TW201629600A - 光配向用偏振光照射裝置 - Google Patents

Abstract

本發明是一種光配向用偏振光照射裝置，其抑制生產節拍的變長，且抑制裝置整體的設置空間的增大。光配向用偏振光照射裝置具備：一組載台，在照射區域的兩側配置有搭載對象物的各搭載位置；搬送機構，具有通過照射區域而連結各搭載位置的搬送路徑；以及退避機構，使位於搭載位置的一組載台中的至少一個載台在另一個載台被搬送到通過位置時，移動到離開通過位置的退避位置。搭載位置相對於通過位置而配置成：位於搭載位置的至少一個載台與位於通過位置的另一個載台的至少一部分在同一平面上重合。

Description

光配向用偏振光照射裝置

本發明是有關於一種光配向用偏振光照射裝置。

在液晶面板等的製造工序中，要對液晶面板的配向膜或者視角補償膜(film)的配向等對象物進行配向處理。在配向處理中，已知有一種為了進行所謂的光配向而使用的光配向用偏振光照射裝置，所述光配向是指通過對配向膜照射規定波長的偏振光來進行配向。

做為此種光配向用偏振光照射裝置，例如有一種結構，其具備：照射單元，照射偏振光；載台(stage)，搭載形成有配向膜的基板；以及搬送機構，以載台通過照射單元的照射區域的方式來搬送載台。

而且，做為與所述光配向用偏振光照射裝置類似的裝置，已知有一種曝光裝置，其以搭載有基板的第1載台及第2載台通過對基板進行曝光的曝光部的方式來搬送第1載台及第2載台。

現有技術文獻 　　專利文獻 　　專利文獻1：日本專利特開2008-191302號公報

然而，液晶面板等對象物正趨於大型化，伴隨於此，在光配向用偏振光照射裝置中針對對象物的照射時間增加。因此，存在下述問題，即，每一個對象物的處理時間(以下稱作生產節拍(takt time))變長，從而導致生產性下降。而且，隨著對象物的大型化，存在光配向用偏振光照射裝置大型化的問題。

因此，本發明的目的在於提供一種能夠抑制生產節拍的變長，並且能夠抑制裝置整體的設置空間(space)的增大的光配向用偏振光照射裝置。

實施方式的光配向用偏振光照射裝置包括：照射單元，具有朝對象物照射偏振光的照射區域；第1載台及第2載台，配置有搭載所述對象物的第1搭載位置及第2搭載位置；以及搬送機構，具有通過所述照射區域而連結所述第1搭載位置及所述第2搭載位置的至少一條搬送路徑，且在所述搭載位置、與所述第1載台及所述第2載台通過所述照射區域而鄰接於所述照射區域的通過位置之間，使所述第1載台及所述第2載台交替地沿著所述至少一條搬送路徑而往復。

光配向用偏振光照射裝置更包括：退避機構，使位於所述第1搭載位置及所述第2搭載位置的所述第1載台及所述第2載台中的至少一個載台在另一個載台被搬送到所述通過位置時，移動到離開所述通過位置的退避位置。所述搭載位置相對於所述通過位置而配置成，位於所述第1搭載位置及所述第2搭載位置的所述至少一個載台、與位於所述通過位置的另一個載台的至少一部分在同一平面上重合。

根據另一個實施方式，所述至少一個載台是所述退避位置與所述搭載位置位於同一平面上。根據另一個實施方式，所述至少一個載台是所述退避位置與所述搭載位置位於不同平面上。

根據另一個實施方式，所述至少一個載台是所述搭載位置相對於所述通過位置而配置成：在同一平面上，當所述至少一個載台位於所述搭載位置時，與位於所述通過位置的另一個所述載台整體重合。

根據另一個實施方式，所述退避機構使所述至少一個載台沿著與所述其中一個載台被往復搬送的搬送方向相同的方向而移動到所述退避位置。

而且，在另一實施方式的光配向用偏振光照射裝置中，所述搬送路徑具有：第1搬送路徑，從在所述第1載臺上搭載所述對象物的第1搭載位置，將所述第1載台搬送到鄰接於所述照射區域的照射開始位置；第2搬送路徑，從在所述第2載臺上搭載所述對象物的第2搭載位置，將所述第2載台搬送到所述照射開始位置為止；以及第3搬送路徑，一端連結於所述照射開始位置，並且另一端通過所述照射區域而延伸到鄰接於所述照射區域的通過位置為止，並搬送所述第1載台及所述第2載台。而且，所述搬送機構在所述第1搭載位置與所述通過位置之間，使所述第1載台沿著所述第1搬送路徑及所述第3搬送路徑而往復，並且在所述第2搭載位置與所述通過位置之間，使所述第2載台沿著所述第2搬送路徑及所述第3搬送路徑而往復。

根據另一個實施方式，所述第1搬送路徑及所述第2搬送路徑中的至少一條搬送路徑的搬送方向、與所述第3搬送路徑的搬送方向在同一平面上交叉。

根據另一個實施方式，所述第1搬送路徑與所述第2搬送路徑在上下方向上並排配置。

根據本發明，能夠抑制生產節拍的變長而提高生產性，並且能夠抑制裝置整體的設置空間的增大。

以下要說明的實施方式的光配向用偏振光照射裝置(以下稱作偏振光照射裝置)1A具備照射單元10、一組第1載台11及第2載台12、搬送機構15以及退避機構17。照射單元10具有朝對象物照射偏振光的照射區域A。一組第1載台11及第2載台12在照射區域A的兩側配置有搭載對象物的各第1搭載位置P1a、第2搭載位置P1b。搬送機構15具有通過照射區域A而連結各第1搭載位置P1a、第2搭載位置P1b的搬送路徑16。而且，搬送機構15在第1搭載位置P1a、第2搭載位置P1b與第1載台11、第2載台12通過照射區域A而鄰接於照射區域A的通過位置P2a、P2b之間，使一組第1載台11及第2載台12交替地沿著搬送路徑16而往復。退避機構17使位於第1搭載位置P1a(第2搭載位置P1b)的一組第1載台11及第2載台12中的至少一個第1載台11(第二載台12)，在另一個第2載台12(第1載台11)被搬送到通過位置P2b(P2a)時，移動到離開通過位置P2b(P2a)的退避位置P3a(P3b)。第1搭載位置P1a(第2搭載位置P1b)相對於通過位置P2b(P2a)而配置成：位於第1搭載位置P1a(第2搭載位置P1b)的至少一個第1載台11(第2載台12)與位於通過位置P2b(P2a)的另一個第2載台12(第1載台11)的至少一部分在同一平面上重合。

而且，以下要說明的實施方式的至少一個第1載台11(第2載台12)是退避位置P3a(P3b)與第1搭載位置P1a(第2搭載位置P1b)位於同一平面上。

而且，以下要說明的實施方式的至少一個第1載台11(第2載台12)是退避位置P3a(P3b)與第1搭載位置P1a(第2搭載位置P1b)位於不同平面上。

而且，以下要說明的實施方式的至少一個第1載台11(第2載台12)是第1搭載位置P1a(第2搭載位置P1b)相對於通過位置P2b(P2a)而配置成：在同一平面上，當至少一個第1載台11(第2載台12)位於第1搭載位置P1a(第2搭載位置P1b)時，與位於通過位置P2b(P2a)的另一個第2載台12(第1載台11)整體重合。

而且，以下要說明的實施方式的退避機構17使至少一個第1載台11(第2載台12)沿著與其中一個第1載台11(第2載台12)被往復搬送的搬送方向相同的方向而移動到退避位置P3a(P3b)。

以下，參照附圖來說明實施方式的偏振光照射裝置。 (第1實施方式)

