KR970054350A - 고전압 모스 트랜지스터 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 고전압 모스 트랜지스터에 관한 것으로, 제1도전형의 반도체기판 주 표면에 활성영역을 사이에 두고 차례로 형성된 제1, 제2, 제3, 및 제4필드산화막; 상기 각각의 필드산화막 아래에 상기 제1도전형과 반대형인 제2도전형 불순물로 도우핑된 제1소오스/드레인 영역; 상기 제2필드산화막과 상기 제3필드산화막 사이의 활성영역 표면에 형성된 게이트 절연막; 상기 게이트 절연막 상에 형성된 게이트 전극; 상기 제1필드산화막 양 옆의 활성영역 표면 및 상기 제4필드산화막 양 옆의 활성영역 표면에 상기 제2도전형의 불순물에 의해 상기 제1소오스/드레인 영역의 불순물 농도보다 높은 농도로 도루칭된 제2소오스/드레인 영역; 및 상기 제1필드산화막과 인접하면서 상기 게이트 전극과 먼쪽의 활성영역 표면에 형성된 제2소오스/드레인 영역 및 상기 제4필드산화막과 인접하면서 상기 게이트 전극과 먼쪽의 활성영역 표면에 형성된 제2소오스/드레인 영역 내에 상기 제2도전형의 불순물에 의해 상기 제2소오스/드레인 영역의 불순물 농도보다 높은 농도로 도우핑된 제3소오스/드레인 영역을 구비하는 것을 특징으로 하는 고전압 모스 트랜지스터를 제공한다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제2도는 본 발명의 고전압 모스 트랜지스터 구조를 설명하기 위한 단면도이다.
Claims (1)
- 제1도전형의 반도체기판 주 표면에 활성영역을 사이에 두고 차례로 형성된 제1, 제2, 제3 및 제4필드산화막; 상기 각각의 필드산화막 아래에 상기 제1도전형 반대형인 제2도전형 불순물로 도우핑된 제1소오스/드레인 영역; 상기 제2필드산화막과 상기 제3필드산화막 사이의 활성영역 표면에 형성된 게이트 절연막; 상기 게이트 절연막 상에 형성된 게이트 전극; 상기 제1필드산화막 양 옆의 활성영역 표면 및 상기 제4필드산화막 양 옆의 활성영역 표면에 상기 제2도전형의 불순물에 의해 상기 제1소오스/드레인 영역의 불순물 농도보다 높은 농도로 도우핑된 제2소오스/드레인 영역; 및 상기 제1필드산화막과 인접하면서 상기 게이트 전극과 먼쪽의 활성영역 표면에 형성된 제2소오스/드레인 영역 및 상기 제4필드산화막과 인접하면서 상기 게이트 전극과 먼쪽의 활성영역 표면에 형성된 제2소오스/드레인 영역 내에 상기 제2도전형의 불순물에 의해 상기 제2소오스/드레인 영역의 불순물 농도보다 높은 농도로 도우핑된 제3소오스/드레인 영역을 구비하는 것을 특징으로 하는 고전압 모스 트랜지스터.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950057024A KR970054350A (ko) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | 고전압 모스 트랜지스터 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950057024A KR970054350A (ko) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | 고전압 모스 트랜지스터 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970054350A true KR970054350A (ko) | 1997-07-31 |
Family
ID=66618277
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950057024A KR970054350A (ko) | 1995-12-26 | 1995-12-26 | 고전압 모스 트랜지스터 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970054350A (ko) |
-
1995
- 1995-12-26 KR KR1019950057024A patent/KR970054350A/ko not_active Application Discontinuation
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| WITN | Withdrawal due to no request for examination |