JPH06238243A - 被洗浄物の洗浄および乾燥方法 - Google Patents

被洗浄物の洗浄および乾燥方法

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JPH06238243A
JPH06238243A JP35941092A JP35941092A JPH06238243A JP H06238243 A JPH06238243 A JP H06238243A JP 35941092 A JP35941092 A JP 35941092A JP 35941092 A JP35941092 A JP 35941092A JP H06238243 A JPH06238243 A JP H06238243A
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JP
Japan
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solvent
boiling point
mixed
surfactant
water
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JP35941092A
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English (en)
Inventor
Masahide Uchino
正英 内野
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Japan Field Co Ltd
Original Assignee
Japan Field Co Ltd
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Publication date
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    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C11—ANIMAL OR VEGETABLE OILS, FATS, FATTY SUBSTANCES OR WAXES; FATTY ACIDS THEREFROM; DETERGENTS; CANDLES
    • C11D—DETERGENT COMPOSITIONS; USE OF SINGLE SUBSTANCES AS DETERGENTS; SOAP OR SOAP-MAKING; RESIN SOAPS; RECOVERY OF GLYCEROL
    • C11D7/00—Compositions of detergents based essentially on non-surface-active compounds
    • C11D7/50—Solvents
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00—Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/22—Secondary treatment of printed circuits
    • H05K3/26—Cleaning or polishing of the conductive pattern

Abstract

(57)【要約】 【目的】 水または水分を含む洗剤で洗浄し、これらが
付着している被洗浄物の洗浄および乾燥方法である。そ
して、この被洗浄物を水洗する事なく洗剤分を除去す
る。また、水溶性切削油を用いて切削加工をした被洗浄
物から、切削油を水洗する事なく除去する。その結果、
従来大量に発生した汚染水の処理を全く不要とし、洗剤
の回収も可能とする。また、被洗浄物の乾燥を確実に行
う。 【構成】 水又は水分を含む洗剤が付着した被洗浄物
を、沸点１００℃以上の高沸点溶剤またはこの高沸点溶
剤と界面活性剤を混合した水とから成る混合溶剤で被洗
