CN101325139B - 一种根部带防掉粉装置的吸气元件的制备方法 - Google Patents

一种根部带防掉粉装置的吸气元件的制备方法 Download PDF

Info

Publication number
CN101325139B
CN101325139B CN2008101161630A CN200810116163A CN101325139B CN 101325139 B CN101325139 B CN 101325139B CN 2008101161630 A CN2008101161630 A CN 2008101161630A CN 200810116163 A CN200810116163 A CN 200810116163A CN 101325139 B CN101325139 B CN 101325139B
Authority
CN
China
Prior art keywords
air suction
suction element
getter
preparation
potsherd
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN2008101161630A
Other languages
English (en)
Other versions
CN101325139A (zh
Inventor
尉秀英
秦光荣
李腾飞
张艳
杜军
毛昌辉
苑鹏
熊玉华
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
GRIMN Engineering Technology Research Institute Co Ltd
Original Assignee
Beijing General Research Institute for Non Ferrous Metals
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Beijing General Research Institute for Non Ferrous Metals filed Critical Beijing General Research Institute for Non Ferrous Metals
Priority to CN2008101161630A priority Critical patent/CN101325139B/zh
Publication of CN101325139A publication Critical patent/CN101325139A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN101325139B publication Critical patent/CN101325139B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Powder Metallurgy (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)

Abstract

本发明提供了一种根部带防掉粉装置的吸气元件的制备方法，属于真空吸气元件制备领域。首先将带双孔的陶瓷片洗净烘干；分别制备粘结剂、钛膏、吸气剂膏。取涂有三氧化二铝绝缘层的螺旋丝作为加热丝。用钛膏将陶瓷片单面均匀涂敷并通过两个小孔固定螺旋加热丝，真空烧结制成加热体。将吸气剂涂敷在带有陶瓷片的加热体上制成吸气元件坯件，将此坯件进行真空烧结，降温出炉制得引出端根部带防掉粉装置的吸气元件。本发明解决了陶瓷片与吸气剂的牢固结合技术，从而有效的用陶瓷片取代三氧化二铝的绝缘层，彻底解决了在振动条件下三氧化二铝的涂层脱落问题，使吸气元件整体强度增强，满足了特殊电真空器件对吸气元件强度性能的苛刻要求。

