业头分别计算校正后移动速度；水平方向开始位置计算步骤，计算上述作业头的水平方向涂敷开始位置；和涂敷步骤，基于计算出的上述校正后移动速度和上述校正后移动速度，一边使上述n个作业头与上述作业对象物相对移动，一边进行涂敷。
在具有上述涂敷步骤的作业方法中，也可以具有如下特征：在上述涂敷步骤中，通过组合上述第2方向主驱动装置的动作和上述第2方向副驱动装置的动作，使上述n个作业头以不同的移动速度移动。
在上述第2或第3方面的作业方法中，也可以具有如下特征：在上述作业对象物形成按阵列进行配置的n×p(p为2以上的自然数)个作业图案。
[第2技术思想]
本发明的液体材料涂敷装置包括：用于从排出口排出液体材料的规格相同的n个(n为2以上的自然数)排出装置；用于保持涂敷对象物的载置台；第1方向驱动装置，其使载置台和n个排出装置在第1方向相对移动；第2方向驱动装置，其使载置台和n个排出装置在与第1方向正交的第2方向相对移动；第3方向驱动装置，其使载置台和n个排出装置在与第1方向和第2方向正交的第3方向相对移动；重量测量装置，其测量从排出装置以既定条件排出的液体材料的重量；和控制装置，其控制n个排出装置和第1至第3方向驱动装置的动作；该液体材料涂敷装置的特征在于：上述第1方向驱动装置能够使上述n个排出装置在上述第1方向分别独立地移动，上述第2方向驱动装置包括：使上述n个排出装置在上述第2方向同时移动的第2方向主驱动装置；和使上述n个排出装置中的n－1个排出装置在上述第2方向分别独立地移动的第2方向副驱动装置。
在上述液体材料涂敷装置中，也可以具有如下特征：上述第2方向副驱动装置的可动距离为上述第2方向主驱动装置的可动距离L的一半以下。
在上述液体材料涂敷装置中，也可以具有如下特征：上述第2方向副驱动装置的可动距离为上述第2方向主驱动装置的可动距离L的1/5以下。
在上述液体材料涂敷装置中，也可以具有如下特征：上述第1方向驱动装置包括：使上述n个排出装置在上述第1方向同时移动的第1方向主驱动装置；和使上述n个排出装置中的n－1个排出装置在上述第1方向分别独立地移动的第1方向副驱动装置，或者上述第1方向驱动装置由使上述n个排出装置在上述第1方向分别独立地移动的n个第1方向主驱动装置构成。
在上述液体材料涂敷装置中，也可以具有如下特征：上述控制装置具有在使上述n个排出装置形成同一涂敷图案时，对各个上述n个排出装置设定排出次数、涂敷时间和涂敷速度的功能。
在上述控制装置具有设定排出次数、涂敷时间和涂敷速度的功能的液体材料涂敷装置中，也可以具有如下特征：上述控制装置具有在使上述n个排出装置形成同一涂敷图案时，基于对各个上述n个排出装置测量的上述重量测量装置的测量值，而计算并排设置定各个上述n个排出装置的排出次数、涂敷时间和涂敷速度的功能，也可以具有如下特征：上述控制装置具有在使上述n个排出装置形成同一涂敷图案时，不改变频率地计算并排设置定各个上述n个排出装置的排出次数、涂敷时间和涂敷速度的功能。
在上述液体材料涂敷装置中，也可以具有如下特征：还包括摄像装置，该摄像装置安装于上述第1方向驱动装置和上述第2方向驱动装置，上述控制装置具有基于上述摄像装置拍摄的拍摄图像，计算上述n个排出装置与上述涂敷对象物在第1方向和第2方向的位置关系，并基于该计算结果来设定上述n个排出装置在第1方向和第2方向的涂敷开始位置的功能，也可以具有如下特征：还包括距离测量装置，该距离测量装置安装于上述第1方向驱动装置和上述第2方向驱动装置，上述控制装置具有基于来自上述距离测量装置的接收信号，计算上述排出装置与上述涂敷对象物的距离，并基于该计算结果来设定上述排出装置在第3方向的涂敷开始位置的功能。
本发明的第1方面的涂敷方法是使用以上记载的液体材料涂敷装置，该涂敷方法的特征在于：使用上述第1方向驱动装置，使上述n个排出装置在上述第1方向分别独立地移动，使用上述第2方向主驱动装置，使上述n个排出装置在上述第2方向同时移动，使用上述第2方向副驱动装置，使上述n个排出装置中的n－1个排出装置在上述第2方向分别独立地移动，从而一边使上述n个排出装置与上述涂敷对象物相对移动，一边进行作业。
本发明的第2方面的涂敷方法是使用上述控制装置具有设定排出次数、涂敷时间和涂敷速度的功能的液体材料涂敷装置，在上述涂敷对象物形成n×m个(m为1以上的自然数)涂敷图案，该涂敷方法的特征在于，包括：排出次数计算步骤，基于上述n个排出装置各自要排出的1个液滴的重量，对上述n个排出装置分别计算形成1个涂敷图案所需的排出次数；涂敷时间计算步骤，基于计算出的上述形成1个涂敷图案所需的排出次数，对上述n个排出装置分别计算形成1个涂敷图案所需的时间；校正后移动速度计算步骤，基于计算出的上述形成1个涂敷图案所需的时间，对上述n个排出装置分别计算校正后移动速度；和涂敷步骤，基于计算出的上述校正后移动速度，一边使上述n个排出装置与上述涂敷对象物相对移动，一边进行涂敷。
本发明的第3方面的涂敷方法是使用具有上述摄像装置的液体材料涂敷装置，在上述涂敷对象物形成上述排出装置的个数的m倍个(m为1以上的自然数)涂敷图案，该涂敷方法的特征在于，包括：排出次数计算步骤，基于上述n个排出装置各自要排出的1个液滴的重量，对上述n个排出装置分别计算形成1个涂敷图案所需的排出次数；涂敷时间计算步骤，基于计算出的上述形成1个涂敷图案所需的排出次数，对上述n个排出装置分别计算形成1个涂敷图案所需的时间；校正后移动速度计算步骤，基于计算出的上述形成1个涂敷图案所需的时间，对上述n个排出装置分别计算校正后移动速度；水平方向开始位置计算步骤，计算上述排出装置的水平方向涂敷开始位置；和涂敷步骤，基于计算出的上述校正后移动速度和上述校正后移动速度，一边使上述n个排出装置与上述涂敷对象物相对移动，一边进行涂敷。