浄物の蒸気洗浄を行う。この蒸気洗浄後に、減圧雰囲気
への蒸気の供給を停止し、被洗浄物の減圧乾燥を行う。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子部品、機械部品、
プリント基板等の被洗浄物を、水または水分を含む洗剤
にて洗浄した、水または水分を含む洗剤の付着している
被洗浄物の洗浄および乾燥方法に係るものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、水、水系洗剤に界面活性剤を混合
した洗剤、水と親水性溶剤の混合洗剤、界面活性剤を混
合した水と炭化水素系溶剤との混合洗剤、界面活性剤を
混合した水と親水性溶剤の混合洗剤、界面活性剤を混合
した水とシリコン系溶剤の混合洗剤、界面活性剤を混合
した水とテルペン系溶剤の混合洗剤等を用いて被洗浄物
の洗浄を行うことが知られている。
【０００３】また、界面活性剤を混合した水と炭化水素
系溶剤との混合により形成した水溶性切削油を用いて目
的物の切削加工を行うことが知られている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このような、水または
水を含む準水系洗剤は引火の危険が無いか、もしくは極
めて少ないために、引火の虞れの無い安全な洗浄作業を
可能とする利点を有している。しかし、被洗浄物に付着
した水または水を含む洗剤を乾燥する必要性があり、ま
た、被洗浄物に付着した界面活性剤等を除去しなければ
ならない手数を要している。
【０００５】そして、この界面活性剤を被洗浄物から除
去するために、従来は濯ぎ洗浄として被洗浄物を水洗し
ている。しかし、被洗浄物の水洗を行うと錆の発生があ
ったり、濯ぎ水を排水処理する場合に多額の費用を要し
たり、洗浄水とともに被洗浄物に付着している洗剤を廃
棄してしまい洗剤の消費量を多くするばかりでなく、公
害を発生する問題を生じていた。
【０００６】また、水を被洗浄物から除去するために従
来は、熱風乾燥、赤外線乾燥、減圧真空乾燥等が一般的
に用いられている。しかし、被洗浄物に熱風を加えた
り、赤外線等の加熱手段を用いる場合においては、被洗
浄物の全外周面を確実に加熱して乾燥することが困難
で、熱源方向等の一部を強く加熱してしまう問題点を有
している。そのため、被洗浄物の加熱が不十分となり、
減圧真空乾燥を併用しても被洗浄物の確実な乾燥は困難
なものであった。
【０００７】本発明は上述のごとき課題を解決しようと
するものであって、上述のごとき水系洗剤により被洗浄
物の洗浄を行い、その水系洗剤を付着した被洗浄物を水
洗する事なく界面活性剤もしくは洗剤分を除去すること
を可能とする。また、界面活性剤を混合した水と炭化水
素系溶剤との混合により形成した水溶性切削油を用いて
切削加工をした被洗浄物から、切削油を水洗する事なく
除去することを可能とする。そして、従来は大量に発生
した汚染水の処理を全く不要とするとともに洗剤の回収
を可能とする。
【０００８】また、水分を被洗浄物から確実に除去して
容易に乾燥することを可能にするものである。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は上述のごとき課
題を解決するため、水にて洗浄を行い、この水分の付着
した被洗浄物を、沸点１００℃以上の炭化水素系溶剤、
沸点１００℃以上のシリコン系溶剤、沸点１００℃以上
の親水性溶剤、沸点１００℃以上のテルペン系溶剤又は
沸点１００℃以上の完全フッ素化液体、沸点１００℃以
上の炭化水素系溶剤と界面活性剤を混合した水とから成
る混合溶剤、沸点１００℃以上のシリコン系溶剤と界面
活性剤を混合した水とから成る混合溶剤、沸点１００℃
以上の親水性溶剤と界面活性剤を混合した水とから成る
混合溶剤、沸点１００℃以上のテルペン系溶剤と界面活
性剤を混合した水とから成る混合溶剤のいずれか１種又
は２種以上を減圧雰囲気内で加熱して蒸気を発生させ、
この蒸気を用いて水分の付着した被洗浄物の蒸気洗浄を
行い、この蒸気洗浄後に減圧雰囲気への蒸気の供給を停
