KR970030004A - 전기 전도성 타겟에 의한 기판 코팅장치 - Google Patents

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테쉬너 괴츠
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빌처스 운트 레이볼트 도이칠란트 홀딩 악티엔게젤샤트프
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Abstract

2개 마그네트론 캐소드(13, 14)와 연결된 교류전원(19)을 갖추고, 교류전원(19)의 일극(20)은 캐소드(13)에, 그리고 다른 극(21)은 다른 캐소드(14)에 연결되는 전기적 전도성 타겟(7)으로 기판(3)을 코팅하기 위한 장치에서, 각각의 양 마그네트론 캐소드(13, 14)가 진공챔버(2) 내부의 고유구획(11, 12)에 베치되고, 양구획(11, 12)은 그 격벽에 있는 슬릿(33, 34) 또는 개구부를 통해 제3구획(1) 또는 이 제3구획(1) 바로 앞의 영역(35)과 연결되고, 제3구획(1)에는 스패터링 타켓(6)을 갖춘 다이오드 캐소드(7)가 구비되고, 그리고 다이오드 캐소드(7)와 이에 대향한 기판(3) 사이의 공간(28)은 가스도관(24, 25)이 연결되어 있고 이것을 통해 처리가스가 다이오드 캐소드(7)의 타겟(6)과 기판(3) 사이의 이 영역(28)으로 들어올수 있게 되어 있다.

Description

전기 전도성 타겟에 의한 기판 코팅장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 일실시예의 형태를 나타내는 도.
제2도는 본 발명에 따른 다른 실시예의 형태를 나타내는 도.
제3도는 본 발명에 따른 또다른 실시예의 형태를 나타내는 도.

Claims (3)

  1. 타겟(13, 14)과 전기적으로 함께 작용하는 2개의 마그네트론 캐소드(13, 14)와 연결된 교류전원(19)을 갖추고, 교류전원(19)의 일극(20)은 캐소드(13)에, 그리고 다른 극(21)은 다른 캐소드(14)에 각각 공급도선(22, 23)에 의해 연결되는 전기적 전도성 타겟(7)으로 기판(3)을 코팅하기 위한 장치에 있어서, 각각의 양 마그네트론 캐소드(13, 14)가 진공챔버(2) 내부의 고유구획(11, 12)에 베치되고 그리고 양구획(11, 12)은 그 격벽에 있는 개구부 또는 슬릿(33, 34)을 통해 제3구획(1) 또는 이 제3구획(1) 바로 앞의 영역(35)과 연결되고, 제3구획(1)에는 스패터링 타켓(6)을 갖춘 다이오드 캐소드(7)가 구비되고 스패터링 타겟은 도선(9)에 의해 고유의 직류공급부(8)와 연결되고, 그리고 다이오드 캐소드(7)와 이에 대향하여 있는 기판(3) 사이의 공간(28)은 가스도관(24, 25)이 연결되어 있고, 이것을 통해 처리가스가 다이오드 캐소드(7)의 타겟(6)과 기판(3) 사이의 이 영역(28)으로 들어올 수 있게 되어 있는 것을 특징으로 하는 기판코팅장치.
  2. 제1항에 있어서, 마그네트론 캐소드(13, 14)는 그 타겟(15, 16)의 평면이 기판(3)에 대향한 베이스부분(17, 18) 또는 외측으로 구획(11, 12)을 한정하는 측벽(37, 38)에 대해 평행하게 연장된 것을 특징으로 하는 기판코팅장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 마그네트론 캐소드(13, 14)를 포함하는 양구획(11, 12)은 진공챔버(2)에 의해 둘러싸이고 그리고 구획(11, 12)의 베이스부분(17, 18)은 다이오드 캐소드(7)의 타겟(6) 평면에 평행하고 기판평면(3)에 평행하게 진행하는 평면에서 연장되고 그리고 풀라즈마 유동의 출력을 위한 양슬릿 또는 개구부(33, 34)는 대각선으로 대향하게 구획의 측벽(41, 42)과 다이오드 캐소드(7)의 타겟(6) 평면의 하부평면에 존재하는 것을 특징으로 하는 기판코팅장치.
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