在包括上述涂敷步骤的涂敷方法中，也可以具有如下特征：在上述涂敷步骤中，通过组合上述第2方向主驱动装置的动作与上述第2方向副驱动装置的动作，使上述n个排出装置以不同的移动速度移动。
在上述第1至第3中任一方面的涂敷方法中，也可以具有如下特征：在上述涂敷对象物形成阵列配置的n×p个(p为2以上的自然数)涂敷图案。
发明效果
根据本发明，能够提供一种可在具有机械差异的多个作业头之间获得无差异的作业的作业装置和作业方法。尤其是，即便使用排出量存在差异的多个排出装置形成同一涂敷图案，也可以在多个排出装置之间获得无差异的涂敷量。
附图说明
图1是第1实施方式的液体材料涂敷装置的整体立体图。
图2是第2实施方式的液体材料涂敷装置的整体立体图。
图3是第3实施方式的液体材料涂敷装置的整体立体图。
图4是第4实施方式的液体材料涂敷装置的整体立体图。
具体实施方式
下面，根据附图对本发明的实施方式进行详细的说明。此外，本发明并不限于以下的各个实施方式。
本发明的作业装置包括：执行同一作业的n个(n为2以上的自然数)作业头；用于保持作业对象物的载置台；第1方向驱动装置，其使载置台和n个作业头在第1方向相对移动；第2方向驱动装置，其使载置台和n个作业头在与第1方向正交的第2方向相对移动；第3方向驱动装置，其使载置台和n个作业头在与第1方向和第2方向正交的第3方向相对移动；测量各作业头的作业量的作业量测量装置；和控制装置，其控制n个作业头和第1至第3方向驱动装置的动作。
第1方向驱动装置能够使n个作业头在第1方向分别独立地移动。第2方向驱动装置包括：使n个作业头在第2方向同时移动的第2方向主驱动装置；和使n个作业头中的n－1个作业头在第2方向分别独立地移动的第2方向副驱动装置。第2方向副驱动装置的可动距离优选第2方向主驱动装置的可动距离L的一半以下，进一步优选1/5以下。
第1方向驱动装置也可以为包括：使n个排出装置在第1方向同时移动的第1方向主驱动装置；和使n个排出装置中的n－1个排出装置在第1方向分别独立地移动的第1方向副驱动装置。或者第1方向驱动装置也可以由使n个排出装置在第1方向分别独立地移动的n个第1方向主驱动装置构成。
根据具有上述特征的本发明的作业装置，在使用每单位时间的“输出”不同的多个装置，一边使作业头与作业对象物相对移动，一边同时进行同一作业的情况下，通过单独地控制各作业头的移动速度，能够使最终的“输出结果”一致。安装于作业头的装置例如为能够从排出口排出液体材料的排出装置、以脉冲状射出激光的激光振动装置。
以下，一边参照附图一边说明用于实施本发明的方式例。
[第1实施方式]
＜结构＞
如图1所示，第1实施方式的液体材料涂敷装置1主要由如下部件构成：排出液体材料的排出装置(2a、2b、2c)；能够载置并固定涂敷对象物5的载置台4；使排出装置(2a、2b、2c)与载置台4相对移动的XYZ驱动装置(6、7、8、13)；测量来自排出装置(2a、2b、2c)的排出量(即，作业量)的重量测量装置16；和与排出装置(2a、2b、2c)、XYZ驱动装置(6、7、8、13)和重量测量装置16连接并控制它们的动作的控制装置17。以下，有时会将排出装置(2a、2b、2c)简略记为“排出装置2”。
第1实施方式的排出装置2使用所谓的“喷射式”，其通过在液室内往返移动的宽度比液室窄的阀体(杆)的作用，而从排出口3以滴状排出液体材料。喷射式具有：使阀体与阀座碰撞而从排出口喷出液体材料的落座型的喷射式；或者(b)使阀体移动，接着急速停止以使阀体(排出用部件)不与阀座碰撞而从排出口喷出液体材料的非落座型的喷射式，可以为任一类型的喷射式。作为阀体(杆)的驱动装置，例如包括：具有活塞且通过压缩气体或弹簧来驱动杆的驱动装置；通过压电元件来驱动杆的驱动装置。
在第1实施方式中，由于将多倒角基板作为涂敷对象物5，因此设置有多个规格相同的排出装置2，以能够同时形成多个涂敷图案(作业图案)。图1中例示出排出装置2为3个的情形。但是，排出装置2的数量并不限定于此，也可以为2个，也可以为4个以上(例如，2～8个)。排出装置2的数量可考虑形成在涂敷对象的涂敷图案的数量或尺寸等来确定。例如，具有如下方法，即：在涂敷图案的数量为k个，且k＝n×p的关系成立的情况下(n和p均为2以上的自然数)，将排出装置2的个数设定为n个或p个。此时，形成在基板上的k个涂敷图案的配置并不限定于n行×p列或p行×n列的阵列配置，也可以有例如2n行×1/2p列的情形。在以比排出装置2的宽度窄的间距(间隔)在列方向(第1实施方式中为第1方向)配置有多个涂敷图案的情况下，通过数个排出装置的数次涂敷动作而涂敷一列(例如，通过3个排出装置的2次涂敷动作而进行涂敷排列成一列的6个涂敷图案)。另外，对行方向(第1实施方式中为第2方向)而言，能够使排出装置2以比排出装置2的宽度窄的间距移动，因此不受行方向的涂敷图案的间距的尺寸影响。
载置台4具有在上表面载置涂敷对象物5的平面、和将涂敷对象物5固定在载置台4的固定机构。作为固定机构，例如可使用如下2种机构：开设有从载置台4内部通向上表面的多个孔，通过从该孔吸入空气而将涂敷对象物5吸附固定的机构；或者利用固定用部件夹住涂敷对象物5，且利用螺钉等固定单元将该部件固定在载置台4，由此将涂敷对象物5固定的机构。