止し、被洗浄物の減圧乾燥を行う事を特徴として成るも
のである。
【００１０】また、第２の発明は、界面活性剤を混合し
た水系洗剤にて洗浄を行い、この水系洗剤の付着した被
洗浄物を、沸点１００℃以上の炭化水素系溶剤、沸点１
００℃以上のシリコン系溶剤、沸点１００℃以上の親水
性溶剤、沸点１００℃以上のテルペン系溶剤又は沸点１
００℃以上の完全フッ素化液体、沸点１００℃以上の炭
化水素系溶剤と界面活性剤を混合した水とから成る混合
溶剤、沸点１００℃以上のシリコン系溶剤と界面活性剤
を混合した水とから成る混合溶剤、沸点１００℃以上の
親水性溶剤と界面活性剤を混合した水とから成る混合溶
剤、沸点１００℃以上のテルペン系溶剤と界面活性剤を
混合した水とから成る混合溶剤のいずれか１種又は２種
以上を減圧雰囲気内で加熱して蒸気を発生させ、この蒸
気を用いて水分の付着した被洗浄物の蒸気洗浄を行い、
この蒸気洗浄後に減圧雰囲気への蒸気の供給を停止し、
被洗浄物の減圧乾燥を行う事を特徴として成るものであ
る。
【００１１】また、第３の発明は、水と親水性溶剤の混
合洗剤にて洗浄を行い、この混合洗剤の付着した被洗浄
物を、沸点１００℃以上の炭化水素系溶剤、沸点１００
℃以上のシリコン系溶剤、沸点１００℃以上の親水性溶
剤、沸点１００℃以上のテルペン系溶剤又は沸点１００
℃以上の完全フッ素化液体、沸点１００℃以上の炭化水
素系溶剤と界面活性剤を混合した水とから成る混合溶
剤、沸点１００℃以上のシリコン系溶剤と界面活性剤を
混合した水とから成る混合溶剤、沸点１００℃以上の親
水性溶剤と界面活性剤を混合した水とから成る混合溶
剤、沸点１００℃以上のテルペン系溶剤と界面活性剤を
混合した水とから成る混合溶剤のいずれか１種又は２種
以上を減圧雰囲気内で加熱して蒸気を発生させ、この蒸
気を用いて水分の付着した被洗浄物の蒸気洗浄を行い、
この蒸気洗浄後に減圧雰囲気への蒸気の供給を停止し、
被洗浄物の減圧乾燥を行う事を特徴として成るものであ
る。
【００１２】また、第４の発明は、界面活性剤を混合し
た水と炭化水素系溶剤との混合洗剤にて洗浄を行い、こ
の混合洗剤の付着した被洗浄物を、沸点１００℃以上の
炭化水素系溶剤、沸点１００℃以上のシリコン系溶剤、
沸点１００℃以上の親水性溶剤、沸点１００℃以上のテ
ルペン系溶剤又は沸点１００℃以上の完全フッ素化液
体、沸点１００℃以上の炭化水素系溶剤と界面活性剤を
混合した水とから成る混合溶剤、沸点１００℃以上のシ
リコン系溶剤と界面活性剤を混合した水とから成る混合
溶剤、沸点１００℃以上の親水性溶剤と界面活性剤を混
合した水とから成る混合溶剤、沸点１００℃以上のテル
ペン系溶剤と界面活性剤を混合した水とから成る混合溶
剤のいずれか１種又は２種以上を減圧雰囲気内で加熱し
て蒸気を発生させ、この蒸気を用いて水分の付着した被
洗浄物の蒸気洗浄を行い、この蒸気洗浄後に減圧雰囲気
への蒸気の供給を停止し、被洗浄物の減圧乾燥を行う事
を特徴として成るものである。
【００１３】また、第５の発明は、界面活性剤を混合し
た水と親水性溶剤との混合洗剤にて洗浄を行い、この混
合洗剤の付着した被洗浄物を、沸点１００℃以上の炭化
水素系溶剤、沸点１００℃以上のシリコン系溶剤、沸点
１００℃以上の親水性溶剤、沸点１００℃以上のテルペ
ン系溶剤又は沸点１００℃以上の完全フッ素化液体、沸
点１００℃以上の炭化水素系溶剤と界面活性剤を混合し
た水とから成る混合溶剤、沸点１００℃以上のシリコン
系溶剤と界面活性剤を混合した水とから成る混合溶剤、
沸点１００℃以上の親水性溶剤と界面活性剤を混合した
水とから成る混合溶剤、沸点１００℃以上のテルペン系
溶剤と界面活性剤を混合した水とから成る混合溶剤のい
ずれか１種又は２種以上を減圧雰囲気内で加熱して蒸気
を発生させ、この蒸気を用いて水分の付着した被洗浄物
の蒸気洗浄を行い、この蒸気洗浄後に減圧雰囲気への蒸
気の供給を停止し、被洗浄物の減圧乾燥を行う事を特徴
として成るものである。
【００１４】また、第６の発明は、界面活性剤を混合し
た水とシリコン系溶剤との混合洗剤にて洗浄を行い、こ
の混合洗剤の付着した被洗浄物を、沸点１００℃以上の