Description

一种根部带防掉粉装置的吸气元件的制备方法
技术领域
本发明属于真空吸气元件制造领域，特别涉及一种根部带防掉粉装置的吸气元件的制备方法。
背景技术
吸气元件是各类电真空器件中不可缺少的主要功能元件，其主要作用是在电真空器件老练和筛选过程中，吸收器件内残余气体和器件内零件重新释放出来的气体，在电真空器件存储和工作期间，维持器件内一定的真空度；吸收电真空器件启动和反常工作时爆发性放出的气体。实践证明，要想获得高性能，长寿命的电真空器件，必须得有高质量的吸气元件作为保证。
电真空器件中使用的吸气元件在排气台上封离之前，必须对吸气元件进行有效激活，才能充分发挥吸气元件的吸气作用。目前对吸气元件激活方法基本有两种，一种是通过外界烘烤或高频感应，使吸气元件上升到一定的温度，达到对吸气元件的激活目的；另一种是吸气元件本身带有内加热丝，通过对内加热丝两个引出端施加一定的电压、电流，使内加热丝自身发热从而加热吸气元件，达到对吸气元件激活的目的。后一种方法加热电流可以灵活控制，从而能准确控制元件的激活温度，使用起来方便可靠。例如有一些电真空器件是金属外壳，不能用高频感应对器件内吸气元件进行感应激活，外界热烘烤又不能准确控制吸气元件本身的温度，对此类真空器件必须采用吸气元件本身自加热激活的办法，另有一些电真空器件从排气台上封离后，尚需进行多次反复激活，此时只有带自身加热激活的吸气元件才能满足这一条件，总之自身加热激活的吸气元件具有相当多的优越性，是非自身加热元件所不能取代的，但是这种元件也有其缺点，主要是结构复杂，制作困难，更致命的缺点是自身加热元件本身有两个用于接通加热电源的引出端，通常情况下吸气元件引出端是电泳上氧化铝作为绝缘层的钨丝、钼丝，然后再将此两引出端与真空器件壁连接，供连接外加热电源用。在元件引出端是三种不同材料交接处，最外层是吸气材料，中间为氧化铝绝缘层，内部为引出丝，这三种材质不同材料结合是吸气元件结合强度最薄弱环节，其中氧化铝和金属丝的结合，更是其中的要害问题。
目前，国内外吸气剂元件生产厂家，对自激活吸气元件的两个引出端绝缘层强度问题一直没能得到很好的解决，因此极大的限制了自激活型吸气元件的应用，特别是在一些特殊电真空器件，使用环境恶劣，工作条件苛刻，真空器件需在振动或冲击条件下工作，很容易使吸气元件的两引出端根部三氧化二铝脱落掉粉，这将造成严重后果。
本发明就是为了解决吸气元件两引出端根部的结合强度问题。在吸气元件制作工艺中，加了一个防掉粉装置，取代引出端根部的三氧化二铝绝缘层，彻底解决了吸气元件在振动条件下引出端根部的掉粉问题，使该种吸气元件在电真空器件中获得了更广泛的应用。
发明内容
本发明的目的在于提供一种根部带防掉粉装置的吸气元件的制备方法，解决了吸气元件在振动条件下的掉粉问题。为实现所述目的本发明所采用的技术方案为：
一种根部带防掉粉装置的吸气元件的制备方法，其特征在于，所述方法的步骤包括：
1)陶瓷片准备：按制备吸气元件外径尺寸要求制备带双孔的95瓷陶瓷片，将陶瓷片在沸水中煮沸30分钟，再在质量浓度5％NaOH溶液中浸10分钟，取出用去离子水冲洗10分钟后烘干；
2)粘结剂制备：将占粘结剂体积的比例为87～97％的二乙酸二乙酯、苯二甲酸二丙酯为2～5％和硝棉溶液为1～8％混合配制成粘结剂；
3)钛膏制备：将纯钛粉与粘结剂按体积比为40％∶60％～60％∶40％混合制成钛膏；
4)加热体准备：按制备吸气元件外径尺寸要求及激活温度要求选取一定螺旋外径、一定电阻并涂有三氧化二铝绝缘层的螺旋热丝，将螺旋热丝两个引出端分别穿入陶瓷片两个小孔中，用钛膏将两根引出丝固定，并在朝向螺旋热丝一侧的陶瓷面上均匀涂敷钛膏，晾干后放入真空炉中烧结，烧结温度为750℃～800℃，时间为30分钟，真空度为5×10-3Pa，降温出炉后，制得带陶瓷片的元件加热体；
5)吸气剂膏制备：将吸气材料粉末与粘结剂按体积比80％∶20％混合制得吸气剂材料；
6)吸气元件制备：将吸气剂材料在带有陶瓷片的元件加热体上制作成形，制得吸气元件坯件，将吸气元件坯件在真空炉中烧结的温度为950℃，时间20分钟，真空度为5×10-4Pa进行烧结，降温出炉制得引出端根部带防掉粉装置的吸气元件。