XYZ驱动装置是由第1方向主驱动装置(6a、6b、6c)、第2方向主驱动装置7、第3方向驱动装置(8a、8b、8c)和第2方向副驱动装置(13a、13b、13c)构成。以下，有时会将第1方向主驱动装置(6a、6b、6c)简略记为“第1方向主驱动装置6”，将第3方向驱动装置(8a、8b、8c)简略记为“第3方向驱动装置8”，将第2方向副驱动装置(13a、13b、13c)简略记为“第2方向副驱动装置13”。
第1方向主驱动装置6能够使各排出装置2在第1方向即X方向(附图标记9)分别独立地移动，其设置数量与排出装置2相同。第1方向主驱动装置6a、6b、6c以在同一直线轨道上移动的方式配置在长方体状的梁22的载置台侧的侧面。在第1方向主驱动装置6a、6b、6c的载置台侧的侧面，分别配置有第2方向副驱动装置13a、13b、13c。通过以使第1方向主驱动装置6a、6b、6c一边保持固定间隔一边以相同速度同时移动的方式进行控制，也能够使上述第1方向主驱动装置6a、6b、6c如同一个X方向驱动装置那样地动作。
第2方向主驱动装置7构成为使第1方向主驱动装置6a、6b、6c向与X方向(附图标记9)正交的第2方向即Y方向(附图标记10)同时移动。第2方向主驱动装置7配置在长条状的支承台23的上表面，设置有第1方向主驱动装置6a、6b、6c的梁22的一端部配置在第2方向主驱动装置7之上。通过第2方向主驱动装置7使第1方向主驱动装置6a、6b、6c同时在Y方向(附图标记10)移动，而将排出装置2a、2b、2c的Y坐标同时定位。另外，在本实施方式中，将第1方向设为X方向，将第2方向设为Y方向，但也可以与此不同，将第1方向设为Y方向，将第2方向设为X方向。
第3方向驱动装置8能够使各排出装置2向与X方向(附图标记9)和Y方向(附图标记10)正交的第3方向即Z方向(附图标记11)分别独立地移动，其设置数量与排出装置2相同。在第3方向驱动装置8a、8b、8c的载置台侧的侧面分别连结有排出装置2a、2b、2c，载置台相反侧的侧面与各第2方向副驱动装置13a、13b、13c分别连结。
第2方向副驱动装置13a、13b、13c能够单独地控制排出装置2a、2b、2c向附图标记15所示的Y方向的移动速度。此处，向附图标记15所示的Y方向的移动可与由第2方向主驱动装置7驱动的向Y方向(附图标记10)的移动独立地进行。第1实施方式中，在第1方向(X方向)没有设置副驱动装置的原因在于，最初便构成为能够使第1方向主驱动装置6a、6b、6c分别独立地移动。当如下述第3实施方式那样构成为使排出装置2a、2b、2c在第1方向(X方向)同时移动时，可分别设置第1方向副驱动装置。
第2方向副驱动装置13的可动距离构成为充分短于第2方向主驱动装置7的可动距离L。例如为可动距离L的一半以下，优选1/5以下，进一步优选1/10以下。第2方向副驱动装置13a、13b、13c与排出装置2a、2b、2c一并构成各个涂敷头，因此小型为佳。这也是因为通过小型化，可降低驱动装置的负载，定位精度也会提升。如下所述，具有一个成为控制移动速度时的基准的排出装置2，与成为基准的排出装置2连结的第2方向副驱动装置13不执行驱动。或者也可以与图1不同，在成为基准的排出装置2不设置第2方向副驱动装置13。
XYZ驱动装置(6、7、8、13)可由线性马达、或滚珠螺桨和电动马达(伺服马达、步进马达等)等构成。另外，图1中是将载置台4固定且使排出装置2在X方向(附图标记9)和Y方向(附图标记10)移动，但例如也可以使排出装置2在X方向(附图标记9)移动且使载置台4在Y方向(附图标记10)移动，也可以将排出装置2固定在横跨载置台4的倒U字形的框架且使载置台4在X方向(附图标记9)和Y方向(附图标记10)移动。
在本实施方式中，作为作业量测量装置的重量测量装置16是采用称量从排出装置2排出的液体材料的重量的设备。为了将测量结果用于控制，优选具有将测量结果经由缆线等输出至外部设备的功能。例如，可以为电子称等。控制装置17具有处理装置、存储装置、输入设备和输出装置。控制装置17连接有排出装置2、XYZ驱动装置(6、7、8、13)和重量测量装置16，且控制该各装置的动作。作为处理装置、存储装置，例如可使用个人计算机(PC)、可程序化逻辑控制器(PLC)等。此外，作为输入设备、输出装置，除键盘、鼠标、显示设备之外也可以使用兼顾输入输出的触控面板。
上述各装置配置在台座18上和内部。供设置排出装置2、载置台4、各驱动装置(6、7、8、13)和重量测量装置16的台座18的上部优选使用由虚线所示的罩19覆盖。由此，可防止尘埃进入涂敷装置1内而造成装置的故障或制品的不良，且可防止作业者与XYZ驱动装置(6、7、8、13)等可动部意外接触。另外，为了作业的便利性，也可以在罩19的侧面设置能够开合的门。
＜动作＞
以下，例示如下情况下的动作，即，使用喷射式排出装置作为排出装置2，使其一边连续地喷射排出滴状的液体材料一边移动，由此进行拉线涂敷。
(初始设定)
首先，作为第1步骤，通过输入设备进行各种参数的输入，并存储于存储装置中。各种参数包括关于涂敷对象物5的参数、关于排出装置2的参数、和关于涂敷的参数。作为关于涂敷对象物5的参数，有涂敷对象物5本身的尺寸或倒角数(即，纵横配置的数量)、成为执行涂敷时的基准位置的对准标记坐标或对准标记图像等。作为关于排出装置2的参数，有杆上升的时间(ON时间)和下降的时间(OFF时间)、具有通过压缩气体压送液体材料的辅助的情况下的该压力的大小等。关于排出装置2的参数，对多个排出装置2全部要进行输入。作为关于涂敷的参数，有涂敷线的长度或形状(即，涂敷图案)、形成1个涂敷图案所需的液体材料的重量(涂敷量)等。