炭化水素系溶剤、沸点１００℃以上のシリコン系溶剤、
沸点１００℃以上の親水性溶剤、沸点１００℃以上のテ
ルペン系溶剤又は沸点１００℃以上の完全フッ素化液
体、沸点１００℃以上の炭化水素系溶剤と界面活性剤を
混合した水とから成る混合溶剤、沸点１００℃以上のシ
リコン系溶剤と界面活性剤を混合した水とから成る混合
溶剤、沸点１００℃以上の親水性溶剤と界面活性剤を混
合した水とから成る混合溶剤、沸点１００℃以上のテル
ペン系溶剤と界面活性剤を混合した水とから成る混合溶
剤のいずれか１種又は２種以上を減圧雰囲気内で加熱し
て蒸気を発生させ、この蒸気を用いて水分の付着した被
洗浄物の蒸気洗浄を行い、この蒸気洗浄後に減圧雰囲気
への蒸気の供給を停止し、被洗浄物の減圧乾燥を行う事
を特徴として成るものである。
【００１５】また、第７の発明は、界面活性剤を混合し
た水とテルペン系溶剤の混合洗剤にて洗浄を行い、この
混合洗剤の付着した被洗浄物を、沸点１００℃以上の炭
化水素系溶剤、沸点１００℃以上のシリコン系溶剤、沸
点１００℃以上の親水性溶剤、沸点１００℃以上のテル
ペン系溶剤又は沸点１００℃以上、沸点１００℃以上の
炭化水素系溶剤と界面活性剤を混合した水とから成る混
合溶剤、沸点１００℃以上のシリコン系溶剤と界面活性
剤を混合した水とから成る混合溶剤、沸点１００℃以上
の親水性溶剤と界面活性剤を混合した水とから成る混合
溶剤、沸点１００℃以上のテルペン系溶剤と界面活性剤
を混合した水とから成る混合溶剤の完全フッ素化液体の
いずれか１種又は２種以上を減圧雰囲気内で加熱して蒸
気を発生させ、この蒸気を用いて水分の付着した被洗浄
物の蒸気洗浄を行い、この蒸気洗浄後に減圧雰囲気への
蒸気の供給を停止し、被洗浄物の減圧乾燥を行う事を特
徴として成るものである。
【００１６】また、第８の発明は、界面活性剤を混合し
た水と炭化水素系溶剤との混合により形成した水溶性切
削油の付着した被洗浄物を、沸点１００℃以上の炭化水
素系溶剤、沸点１００℃以上のシリコン系溶剤、沸点１
００℃以上の親水性溶剤、沸点１００℃以上のテルペン
系溶剤又は沸点１００℃以上の完全フッ素化液体、沸点
１００℃以上の炭化水素系溶剤と界面活性剤を混合した
水とから成る混合溶剤、沸点１００℃以上のシリコン系
溶剤と界面活性剤を混合した水とから成る混合溶剤、沸
点１００℃以上の親水性溶剤と界面活性剤を混合した水
とから成る混合溶剤、沸点１００℃以上のテルペン系溶
剤と界面活性剤を混合した水とから成る混合溶剤のいず
れか１種又は２種以上を減圧雰囲気内で加熱して蒸気を
発生させ、この蒸気を用いて水分の付着した被洗浄物の
蒸気洗浄を行い、この蒸気洗浄後に減圧雰囲気への蒸気
の供給を停止し、被洗浄物の減圧乾燥を行う事を特徴と
して成るものである。
【００１７】
【実施例】本発明は上述のごとく構成したものであるか
ら、被洗浄物の洗浄は、水、界面活性剤を混合した水系
洗剤、水と親水性溶剤の混合洗剤、界面活性剤を混合し
た水と炭化水素系溶剤との混合洗剤、界面活性剤を混合
した水と親水性溶剤との混合洗剤、界面活性剤を混合し
た水とシリコン系溶剤との混合洗剤、界面活性剤を混合
した水とテルペン系溶剤との混合洗剤等を用いて行う。
【００１８】そして、上述のごとき水又は混合洗剤が付
着した状態の被洗浄物を、蒸気洗浄し、被洗浄物に付着
した水分もしくは界面活性剤等を除去する。この蒸気洗
浄は常圧内では行わず、減圧雰囲気内で行うものであ
る。
【００１９】そして、この蒸気洗浄に用いる溶剤は、常
温において沸点１００℃以上の炭化水素系溶剤、沸点１
００℃以上のシリコン系溶剤、沸点１００℃以上の親水
性溶剤、沸点１００℃以上のテルペン系溶剤、沸点１０
０℃以上の完全フッ素化液体、沸点１００℃以上の炭化
水素系溶剤と界面活性剤を混合した水とから成る混合溶
剤、沸点１００℃以上のシリコン系溶剤と界面活性剤を
混合した水とから成る混合溶剤、沸点１００℃以上の親
水性溶剤と界面活性剤を混合した水とから成る混合溶
剤、沸点１００℃以上のテルペン系溶剤と界面活性剤を
混合した水とから成る混合溶剤のいずれか一種、または