本发明的优点在于：解决了陶瓷片与吸气剂的牢固结合技术，从而有效的用陶瓷片取代三氧化二铝的绝缘层，彻底解决了在振动条件下三氧化二铝的涂层脱落问题。本发明制得的吸气元件由于其引出端根部有防掉粉装置，使吸气元件整体强度增强，满足了特殊电真空器件对吸气元件强度性能的苛刻要求。
附图说明
图1为普通吸气元件示意图；
图2为本发明实施例的吸气元件的示意图。
具体实施方式
本发明提供一种根部带防掉粉装置的吸气元件的制备方法，下面结合附图和具体实施例作进一步详细的说明。
图1为普通吸气元件示意图，图2为本发明吸气元件示意图，图中1为元件加热丝引出端，2为三氧化二铝绝缘层，3为吸气剂，4为绝缘用陶瓷片，5为钛膏涂层。本发明解决了陶瓷片与吸气剂的牢固结合技术，从而才有可能有效的用陶瓷片取代三氧化二铝的绝缘层，彻底解决了在振动条件下三氧化二铝的涂层脱落问题。
实施例1
按制备吸气元件外径尺寸要求制备带双孔的95瓷陶瓷片，将陶瓷片在沸水中煮沸30分钟，再在质量浓度5％NaOH溶液中浸10分钟，取出用去离子水冲洗10分钟后烘干；按体积比将87％的二乙酸二乙酯，5％的苯二甲酸二丙酯，8％硝棉溶液混合配制成粘结剂；将纯度为99.7％，粒度为74μm纯钛粉与粘结剂混合，按体积比为40％∶60％制成钛膏；按制备吸气元件外径尺寸要求及激活温度要求选取一定螺旋外径、一定电阻并涂有三氧化二铝绝缘层的螺旋热丝，将螺旋热丝两个引出端分别穿入陶瓷片两个小孔中，用钛膏将两根引出丝固定，并在螺旋热丝相对于陶瓷面的一侧上均匀涂敷钛膏，晾干后放入真空炉中烧结，真空度5×10-3Pa，温度为750℃，时间30分钟，降温出炉后，制得带陶瓷片的元件加热体；取38μm的吸气材料粉末与粘结剂混合，体积比80％∶20％，制得吸气剂膏。将吸气剂材料在带有陶瓷片的元件加热体上制作成形，制得吸气元件坯件，将坯件在真空炉中那个烧结，真空度为5×10-4Pa，温度950℃，保温20分钟，降温出炉制得引出端带防掉粉装置的吸气元件。制得的吸气元件在频率为40Hz，振幅1.5mm，时间为60分钟振动条件下，吸气元件没有任何粉粒脱落。
实施例2
其操作方法和工艺条件基本同实施例1，唯一不同的是粘结剂的按体积比组成为97％的二乙酸二乙酯，2％的苯二甲酸二丙酯，1％的硝棉溶液。由这种工艺制备的引出端带有防掉粉装置的吸气元件，在频率为40Hz，振幅1.5mm，时间为60分钟振动条件下，吸气元件没有任何粉粒脱落。
实施例3
其操作方法和工艺条件基本同实施例1，有两点不同的是粘结剂的按体积比组成为92％的二乙酸二乙酯，3％的苯二甲酸二丙酯，5％的硝棉溶液。所用纯度为99.7％钛粉粉粒为38μm。由这种工艺制备的引出端带有防掉粉装置的吸气元件，在频率为40Hz，振幅1.5mm，时间为60分钟振动条件下，吸气元件没有任何粉粒脱落。
实施例4
其操作方法和工艺条件基本同实施例3，有两点不同的是所用纯度为99.7％钛粉粉粒为48μm，钛粉与粘结剂按体积比60％∶40％混合制成钛膏。由这种工艺制备的引出端带有防掉粉装置的吸气元件，在频率为40Hz，振幅1.5mm，时间为60分钟振动条件下，吸气元件没有任何粉粒脱落。
实施例5
其操作方法和工艺条件基本同实施例4，唯一不同的是钛粉与粘结剂按体积比50％∶50％混合制成钛膏。由这种工艺制备的引出端带有防掉粉装置的吸气元件，在频率为40Hz，振幅1.5mm，时间为60分钟振动条件下，吸气元件没有任何粉粒脱落。
实施例6
其操作方法和工艺条件基本同实施例5，唯一不同的是加热丝与涂敷钛膏的陶瓷片在真空炉中烧结的温度为800℃，时间30分钟。由这种工艺制备的引出端根部带有防掉粉装置的吸气元件，在频率为40Hz，振幅1.5mm，时间为60分钟振动条件下，吸气元件没有任何粉粒脱落内。
以上实施例是供理解本发明之用，并非是对本发明的限制，有关领域的技术人员，在权力要求所述技术方案的基础上，还可以作出多种变化或变形，所有等同的变化或变行都应在本发明的保护范围之内。