(排出重量测量)
接着，作为第2步骤，进行来自排出装置2a、2b、2c的各排出量的测量。本实施方式中测量的排出量是排出装置2以所设定的既定次数(例如，100次或500次等预定的设定排出次数)进行排出时的重量测量装置16的测量值(即，以设定次数排出时的重量)。该测量是通过排出装置2在重量测量装置16上以既定次数排出液体材料而进行。测量值传送至控制装置17，且通过控制装置17所具有的专用软件而存储于存储装置。
(校正后移动速度的计算)
接着，作为第3步骤，基于第2步骤中测量的排出量的测量结果而进行排出装置2a、2b、2c各自的校正后移动速度的计算。本实施方式中按以下顺序进行。以下顺序能够通过控制装置17所具有的专用软件来实现。
(1)将第2步骤中测量的以设定排出次数排出时的重量除以第2步骤中使用的设定排出次数，求出1次的排出量(即，1个液滴的重量)。
(2)将第1步骤中设定的形成1个涂敷图案所需的液体材料的重量(涂敷重量)除以(1)中求出的1次的排出量，求出形成1个涂敷图案所需的排出次数S。
(3)将(2)中求出的形成1个涂敷图案所需的排出次数S除以由第1步骤中设定的1次的排出时间T1求出的排出装置2的频率(＝T1的倒数)，求出形成1个涂敷图案所需的时间(涂敷时间T2)。
(4)将第1步骤中设定的涂敷线的长度(即，涂敷图案长度)除以(3)中求出的涂敷时间T2，求出校正后涂敷速度(即，排出装置一边排出液体材料一边移动时的校正后移动速度)。
第2步骤和第3步骤在排出装置2a、2b、2c均执行。即，以与排出装置2的数量相同的次数，执行第2步骤和第3步骤，由此计算排出装置2a、2b、2c各自的校正后涂敷速度。第2步骤和第3步骤优选不仅在涂敷作业开始前进行且以预先设定的校正周期执行。作为校正周期，例如设定用户所输入的时间信息或基板的片数。
(涂敷图案的形成)
最后，作为第4步骤，基于第3步骤中计算的校正后涂敷速度，根据涂敷图案使排出装置2a、2b、2c相对于涂敷对象物5相对移动，而进行涂敷。
基于第3步骤中求出的校正后涂敷速度，利用第1方向主驱动装置6和第2方向主驱动装置7，而使成为基准的排出装置2(即，排出装置2a、2b、2c中的任一者)动作。即，成为基准的排出装置2中，不使第2方向副驱动装置13动作(或不设置第2方向副驱动装置13)。利用第1方向主驱动装置6、第2方向主驱动装置7和第2方向副驱动装置13，而使基准以外的排出装置2动作。
在第3步骤中求出的第1方向(即，X方向(附图标记9))的校正后移动速度在各排出装置之间不同的情况下，通过使第1方向主驱动装置6a、6b、6c独立地动作而使排出装置2a、2b、2c以不同的移动速度移动。在第3步骤中求出的第2方向(即，Y方向(附图标记10))的校正后移动速度在各排出装置之间不同的情况下，通过执行第2方向主驱动装置7的动作与第2方向副驱动装置13的动作合成的动作而实现不同的移动速度。换言之，第2方向主驱动装置7以成为基准的排出装置2的校正后移动速度而动作，第2方向副驱动装置13按与成为基准的排出装置2的校正后移动速度相差的量而动作。例如，在第3步骤中求出的排出装置2b或2c的校正后移动速度比成为基准的排出装置2a快的情况下，使第2方向副驱动装置13b或13c在与第2方向主驱动装置7的动作方向相同的方向(附图标记15)动作，由此将第2方向主驱动装置7的移动速度与第2方向副驱动装置13b或13c的移动速度相加，从而可比成为基准的排出装置2a的移动速度快地动作。
相反地，在第3步骤中求出的排出装置2b或2c的校正后移动速度比成为基准的排出装置2a慢的情况下，使第2方向副驱动装置13b或13c在与第2方向主驱动装置7的动作方向相反的方向(附图标记15)动作，由此从第2方向主驱动装置7的校正后移动速度减去第2方向副驱动装置13b或13c的校正后移动速度，从而可比成为基准的排出装置2a的校正后移动速度慢地动作。
将排出装置2a、2b、2c的校正后移动速度的计算例示在表1中。表1所示的ON时间与OFF时间相加所得的时间成为1次的排出时间T1。1次的排出时间T1的倒数成为频率(排出频率)。另外，多数情况下使排出频率变化的情况下的排出量的变化特性并非为线性，故优选在同一涂敷图案内一旦设定排出频率便不再改变。
[表1]
Figure BDA0002009893680000151
本实施方式中是在第2步骤中测量以设定次数排出时的重量，但也可以与此不同，测量在预定的设定时间的期间进行排出时的重量(在设定时间排出时的重量)。该情况下，在第3步骤中，按以下顺序进行排出装置2a、2b、2c各自的校正后移动速度的计算。
(a)从第2步骤中测量的在设定时间排出时的重量求出的每单位时间的排出量W1。
(b)将(a)中求出的每单位时间的排出量W1除以排出装置2的频率，求出1次的排出量W2(即，1个液滴的重量)。
(c)将第1步骤中设定的形成1个涂敷图案所需的液体材料的重量(涂敷重量W3)除以(b)中求出的1次的排出量W2，求出形成1个涂敷图案所需的排出次数S。
(d)将(c)中求出的形成1个涂敷图案所需的排出次数S除以从第1步骤中设定的1次的排出时间T1求出的排出装置2的频率，求出形成1个涂敷图案所需的时间(涂敷时间T2)。
(e)将第1步骤中设定的涂敷线的长度(即，涂敷图案长度)除以(d)中求出的涂敷时间T2，求出校正后涂敷速度(即，排出装置一边排出液体材料一边移动时的校正后移动速度)。
