KR970067678A - 폴리싱 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 웨이퍼와 같은 작업물을 평면경 상태로 폴리싱하는데 사용되는 폴리싱 장치에 관한 것이다. 본 발명에 따른 폴리싱 장치는, 폴리싱 표면을 가진 턴테이블과, 폴리싱 처리될 작업물을 지지하여 상기 턴테이블상의 폴리싱 표면에 작업물을 압압하기 위한 상부링을 포함하여 구성된다. 또한, 푸셔수단이 작업물을 상기 상부링으로 전달하거나 또는 상기 상부링으로부터 전달받기 위한 위치에 배치되며, 이는 상기 작업물을 상기 상부링으로 전달하거나 또는 상기 상부링으로부터 전달받기 위하여, 상기 상부링에 근접한 위치로 수직방향으로 이동가능한 작업물 지지체를 가진다. 폴리싱된 작업물을 접수한 작업물 지지체가 하강하면, 작업물의 상,하부 표면 및 상기 상부링의 하부 표면을 세정하기 위하여 세 곳에 각기 위치한 세 개의 세정 노즐 유닛으로부터 거의 동시에 세정액이 분사된다.

Description

폴리싱 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
도 1은 본 발명의 제 1 실시형태에 따른 수송 및 세정장치를 가진 폴리싱 장치의 평면도

Claims (11)

  1. 작업물 표면을 폴리싱하는 폴리싱 장치에 있어서, 폴리싱 표면을 가진 턴테이블과; 폴리싱 처리될 작업물을 지지하고 상기 턴테이블의 폴리싱 표면에 압압하기 위한 상부링과; 상기 상부링과 푸셔수단 간에 상기 작업물을 이송하기 위한 푸셔수단으로서, 상기 작업물을 이송하기 위하여, 상기 상부링에 근접한 위치로 수직방향으로 이동가능한 작업물 지지체를 가지는 푸셔수단과; 폴리싱 처리된 작업물이 상기 상부링으로부터 상기 작업물 지지체로 이송된 후에, 작업물의 상, 하부 표면 및 상기 상부링의 하부 표면에 세정액을 분사하여 이들 표면을 세정하는 세정장치를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 작업물 표면 폴리싱 장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 세정장치가, 작업물의 상,하부 표면 및 상기 상부링의 하부 표면에 세정액을 분사하여 이들 표면을 세정하기 위하여, 각각의 세 위치에 배치된 세 개의 세정 유닛을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 폴리싱 장치.
  3. 제 2항에 있어서, 상기 작업물 지지체가, 상기 세정 노즐 유닛중 하나로부터 분사된 세정액을 통과시켜 상기 작업물의 하부 표면을 세정하게 하는 함입부를 가지는 것을 특징으로 하는 폴리싱 장치.
  4. 제 2항에 있어서, 상기 세정 노즐 유닛은 노즐들의 수평 정렬체를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 폴리싱 장치.
  5. 작업물 표면을 폴리싱하는 폴리싱 장치에 있어서, 폴리싱 표면을 가진 턴테이블; 폴리싱 처리될 작업물을 지지하고 상기 턴테이블상의 폴리싱 표면에 압압하기 위한 상부링과; 상기 상부링을 상기 턴테이블로부터 소정 거리 상승시키고, 각을 이루며 소정 위치로 이동시키기 위한 상부링 이동기구와; 상기 상부링이 상기 소정 위치로 이동하면, 세정액을 상기 상부링의 하부 표면에 분사하여 상부링의 하부 표면을 세정하기 위하여, 상기 상부링의 하부로 이동가능한 세정액 노즐을 가지는 상부링 세정장치를 포함하여 구성되는 작업물 표면 폴리싱 장치.
  6. 제 5항에 있어서, 상기 소정위치가 상기 턴테이블 외측의 작업물 이송 위치인 것을 특징으로 하는 폴리싱 장치.
  7. 제 5항에 있어서, 상기 턴테이블 상의 폴리싱 표면을 드레싱하기 위한 드레싱 도구와; 상기 드레싱 도구를 상기 턴테이블로부터 소정 거리 상승시키고 각을 이루며 소정 위치로 이동시키기 위한 드레싱 도구 이동 기구와; 상기 드레싱 도구가 상기 소정위치로 이동하면, 세정액을 상기 드레싱 도구의하부 표면에 분사하여 드레싱 도구의 하부 표면을 세정하기 위하여, 상기 드레싱 도구의 하부로 이동가능한 세정액 노즐을 가지는 드레싱 도구 세정장치를 더욱 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 폴리싱 장치.
  8. 제 7항에 있어서, 상기 드레싱 도구의 소정위치가 상기 턴테이블 외측으로 후진된 위치인 것을 특징으로 하는 폴리싱 장치.
  9. 재 5항에 있어서, 상기 턴테이블 상부의 소정 영역에 걸쳐 배치되어, 턴테이블 상의 액체가 주변으로 흩어지는 것을 방지하기 위한 턴테이블 커버를 더욱 포함하며, 상기 상부링 세정장치는 상기 턴테이블 커버상에 제공되는 것을 특징으로 하는 폴리싱 방치.
  10. 제 7항에 있어서, 상기 턴테이블 상부의 소정 영역에 걸쳐 배치되어, 턴테이블 상의 액체가 주변으로 흩어지는 것을 방지하기 위한 턴테이블 커버를 더욱 포함하며, 상기 드레싱 도구 세정장치는 상기 턴테이블 커버상에 제공되는 것을 특징으로 하는 폴리싱 장치.
  11. 제 5항에 있어서, 상기 상부링 세정장치가, 상기 상부링과 로봇의 핸드 부재 간에 작업물을 이송하기 위한 로봇의 핸드 부재에 세정액을 분사하는 기능 및 상기 상부링에 의하여 지지되는 작업물에 세정액을 분사하는 기능 중 적어도 하나의 기능을 가지고 있는 것을 특징으로 하는 폴리싱 장치.
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