二種以上を用いる事によって行う。
【００２０】また、上記の洗浄に使用する溶剤に、炭化
水素系溶剤、テルペン系溶剤、親水性溶剤、シリコン系
溶剤等の可燃性溶剤を用いても、減圧雰囲気下において
空気が極めて希薄な状態での蒸気洗浄を行うものである
から、引火の危険性が極めて少なく、安全な蒸気洗浄を
可能とすることが出来る。
【００２１】また、上記の可燃性溶剤に界面活性剤を混
合した水を配合することにより混合溶剤として使用すれ
ば、これらの混合溶剤は水の存在により難燃性となり、
保管、収納時、運搬時等において引火に対する安全性を
著しく向上することができる。また、上記の混合溶剤を
洗浄溶剤として使用する場合には、蒸気発生の初期に沸
点１００℃の水分が蒸気化し被洗浄物と接触するから、
洗浄効果的にも優れた洗浄効果を得ることができる。ま
た、この水分の蒸気化後は、通常の上記溶剤が蒸気化
し、溶剤による蒸気洗浄効果を得ることができるもので
ある。
【００２２】また、洗浄蒸気の発生は、減圧雰囲気内に
於いて行い、この減圧雰囲気内に前述の洗浄を行ない、
水分の付着した被洗浄物を挿入し、被洗浄物の蒸気洗浄
を行う。この蒸気洗浄は減圧雰囲気内で行うものである
から、常圧下で溶剤を沸騰して蒸気を発生させるより
も、低い温度で蒸気を発生させることが出来、この低い
蒸気温度で被洗浄物の蒸気洗浄を行うことが出来る。
【００２３】そのため、高温には耐えられない素材の被
洗浄物であっても、水系洗剤を用いて低い温度での蒸気
洗浄を行うことが出来るから、被洗浄物の材質等に拘束
されることがなく、自由な被洗浄物の蒸気洗浄を行うこ
とが出来る。そのため、従来は浸漬洗浄、シャワー洗浄
等の液洗浄にしか使用出来なかった、テルペン系溶剤、
シリコン系溶剤、炭化水素系溶剤、親水系溶剤等の高沸
点溶剤を蒸気洗浄にも使用することが出来る。
【００２４】また、上記の説明においては、被洗浄物を
水系洗剤にて洗浄し、被洗浄物にこの水系洗剤が付着し
たものを蒸気洗浄するものとした。しかし、他の発明に
おいては、界面活性剤を混合した水と炭化水素系溶剤と
の混合により形成した水溶性切削油を付着した被洗浄物
の蒸気洗浄も行うことが出来る。
【００２５】この場合は、被洗浄物を上記の水溶性切削
油を用いて切削加工を行った後、被洗浄物の液洗浄作業
を行わず直接蒸気洗浄を行うことが出来るものである。
そして、上述のごとき水、混合洗剤、切削油等の付着し
た被洗浄物を蒸気洗浄することにより、被洗浄物は均一
に加熱されると共に、蒸気の凝縮付着及びその落下を繰
り返すことにより被洗浄物は水洗を行う事なく、これら
の水、混合洗剤、切削油等を被洗浄物の表面から除去す
ることが出来る。
【００２６】そして、この除去後に洗浄蒸気の供給を停
止すれば、減圧雰囲気内は蒸気の存在しない減圧状態の
みとなるから、この減圧により、蒸気洗浄によって満遍
なく加熱された被洗浄物の減圧真空乾燥が可能となる。
従って、本発明方法によれば水系洗剤を用いて被洗浄物
の洗浄を行ったり、水系切削油により被洗浄物の加工を
行うことにより、被洗浄物に付着した混合洗剤、切削
油、水等は容易に除去されると共に迅速な乾燥が可能と
なる。
【００２７】また、濯ぎに水洗を行わないため、濯ぎ洗
浄に用いた水の排水処理の問題を発生することがない。
また、蒸気洗浄により混合洗剤等の除去を行うものであ
るから、これらの混合洗剤は廃棄する事なく回収して分
離再生し、再度それぞれの目的に使用する事が可能とな
る。
【００２８】また、テルペン系溶剤、炭化水素系溶剤等
の可燃性溶剤を用いて蒸気洗浄を行う場合も、これらの
可燃性溶剤は蒸気洗浄にのみ用いるものであるから少量
の可燃性溶剤しか用いる必要が無く、多量の可燃性溶剤
を貯蔵する必要が無いため、安全な蒸気洗浄を可能とす
ることが出来る。
【００２９】また、減圧蒸気洗浄に用いる溶剤に炭化水
素系溶剤、テルペン系溶剤等の可燃性溶剤を用いる場合
にあっても、減圧雰囲気下において空気が極めて希薄な
状態での蒸気洗浄を行うものであるから、引火の危険性
が極めて少なく、安全な蒸気洗浄を可能とすることが出
来る。