如以上所说明那样，在第1实施方式的液体材料涂敷装置1中，为了使排出装置2相对于涂敷对象物5移动，除主驱动装置外另行设置副驱动装置从而以不同的涂敷条件进行涂敷，由此即便使用排出量存在差异的多个排出装置2同时执行相同动作，也能够在多个排出装置之间获得无差异的涂敷量(涂敷重量)。
也可以与本实施方式不同，使用其他排出方式的装置作为排出装置2。例如可使用：通过对贮存有液体材料的容器供给压缩气体而从排出口排出液体材料的“空气式”；通过使形成有螺旋状凸缘的螺桨在棒状体表面的轴向旋转，而输送液体材料并将其从排出口排出的“螺桨式”；通过使与计量孔内壁滑动接触的柱塞后退而将液体材料填充至计量孔内，通过使柱塞进出而从排出口排出液体材料的“柱塞式”等的排出装置。
[第2实施方式]
＜结构＞
图2所示的第2实施方式的液体材料涂敷装置1包括摄像装置20、距离测量装置21、以及用于驱动摄像装置20和距离测量装置21的第1方向主驱动装置6d，主要在该点上与第1实施方式的液体材料涂敷装置1不同。以下以不同点为中心进行说明，关于共通点的说明则予以省略。
摄像装置20测量涂敷对象物5相对于排出装置2在X方向(附图标记9)和Y方向(附图标记10)的位置。摄像装置20优选由例如可拍摄涂敷对象物5的图像的CCD摄像机构成。摄像装置20连接于距离测量装置21的载置台侧的侧面，且通过信号线(未图示)与控制装置17连接。控制装置17通过专用软件实现基于摄像装置20拍摄所得的对准标记的图像而计算排出装置2与涂敷对象物5在水平方向的位置关系的功能。
距离测量装置21测量涂敷对象物5相对于排出装置2在Z方向(附图标记11)的位置。距离测量装置21优选由例如可测量与涂敷对象物5的距离的激光位移计构成。距离测量装置21连接于第1方向主驱动装置6d的载置台侧的侧面，且通过信号线(未图示)与控制装置17连接。控制装置17通过专用软件实现基于从距离测量装置21接收到的信号而计算排出装置2与涂敷对象物5的距离的功能。
第2实施方式中是设定为摄像装置20与距离测量装置21分别各设置1个的结构，但在各设置1个并无法对涂敷对象物5上的整个涂敷范围进行拍摄或距离测量的情况下，设定为摄像装置20和/或距离测量装置21设置2个以上的结构，以能够覆盖整个涂敷范围。
距离测量装置21可通过第1方向主驱动装置6d在X方向(附图标记9)独立地移动。第2实施方式中是将第1方向主驱动装置6d设置在梁22的右端，但也可以将其设置在第1方向主驱动装置6a～6c之间或梁22的左端。第2实施方式中将摄像装置20与距离测量装置21并排设置在Y方向(附图标记10)，但也可以将其并排设置在X方向(附图标记9)。摄像装置20和距离测量装置21测量成为校正基准的位置，因此没有设置第2方向副驱动装置。
此外，第2实施方式中将摄像装置20与距离测量装置21独立地设置在第1方向主驱动装置6d，但也可以不设置第1方向主驱动装置6d，而在第1方向主驱动装置6a～6c中的任一者并排设置排出装置2、摄像装置20和距离测量装置21。此时，优选与未设置第2方向副驱动装置的排出装置2并排设置，但在与设置有第2方向副驱动装置的排出装置2并排设置的情况下，在下述测量动作时不使第2方向副驱动装置动作即可。
关于其他结构，与第1实施方式的液体材料涂敷装置的结构相同，故省略说明。
第2实施方式的液体材料涂敷装置1具有涂敷对象物5以偏移的状态载置的情况下的位置校正功能。
例如，在涂敷对象物5为矩形的板状体的情况下，需以使涂敷对象物5的各边与驱动装置的各移动方向准确地一致的方式，换言之，以使涂敷对象物5的各边与驱动装置的各移动方向准确地平行或正交的方式，载置在载置台4上。然而，实际上，大多情况下是以平行移动或旋转了的状态、存在所谓的“偏移”的状态而载置。若未准确地载置，则会使液体材料无法涂敷在涂敷对象物5上的准确位置。因此，测量“偏移”量，且以校正该“偏移”量的方式进行涂敷，由此可实现在准确位置进行涂敷。
此外，为了将液体材料涂敷在涂敷对象物5上，需确保排出装置2与涂敷对象物5的间隔或距离(即，排出装置2相对于涂敷对象物5的高度)合适。然而，实际上，存在如下情况，即，因搬送或零件安装等而受力或受热，从而以涂敷对象物5的表面起皱的方式在高度方向发生变动。若在该种表面进行涂敷，则存在不能排出准确量的液体材料、或不能按所期望的形状涂敷液体材料的情况。因此，测量表面的状态，且以校正了高度方向的变动的方式进行涂敷，由此可实现按所期望的形状进行涂敷。
＜动作＞
第2实施方式的液体材料涂敷装置1执行以下的A步骤和B步骤代替第1实施方式的第4步骤。另外，第1步骤至第3步骤与第1实施方式相同，故省略说明。此处，在第1步骤中，预先设定2个对准标记的坐标和图像。
作为A步骤，测量排出装置2相对于涂敷对象物5的位置，且基于该测量结果，计算排出装置2开始排出的位置。本实施方式中按以下步骤执行。
(1)使摄像装置20移动至第1步骤中预先设定的对准标记坐标，与涂敷对象物5上的对准标记对位后进行拍摄。
(2)通过控制装置17的专用软件进行图像处理，计算第1步骤中预先设定的对准标记图像与(1)中拍摄所得的对准标记图像的偏移量，并将计算结果存储于存储装置。此处，先拍摄涂敷对象物5上相互分隔的2处对准标记再计算偏移量。通过使用2处对准标记，能够对旋转进行位置校正。