圖1是示意性地表示第1實施方式的偏振光照射裝置的側面圖。圖2是示意性地表示第1實施方式的偏振光照射裝置的平面圖。本實施方式的偏振光照射裝置例如被用於通過朝做為對象物的配向膜照射直線偏振光等偏振光來進行光配向。本實施方式的偏振光照射裝置例如被用於製造液晶面板的配向膜或者視角補償膜的配向膜等。 (偏振光照射裝置的結構)

如圖1所示，第1實施方式的偏振光照射裝置1具備照射單元10、一組第1載台11及第2載台12、搬送機構15以及退避機構17。

照射單元10具有對形成有做為對象物的配向膜的基板9(以下簡稱作基板9)照射偏振光的照射區域A。而且，照射單元10具有：發出包含紫外線的光的管狀光源10a、及對光源10a發出的光的配向進行控制的反射板10b。而且，照射單元10具有偏振元件(未圖示)，該偏振元件使光源10a發出的光與經反射板10b控制了配向的光入射並出射偏振光。

另外，此處所說的“照射區域A”是指照射單元10最下麵的開口，即，照射單元10中最靠近對象物的位置處的開口。例如，若照射單元10的最下麵為偏振元件，則偏振元件的開口相當於照射區域A，若在較偏振元件更靠近對象物側存在遮光板(未圖示)，則遮光板的開口相當於照射區域A。此外，若在遮光板上存在保護玻璃(未圖示)，則保護玻璃的開口相當於照射區域A。

對於光源10a，例如使用在紫外線透射性的玻璃管內封入有汞、氬、氙等稀有氣體的高壓汞燈或者在高壓汞燈中進而封入有鐵或碘等金屬鹵素(metal halide)的金屬鹵素燈等管型燈，具有直線狀的發光部。光源10a中，發光部的長度方向與各第1載台11、第2載台12相對於照射單元10的搬送方向正交，發光部的長度被設為長於基板9的一邊的長度。光源10a被設為能夠從直線狀的發光部發出例如包含波長為200 nm至400nm為止的紫外線的光。光源10a發出的光是具有各種偏振軸成分，即所謂的非偏振光。

反射板10b在與光源10a相向的面上，具有將光源10a發出的光予以反射的反射面，反射面是形成為呈楕圓的一部分的形狀。由此，反射板10b構成為對光源10a發出的光進行聚光，即做為所謂聚光型的反射板。偏振元件能夠從光源10a所發出、並一樣地朝所有方向振動的包含各種偏振軸成分的光中，取出僅在基準方向振動的偏振軸的光。另外，一般將僅在基準方向振動的偏振軸的光稱作直線偏振光。而且，偏振軸是指光的電場及磁場的振動方向。

一組第1載台11及第2載台12形成為矩形狀的板狀，搭載形成有配向膜的基板9。第1載台11及第2載台12由搬送機構15可移動地予以支撐。

如圖1及圖2所示，在第1載台11及第2載台12上搭載基板9的各第1搭載位置P1a及第2搭載位置P1b配置在照射區域A的兩側。搬送機構15具有通過照射區域A而連結各第1搭載位置P1a及第2搭載位置P1b的搬送路徑16。搬送機構15具有：可移動地支撐第1載台11及第2載台12的引導軸15a、以及使第1載台11及第2載台12沿著引導軸15a移動的驅動機構(未圖示)。引導軸15a構成直線狀的搬送路徑16。而且，搬送機構15在第1搭載位置P1a及第2搭載位置P1b的各位置、與第1載台11及第2載台12通過照射區域A而鄰接於照射區域A的通過位置P2a、P2b之間，使第1載台11及第2載台12交替地沿著搬送路徑16而往復。

而且，退避機構17如圖1所示，鄰接於第1搭載位置P1a及第2搭載位置P1b而配置，使用所謂的工業機器人。退避機構17具有臂(arm)17a，該臂17a用於沿水準方向搬送各第1載台11、第2載台12。退避機構17在一組第1載台11及第2載台12被搬送到通過位置P2a、P2b時，使位於第1搭載位置P1a及第2搭載位置P1b的一組第1載台11及第2載台12移動到離開通過位置P2a、P2b的退避位置P3a、P3b。

並且，如圖2所示，位於第1搭載位置P1a的第1載台11與位於通過位置P2b的第2載台12的一部分在同一平面上重合。同樣，位於第2搭載位置P1b的第2載台12與位於通過位置P2a的第1載台11的一部分在同一平面上重合。以此種位置關係，第1載台11及第2載台12的第1搭載位置P1a(第2搭載位置P1b)相對於通過位置P2b(P2a)而來配置。

本實施方式中，位於第1搭載位置P1a的第1載台11在水平面上與位於通過位置P2b的第2載台12的搬送方向上的一端部重合。而且，位於第2搭載位置P1b的第2載台12在水平面上與位於通過位置P2a的第1載台11的搬送方向上的一端部重合。即，第1載台11的第1搭載位置P1a靠近第2載台12的通過位置P2b而配置，並且，第2載台12的第2搭載位置P1b靠近第1載台11的通過位置P2a而配置。

換言之，這意味著：在平面上，位於第1搭載位置P1a、第2搭載位置P1b的各第1載台11、第2載台12與照射單元10之間為小於1個第1載台11(第2載台12)所占的空間。借助該結構，相對於照射單元10而往復的各第1載台11、第2載台12的搬送距離得以縮短，從而抑制生產節拍的變長，並且抑制設置空間的增大。

位於第1搭載位置P1a(第2搭載位置P1b)的其中一個第1載台11(第2載台12)與位於通過位置P2b(P2a)的另一個第2載台12(第1載台11)重合的區域大，則意味著第1搭載位置P1a(第2搭載位置P1b)與照射區域A之間的搬送距離變短。因此，在抑制生產節拍變長並抑制設置空間增大的觀點上為優選。另一方面，位於第1搭載位置P1a(第2搭載位置P1b)的其中一個第1載台11(第2載台12)與位於通過位置P2b(P2a)的另一個第2載台12(第1載台11)重合的區域少，則意味著第1載台11(第2載台12)從第1搭載位置P1a(第2搭載位置P1b)退避所需的時間變短。因此，能夠容易地使第1載台11(第2載台12)退避。然而，在此情況下，第1搭載位置P1a(第2搭載位置P1b)與照射區域A之間的搬送距離變長，因此在抑制生產節拍(takt time)變長並抑制設置空間增大的觀點上，所獲得的效果變少。因此，位於第1搭載位置P1a(第2搭載位置P1b)的其中一個第1載台11(第2載台12)與位於通過位置P2b(P2a)的另一個第2載台12(第1載台11)重合的區域是根據第1載台11(第2載台12)從第1搭載位置P1a(第2搭載位置P1b)退避的速度等而適當設定。

本實施方式中，搬送機構15與退避機構17是做為獨立的機構而構成，但也能夠以搬送機構15兼作退避機構的方式而構成。在此情況下，搬送機構往復搬送各第1載台11、第2載台12，並且在第1搭載位置P1a、第2搭載位置P1b與退避位置P3a、P3b之間往復搬送各第1載台11(第2載台12)。 (偏振光照射時的各載台的動作)

對於以上述方式構成的偏振光照射裝置1，說明相對於照射單元10來搬送第1載台11及第2載台12並對基板9照射偏振光的動作。

首先，在位於第1搭載位置P1a的第1載台11上搭載基板9。然後，第1載台11由搬送機構15向照射單元10搬送，並通過照射區域A而被搬送到通過位置P2a為止。接下來，第1載台11從通過位置P2a被搬送向第1搭載位置P1a，並經過通過了照射區域A的通過位置P2a而返回第1搭載位置P1a。這樣，第1載台11上的基板9的配向膜通過往復照射區域A而被照射規定量的偏振光，以進行所需的光配向。