【００３０】また、減圧雰囲気内で蒸気洗浄を行うこと
により蒸気洗浄雰囲気を低温に保つ事が出来るから、耐
熱性に劣る素材からなる被洗浄物の蒸気洗浄も容易に行
うことが可能となる。また、蒸気洗浄に使用する溶剤は
常温において沸点１００℃以上の溶剤を用いるため、水
分を確実に除去させることが出来、被洗浄物に付着した
水分の乾燥が容易に可能となる。
【００３１】また、本発明に於いては上記構成の洗浄方
法に、他の洗浄手段を付加的に付け加えて被洗浄物の洗
浄を行うことは勿論可能である。例えば、蒸気による濯
ぎ洗浄を行う前に又は行った後に、被洗浄物に清浄な洗
浄液を噴射するような適宜の付加的手段は任意に加える
ことができるものである。
【００３２】
【発明の効果】本発明は上述のごとく、被洗浄物を減圧
雰囲気内で蒸気洗浄するものであるから、低温状態にお
いて蒸気洗浄を行うことが出来、耐熱性に劣る被洗浄物
の蒸気洗浄を可能とすることが出来る。
【００３３】また、溶剤は可燃性溶剤を用いる場合も、
沸点が１００℃以上の高沸点溶剤であると共に減圧雰囲
気内で蒸気を発生させるものであるから、空気が少なく
引火の危険が低いものとなる。また、高沸点溶剤は在庫
中における自然の蒸発消耗も少なく、ランニングコスト
を低くし、在庫管理も容易となる。
【００３４】また、被洗浄物の水洗を行なわないため
に、排水処理の問題を生じる事がなく、公害の発生や排
水処理に多大の経費を掛けることがなく、コストの安い
洗浄を可能とすることが出来る。
【００３５】また、蒸気洗浄により混合洗剤等の除去を
行うものであるから、これらの混合洗剤は廃棄する事な
く回収して分離再生し、再度それぞれの目的に使用する
事が可能となるものである。
【００３６】また、可燃性溶剤に、界面活性剤を混合し
た水を配合した混合溶剤を用いれば、混合溶剤は水の存
在により難燃性となり、保管、収納時、運搬時等におい
て引火に対する安全性を著しく向上できるものである。
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成６年４月８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項４
【補正方法】変更
【補正内容】
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１９
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１９】 そして、この蒸気洗浄に用いる溶剤は、
常圧において沸点１００℃以上の炭化水素系溶剤、沸点
１００℃以上のシリコン系溶剤、沸点１００℃以上の親
水性溶剤、沸点１００℃以上のテルペン系溶剤、沸点１
００℃以上の完全フッ素化液体、沸点１００℃以上の炭
化水素系溶剤と界面活性剤を混合した水とから成る混合
溶剤、沸点１００℃以上のシリコン系溶剤と界面活性剤
を混合した水とから成る混合溶剤、沸点１００℃以上の
親水性溶剤と界面活性剤を混合した水とから成る混合溶
剤、沸点１００℃以上のテルペン系溶剤と界面活性剤を
混合した水とから成る混合溶剤のいずれか一種、または
二種以上を用いる事によって行う。

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 水にて洗浄を行い、この水分の付着した
    被洗浄物を、沸点１００℃以上の炭化水素系溶剤、沸点
    １００℃以上のシリコン系溶剤、沸点１００℃以上の親
    水性溶剤、沸点１００℃以上のテルペン系溶剤又は沸点
    １００℃以上の完全フッ素化液体、沸点１００℃以上の
    炭化水素系溶剤と界面活性剤を混合した水とから成る混
    合溶剤、沸点１００℃以上のシリコン系溶剤と界面活性
    剤を混合した水とから成る混合溶剤、沸点１００℃以上
    の親水性溶剤と界面活性剤を混合した水とから成る混合
    溶剤、沸点１００℃以上のテルペン系溶剤と界面活性剤
    を混合した水とから成る混合溶剤のいずれか１種又は２
    種以上を減圧雰囲気内で加熱して蒸気を発生させ、この