Claims (3)

1.一种根部带防掉粉装置的吸气元件的制备方法，其特征在于，所述方法的步骤包括：
1)陶瓷片准备：按制备吸气元件外径尺寸要求制备带双孔的95瓷陶瓷片，将陶瓷片在沸水中煮沸30分钟，再在质量浓度5％NaOH溶液中浸10分钟，取出用去离子水冲洗10分钟后烘干；
2)粘结剂制备：将占粘结剂体积的比例为87～97％的二乙酸二乙酯、苯二甲酸二丙酯为2～5％和硝棉溶液为1～8％混合配制成粘结剂；
3)钛膏制备：将纯钛粉与粘结剂按体积比为40％∶60％～60％∶40％混合制成钛膏；
4)加热体准备：按制备吸气元件外径尺寸要求及激活温度要求选取一定螺旋外径、一定电阻并涂有三氧化二铝绝缘层的螺旋热丝，将螺旋热丝两个引出端分别穿入陶瓷片两个小孔中，用钛膏将两根引出丝固定，并在朝向螺旋热丝一侧的陶瓷面上均匀涂敷钛膏，晾干后放入真空炉中烧结，烧结温度为750℃～800℃，时间为30分钟，真空度为5×10-3Pa，降温出炉后，制得带陶瓷片的元件加热体；
5)吸气剂膏制备：将吸气材料粉末与粘结剂按体积比80％∶20％混合制得吸气剂材料；
6)吸气元件制备：将吸气剂材料在带有陶瓷片的元件加热体上制作成形，制得吸气元件坯件，将吸气元件坯件在真空炉中烧结的温度为950℃，时间20分钟，真空度为5×10-4Pa进行烧结，降温出炉制得引出端根部带防掉粉装置的吸气元件。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述纯钛粉的纯度为99.7％，粒度为74μm～38μm。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述吸气材料粉末的粒度为38μm。
CN2008101161630A 2008-07-04 2008-07-04 一种根部带防掉粉装置的吸气元件的制备方法 Active CN101325139B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2008101161630A CN101325139B (zh) 2008-07-04 2008-07-04 一种根部带防掉粉装置的吸气元件的制备方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2008101161630A CN101325139B (zh) 2008-07-04 2008-07-04 一种根部带防掉粉装置的吸气元件的制备方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN101325139A CN101325139A (zh) 2008-12-17
CN101325139B true CN101325139B (zh) 2010-06-09

Family

ID=40188605

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2008101161630A Active CN101325139B (zh) 2008-07-04 2008-07-04 一种根部带防掉粉装置的吸气元件的制备方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN101325139B (zh)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103489733B (zh) * 2013-08-23 2015-11-18 南京华东电子真空材料有限公司 一种高可靠自带热子吸气剂的制备方法
CN104728075B (zh) * 2013-12-19 2017-02-08 北京有色金属研究总院 一种内加热型吸气剂元件和大抽速吸气剂泵
CN104728076A (zh) * 2013-12-23 2015-06-24 北京有色金属研究总院 一种新型结构的大抽速吸气剂泵
CN103889076A (zh) * 2014-01-26 2014-06-25 中国电子科技集团公司第四十九研究所 一种带有绝缘层的电热丝及带有绝缘层的电热丝的加工方法
CN111001545A (zh) * 2019-11-25 2020-04-14 烟台艾睿光电科技有限公司 防止吸气剂掉落颗粒的方法及吸气剂与加固涂层组件