另一方面，在由搬送機構15搬送第1載台11時，在位於第2搭載位置P1b的第2載台12上搭載基板9。當第1載台11被搬送向第1搭載位置P1a時，在規定的時機(timing)，第2載台12由搬送機構15朝向照射單元10搬送，並通過照射區域A而被搬送到通過位置P2b為止。

這樣，搬送機構15交替地往復搬送第1載台11及第2載台12，由此來連續地進行對第1載台11上的基板9的配向膜照射偏振光的動作與對第2載台12上的基板9的配向膜照射偏振光的動作。由此，能夠在搬送其中一個第1載台11(第2載台12)的期間，進行對另一個第2載台12(第1載台11)搭載基板9或者拆卸基板9的操作，從而抑制生產節拍的變長。

另外，第2載台12的通過位置P2b相當於第1載台11的照射開始位置及照射結束位置。同樣，第1載台11的通過位置P2a相當於第2載台12的照射開始位置及照射結束位置。

並且，位於第1搭載位置P1a的第1載台11在第2載台12被搬送到通過位置P2b時，借助退避機構17而從第1搭載位置P1a退避到退避位置P3a。然後，在第2載台12朝向第2搭載位置P1b受到搬送後，借助退避機構17，第1載台11從退避位置P3a返回第1搭載位置P1a。由此，能夠避免第1載台11對在第2搭載位置P1b與通過位置P2b之間往復搬送的第2載台12的干涉。

而且，同樣地，位於第2搭載位置P1b的第2載台12在第1載台11被搬送到通過位置P2a時，借助退避機構17而從第2搭載位置P1b退避到退避位置P3b。然後，在第1載台11向第1搭載位置P1a被搬送後，借助退避機構17，第2載台12從退避位置P3b返回第2搭載位置P1b。

另外，也可將從退避位置P3a、P3b返回第1搭載位置P1a、第2搭載位置P1b的移動與從第1搭載位置P1a、第2搭載位置P1b相對於照射區域A而往復的移動控制成連續地過渡，而不使各第1載台11、第2載台12暫時停止在第1搭載位置P1a、第2搭載位置P1b處。

如上所述，本實施方式中，第1搭載位置P1a相對於通過位置P2b而以下述方式靠近，即，位於第1搭載位置P1a的第1載台11在同一平面上與位於通過位置P2b的第2載台12重合。同樣地，第1搭載位置P1b相對於通過位置P2a而以下述方式靠近，即，位於第2搭載位置P1b的第2載台12在同一平面上與位於通過位置P2a的第1載台11重合。其結果，相對於照射區域A而往復的第1載台11及第2載台12的搬送距離得以縮短，因此可抑制生產節拍的變長。 (第1實施方式的效果)

第1實施方式具備：搬送機構15，在第1搭載位置P1a、第2搭載位置P1b與通過位置P2a、P2b之間使各第1載台11、第2載台12交替地沿著搬送路徑16而往復；以及退避機構17，使各載台移動到離開通過位置P2a、P2b的退避位置P3a、P3b。第1搭載位置P1a(第2搭載位置P1b)相對於通過位置P2b(P2a)而配置成：位於第1搭載位置P1a(第2搭載位置P1b)的其中一個第1載台11(第2載台12)與位於通過位置P2b(P2a)的另一個第2載台12(第1載台11)的一部分在同一平面上重合。由此，能夠將相對於照射單元10而往復的各第1載台11、第2載台12的搬送距離予以縮短。其結果，能夠抑制生產節拍的變長，並且能夠抑制裝置整體的設置空間的增大。

而且，第1實施方式中的第1載台11及第2載台12的退避位置P3a、P3b與第1搭載位置P1a、第2搭載位置P1b位於同一平面上。由此，能夠實現搬送機構15的簡化，並能夠在第1載台11及第2載台12上抑制基板9的位置偏離。

另外，本實施方式中，第1載台11及第2載台12這兩者以第1搭載位置P1a及第2搭載位置P1b與通過位置P2a、P2b重合的方式而配置，但並不限定於該結構。根據設置空間或搬送動作的控制等的需要，對於第1載台11及第2載台12中的至少一者，以位於搭載位置的載台與位於通過位置的載台相重合的方式而配置，由此可獲得下述效果，即，抑制所述生產節拍的變長，並且抑制裝置整體的設置空間的增大。

而且，第1實施方式中的退避機構17使第1載台11及第2載台12沿著與往復搬送的搬送方向相同的方向而移動到退避位置P3a、P3b。由此，第1載台11及第2載台12能夠從退避位置P3a、P3b順暢地過渡到搬送動作，動作可靠性提高，並能夠抑制生產節拍的增大。

而且，本實施方式中，照射區域A與位於第1搭載位置P1a、第2搭載位置P1b的各第1載台11、第2載台12之間的區域小於1個第1載台11(第2載台12)的搭載面的大小。因此，各第1載台11、第2載台12的搬送距離得以縮短，能夠抑制生產節拍的增大。

而且，第1實施方式中構成為，位於第1搭載位置P1a及第2搭載位置P1b的第1載台11及第2載台12沿著第1載台11及第2載台12的搬送方向(搬送路徑16)而移動到退避位置P3a、P3b，但並不限定於該結構。例如，也可構成為，根據設置空間的限制等的需要，使位於第1搭載位置P1a及第2搭載位置P1b的第1載台11及第2載台12朝與第1載台11及第2載台12的搬送方向交叉的方向即圖2中的左右、斜上方向退避。

以下，參照附圖來說明其他實施方式的偏振光照射裝置。另外，在其他實施方式中，對於與第1實施方式相同的構成構件，標注與第1實施方式相同的符號並省略說明。 (第1實施方式的變形例1)

圖3是示意性地表示第1實施方式的變形例1的偏振光照射裝置的平面圖。第1實施方式的變形例1與第1實施方式不同的是：第1搭載位置P1a、第2搭載位置P1b相對於通過位置P2a、P2b的配置；以及第1載台11及第2載台12從第1搭載位置P1a、第2搭載位置P1b退避的方向。

如圖3所示，第1實施方式的變形例的偏振光照射裝置1B具備搬送機構25，該搬送機構25在第1搭載位置P1a、第2搭載位置P1b與通過位置P2a、P2b之間，使第1載台11及第2載台12交替地沿著搬送路徑26而往復。搬送路徑26如圖3所示，長度方向的兩端部是相對於連結通過位置P2a、P2b之間的方向，在同一平面上交叉的方向，例如呈45度左右的角度而彎曲。而且，搬送路徑26的兩端部相對於連結通過位置P2a、P2b之間的直線而朝彼此相同的方向彎曲。搬送路徑26是沿著搬送機構25的引導軸25a而構成。

並且，第1搭載位置P1a相對於通過位置P2b而配置成：位於第1搭載位置P1a的第1載台11在同一平面上與位於通過位置P2b的第2載台12的角部重合。而且，同樣地，第2搭載位置P1b相對於通過位置P2a而配置成，位於第2搭載位置P1b的第2載台12在同一平面上與位於通過位置P2a的第1載台11的角部重合。由此，相對於照射單元10而往復的各第1載台11、第2載台12的搬送距離得以縮短。 (第1實施方式的變形例1的效果)

在第1實施方式的變形例1中，也與第1實施方式同樣地，能夠縮短各第1載台11、第2載台12的搬送距離，因此可獲得抑制生產節拍增大化及抑制設置空間增大的效果。 (第1實施方式的變形例2)