(3)将距离测量装置21向测量位置移动后进行测量，并将测量结果(第3方向测量值)存储于存储装置。测量位置优选多倒角的各涂敷图案各自的涂敷开始位置。然而，在多倒角情况下，测量部位变多，因此也可以将涂敷对象物5上的涂敷面分成集合有多个涂敷图案的若干区域，测量该区域中的1处，将其结果用作代表值，由此实现时间的缩短。只要能够判断出涂敷对象物5上的涂敷面的精度良好，则也可以将测量部位仅设定为1处。
接着，作为B步骤，基于第3步骤中计算的校正后涂敷速度以及A步骤中计算的偏移量和第3方向测量值，进行涂敷。基于校正后涂敷速度进行涂敷的方法与第1实施方式相同。另一方面，基于计算出的偏移量而进行的涂敷是通过向第1步骤中设定的涂敷图案中加入A步骤中计算的偏移量和第3方向测量值两个考虑因素而进行。上述第1至第3步骤和A步骤优选每次更换涂敷对象物5都执行。
在以上所说明的第2实施方式的液体材料涂敷装置1中，即便使用排出量存在差异的多个排出装置2同时执行相同动作，也可以在多个排出装置之间获得无差异的涂敷量(涂敷重量)。除此之外，通过测量涂敷对象物5相对于排出装置2的位置，能够提升涂敷位置的精度。
[第3实施方式]
＜结构＞
图3所示的第3实施方式的液体材料涂敷装置1与第1实施方式相比，第1方向主驱动装置6和第1方向副驱动装置12a、12b、12c的结构不同。
第3实施方式的第1方向主驱动装置6包括以既定间隔配置有排出装置2a、2b、2c的长方形的板状部件，且配置在梁22的载置台侧的侧面。第1方向主驱动装置6构成为使排出装置2a、2b、2c在附图标记9所示的X方向同时移动。
第1方向副驱动装置12a、12b、12c配置在第1方向主驱动装置6的载置台侧的侧面，且能够使排出装置2a、2b、2c在附图标记14a～14c所示的X方向分别独立地移动。此处，在附图标记14a～14c所示的X方向的移动可独立于利用第1方向主驱动装置6进行的X方向(附图标记9)的移动来进行。
第2方向副驱动装置13a、13b、13c分别配置在第1方向副驱动装置12a、12b、12c的载置台侧的侧面，且能够使排出装置2a、2b、2c在附图标记15a～15c所示的Y方向分别独立地移动。
如此，在本实施方式中，能够单独地控制排出装置2a、2b、2c在X方向(附图标记9、14)和Y方向(附图标记10、15)的移动速度。
关于其他结构，与第1实施方式的液体材料涂敷装置1的结构相同，故省略说明。
＜动作＞
第3实施方式的液体材料涂敷装置1的动作中，第1步骤至第3步骤与第1实施方式的液体材料涂敷装置1的动作相同，但第4步骤的动作不同。
在第3实施方式的第4步骤中，通过执行将第2方向主驱动装置7的动作与第2方向副驱动装置13a、13b、13c的动作组合的动作而实现第2方向(Y方向)的不同的移动速度。此外，在第3实施方式中，通过执行将第1方向主驱动装置6的动作与第1方向副驱动装置12a、12b、12c的动作组合的动作而实现第1方向(X方向)的不同的移动速度。第3实施方式中也同样地，副驱动装置(12、13)的可动距离优选短于主驱动装置(6、7)的可动距离。副驱动装置(12、13)与排出装置2a、2b、2c一并构成各个涂敷头，故小型为佳，这也与第1实施方式相同。此外，成为控制移动速度时的基准的排出装置2中，优选不使对应的第1方向副驱动装置12动作(或不设置第1方向副驱动装置12)，这也与第1实施方式相同。
如以上所说明那样，在第3实施方式的液体材料涂敷装置1中，也能够发挥与第1实施方式相同的作用效果。另外，当然也可以在第3实施方式的液体材料涂敷装置1中添加第2实施方式的摄像装置20和/或距离测量装置21。
[第4实施方式]
＜结构＞
图4所示的第4实施方式的激光加工作业装置30是在加工作业对象物上设置槽或孔、或刻印文字或花纹等，或者将加工作业对象物切割成多个单片的激光加工作业装置。第4实施方式的主要不同点在于，以激光振动装置(31a、31b、31c)代替第1实施方式的排出装置(2a、2b、2c)而安装于作业头，且具有激光输出测量装置32作为作业量测量装置。载置加工作业对象物33的载置台4、使激光振动装置(31a、31b、31c)与载置台4相对移动的XYZ驱动装置(6、7、8、13)、配设激光振动装置(31a、31b、31c)和上述各装置的台座18、以及覆盖台座18的上部的罩19并无不同。以下以不同点为中心进行说明，关于共通点的说明则予以省略。此外，以下，有时会将激光振动装置(31a、31b、31c)简略记为“激光振动装置31”。
第4实施方式的激光振动装置31包括以既定频率将激光以脉冲状射出的CO2激光或YAG激光等激光光源。此外，在第4实施方式中，亦与第1实施方式同样地，设置有多个规格相同的激光振动装置31以能够同时形成多个加工图案(作业图案)。图4中示出激光振动装置31为3个的情形，但并不限定于此，也可以为2个，也可以为4个以上(例如2～8个)。可考虑形成在加工作业对象的加工图案的数量或尺寸等来确定。
在第4实施方式中，安装激光输出测量装置32代替第1实施方式的液体材料涂敷装置1中的重量测量装置16。激光输出测量装置32为了将其测量结果用于控制，优选具有将测量结果经由缆线等输出至外部设备(例如，本实施方式中的控制装置17)的功能。另外，作为激光输出测量装置32，可使用市售设备。控制装置17与第1实施方式相同，包括处理装置、存储装置、输入设备和输出装置，且控制激光振动装置(31a、31b、31c)、激光输出测量装置32和XYZ驱动装置(6、7、8、13)的动作。在控制装置17的存储装置，储存有用于计算下述校正后移动速度的专用软件，其基于从激光输出测量装置32所接收到的测量结果而计算校正后移动速度。
＜动作＞
(初始设定)
