KR970067541A - 기판처리장치 - Google Patents

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KR970067541A
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이와오 다나카
미츠아키 요시타니
요시히코 마츠시타
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이시다 아키라
다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 처리조내에서 처리중인 기판의 오일미스트나 미립자등에 의한 오염이나 구동기구의 처리액에 의한 부식을 확실히 방지할 수 있도록 한 기판처리장치에 관한 것이다.
기판(B)을 반송방향으로 반송하는 처리조(2) 내에 배설된 복수의 반송롤러(3)와, 반송롤러(3)를 구동하는 구동기구(4)와, 이 구동기구(4)와 처리조(2) 사이에 배설된 내부에 간막이공간(6a)을 가지는 간막이박스(6)가 구비되어 있다. 간막이박스(6)는 기체를 도입하는 기체도입구멍(6)을 가지고 있다. 구동기구(4)는 구동모터(41)와, 이 구동모터(41)와 반송롤러(43) 사이에 개설되는 구동력 전달수단(43)으로 이루어지고, 구동력 전달 수단(43)이 내장되는 베어링부 수용박스(5)가 구비되고, 이 베어링부 수용박스(5) 내 및 처리조(2)내의 공기를 흡인하는 흡인 블로워(blower)(7)가 배설되어 있다.

Description

기판 처리장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 관련한 기판처리장치의 일실시형태를 도시한 사시도이다.

Claims (4)

  1. 반송중인 기판에 처리조내에서 처리액을 공급함으로써 소정의 처리를 실시하는 기판처리장치에 있어서, 상기 처리조내에 배설되고 또한 처리조의 양측벽을 관통한 회전축의 회전에 의해 기판을 반송하는 반송수단과, 상기 회전축의 단부를 지지하는 베어링과, 상기 회전축을 구동하는 구동기구와, 적어도 구동기구측 베어링과 상기 처리조 사이에 상기 회전축이 관통한 상태로 배치된 내부에 간막이 공간을 가지는 간막이 박스가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  2. 제1항에 있어서, 기체도입수단을 가짐과 동시에 상기 간막이 박스는 장치외부로부터 그 내부에 기체를 도입하는 기체도입구를 가지고, 상기 기체도입수단은 기체도입구멍을 통과하여 간막이 박스 내에 기체를 도입하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 기체도입수단은 상기 기체도입구를 통해서 상기 간막이박스내에 청정기체를 강제도입하는 블로우수단인 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  4. 제1항 내지 제3항의 어느 한 항에 있어서, 상기 구동기구는 구동모터와, 이 구동모터와 상기 회전축 사이에 개설되는 구동력 전달수단으로 이루어지고, 상기 구동력 전달수단은 구동기구실에 내장되고, 상기 기체도입수단은 이 구동기구실내 및 상기 처리조내의 공기를 흡인하는 흡인수단인 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019970009229A 1996-03-18 1997-03-18 기판처리장치 KR100227646B1 (ko)

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