圖4是示意性地表示第1實施方式的變形例2的偏振光照射裝置的平面圖。第1實施方式的變形例2與第1實施方式不同的是：第1搭載位置P1a、第2搭載位置P1b相對於通過位置P2a、P2b的配置；以及第1載台11及第2載台12從第1搭載位置P1a、第2搭載位置P1b退避的方向。

如圖4所示，第1實施方式的變形例2的偏振光照射裝置1C具備搬送機構35，該搬送機構35在第1搭載位置P1a、第2搭載位置P1b與通過位置P2a、P2b之間，使第1載台11及第2載台12交替地沿著搬送路徑36而往復。搬送路徑36如圖4所示，長度方向的兩端部是相對於連結通過位置P2a、P2b之間的方向，在同一平面而正交的方向上彎曲。而且，搬送路徑36的兩端部相對於連結通過位置P2a、P2b之間的直線而朝彼此相同的方向彎曲。搬送路徑36是沿著搬送機構35的引導軸35a而構成。

並且，第1搭載位置P1a相對於通過位置P2b而配置成：位於第1搭載位置P1a的第1載台11在同一平面上與位於通過位置P2b的第2載台12的端部重合。而且，同樣地，第2搭載位置P1b相對於通過位置P2a而配置成，位於第2搭載位置P1b的第2載台12在同一平面上與位於通過位置P2a的第1載台11的端部重合。由此，相對於照射單元10而往復的各第1載台11、第2載台12的搬送距離得以縮短。 (第1實施方式的變形例2的效果)

在第1實施方式的變形例2中，也與第1實施方式同樣地，能夠縮短各第1載台11、第2載台12的搬送距離，因此可獲得抑制生產節拍增大化及抑制設置空間增大的效果。 (第2實施方式)

圖5是示意性地表示第2實施方式的偏振光照射裝置的側面圖。圖6是示意性地表示第2實施方式的偏振光照射裝置的平面圖。第2實施方式與第1實施方式的不同之處在於，位於第1搭載位置P1a、第2搭載位置P1b的各第1載台11、第2載台12整體相對於位於通過位置P2a、P2b的各第1載台11、第2載台12而重合。而且，第2實施方式與第1實施方式的不同之處在於，第1載台11及第2載台12從第1搭載位置P1a、第2搭載位置P1b相對於上下方向而退避。

如圖5及圖6所示，第2實施方式的偏振光照射裝置1D具備搬送機構45，該搬送機構45在第1搭載位置P1a、第2搭載位置P1b與通過位置P2a、P2b之間，使第1載台11及第2載台12交替地沿著搬送路徑46而往復。搬送路徑46如圖5所示，具有使第1載台11及第2載台12搬送的導軌(guide rail)45a。導軌45a的兩端部朝向上方彎曲，從第1搭載位置P1a、第2搭載位置P1b延伸到退避位置P3a、P3b為止。而且，搬送路徑46如圖6所示，在從與各第1載台11、第2載台12的搭載面相向的方向觀察時，沿著導軌45a而構成為直線狀。

並且，第2實施方式的偏振光照射裝置1D中，借助搬送機構45，使位於第1搭載位置P1a的第1載台11移動到退避位置P3a，並且使位於第2搭載位置P1b的第2載台12移動到退避位置P3b。而且，搬送機構45使位於退避位置P3a的第1載台11返回第1搭載位置P1a，並且使位於退避位置P3b的第2載台12返回第2搭載位置P1b。因此，本實施方式中，使各第1載台11、第2載台12往復動作的搬送機構45兼作使各第1載台11、第2載台12從第1搭載位置P1a、第2搭載位置P1b退避到退避位置P3a、P3b的退避機構。

而且，第1搭載位置P1a相對於通過位置P2b而配置成：位於第1搭載位置P1a的第1載台11在同一平面上與位於通過位置P2b的第2載台12整體重合。而且，同樣地，第2搭載位置P1b相對於通過位置P2a而配置成，位於第2搭載位置P1b的第2載台12在同一平面上與位於通過位置P2a的第1載台11整體重合。由此，相對於照射單元10而往復的各第1載台11、第2載台12的搬送距離得到進一步縮短。 (第2實施方式的效果)

第2實施方式中，位於第1搭載位置P1a、第2搭載位置P1b的各第1載台11、第2載台12與位於通過位置P2a、P2b的各第1載台11、第2載台12整體重合，因此與第1實施方式或第3實施方式相比，各第1載台11、第2載台12的搬送距離得到進一步縮短。其結果，能夠進一步抑制生產節拍的增大化及進一步抑制設置空間的增大。

而且，第2實施方式中的第1載台11及第2載台12的退避位置P3a、P3b與第1搭載位置P1a、第2搭載位置P1b位於不同平面上。由此，在難以確保相對於水準方向的設置空間的情況下為優選，能夠相對於做為水準方向的設置面內方向而抑制設置空間的增大。

另外，第2實施方式中構成為，各第1載台11、第2載台12從第1搭載位置P1a、第2搭載位置P1b朝向上方退避，但也可構成為，各載台11、12從第1搭載位置P1a、第2搭載位置P1b朝向下方退避。

而且，在第2實施方式中，也可根據需要，而將第1載台11及第2載台12的第1搭載位置P1a、第2搭載位置P1b設定為與從通過位置P2b、P2a朝上方離開的退避位置P3a、P3b相同的位置。由此，能夠省去使第1載台11、第2載台12從第1搭載位置P1a、第2搭載位置P1b退避到退避位置P3a、P3b為止的移動。

而且，第2實施方式中的搬送機構45構成為，位於各第1搭載位置P1a、第2搭載位置P1b的各第1載台11、第2載台12相對於上下方向而退避，但也可如第1實施方式般而構成為，使各第1載台11、第2載台12朝水準方向上的規定方向退避。而且，在第1實施方式中也可構成為，位於各第1搭載位置P1a、第2搭載位置P1b的各第1載台11、第2載台12相對於上下方向而退避。而且，較之朝上下方向退避的退避機構，朝水準方向退避的退避機構的結構得以簡化，並且能夠容易地保持由各第1載台11、第2載台12所搭載的基板9的定位精度，因此為優選。 (第3實施方式)

圖7是示意性地表示第3實施方式的偏振光照射裝置的側面圖。第3實施方式與第2實施方式不同的是，使位於第1搭載位置P1a、第2搭載位置P1b的第1載台11及第2載台12朝上下方向退避的退避機構。

如圖7所示，第3實施方式的偏振光照射裝置1E具備搬送機構55，該搬送機構55在第1搭載位置P1a、第2搭載位置P1b與通過位置P2a、P2b之間，使第1載台11及第2載台12交替地沿著搬送路徑56而往復。搬送路徑56如圖7所示，具有使第1載台11及第2載台12搬送的引導軸55a。搬送路徑56沿著引導軸55a而構成為直線狀。

而且，第3實施方式的偏振光照射裝置1E具備退避機構57，該退避機構57使第1載台11及第2載台12移動到離開通過位置P2a、P2b的退避位置P3a、P3b。退避機構57如圖7所示，鄰接於第1搭載位置P1a及第2搭載位置P1b而配置，使用所謂的工業機器人。退避機構57具有臂57a，該臂57a用於沿上下方向搬送各第1載台11、第2載台12。

並且，退避機構57在第1載台11及第2載台12被搬送到通過位置P2a、P2b時，使位於第1搭載位置P1a及第2搭載位置P1b的第1載台11及第2載台12移動到退避位置P3a、P3b。而且，退避機構57使位於退避位置P3a的第1載台11返回第1搭載位置P1a，並且使位於退避位置P3b的第2載台12返回第2搭載位置P1b。

