KR970703797A - 고효율 금속 막 게터 요소 및 그 제조 방법(high-efficiency metal membrane getter element and process for making) - Google Patents

고효율 금속 막 게터 요소 및 그 제조 방법(high-efficiency metal membrane getter element and process for making)

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Abstract

소결가능한 게터 재료 및 금속 필터 재료를 구비하고, 사실상 상호 연결된 공극들의 매트릭스를 형성하는 게터-필터 복합 막 요소가 개시된다. 막 요소들은 제1소결가능한 게터 재료 층 및 제2소결가능한 금속 피터재료 층으로된 세개 이상의 교대로 된 층들로 구성될 수 있고, 상기 제1게터 재료층은 상기 제2필터 재료 층들 사이에 배치되고, 상기 제2층들은 게터 층을 유지하고 게터 입자들을 보유하도록 작용한다. 또한, 게터-필터 요소 제조방법도 개시된다.
상기 게터-필터 복합 막 요소는 복합 막 요소 전체에 걸쳐서 사실상 상호 연결된 공극들의 매트릭스를 형서하는것을 특징으로 하는 게터-필터 복합 막요소.

Description

고효울 금속 막 게터 요소 및 그 제조방법(HIGE-EFFICIENGY METAL MEMBRANE GETTER ELEMENT AND PROCESS FOR MAKING)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2A도는 내지 도2F는 도1의 게터-필터 복합 막의 제조 공정의 개략도이다.

Claims (28)

