KR970023538A - 화학증착법에 의한 기판코팅장치 - Google Patents

Abstract

2개의 마그네트론 음극(4, 5)와 연결된 교류전원(3)으로 구성되고, 교류전원(3)의 한 극(8)은 음극(4)에, 그리고 다른 극(9)은 다른 음극(5)에 각각 공급도선(10, 11)에 의해 연결되는 플라즈마 CVD(제1도)에 의해 기판(2)을 코팅하기 위한 장치에서, 두 음극(4, 5)은 고유의 구획(12, 13)에 배치되고, 양구획은 진공원(21)에 연결된 제3구획(14)을 중간에 둘러싸고 있다. 외측에 있는 양구획(12, 13)은 이것을 분리하는 벽(17, 18)에 있는 개구부(15, 16) 또는 슬릿에 의해 서로 연결되고, 제3구획(14)에 배치된 기판(2)은 기본적으로 반응가스입구부(19)와 시준기(20)로 이루어진 CVD원으로 향하게 되어 있다.

Description

화학증착법에 의한 기판코팅장치

본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음

제1도 및 제2도는 본 발명의 여러 실시 형태 중 평면기판을 위한 2개의 코팅설비를 도식적으로 도시한 도면.

Claims (2)

1. 타겟(6,7)과 전기적으로 함께 작용하는 2개의 자석으로 둘러싸인 음극(4,5)과 연결된 교류전원(3), 예컨대 평균주파수 발생기로 구성되고, 교류전원(3)의 한 극(8)은 음극(4)에, 그리고 다른 극(9)은 다른 음극(5)에 각각 공급도선(10,11)에 의해 연결되는 플라즈마 CVD에 의해 기판(2)을 코팅하기 위한 장치에 있어서, 각각의 두 음극(4,5)이 고유의 챔버 또는 구획(12,13)에 배치되고 그리고 양구획은 진공원(21)에 연결된 제3구획(14)을 둘러싸고 그리고 각각 구획(12,14 및 13,14)을 따로 분리하는 벽(17,18)에 있는 개구부(15,16)또는 슬릿을 통해 서로 연결되고, 제3구획(14)에 포함된 기판(2)은 기본적으로 반응가스 입구부(19)와 시준기(20)로 이루어진 CVD원으로 향하는 것을 특징으로 하는 기판코팅장치.
2. 제1항에 있어서, CVD원의 반응가스입구부(19)는 기판(2)쪽을 향한 노즐(22, 22', ...)을 갖춘 관으로 이루어진 격자로서 형성되어 있고 그리고 격자는 기판(2)의 평면에 평행한 평면에 유지되어 있고, 격벽(17, 18)에 있는 슬릿(15, 16)은 격자와 기판(2)으로 형성된 중간공간(27)과 통해 있고 그리고 구획(14)의 양측면에 배치된 구획(12, 13)에 있는 음극(4, 5)의 타겟(6, 7)은 격벽(17, 18)에 대향한 측벽(23, 24)또는 베이스부나 커버부(25 또는 26)쪽으로 향하고 있는 것을 특징으로 하는 기판코팅장치.

   ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.