而且，第1搭載位置P1a相對於通過位置P2b而配置成，位於第1搭載位置P1a的第1載台11在同一平面上與位於通過位置P2b的第2載台12整體重合。而且，同樣地，第2搭載位置P1b相對於通過位置P2a而配置成，位於第2搭載位置P1b的第2載台12在同一平面上與位於通過位置P2a的第1載台11整體重合。由此，相對於照射單元10而往復的各第1載台11、第2載台12的搬送距離得到進一步縮短。 (第3實施方式的效果)

第3實施方式中，也與第2實施方式同樣地，能夠比第1實施方式及第2實施方式進一步抑制生產節拍變長及進一步抑制設置空間增大。

而且，第3實施方式中，儘管搬送路徑56在同一平面上構成，即，儘管搬送路徑56僅由搬送機構55構成，仍能夠沿上下方向搬送各第1載台11、第2載台12。因此，不需要在搬送機構55中裝入沿上下方向搬送各第1載台11、第2載台12的機構，因此能夠抑制搬送機構55的複雜化。 (第4實施方式)

圖8是示意性地表示第4實施方式的偏振光照射裝置的平面圖。第4實施方式與第1實施方式的不同之處在於，位於第2搭載位置P1b的第2載台12與位於通過位置P2a的第1載台11不重合。即，第4實施方式中，第1載台11及第2載台12中，僅位於第2搭載位置P1a的第1載台11側與位於通過位置P2b的第2載台12重合。

如圖8所示，第4實施方式的偏振光照射裝置1F具備搬送機構65，該搬送機構65在第1搭載位置P1a、第2搭載位置P1b與通過位置P2a、P2b之間，使第1載台11及第2載台12交替地沿著搬送路徑66而往復。搬送路徑66如圖8所示，具有使第1載台11及第2載台12搬送的引導軸65a。搬送路徑66沿著引導軸65a而構成為直線狀。

而且，第1搭載位置P1a相對於通過位置P2b而配置成：位於第1搭載位置P1a的第1載台11在同一平面上與位於通過位置P2b的第2載台12的一部分重合。因此，第4實施方式中的第1載台11側的結構是與第1實施方式同樣地構成。雖未圖示，但在鄰接於第1搭載位置P1a的位置，設置有使位於第1搭載位置P1a的第1載台11退避到退避位置P3a的退避機構。

另一方面，第2搭載位置P1b相對於通過位置P2a而配置成：位於第2搭載位置P1b的第2載台12在同一平面上與位於通過位置P2a的第1載台11鄰接而不重合。由此，第4實施方式的偏振光照射裝置6中，省去了使第2載台12退避的退避機構。而且，第4實施方式的偏振光照射裝置1F中，相對於照射單元10而往復的第1載台11的搬送距離較第2載台12的搬送距離更為縮短。 (第4實施方式的效果)

第4實施方式中，在第2載台12的第2搭載位置P1b與照射單元10之間，具有供位於通過位置P2a的第1載台11配置的空間。因此，第4實施方式中，與第1載台11的搬送距離相比，第2載台12的搬送距離變長，生產節拍比第1實施方式慢。然而，第４實施方式中，不需要使第2載台12移動到退避位置，因此與第1實施方式相比，能夠削減第2載台12的退避機構。

而且，在第4實施方式中，也與第1實施方式至第3實施方式同樣地，可獲得抑制生產節拍變長及抑制設置空間增大的效果。

另外，本實施方式中的退避機構為了沿上下方向搬送載台而使用了工業機器人或導軌，但也可使用其他升降機構或懸吊搬送載台的機構等。

而且，做為退避機構，也可採用下述結構，即，與移動到通過位置的第1載台聯動地，使位於搭載位置的第2載台移動到退避位置。做為退避機構，例如也可採用：借助移動到通過位置的第1載台來推入第2載台，從而使第2載台移動到退避位置的結構；或者使第2載台的厚度方向繞旋轉軸轉動的機構。根據此種退避機構，能夠實現機構或控制的簡化。

而且，第1載台及第2載台也可具有所謂的對準(alignment)機構，該對準機構在第1搭載位置P1及第2搭載位置P2處搭載對象物後進行對位元。

而且，在第1載台及第2載臺上，也可具有搭載機構，該搭載機構設置有多個銷(pin)或可動部，通過使多個銷或可動部升降，從而將對象物搭載於第1載台及第2載台。

所述的各實施方式中，僅具有1個照射單元10而構成，但並不限定於該結構。例如，也可使多個照射單元10沿著第1載台及第2載台的搬送方向而隔開規定間隔地配置。此時，照射區域A不僅可設為多個照射單元10的正下方，也可設為如下所述的區域，即，從配置在一端側的照射單元10的最下面的開口的一端，直至配置在另一端側的照射單元10的最下面的開口的另一端之間的區域。 (第5實施方式)

以下要說明的實施方式的光配向用偏振光照射裝置(以下稱作偏振光照射裝置)1G具備照射單元10、第1載台11及第2載台12以及搬送機構15。照射單元10具有朝對象物照射偏振光的照射區域A。在第1載台11及第2載台12上搭載對象物。搬送機構15具有第1搬送路徑19a，該第1搬送路徑19a是將第1載台11從在第1載台11上搭載對象物的第1搭載位置P1搬送到鄰接於照射區域A的照射開始位置P3為止。而且，搬送機構15具有第2搬送路徑19b，該第2搬送路徑19b是將第2載台12從在第2載台12上搭載對象物的第2搭載位置P2搬送到照射開始位置P3為止。而且，搬送機構15具有第3搬送路徑19c，該第3搬送路徑19c的一端連結於照射開始位置P3，並且另一端通過照射區域A而延伸到鄰接於照射區域A的通過位置P4為止，搬送第1載台11及第2載台12。搬送機構15在第1搭載位置P1與通過位置P4之間，使第1載台11沿著第1搬送路徑19a及第3搬送路徑19c而往復，並且在第2搭載位置P2與通過位置P4之間，使第2載台12沿著第2搬送路徑19b及第3搬送路徑19c而往復。

而且，以下要說明的實施方式的第1搬送路徑19a及第2搬送路徑19b中的至少一條搬送路徑的搬送方向在同一平面上與第3搬送路徑19c的搬送方向交叉。

而且，以下要說明的實施方式的第1搬送路徑與第2搬送路徑在上下方向上並排配置。

圖9(a)是示意性地表示第5實施方式的偏振光照射裝置的側面圖。圖9(b)是示意性地表示第5實施方式的偏振光照射裝置的側面圖。圖10(a)、圖10(b)是示意性地表示第5實施方式的偏振光照射裝置的平面圖。本實施方式的偏振光照射裝置例如被用於通過朝做為對象物的配向膜照射直線偏振光等偏振光來進行光配向。本實施方式的偏振光照射裝置例如被用於製造液晶面板的配向膜或視角補償膜的配向膜等。 (偏振光照射裝置的結構)

如圖9(a)及圖9(b)所示，第5實施方式的偏振光照射裝置1G具備照射單元10、第1載台11及第2載台12以及搬送機構15。

第5實施方式的偏振光照射裝置1G中，照射單元10、“照射區域A”、光源10a、反射板10b是與第1實施方式相同的構成構件，標注與第1實施方式相同的符號並省略說明。另外，第1載台11及第2載台12形成為矩形狀的板狀，搭載形成有配向膜的基板9。如圖10(a)所示，一組第1載台11及第2載台12由搬送機構15可移動地予以支撐。

搬送機構15如圖10(a)所示，具有：搬送第1載台11的第1搬送路徑19a、搬送第2載台12的第2搬送路徑19b、以及搬送第1載台11及第2載台12的第3搬送路徑19c。