  1. 게터-필터 복합 막 요소에 있어서, 소결가능한 게터 재료 및 소결 가능한 금속 필터 재료를 구비하고, 사실상 상호 연결횐 공극들의 매트릭스를 형성하는 것을 특징으로 하는 게터-필터 복합 막 요소.
  2. 제1항에 있어서, 상기 금속은 니켈은 포함하는 것을 특징으로 하는 게터-필터 복합 막 요소.
  3. 제1항에 있어서, 생형 상태의 상기 소결된 요소는 결합체가 없는 것을 특징으로 하는 게터-필터 복합 막 요소.
  4. 제1항에 있어서, 상기 소결가능한 게터 재료는 소결 가능한 금속을 선택적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 게터-필터 복합 막 요소.
  5. 제1항에 있어서, 게터 재료는, 중량%로, Zr(82)-Ti(10)-Ni(5)-O(3)을 포함하는 것을 특징으로 하는 게터-필터 복합 막 요소.
  6. 게터-필터 복합 막 요소에 있어서, 제1소결가능한 게터 재료 층 및 제2소결 가능한 금속 필터 재료 층으로 된세개 이상의 교대로 된 층들을 구비하고, 상기 제1게터 재료층은 상기 제2필터 재료 층들 사이에 배치되고, 상기게터-필터 복합 막 요소는 복합막 요소 전체에 걸쳐서 사실상 상호연결된 공극들의 매트릭스를 형성하는 것을 특징으로 하는 게터-필터 복합 막 요소.
  7. 제6항에 있어서, 상기 금속은 니켈을 포함하는 것을 특징으로 하는 게터-필터 복합 막 요소.
  8. 제6항에 있어서, 상기 소결 가능한 게터 재료는 소결가능한 금속을 선택적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 게터-필터 복합 막 요소.
  9. 제6항에 있어서, 게터 재료는 중량%로, Zr(82)-Ti(10)-Ni(5)-O(3)을 포함하는 것을 특징으로 하는 게터-필터 복합 막 요소.
  10. 게터-필터에 있어서, 일체식으로 결합된 소결가능한 게터 재료 및 소결 가능한 금속 필터 재료를 구비하는 게터-필터 복합 막과; 유체유동 경로를 한정하고, 상기 유체 유동 경로 내에 상기 게터-필터 요소를 보유하기 위한 케이싱을 구비하고, 상기 케이싱은 상기 게터-필터요소가 사이에 위치한 전방 및 후방을 갖고 있고 상기 케이싱 벽에 밀봉 가능하게 결합되어 유체 유통 경로를 한정하도록 되어 있는 하우징과; 상기 케이싱을 여과되는 재료에 밀봉가능하게 연결하기 위한 수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 게터-필터.
  11. 제10항에 있어서, 상기 금속은 니켈을 포함하는 것을 특징으로 하는 게터-필터.
  12. 제10항에 있어서, 상기 소결된 생형은 결합체가 없는 것을 특징으로 하는 게터-필터.
  13. 제10항에 이어서, 상기 소결가능한 게터 재료는 소결가능한 금속을 선택적으로 포함하는 것을 특징으로 하는 게터-필터 막 요소.
  14. 제1항에 있어서, 게터 재료는, 중량%로, Zr(82)-Ti(10)-Ni(5)-O(3)을 포함하는 것을 특징으로 하는 게터-필터 막 필터.
  15. 다층 게터-필터 복합 막 요소를 제조하는 방법에 있어서, 소결된 게터 요소를 제조하는 단계와; 소결된 게터요소를 주형 내에 위치시키고, 게터 요소의 제1면 상에 소결된 수지상 금속층을 도포함으로써 2층 복합 요소를 제조하는 단계와; 2층 복합 요소를 털어서 층 형성을 위한 제2면을 준비하는 단계와;2층 요소의 제2면 상에 제2금속 층을 제조함으로써 다층 게터-필터 복합 막 요소를 제조하는 단계를 구비하는 다층 게터-필터 복합 막 요소 제조 방법.
  16. 제15항에 이어서, 소결된 게터 요소를 제조하는 단계는, 압축력을 가하기에 적절한 주형 속에서 소결가능한 게터 재료의 사실상 균일한 저밀도 베드을 도포하는 단계와; 상기 소결가능한 게터 재료의 저밀도 베드를 압축하여 게터 생형을 형성하는 단계와; 상기 게터 생형을 제1온도로 소결하는 단계와; 게터 생형을 제1온도에서 압축하여 소결된 게터 요소를 형성하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 다층 게터-필터 복합 막 요소 제조방법.
  17. 제15항에 있어서, 2층 복합 요소를 제조하는 단계는, 압축력을 가하기에 적절한 주형 내에 위치한 게터 요소의 제1면 상으로 소결 가능한 수지상 금속 재료의 사실상 균일한 저밀도 베드를 도포하는 단계와; 상기 게터 요소의 제1면 상으로 상기 소결 가능한 수지상 금속 재료의 저밀도 베드를 압축하여 2층 복합 요소 생형을 형성하는 단계와; 상기 2층 복합 요소 생형을 제2온도로 소결하는 단계와; 상기 2층 복합 요소 생형을 제2온도에서 압축하여 2층 복합 요소를 형성하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 다층 게터-필터 복합 막 요소 제조 방법.
  18. 제15항에 이어서, 제2금속층을 제조하는 단계는, 상기 주형 내에 위치한 2층 복합 요소의 제2면상으로 소결가능한 수지상 금속 재료의 사실상 균일한 저밀도 베드를 도포하는 단계와; 상기 2층 복합 요소의 제2면 상으로 상기 소결 가능한 수지상 금속 재료의 저밀도 베드를 압축하여 3층 복합 요소 생형을 형성하는 단계와; 상기 3층 복합 요소 생형을 제3온도로 소결하는 단계와; 상기 3층 복합 요소 생형을 제3온도에서 압축하여 다층 복합 요소를 형성하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 다층 게터-필터 복합 막 요소 제조 방법.
  19. 제15항에 있어서, 상기 사실상 균일한 저밀도 베드를 도포하는 단계는, 압축력을 가하기에 적절한 주형 속으로 상기 소결가능한 수지상 금속 재료를 에어-레잉하는 단계를 구비하고, 상기 에어-레닝된 베드는 상기 소결 가능한 수지상 금속 재료의 밀도와 동일하거나 작은 정상 밀도를 갖는 것을 특징으로 하는 다층 게터-필터 복합 막 요소 제조 방법.
  20. 제15항에 있어서, 상기 소결 가능한 수지상 금속 재료의 사실상 균일한 저밀도 베드는 약 500psi내지 약 1500psi의 압력에서 발생하는 것을 특징으로 하는 다층 게터-필터 복합 막 요소 제조 방법.
  21. 제15항에 있어서, 상기 복합 생형은 775℃내지 825℃의 온도에서 소결되는 것을 특징으로 하는 다층 게터-필터 복합 막 요소 제조 방법.
  22. 제15항에 있어서, 상기 소결된 복합 생형은 제2고압에서 압축되어, 상기 요소에 부가적인 구조 강성률을 제공하는 것을 특징으로 하는 다층 게터-필터 복합막 요소 제조 방법.
  23. 제15항에 있어서, 상기 소결된 복합 생형은 소정 크기의 각각의 필터 요소들로 분리되는 것을 특징으로 하는 다층 게터-필터 복합 막 요소 제조 방법.
  24. 제23항에 이어서, 상기 분리는 와이어 EDM 절단에 의해 완수되는 것을 특징으로 하는 다층 게터-필터 복합 막 요소 제조 방법.
  25. 제15항에 있어서, 상기 소결된 복합 생형은 결합제없는 것을 특징으로 하는 다층 게터-필터 복합 막 요소 제조 방법.
  26. 제15항에 있어서, 상기 소결가능한 수지상 금속 재료는 니켈을 포함하는 것을 특징으로 하는 다층 게터-필터 복합 막 요소 제조 방법.
  27. 게터-필터 복합 막 요소를 제조하는 방법에 있어서, a. 압축력을 가하기에 적절한 주형 속으로 소결가능한 금속 재료의 사실상 균일한 저밀도 베드를 도포시키는 단계와; b. 상기 소결가능한 게터 재료의 저밀도 베드를 압축하여 제1금속 생형을 형성하는 단계와; c. 소결가능한 게터 재료를 대체하는 단계 a 및 b를 반복하여, 제1금속 생형의 상부에 게터 생형을 제조하는 단계와; d. 단계 a 및 b 를 반복하여 게터 생형의 상부 상에 제2금속 생형을 제조함으로써 복합 생형을 형성하는 단계와; e. 3층 복합 생형을 제거하는 단계와; f. 복합 생형을 소결하는 단계를 구비하는 것을 특징으로 하는 게터-필터 복합 막 요소 제조 방법.
  28. 제15항 내지 22항의 방법 중의 어느 것에 의해 제조된 제품.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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