    蒸気を用いて水分の付着した被洗浄物の蒸気洗浄を行
    い、この蒸気洗浄後に減圧雰囲気への蒸気の供給を停止
    し、被洗浄物の減圧乾燥を行う事を特徴とする被洗浄物
    の洗浄および乾燥方法。
  2. 【請求項２】 界面活性剤を混合した水系洗剤にて洗浄
    を行い、この水系洗剤の付着した被洗浄物を、沸点１０
    ０℃以上の炭化水素系溶剤、沸点１００℃以上のシリコ
    ン系溶剤、沸点１００℃以上の親水性溶剤、沸点１００
    ℃以上のテルペン系溶剤又は沸点１００℃以上の完全フ
    ッ素化液体、沸点１００℃以上の炭化水素系溶剤と界面
    活性剤を混合した水とから成る混合溶剤、沸点１００℃
    以上のシリコン系溶剤と界面活性剤を混合した水とから
    成る混合溶剤、沸点１００℃以上の親水性溶剤と界面活
    性剤を混合した水とから成る混合溶剤、沸点１００℃以
    上のテルペン系溶剤と界面活性剤を混合した水とから成
    る混合溶剤のいずれか１種又は２種以上を減圧雰囲気内
    で加熱して蒸気を発生させ、この蒸気を用いて水分の付
    着した被洗浄物の蒸気洗浄を行い、この蒸気洗浄後に減
    圧雰囲気への蒸気の供給を停止し、被洗浄物の減圧乾燥
    を行う事を特徴とする被洗浄物の洗浄および乾燥方法。
  3. 【請求項３】 水と親水性溶剤の混合洗剤にて洗浄を行
    い、この混合洗剤の付着した被洗浄物を、沸点１００℃
    以上の炭化水素系溶剤、沸点１００℃以上のシリコン系
    溶剤、沸点１００℃以上の親水性溶剤、沸点１００℃以
    上のテルペン系溶剤又は沸点１００℃以上の完全フッ素
    化液体、沸点１００℃以上の炭化水素系溶剤と界面活性
    剤を混合した水とから成る混合溶剤、沸点１００℃以上
    のシリコン系溶剤と界面活性剤を混合した水とから成る
    混合溶剤、沸点１００℃以上の親水性溶剤と界面活性剤
    を混合した水とから成る混合溶剤、沸点１００℃以上の
    テルペン系溶剤と界面活性剤を混合した水とから成る混
    合溶剤のいずれか１種又は２種以上を減圧雰囲気内で加
    熱して蒸気を発生させ、この蒸気を用いて水分の付着し
    た被洗浄物の蒸気洗浄を行い、この蒸気洗浄後に減圧雰
    囲気への蒸気の供給を停止し、被洗浄物の減圧乾燥を行
    う事を特徴とする被洗浄物の洗浄および乾燥方法。
  4. 【請求項４】 界面活性剤を混合した水と炭化水素系溶
    剤との混合洗剤にて洗浄を行い、この混合洗剤の付着し
    た被洗浄物を、沸点１００℃以上の炭化水素系溶剤、沸
    点１００℃以上のシリコン系溶剤、沸点１００℃以上の
    親水性溶剤、沸点１００℃以上のテルペン系溶剤又は沸
    点１００℃以上の完全フッ素化液体、沸点１００℃以上
    の炭化水素系溶剤と界面活性剤を混合した水とから成る
    混合溶剤、沸点１００℃以上のシリコン系溶剤と界面活
    性剤を混合した水とから成る混合溶剤、沸点１００℃以
    上の親水性溶剤と界面活性剤を混合した水とから成る混
    合溶剤、沸点１００℃以上のテルペン系溶剤と界面活性
    剤を混合した水とから成る混合溶剤のいずれか１種又は
    ２種以上を減圧雰囲気内で加熱して蒸気を発生させ、こ
    の蒸気を用いて水分の付着した被洗浄物の蒸気洗浄を行
    い、この蒸気洗浄後に減圧雰囲気への蒸気の供給を停止
    し、被洗浄物の減圧乾燥を行う事を特徴とする水分の付
    着した被洗浄物の乾燥方法。
  5. 【請求項５】 界面活性剤を混合した水と親水性溶剤と
    の混合洗剤にて洗浄を行い、この混合洗剤の付着した被
    洗浄物を、沸点１００℃以上の炭化水素系溶剤、沸点１
    ００℃以上のシリコン系溶剤、沸点１００℃以上の親水
    性溶剤、沸点１００℃以上のテルペン系溶剤又は沸点１
    ００℃以上の完全フッ素化液体、沸点１００℃以上の炭
    化水素系溶剤と界面活性剤を混合した水とから成る混合
    溶剤、沸点１００℃以上のシリコン系溶剤と界面活性剤