搬送機構15如圖10(b)所示，具有：彼此平行地配置的一組第1引導軸15a、以及與一組第1引導軸15a正交並且彼此平行地配置的一組第2引導軸15b。而且，雖未圖示，但搬送機構15具有驅動機構，該驅動機構沿著第1引導軸15a及第2引導軸15b來搬送第1載台11及第2載台12。第1搬送路徑19a及第2搬送路徑19b借助第1引導軸15a，構成為沿著圖9(b)及圖10(a)中X軸方向而連續的直線狀。第3搬送路徑19c借助第2引導軸15b，沿著圖9(a)及圖10(a)中的Y軸方向而構成為直線狀，且正交於第1搬送路徑19a及第2搬送路徑19b的搬送方向。因此，第1搬送路徑至第3搬送路徑19a、19b、19c是在同一平面上整體呈T字狀而連結。

第1搬送路徑19a如圖9(b)及圖10(b)所示，將第1載台11從在第1載台11上搭載基板9的第1搭載位置P1搬送到鄰接於照射區域A的照射開始位置P3為止。第2搬送路徑19b將第2載台12從在第2載台12上搭載基板9的第2搭載位置P2搬送到照射開始位置P3為止。第3搬送路徑19c如圖9(a)及圖10(b)所示，一端連結於第1搬送路徑19a及第2搬送路徑19b的各端部，由此，一端連結於照射開始位置P3。而且，第3搬送路徑19c的另一端通過照射區域A而延伸到鄰接於照射區域A的通過位置P4為止。由此，第3搬送路徑19c搬送第1載台11及第2載台12。

搬送機構15在第1搭載位置P1與通過位置P4之間，使第1載台11沿著第1搬送路徑19a及第3搬送路徑19c而往復，並且在第2搭載位置P2與通過位置P4之間，使第2載台12沿著第2搬送路徑19b及第3搬送路徑19c而往復。 (偏振光照射時的各載台的動作)

對於以上述方式構成的偏振光照射裝置1G，參照附圖來說明相對於照射單元10來搬送第1載台11及第2載台12並對基板9照射偏振光的動作。圖11至圖15是用於說明第5實施方式的偏振光照射裝置中的第1載台及第2載台的動作的示意平面圖。

首先，如圖10(a)及圖10(b)所示，在位於第1搭載位置P1的第1載台11上搭載基板9。然後，如圖11所示，第1載台11由搬送機構15從第1搭載位置P1沿著第1搬送路徑19a搬送到照射開始位置P3為止。然後，第1載台11由搬送機構15從照射開始位置P3沿著第3搬送路徑19c，通過照射單元10的照射區域A而搬送到通過位置P4為止。此時，第1載台11通過照射區域A，由此對基板9的配向膜照射規定量的偏振光。

緊接著，如圖11所示，第1載台11由搬送機構15從通過位置P4沿著第3搬送路徑19c，通過照射區域A而搬送到照射開始位置P3為止。此時，第1載台11再次通過照射區域A，由此對基板9的配向膜照射規定量的偏振光後，偏振光的照射結束。因此，照射開始位置P3也相當於照射結束位置。以下，為了便於說明，將照射開始位置P3也稱作照射結束位置P3。

然後，如圖12所示，第1載台11從照射結束位置P3沿著第1搬送路徑19a被搬送到第1搭載位置P1為止。此時，與第1載台11從照射結束位置P3(照射開始位置P3)朝向第1搭載位置P1的移動聯動地，第2載台12從第2搭載位置P2朝向照射開始位置P3，沿著第2搬送路徑19b受到搬送。

關於開始搬送第2載台12的時機，與第1載台11從照射結束位置P3朝向第1搭載位置P1開始移動的動作聯動地，第2載台12從第2搭載位置P2朝向照射開始位置P3開始移動的動作，在縮短生產節拍的觀點上為優選。另外，也可根據需要，在第1載台11從照射結束位置P3返回到第1搭載位置P1為止後，第2載台12從第2搭載位置P2朝向照射開始位置P3開始移動。

因此，在第1載台11通過照射區域A而在第1搭載位置P1與照射結束位置P3之間往復的動作過程中，在位於第2搭載位置P2的第2載台12上搭載基板9。

然後，如圖13所示，第2載台12由搬送機構15從第2搭載位置P2沿著第2搬送路徑19b而搬送到照射開始位置P3為止後，從照射開始位置P3沿著第3搬送路徑19c，通過照射區域A而被搬送到通過位置P4為止。而且，第2載台12由搬送機構15從通過位置P4沿著第3搬送路徑19c，通過照射區域A而被搬送到照射開始位置P3(照射結束位置P3)為止。此時，第2載台12在照射區域A往復，由此對基板9的配向膜照射規定量的偏振光。

而且，如圖13所示，在第2載台12通過照射區域A而在第2搭載位置P2與照射結束位置P3之間往復的動作過程中，從已返回到第1搭載位置P1的第1載台11回收照射已結束的基板9，並且在第1載台11上搭載下個基板9。

緊跟著，如圖14所示，與第2載台12從照射結束位置P3被搬送到第2搭載位置P2為止的動作聯動，搭載有下個基板9的第1載台11從第1搭載位置P1朝向照射開始位置P3受到搬送。

與所述同樣地，如圖15所示，第1載台11在從第1搭載位置P1沿著第1搬送路徑19a被搬送到照射開始位置P3為止後，從照射開始位置P3沿著第3搬送路徑19c，通過照射區域A而被搬送到通過位置P4為止。第1載台11由搬送機構15從通過位置P4沿著第3搬送路徑19c，通過照射區域A而被搬送到照射開始位置P3(照射結束位置P3)為止。而且，與所述同樣地，在第1載台11通過照射區域A而在第1搭載位置P1與照射結束位置P3之間往復的動作過程中，從已返回到第2搭載位置P2的第2載台12回收照射已結束的基板9，並且在第2載台12上搭載下個基板9。

以後，交替地反復進行如下動作，即，對第1載台11上的基板9的配向膜照射偏振光、與對第2載台12上的基板9的配向膜照射偏振光。 (第5實施方式的效果)

第5實施方式中的搬送機構15具有：將第1載台11從第1搭載位置P1搬送到照射開始位置P3為止的第1搬送路徑19a、以及將第2載台12從第2搭載位置P2搬送到照射開始位置P3為止的第2搬送路徑19b。而且，搬送機構15具有第3搬送路徑19c，該第3搬送路徑19c的一端連結於照射開始位置P3，並且另一端延伸到通過位置P4為止，搬送第1載台11及第2載台12。並且，搬送機構15在第1搭載位置P1與通過位置P4之間，使第1載台11沿著第1搬送路徑19a及第3搬送路徑19c而往復，並且在第2搭載位置P2與通過位置P4之間，使第2載台12沿著第2搬送路徑19b及第3搬送路徑19c而往復。

由此，能夠與其中一個第1載台11(第2載台12)從照射結束位置P3返回到第1搭載位置P1(第2搭載位置P2)為止的動作聯動地，將另一個第2載台12(第1載台11)從第2搭載位置P2(第1搭載位置P1)搬送到照射開始位置P3為止。因此，第1載台11的搬送動作的一部分與第2載台12的搬送動作的一部分是同時進行，因此能夠縮短生產節拍。換言之，第1載台11的照射開始位置P3(照射結束位置P3)與第2載台12的照射開始位置P3(照射結束位置P3)為同一位置，因此能夠抑制生產節拍的變長。