首先，作为第1步骤，通过输入设备进行各种参数的输入，并存储于存储装置。各种参数包括关于加工作业对象物33的参数、关于激光振动装置31的参数、和关于加工作业的参数。作为关于加工作业对象物33的参数，有加工作业对象物33本身的尺寸或倒角数(即，纵横配置的数量)、成为执行加工作业时的基准位置的对准标记坐标或对准标记图像等。作为关于激光振动装置31的参数，有激光的振动频率等。关于激光振动装置31的参数，在多个激光振动装置(31a、31b、31c)全部进行输入。作为关于加工作业的参数，有加工槽等的长度或形状(即，加工图案)、形成1个加工图案所需的激光输出等。
(激光输出测量)
接着，作为第2步骤，进行来自激光振动装置(31a、31b、31c)的各激光输出的测量。第4实施方式中测量的激光输出是激光振动装置31以所设定的既定时间(例如，5秒或10秒等预定的设定时间)使激光振动时的激光输出测量装置32的测量值(即，以设定时间振动时的激光输出)。该测量通过激光振动装置31在激光输出测量装置32上使激光以既定时间振动而进行。测量值被传送至控制装置17，且通过控制装置17所具有的专用软件而存储于存储装置。
(校正后移动速度的计算)
接着，作为第3步骤，基于第2步骤中测量的激光输出的测量结果而进行各激光振动装置(31a、31b、31c)的校正后移动速度的计算。第4实施方式中按以下顺序进行。以下顺序能够通过控制装置17所具有的专用软件而实现。
(1)将第2步骤中测量的以设定时间振动时的激光输出除以第2步骤中使用的设定时间，求出每单位时间的激光输出。
(2)将第1步骤中设定的形成1个加工图案所需的输出除以(1)中求出的每单位时间的激光输出，求出形成1个加工图案所需的时间。
(3)将第1步骤中设定的加工槽等的长度(即，加工图案长度)除以(2)中求出的时间，求出校正后移动速度(即，激光振动装置一边使激光振动一边移动时的校正后移动速度)。
第2步骤和第3步骤在激光振动装置(31a、31b、31c)均执行。即，以与激光振动装置31的数量相同的次数，执行第2步骤和第3步骤，由此计算各激光振动装置(31a、31b、31c)的校正后移动速度。第2步骤和第3步骤优选不仅在加工作业开始前进行且以预先设定的校正周期执行。作为校正周期，例如设定用户所输入的时间信息或加工作业对象物33的数量。
(加工图案的形成)
最后，作为第4步骤，基于第3步骤中计算的校正后移动速度，根据加工图案使激光振动装置(31a、31b、31c)相对于加工作业对象物33移动，进行加工。
基于第3步骤中计算的校正后移动速度，利用第1方向主驱动装置6和第2方向主驱动装置7，使成为基准的激光振动装置31(即，激光振动装置(31a、31b、31c)中的任一台)动作。即，成为基准的激光振动装置31中，不使第2方向副驱动装置13动作(或不设置第2方向副驱动装置13)。利用第1方向主驱动装置6、第2方向主驱动装置7和第2方向副驱动装置13，使基准以外的激光振动装置31动作。(关于基准以外的激光振动装置31的动作，与第1实施方式相同，故省略说明。可参照第1实施方式的说明)。
如以上所说明那样，在第4实施方式的激光加工作业装置30中，为了使激光振动装置31相对于加工作业对象物33移动，除主驱动装置外，另行设置副驱动装置从而以不同的加工条件进行加工，由此即便使用“输出”存在差异的多个激光振动装置31同时执行相同动作，也能够在多个激光振动装置之间获得无差异的“输出结果”。
以上，将若干实施方式作为例示详细地进行了说明，但在实质上不脱离本发明的新的教导和有益效果的情形下，能够对该实施方式进行多种变更。
例如，也可以与上述各实施方式不同，将利用马达等使圆板状的刀片旋转来切割加工对象物的切割装置安装于作业头。该情况下，作为成为控制对象的输出，有马达的转矩或转数等，测量各作业头的输出，来计算校正量。
附图标记说明
1：液体材料涂敷装置，2：排出装置，3：排出口，4：载置台，5：涂敷对象物，6：第1方向主驱动装置，7：第2方向主驱动装置，8：第3方向驱动装置，9：X方向主移动方向，10：Y方向主移动方向，11：Z方向主移动方向，12：第1方向副驱动装置，13：第2方向副驱动装置，14：X方向副移动方向，15：Y方向副移动方向，16：重量测量装置，17：控制装置，18：台座，19：罩，20：摄像装置，21：距离测量装置，22：梁，23：支承台，30：激光加工作业装置，31：激光振动装置，32：激光输出测量装置，33：加工作业对象物。

Claims (18)

1.一种作业装置，其特征在于，包括：
执行同一作业的具有机械差异的n个作业头，其中，n为2以上的自然数；
用于保持作业对象物的载置台；
第1方向驱动装置，其使载置台和n个作业头在第1方向相对移动；
第2方向驱动装置，其使载置台和n个作业头在与第1方向正交的第2方向相对移动；
第3方向驱动装置，其使载置台和n个作业头在与第1方向和第2方向正交的第3方向相对移动；
测量各作业头的作业量的作业量测量装置；和
控制装置，其控制n个作业头和第1至第3方向驱动装置的动作，
所述第1方向驱动装置能够使所述n个作业头在所述第1方向分别独立地移动，
所述第2方向驱动装置包括：使所述n个作业头在所述第2方向同时移动的第2方向主驱动装置；和使所述n个作业头中的n－1个作业头在所述第2方向分别独立地移动的第2方向副驱动装置，
所述作业头由成为基准的作业头和基准以外的作业头构成，
使用所述第1方向驱动装置和所述第2方向主驱动装置而使成为所述基准的作业头动作，
