KR970072505A - 전계발광소자의 제조방법 - Google Patents
전계발광소자의 제조방법 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명은 전계발광소자의 제조방법에 관한 것으로, 형광막이 수분 등을 접촉하지 않도록 하기 위해 보호막을 사용하므로써 형광막의 특성저하를 방지할 수 있도록 한 것이다.본 발명에 따른 전계발광소자의 제조방법은 기판을 준비하는 단계; 상기 기판위에 투명전극과, 상기 투명전극위에 제1절연막을 형성하는 단계; 상기 제1절연막위에 제1형광막과, 상기 제1형광막위에 제1보호막을 형성하는 단계; 상기 제1보호막위에 감광막을 도포하는 단계; 상기 감광막과 제1보호막 및 상기 제1형광막을 선택적으로 제거하여 콘택홀을 형성하는 단계; 상기 콘택홀을 포함한 상기 감광막위에 제2형광막을 형성하는 단계; 상기 제2형광막위에 제2보호막을 형성하는 단계; 상기 감광막을 포함한 상기 감광막위에 형성된 제2형광막과 제2보호막 부분을 제거하는 단계; 상기 제2보호막을 포함한 상기 제1보호막의 노출된 표면에 제2절연막을 형성하는 단계; 상기 제2절연막위에 금속전극을 형성하는 단계를 포함하여 이루어진다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3a ∼제3g도는 본 발명에 따른 다색박막 전계발광(EL)소자의 단면도.
Claims (2)
- 기판을 준비하는 단계; 상기 기판위에 투명전극과, 상기 투명전극위에 제1절연막을 형성하는 단계; 상기 제1절연막위에 제1형광막과, 상기 제1형광막위에 제1보호막을 형성하는 단계; 상기 제1보호막위에 감광막을 도포하는 단계; 상기 감광막과 제1보호막 및 상기 제1형광막을 선택적으로 제거하여 콘택홀을 형성하는 단계; 상기 콘택홀을 포함한 상기 감광막위에 제2형광막을 형성하는 단계; 상기 제2형광막위에 제2보호막을 형성하는 단계; 상기 감광막을 포함한 상기 감광막위에 형성된 제2형광막과 제2보호막 부분을 제거하는 단계; 상기 제2보호막을 포함한 상기 제1보호막의 노출된 표면에 제2절연막을 형성하는 단계; 상기 제2절연막위에 금속전극을 형성하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 전계발광소자의 제조방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제1 및 제2절연막과 상기 제1 및 제2보호막은 SiO2, Ta2O5, Al2O3중 1종을 사용하는 것을 특징으로 하는 전계발광소자의 제조방법.※참고사항: 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960010662A KR970072505A (ko) | 1996-04-09 | 1996-04-09 | 전계발광소자의 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019960010662A KR970072505A (ko) | 1996-04-09 | 1996-04-09 | 전계발광소자의 제조방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970072505A true KR970072505A (ko) | 1997-11-07 |
Family
ID=66222961
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019960010662A KR970072505A (ko) | 1996-04-09 | 1996-04-09 | 전계발광소자의 제조방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970072505A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100358503B1 (ko) * | 2000-11-25 | 2002-10-30 | 주식회사 엘리아테크 | 유기 전계 발광 표시 패널 및 그 제조방법 |
-
1996
- 1996-04-09 KR KR1019960010662A patent/KR970072505A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100358503B1 (ko) * | 2000-11-25 | 2002-10-30 | 주식회사 엘리아테크 | 유기 전계 발광 표시 패널 및 그 제조방법 |
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