而且，在照射單元的照射區域的兩側配置有第1搭載位置與第2搭載位置的情況下，搬送第1載台及第2載台的搬送路徑成為呈直線狀延伸的長條狀。然而，根據第5實施方式，通過在照射區域A的一端側配置有第1搭載位置P1及第2搭載位置P2，從而能夠避免需要長條狀的設置空間(細長的設置空間)的情況。因此，能夠抑制設置空間的增大。

因此，根據第5實施方式，能夠抑制生產節拍的變長，並且能夠抑制裝置整體的設置空間的增大。

而且，第5實施方式中，第1搬送路徑19a及第2搬送路徑19b的搬送方向在同一平面上與第3搬送路徑19c的搬送方向交叉，由此，不需要沿上下方向搬送第1載台11及第2載台12的機構，因此能夠抑制搬送機構15的複雜化。 (第6實施方式)

圖16是示意性地表示第6實施方式的偏振光照射裝置的平面圖。第6實施方式與第5實施方式不同的是：搬送第1載台11的第1搬送路徑的配置、以及搬送第2載台12的第2搬送路徑的配置。

如圖16所示，第6實施方式的偏振光照射裝置1H具有：搬送第1載台11的第1搬送路徑29a、搬送第2載台12的第2搬送路徑29b、以及搬送第1載台11及第2載台12的第3搬送路徑29c。第1搬送路徑29a、第2搬送路徑29b及第3搬送路徑29c構成為直線狀。

第3搬送路徑29c的一端連結於第1搬送路徑29a及第2搬送路徑29b，並且另一端延伸到通過位置P4為止。第2搬送路徑29b與第3搬送路徑29c以呈直線狀連續的方式而連結。第1搬送路徑29a以在同一平面上與第2搬送路徑29b及第3搬送路徑29c的搬送方向正交的方式而連結於第3搬送路徑29c。 (第6實施方式的效果)

在第6實施方式中，也與第5實施方式同樣地，能夠抑制生產節拍的變長並且抑制裝置整體的設置空間的增大。

而且，在第6實施方式中，第1搬送路徑29a及第2搬送路徑29b的搬送方向也在同一平面上與第3搬送路徑29c的搬送方向交叉，由此，不需要沿上下方向搬送第1載台11及第2載台12的機構，因此能夠簡單地構成搬送機構15。

第6實施方式中，第1搭載位置P1與第2搭載位置P2是靠近地配置。通過採用此種結構，能夠將在第1搭載位置P1處向第1載台11上搭載對象物的對象物搭載機構(未圖示)與在第2搭載位置P2處向第2載台12上搭載對象物的對象物搭載機構(未圖示)共用化，因此能夠抑制對象物搭載機構的增大。

另外，第6實施方式中構成為搬送2個載台即第1載台11及第2載台12，但也可根據需要來構成為搬送3個以上的載台。在此情況下，例如在第6實施方式中，也可在與第1載台11的第1搭載位置P1相向的位置，配置第3載台的第3搭載位置及搬送第3載台的搬送路徑。 (第6實施方式的變形例)

圖17是示意性地表示第6實施方式的變形例的偏振光照射裝置的平面圖。第6實施方式的變形例與第6實施方式不同的是搬送第2載台12的第2搬送路徑的配置。

如圖17所示，第6實施方式的變形例的偏振光照射裝置1J具有：搬送第1載台11的第1搬送路徑39a、搬送第2載台12的第2搬送路徑39b、以及搬送第1載台11及第2載台12的第3搬送路徑39c。第1搬送路徑39a、第2搬送路徑39b及第3搬送路徑39c構成為直線狀。

第3搬送路徑39c的一端連結於第1搬送路徑39a及第2搬送路徑39b，並且另一端延伸到通過位置P4為止。而且，第1搬送路徑39a、第2搬送路徑39b及第3搬送路徑39c是以照射開始位置P3(照射結束位置P3)為中心，朝彼此交叉的方向呈放射狀延伸，且一端彼此連結。因此，第1搬送路徑39a、第2搬送路徑39b及第3搬送路徑39c是在同一平面上整體呈Y字狀地連結。 (第6實施方式的變形例的效果)

第6實施方式的變形例中，也與第6實施方式同樣地，能夠抑制生產節拍的變長。

而且，第6實施方式的變形例中，第1搬送路徑39a及第2搬送路徑39b的搬送方向也在同一平面上與第3搬送路徑39c的搬送方向交叉，由此，不需要沿上下方向搬送第1載台11及第2載台12的機構，因此能夠抑制搬送機構15的複雜化。

第6實施方式的變形例中，第1搭載位置P1與第2搭載位置P2也是靠近地配置。通過採用此種結構，能夠將在第1搭載位置P1處向第1載台11上搭載對象物的對象物搭載機構(未圖示)與在第2搭載位置P2處向第2載台12上搭載對象物的對象物搭載機構(未圖示)共用化，因此能夠抑制對象物搭載機構的增大。 (第7實施方式)

圖18(a)是示意性地表示第7實施方式的偏振光照射裝置的側面圖。圖18(b)是示意性地表示第7實施方式的偏振光照射裝置的平面圖。第7實施方式與第5實施方式及第6實施方式不同的是：搬送第1載台11的第1搬送路徑的配置、以及搬送第2載台12的第2搬送路徑的配置。

如圖18(a)及圖18(b)所示，第7實施方式的偏振光照射裝置1K具有：搬送第1載台11的第1搬送路徑49a、搬送第2載台12的第2搬送路徑49b、以及搬送第1載台11及第2載台12的第3搬送路徑49c。第1搬送路徑49a、第2搬送路徑49b及第3搬送路徑49c構成為直線狀。

第3搬送路徑49c的一端連結於第1搬送路徑49a及第2搬送路徑49b，並且另一端延伸到通過位置P4為止。如圖18(a)所示，第1搬送路徑49a與第2搬送路徑49b在上下方向上並排配置。換言之，位於第1搭載位置P1的第1載台11與位於第2搭載位置P2的第2載台12在上下方向上並排配置。而且，第1搬送路徑49a及第2搬送路徑49b如圖18(b)所示，以呈直線狀連續的方式而連結於第3搬送路徑49c。

而且，第1搬送路徑49a與第2搬送路徑49b是以在從與第1載台11及第2載台12的搭載面相向的方向觀察時重合的方式而配置，從而裝置整體的設置空間得以削減。另外，第1搬送路徑49a與第2搬送路徑49b也可根據配置的限制或搬送機構的簡化等的需要，而配置在從與第1載台11及第2載台12的搭載面相向的方向觀察時不重合的位置。 (第7實施方式的效果)

第7實施方式中，第1搬送路徑49a與第2搬送路徑49a是在上下方向上並排配置，因此與第5實施方式及第6實施方式相比，能夠進一步減小裝置整體的設置空間，從而能夠進一步抑制設置空間的增大。即，第7實施方式在難以確保相對於水準方向的設置空間的情況下為優選，能夠相對於做為水準方向的設置面內方向而進一步抑制設置空間的增大。

而且，第7實施方式中，也與第5實施方式或第6實施方式同樣地，能夠抑制生產節拍的增大。

另外，所述的各實施方式中，構成為直線狀的第1搬送路徑至第3搬送路徑是連結地構成，但並不限定於該結構。例如，第1搬送路徑及第2搬送路徑中的至少一者與第3搬送路徑的一端也可彎曲成弧狀而連結。也可通過使第1搬送路徑與第3搬送路徑、第2搬送路徑與第3搬送路徑圓滑地連結，從而提高搬送動作的順暢性。