使用所述第1方向驱动装置、所述第2方向主驱动装置和所述第2方向副驱动装置而使所述基准以外的作业头动作，
在成为所述基准的作业头未设置所述第2方向副驱动装置。
2.如权利要求1所述的作业装置，其特征在于：
所述第2方向副驱动装置的可动距离为所述第2方向主驱动装置的可动距离L的一半以下。
3.如权利要求1所述的作业装置，其特征在于：
所述第2方向副驱动装置的可动距离为所述第2方向主驱动装置的可动距离L的1/5以下。
4.如权利要求1至3中任一项所述的作业装置，其特征在于：
所述第1方向驱动装置包括：使所述n个作业头在所述第1方向同时移动的第1方向主驱动装置；和使所述n个作业头中的n－1个作业头在所述第1方向分别独立地移动的第1方向副驱动装置。
5.如权利要求1至3中任一项所述的作业装置，其特征在于：
所述第1方向驱动装置由使所述n个作业头在所述第1方向分别独立地移动的n个第1方向主驱动装置构成。
6.如权利要求1至3中任一项所述的作业装置，其特征在于：
所述控制装置具有如下功能：在使所述n个作业头执行同一作业图案的形成时，对所述n个作业头分别设定出射次数、作业时间和作业速度。
7.如权利要求6所述的作业装置，其特征在于：
所述控制装置具有如下功能：在使所述n个作业头执行同一作业图案的形成时，基于所述作业量测量装置对所述n个作业头分别测量得到的测量值，计算并设定所述n个作业头各自的排出次数、作业时间和相对移动速度。
8.如权利要求7所述的作业装置，其特征在于：
所述控制装置具有如下功能：在使所述n个作业头执行同一作业图案的形成时，以不改变排出频率的方式计算并设定所述n个作业头各自的排出次数、作业时间和相对移动速度。
9.如权利要求1至3中任一项所述的作业装置，其特征在于：
还包括安装于所述第1方向驱动装置和所述第2方向驱动装置的摄像装置，
所述控制装置具有如下功能：基于所述摄像装置拍摄的拍摄图像计算所述n个作业头与所述作业对象物在第1方向和第2方向上的位置关系，并基于该计算的结果设定所述n个作业头在第1方向和第2方向上的作业开始位置。
10.如权利要求9所述的作业装置，其特征在于：
还包括安装于所述第1方向驱动装置和所述第2方向驱动装置的距离测量装置，
所述控制装置具有如下功能：基于来自所述距离测量装置的接收信号，计算所述作业头与所述作业对象物的距离，并基于该计算的结果设定所述作业头在第3方向上的作业开始位置。
11.如权利要求1至3中任一项所述的作业装置，其特征在于：
所述作业头是安装有能够从排出口排出液体材料的排出装置的作业头。
12.如权利要求1至3中任一项所述的作业装置，其特征在于：
所述第2方向副驱动装置配置于所述第1方向驱动装置的侧面。
13.一种作业方法，其使用权利要求1至3中任一项所述的作业装置，该作业方法的特征在于：
使用所述第1方向驱动装置，使所述n个作业头在所述第1方向分别独立地移动，
使用所述第2方向主驱动装置，使所述n个作业头在所述第2方向同时移动，
使用所述第2方向副驱动装置，使所述n个作业头中的n－1个作业头在所述第2方向分别独立地移动，从而一边使所述n个作业头与所述作业对象物相对移动，一边进行作业。
14.一种作业方法，其使用权利要求8所述的作业装置，在所述作业对象物形成n×m个作业图案，其中，m为1以上的自然数，该作业方法的特征在于：
所述作业头是安装有能够从排出口排出液体材料的排出装置的作业头，
所述作业方法包括：
排出次数计算步骤，基于所述n个作业头各自要排出的1个液滴的重量，对所述n个作业头分别计算形成1个作业图案所需的排出次数；
涂敷时间计算步骤，基于计算出的所述形成1个作业图案所需的排出次数，对所述n个作业头分别计算形成1个作业图案所需的时间；
校正后移动速度计算步骤，基于计算出的所述形成1个作业图案所需的时间，对所述n个作业头分别计算校正后移动速度；和
涂敷步骤，基于计算出的所述校正后移动速度，一边使所述n个作业头与所述作业对象物相对移动，一边进行涂敷。
15.一种作业方法，其使用权利要求9所述的作业装置，在所述作业对象物形成所述作业头的个数的m倍个作业图案，其中，m为1以上的自然数，该作业方法的特征在于，
所述作业头是安装有能够从排出口排出液体材料的排出装置的作业头，
所述作业方法包括：
排出次数计算步骤，基于所述n个作业头各自要排出的1个液滴的重量，对所述n个作业头分别计算形成1个作业图案所需的排出次数；
涂敷时间计算步骤，基于计算出的所述形成1个作业图案所需的排出次数，对所述n个作业头分别计算形成1个作业图案所需的时间；
校正后移动速度计算步骤，基于计算出的所述形成1个作业图案所需的时间，对所述n个作业头分别计算校正后移动速度；
水平方向开始位置计算步骤，计算所述作业头的水平方向涂敷开始位置；和
涂敷步骤，基于计算出的所述校正后移动速度和所述水平方向涂敷开始位置，一边使所述n个作业头与所述作业对象物相对移动，一边进行涂敷。
16.如权利要求14所述的作业方法，其特征在于：
在所述涂敷步骤中，通过组合所述第2方向主驱动装置的动作和所述第2方向副驱动装置的动作，使所述n个作业头以不同的移动速度移动。
17.如权利要求14所述的作业方法，其特征在于：
在所述作业对象物形成按阵列进行配置的n×p个作业图案，其中，p为2以上的自然数。
18.如权利要求14所述的作业方法，其特征在于：
所述第2方向副驱动装置配置于所述第1方向驱动装置的侧面。
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