KR970701104A - 개별 부품의 집단 세정 및 건조 방법(method of bulk washing and drying of discrete components) - Google Patents

개별 부품의 집단 세정 및 건조 방법(method of bulk washing and drying of discrete components)

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KR970701104A
KR970701104A KR1019960704677A KR19960704677A KR970701104A KR 970701104 A KR970701104 A KR 970701104A KR 1019960704677 A KR1019960704677 A KR 1019960704677A KR 19960704677 A KR19960704677 A KR 19960704677A KR 970701104 A KR970701104 A KR 970701104A
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cleaning
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페터 요한 에두아르트 셸발트
Original Assignee
프레데릭 얀 스미트
필립스 일렉트로닉스 엔. 브이.
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    • F26—DRYING
    • F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
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    • F26B5/04—Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat by evaporation or sublimation of moisture under reduced pressure, e.g. in a vacuum
    • F26B5/06—Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat by evaporation or sublimation of moisture under reduced pressure, e.g. in a vacuum the process involving freezing
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
    • B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
    • B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B7/00—Cleaning by methods not provided for in a single other subclass or a single group in this subclass
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Abstract

본 발명은 개별 부품(1)의 집단 세정 및 건조 방법에 관한 것이다. 세라믹 기판, 캐패시터, 레지스터 또는 반도체 크리스탈과 같은 부품이 예를 들면 연마 또는 에칭과 같은 여러 가지 처리가 수행되는 것이 관행이다. 이러한 각종의 처리 이후에, 개별 부품은 처리시에 사용되었던 (유체)물질을 제거하여야 한다. 따라서 다수의 제조 단계에서 세정액으로 부품을 세정하고, 그 후 유기 용제를 기화시키므로서 세정액이 유기 용제에 의하여 제거되므로서, 젖은 부품을 건조시키는 것이 일반적이다. 개별 부품은 집단 제품으로 처리된다. 즉, 이러한 부품은 스페이서가 없이 집단 부품으로 처리된다. 본 발명에 따르면, 본 발명의 방법은, 개별 부품(1)을 세정액으로 세정하고, 젖은 부품을 냉동 건조 과정으로 건조시키는 단계와, 상기 세정액이 고체 물질이 되도록, 상기 젖은 부품을 세정액의 융점 이하의 온도로 하강시키는 단계와, 고체 물질의 증기압 미만의 온도를 갖는 공간에 부품과 고체 물질을 주입함으로서 상기 고체 물질을 기화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 개별 부품의 집단 세정 및 건조 방법.

Description

개별 부품의 집단 세정 및 건조 방법.(METHOD OF BULK WASHING AND DRYING OF DISCRETE COMPONENTS)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 방법에 의하여 건조하는 부품을 개략적을 도시한 것으로 실척으로 도시되지 않았다.

Claims (7)

  1. 개별 부품을 집단 세정 및 건조하기 위한 방법에 있어서, 상기 개별 부품을 세정액정으로 세정하고, 젖은 부품을 냉동 건조 과정으로 건조시키는 단계와, 상기 세정액이 고체 물질이 되도록, 상기 젖은 부품을 세정액의 융점 이하의 온도로 하강시키는 단계와, 고체 물질의 증기압 미만의 온도를 갖는 공간에 부품과 고체 물질을 주입함으로서 상기 고체 물질을 기화시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 개별 부품의 집단 세정 및 건조 방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기 세정액은 물을 포함하는 것을 특징으로 하는 개별 부품의 집단 세정 및 건조 방법.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 적어도 하나의 평탄면이 각각 제공된 상기 부품이 건조 및 세정되는 것을 특징으로 하는 개별 부품의 집단 세정 및 건조 방법.
  4. 제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 부품은 두 개의 주 평탄면이 상호 대향하는 판형을 포함하는 것을 특징으로 하는 개별 부품의 집단 세정 및 건조 방법.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 부품은 반도체 크리스탈을 포함하는 것을 특징으로 하는 개별 부품의 집단 세정 및 건조 방법.
  6. 제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 공간의 압력은 500Pa 내지 1Pa(저진공) 사이인 것을 특징으로 하는 개별 부품의 집단 세정 및 건조 방법.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 부품과 고체 물질은 고체 물질의 기화 동안에 가열되는 것을 특징으로 하는 개별 부품의 집단 세정 및 건조 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019960704677A 1994-12-27 1995-11-27 개별부품의집단세정및건조방법 KR100389751B1 (ko)

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