而且，第1載台及第2載台也可具有所謂的對準機構，該對準機構在第1搭載位置P1及第2搭載位置P2處搭載對象物後進行對位元。

第1載台及第2載台也可具有搭載機構，該搭載機構設置有多個銷或可動部，通過使多個銷或可動部升降，從而將對象物搭載於第1載台及第2載台。

所述的各實施方式中，僅具有1個照射單元10而構成，但並不限定於該結構。例如，也可使多個照射單元10沿著第3搬送路徑的搬送方向而隔開規定間隔地設置有多個。此時，照射區域A不僅可設為多個照射單元10的正下方，也可設為如下所述的區域，即，從配置在一端側的照射單元10的最下表面的開口的一端，直至配置在另一端側的照射單元10的最下表面的開口的另一端之間的區域。

對本發明的實施方式進行了說明，但實施方式僅為例示，並不意圖限定本發明的範圍。實施方式能夠以其他的各種形態來實施，在不脫離發明的主旨的範圍內，能夠進行各種省略、置換、變更。實施方式及其變形包含在本發明的範圍或主旨內，同樣包含在申請專利範圍所記載的發明及其均等的範圍內。

1A～1H、1J～1K‧‧‧偏振光照射裝置
9‧‧‧基板
10‧‧‧照射單元
10a‧‧‧光源
10b‧‧‧反射板
11‧‧‧第1載台
12‧‧‧第2載台
15、25、35、45、55、65‧‧‧搬送機構
25a、35a、45a、55a、65a‧‧‧引導軸
15a‧‧‧第1引導軸
15b‧‧‧第2引導軸
16、26、36、46、56、66‧‧‧搬送路徑
17、57‧‧‧退避機構
17a、57a‧‧‧臂
19a、29a、39a、49a‧‧‧第1搬送路徑
19b、29b、39b、49b‧‧‧第2搬送路徑
19c、29c、39c、49c‧‧‧第3搬送路徑
A‧‧‧照射區域
P1a、P1‧‧‧第1搭載位置
P1b、P2‧‧‧第2搭載位置
P2a、P2b、P4‧‧‧通過位置
P3a、P3b‧‧‧退避位置
P3‧‧‧照射開始位置(照射結束位置)

圖1是示意性地表示第1實施方式的光配向用偏振光照射裝置的側面圖。 　　圖2是示意性地表示第1實施方式的光配向用偏振光照射裝置的平面圖。 　　圖3是示意性地表示第1實施方式的變形例的光配向用偏振光照射裝置的平面圖。 　　圖4是示意性地表示第1實施方式的變形例的光配向用偏振光照射裝置的平面圖。 　　圖5是示意性地表示第2實施方式的光配向用偏振光照射裝置的側面圖。 　　圖6是示意性地表示第2實施方式的光配向用偏振光照射裝置的平面圖。 　　圖7是示意性地表示第3實施方式的光配向用偏振光照射裝置的側面圖。 　　圖8是示意性地表示第4實施方式的光配向用偏振光照射裝置的平面圖。 　　圖9(a)、圖9(b)是示意性地表示第5實施方式的光配向用偏振光照射裝置的側面圖。 　　圖10(a)、圖10(b)是示意性地表示第5實施方式的光配向用偏振光照射裝置的平面圖。 　　圖11是用於說明第5實施方式的光配向用偏振光照射裝置中的第1載台及第2載台的動作的示意平面圖。 　　圖12是用於說明第5實施方式的光配向用偏振光照射裝置中的第1載台及第2載台的動作的示意平面圖。 　　圖13是用於說明第5實施方式的光配向用偏振光照射裝置中的第1載台及第2載台的動作的示意平面圖。 　　圖14是用於說明第5實施方式的光配向用偏振光照射裝置中的第1載台及第2載台的動作的示意平面圖。 　　圖15是用於說明第5實施方式的光配向用偏振光照射裝置中的第1載台及第2載台的動作的示意平面圖。 　　圖16是示意性地表示第6實施方式的光配向用偏振光照射裝置的平面圖。 　　圖17是示意性地表示第6實施方式的光配向用偏振光照射裝置的變形例的平面圖。 　　圖18(a)、18(b)是示意性地表示第7實施方式的光配向用偏振光照射裝置的側面圖及平面圖。

1A‧‧‧偏振光照射裝置

10‧‧‧照射單元

11‧‧‧第1載台

12‧‧‧第2載台

15‧‧‧搬送機構

15a‧‧‧第1引導軸

16‧‧‧搬送路徑

P1a‧‧‧第1搭載位置

P1b‧‧‧第2搭載位置

P2a、P2b‧‧‧通過位置

P3a、P3b‧‧‧退避位置

Claims (9)

1. 一種光配向用偏振光照射裝置，其特徵在於包括： 　　照射單元，具有朝對象物照射偏振光的照射區域； 　　第1載台及第2載台，配置有搭載所述對象物的第1搭載位置及第2搭載位置；以及 　　搬送機構，具有通過所述照射區域而連結所述第1搭載位置及所述第2搭載位置的至少一條搬送路徑，且在所述搭載位置、與所述第1載台及所述第2載台通過所述照射區域而鄰接於所述照射區域的通過位置之間，使所述第1載台及所述第2載台交替地沿著所述至少一條搬送路徑而往復。
2. 如申請專利範圍第1項所述的光配向用偏振光照射裝置，更包括： 　　退避機構，使位於所述第1搭載位置及所述第2搭載位置的所述第1載台及所述第2載台中的至少一個載台，在另一個載台被搬送到所述通過位置時，移動到離開所述通過位置的退避位置， 　　所述搭載位置相對於所述通過位置而配置成，位於所述第1搭載位置及所述第2搭載位置的所述至少一個載台、與位於所述通過位置的另一個載台的至少一部分在同一平面上重合。
3. 如申請專利範圍第1項所述的光配向用偏振光照射裝置，其中所述至少一個載台是所述退避位置與所述搭載位置位於同一平面上。
4. 如申請專利範圍第1項所述的光配向用偏振光照射裝置，其中所述至少一個載台是所述退避位置與所述搭載位置位於不同平面上。
5. 如申請專利範圍第1項所述的光配向用偏振光照射裝置，其中所述至少一個載台是所述搭載位置相對於所述通過位置而配置成：在同一平面上，當所述至少一個載台位於所述搭載位置時，與位於所述通過位置的另一個所述載台整體重合。
6. 如申請專利範圍第1項至第5項中任一項所述的光配向用偏振光照射裝置，其中所述退避機構使所述至少一個載台沿著與所述其中一個載台被往復搬送的搬送方向相同的方向而移動到所述退避位置。
7. 如申請專利範圍第1項所述的光配向用偏振光照射裝置，其中所述搬送路徑具有：第1搬送路徑，從在所述第1載臺上搭載所述對象物的第1搭載位置，將所述第1載台搬送到鄰接於所述照射區域的照射開始位置；第2搬送路徑，從在所述第2載臺上搭載所述對象物的第2搭載位置，將所述第2載台搬送到所述照射開始位置為止；以及第3搬送路徑，一端連結於所述照射開始位置，並且另一端通過所述照射區域而延伸到鄰接於所述照射區域的通過位置為止，並搬送所述第1載台及所述第2載台， 　　所述搬送機構在所述第1搭載位置與所述通過位置之間，使所述第1載台沿著所述第1搬送路徑及所述第3搬送路徑而往復，並且在所述第2搭載位置與所述通過位置之間，使所述第2載台沿著所述第2搬送路徑及所述第3搬送路徑而往復。
8. 如申請專利範圍第7項所述的光配向用偏振光照射裝置，其中所述第1搬送路徑及所述第2搬送路徑中的至少一條搬送路徑的搬送方向與所述第3搬送路徑的搬送方向在同一平面上交叉。
9. 如申請專利範圍第7項所述的光配向用偏振光照射裝置，其中所述第1搬送路徑與所述第2搬送路徑在上下方向上並排配置。