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1003826B (zh) * 1985-04-16 1989-04-05 北京有色金属研究总院 宽激活温度范围吸气剂和吸气元件
US5196380A (en) * 1991-06-06 1993-03-23 Arizona Board Of Reagents Reactive membrane for filtration and purification of gases of impurities
US5242559A (en) * 1984-03-16 1993-09-07 Getters Spa Method for the manufacture of porous non-evaporable getter devices and getter devices so produced
CN1067600C (zh) * 1994-06-22 2001-06-27 米利波尔公司 高效金属膜吸气元件及其制备方法
CN2535120Y (zh) * 2002-04-01 2003-02-12 朱雷 混合型吸气剂

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5242559A (en) * 1984-03-16 1993-09-07 Getters Spa Method for the manufacture of porous non-evaporable getter devices and getter devices so produced
CN1003826B (zh) * 1985-04-16 1989-04-05 北京有色金属研究总院 宽激活温度范围吸气剂和吸气元件
US5196380A (en) * 1991-06-06 1993-03-23 Arizona Board Of Reagents Reactive membrane for filtration and purification of gases of impurities
CN1067600C (zh) * 1994-06-22 2001-06-27 米利波尔公司 高效金属膜吸气元件及其制备方法
CN2535120Y (zh) * 2002-04-01 2003-02-12 朱雷 混合型吸气剂

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
张艳,尉秀英,秦光荣,熊玉华.钛基非蒸散型吸气剂的性能研究.稀有金属30 1.2006,30(1),52-55.
张艳,尉秀英,秦光荣,熊玉华.钛基非蒸散型吸气剂的性能研究.稀有金属30 1.2006,30(1),52-55. *

Also Published As

Publication number Publication date
CN101325139A (zh) 2008-12-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN101325139B (zh) 一种根部带防掉粉装置的吸气元件的制备方法
CN207897167U (zh) 一种工业电阻炉用电加热辐射管
JP2008508664A (ja) Ｐｔｃシックフィルム電気回路制御の電熱素子
CN109659065A (zh) 一种介电陶瓷电容用银浆
CN106136850B (zh) 烹饪容器的制作方法、烹饪容器及烹饪器具
CN105645946B (zh) 一种浸渍扩散阴极用含钪铝酸盐及其制备方法
CN105948826A (zh) 一种氧化钇陶瓷的高温金属化工艺
CN102468092B (zh) 热阴极用热子的制备方法
CN105931935B (zh) 一种高导热绝缘介质快热阴极热丝组件及制备方法
CN201210480Y (zh) 一种热子型吸气元件
CN101805129A (zh) 不锈钢板用绝缘层材料及其制备方法
CN107622931B (zh) 一种电子枪和回旋管
CN109054704A (zh) 一种热稳定型绝缘粘结剂的制备方法
JP2008137850A (ja) セラミックスメタライズ部品とその製法
CN106604423A (zh) 一种发热体的加工工艺
CN109712855A (zh) 一种大尺寸微波输出窗片的封接结构
CN108682478B (zh) 一种复合氧化物微晶玻璃、绝缘介质浆料及其制备方法和应用
CN207304960U (zh) 一种电热辐射管
CN202112521U (zh) 微晶玻璃自热烫发板
CN205376218U (zh) 一种用于太赫兹器件中的绝缘子结构
WO2011007664A1 (ja) セラミックヒーター
CN101841946A (zh) 钨金属在微波加热中的应用及使用钨作为被微波加热部件的装置
US2787723A (en) Electric discharge device structure
CN210129965U (zh) 一种陶瓷发热组件
US1828545A (en) Vacuum tube and its elements

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20190404

Address after: 101407 No. 11 Xingke East Street, Yanqi Economic Development Zone, Huairou District, Beijing

Patentee after: Research Institute of engineering and Technology Co., Ltd.

Address before: 100088, 2, Xinjie street, Beijing

Patentee before: General Research Institute for Nonferrous Metals