    を混合した水とから成る混合溶剤、沸点１００℃以上の
    親水性溶剤と界面活性剤を混合した水とから成る混合溶
    剤、沸点１００℃以上のテルペン系溶剤と界面活性剤を
    混合した水とから成る混合溶剤のいずれか１種又は２種
    以上を減圧雰囲気内で加熱して蒸気を発生させ、この蒸
    気を用いて水分の付着した被洗浄物の蒸気洗浄を行い、
    この蒸気洗浄後に減圧雰囲気への蒸気の供給を停止し、
    被洗浄物の減圧乾燥を行う事を特徴とする被洗浄物の洗
    浄および乾燥方法。
  6. 【請求項６】 界面活性剤を混合した水とシリコン系溶
    剤との混合洗剤にて洗浄を行い、この混合洗剤の付着し
    た被洗浄物を、沸点１００℃以上の炭化水素系溶剤、沸
    点１００℃以上のシリコン系溶剤、沸点１００℃以上の
    親水性溶剤、沸点１００℃以上のテルペン系溶剤又は沸
    点１００℃以上の完全フッ素化液体、沸点１００℃以上
    の炭化水素系溶剤と界面活性剤を混合した水とから成る
    混合溶剤、沸点１００℃以上のシリコン系溶剤と界面活
    性剤を混合した水とから成る混合溶剤、沸点１００℃以
    上の親水性溶剤と界面活性剤を混合した水とから成る混
    合溶剤、沸点１００℃以上のテルペン系溶剤と界面活性
    剤を混合した水とから成る混合溶剤のいずれか１種又は
    ２種以上を減圧雰囲気内で加熱して蒸気を発生させ、こ
    の蒸気を用いて水分の付着した被洗浄物の蒸気洗浄を行
    い、この蒸気洗浄後に減圧雰囲気への蒸気の供給を停止
    し、被洗浄物の減圧乾燥を行う事を特徴とする被洗浄物
    の洗浄および乾燥方法。
  7. 【請求項７】 界面活性剤を混合した水とテルペン系溶
    剤の混合洗剤にて洗浄を行い、この混合洗剤の付着した
    被洗浄物を、沸点１００℃以上の炭化水素系溶剤、沸点
    １００℃以上のシリコン系溶剤、沸点１００℃以上の親
    水性溶剤、沸点１００℃以上のテルペン系溶剤又は沸点
    １００℃以上の完全フッ素化液体、沸点１００℃以上の
    炭化水素系溶剤と界面活性剤を混合した水とから成る混
    合溶剤、沸点１００℃以上のシリコン系溶剤と界面活性
    剤を混合した水とから成る混合溶剤、沸点１００℃以上
    の親水性溶剤と界面活性剤を混合した水とから成る混合
    溶剤、沸点１００℃以上のテルペン系溶剤と界面活性剤
    を混合した水とから成る混合溶剤のいずれか１種又は２
    種以上を減圧雰囲気内で加熱して蒸気を発生させ、この
    蒸気を用いて水分の付着した被洗浄物の蒸気洗浄を行
    い、この蒸気洗浄後に減圧雰囲気への蒸気の供給を停止
    し、被洗浄物の減圧乾燥を行う事を特徴とする被洗浄物
    の洗浄および乾燥方法。
  8. 【請求項８】 界面活性剤を混合した水と炭化水素系溶
    剤との混合により形成した水溶性切削油の付着した被洗
    浄物を、沸点１００℃以上の炭化水素系溶剤、沸点１０
    ０℃以上のシリコン系溶剤、沸点１００℃以上の親水性
    溶剤、沸点１００℃以上のテルペン系溶剤又は沸点１０
    ０℃以上の完全フッ素化液体、沸点１００℃以上の炭化
    水素系溶剤と界面活性剤を混合した水とから成る混合溶
    剤、沸点１００℃以上のシリコン系溶剤と界面活性剤を
    混合した水とから成る混合溶剤、沸点１００℃以上の親
    水性溶剤と界面活性剤を混合した水とから成る混合溶
    剤、沸点１００℃以上のテルペン系溶剤と界面活性剤を
    混合した水とから成る混合溶剤のいずれか１種又は２種
    以上を減圧雰囲気内で加熱して蒸気を発生させ、この蒸
    気を用いて水分の付着した被洗浄物の蒸気洗浄を行い、
    この蒸気洗浄後に減圧雰囲気への蒸気の供給を停止し、
    被洗浄物の減圧乾燥を行う事を特徴とする被洗浄物の洗
    浄および乾燥方法。
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