JP6055648B2 - 研磨装置及び研磨方法 - Google Patents
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Description
これにより、トップリングで保持した基板の外周部と該外周部を囲繞するリテーナリングとの間に生じる隙間に向けて、第1洗浄ノズルの噴射口から洗浄液を噴射して、該隙間を効率的に洗浄することができる。
また、トップリングで保持した基板の表面に向けて、第2洗浄ノズルの噴射口から洗浄液を噴射して、基板の全表面を効率的に洗浄することができる。
また、設置スペースに合わせて、第1洗浄ノズル及び第2洗浄ノズルを有する洗浄部の小型化を図ることができる。
これにより、トップリングを基板受渡し位置から研磨位置に移動させる途中で該トップリングで保持した基板をトップリングの下面と共に洗浄することができる。
これにより、トップリングで保持した基板及びトップリングの下面をより均一に洗浄することができる。
本発明の好ましい一態様において、前記第1洗浄ノズルの上面および前記第2洗浄ノズルの上面は、前記研磨テーブルの上面と同一平面上に並んでいる。
本発明の研磨装置の他の態様は、研磨面を有する研磨テーブルと、前記研磨テーブル上方の研磨位置、前記研磨テーブル側方位置、及び洗浄位置の間を移動自在で、リテーナリングで基板の外周部を囲繞しながら該基板を下面に保持して前記研磨面に向けて押圧するトップリングと、前記洗浄位置に位置して回転中の前記トップリングの下面に向けて洗浄液を噴射して該トップリングで保持した基板をトップリングの下面と共に洗浄する洗浄部とを備え、前記洗浄部は、前記洗浄位置に位置する前記トップリングで保持した基板の外周部に沿った位置に位置する複数の噴射口を備えた第1洗浄ノズルを有し、前記トップリングが前記洗浄位置にあるとき、前記トップリングで保持した基板の外周部に沿った位置に位置する前記第1洗浄ノズルの複数の噴射口から、前記リテーナリングと該リテーナリングで囲繞した基板の外周部との間に生じる隙間に向けて下から洗浄液を噴射するようにし、前記洗浄位置は、前記トップリングが洗浄位置に位置するとき前記トップリングの一部が前記研磨テーブルの一部と上下に互いに重なるような位置に設定されている。
本発明の実施形態によれば、前記研磨テーブル側方の位置は、基板受渡し位置である。
本発明の実施形態によれば、前記トップリングで保持した基板をトップリングの下面と共に前記洗浄位置で洗浄した後、基板受渡し位置に基板を搬送し、前記基板受渡し位置で前記基板をトップリングから離脱させ、前記洗浄位置とは別の洗浄位置に前記基板を搬送し、前記別の洗浄位置で研磨後の基板を洗浄する。
3 研磨部
3A,3B,3C,3D 研磨ユニット
4 洗浄部
5 制御部
6 第1リニアトランスポータ
7 第2リニアトランスポータ
10 研磨パッド
12 スイングトランスポータ
21 走行機構
22 搬送ロボット
30A,30B,30C,30D 研磨テーブル
31A,31B,31C,31D トップリング
32A,32B,32C,32D 研磨液供給ノズル
33A,33B,33C,33D ドレッサ
34A,34B,34C,34D アトマイザ
36 トップリングシャフト
40 リテーナリング
42 弾性パッド
100 補助洗浄部
102 第1洗浄ノズル
104 第2洗浄ノズル
108 噴射口
110 ノズル部材
112 洗浄液供給ライン
114 洗浄液流通孔
116 ノズル本体
118 噴射口
180 仮置き台
190 第1洗浄室
191 第1搬送室
192 第2洗浄室
193 第2搬送室
194 乾燥室
201 一次洗浄モジュール
202 二次洗浄モジュール
205 乾燥モジュール
209 第1搬送ロボット
210 第2搬送ロボット
Claims (6)
- 研磨面を有する研磨テーブルと、
前記研磨テーブル上方の研磨位置、前記研磨テーブル側方位置、及び洗浄位置の間を移動自在で、リテーナリングで基板の外周部を囲繞しながら該基板を下面に保持して前記研磨面に向けて押圧するトップリングと、
前記洗浄位置に位置して回転中の前記トップリングの下面に向けて洗浄液を噴射して該トップリングで保持した基板をトップリングの下面と共に洗浄する洗浄部とを備え、
前記洗浄部は、前記洗浄位置に位置する前記トップリングで保持した基板の外周部に沿った位置に位置する複数の噴射口を備えた第1洗浄ノズルを有し、
前記トップリングが前記洗浄位置にあるとき、前記トップリングで保持した基板の外周部に沿った位置に位置する前記第1洗浄ノズルの複数の噴射口から、前記リテーナリングと該リテーナリングで囲繞した基板の外周部との間に生じる隙間に向けて下から洗浄液を噴射するようにし、
前記洗浄部は、前記洗浄位置に位置する前記トップリングで保持した基板の直径方向に沿った位置に位置する複数の噴射口を備えた第2洗浄ノズルを有し、
前記第1洗浄ノズルは半円状に形成され、前記第2洗浄ノズルは直線状に形成されていることを特徴とする研磨装置。 - 前記研磨テーブル側方位置は、前記研磨テーブル側方の基板受渡し位置であり、前記洗浄位置は、前記研磨位置と前記基板受渡し位置との間に位置することを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。
- 前記第1洗浄ノズルの噴射口は、基板の外周部に沿った位置に等間隔に配置され、前記第2洗浄ノズルの噴射口は、基板の直径方向に沿った位置に等間隔に配置されていることを特徴とする請求項1または2に記載の研磨装置。
- 前記トップリングで保持した基板をトップリングの下面と共に前記洗浄部で洗浄した後、基板受渡し位置に基板を搬送し、
前記基板受渡し位置で前記基板をトップリングから離脱させ、前記洗浄部とは別の洗浄部に前記基板を搬送し、前記別の洗浄部で研磨後の基板を洗浄することを特徴とする請求項1に記載の研磨装置。 - 前記第1洗浄ノズルの上面および前記第2洗浄ノズルの上面は、前記研磨テーブルの上面と同一平面上に並ぶことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の研磨装置。
- 研磨面を有する研磨テーブルと、
前記研磨テーブル上方の研磨位置、前記研磨テーブル側方位置、及び洗浄位置の間を移動自在で、リテーナリングで基板の外周部を囲繞しながら該基板を下面に保持して前記研磨面に向けて押圧するトップリングと、
前記洗浄位置に位置して回転中の前記トップリングの下面に向けて洗浄液を噴射して該トップリングで保持した基板をトップリングの下面と共に洗浄する洗浄部とを備え、
前記洗浄部は、前記洗浄位置に位置する前記トップリングで保持した基板の外周部に沿った位置に位置する複数の噴射口を備えた第1洗浄ノズルを有し、
前記トップリングが前記洗浄位置にあるとき、前記トップリングで保持した基板の外周部に沿った位置に位置する前記第1洗浄ノズルの複数の噴射口から、前記リテーナリングと該リテーナリングで囲繞した基板の外周部との間に生じる隙間に向けて下から洗浄液を噴射するようにし、
前記洗浄位置は、前記トップリングが洗浄位置に位置するとき前記トップリングの一部が前記研磨テーブルの一部と上下に互いに重なるような位置に設定されていることを特徴とする研磨装置。
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