KR970023798A - 와이어소우의 슬러리 관리 시스템 및 슬러리 관리 방법 - Google Patents

와이어소우의 슬러리 관리 시스템 및 슬러리 관리 방법 Download PDF

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카주토모 키누타니
노보루 카추마타
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토요타카 와다
아키히로 나카야마
카추마사 다카하시
다카하루 니시다
쇼우이치 우에무라
테추오 고마다
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Abstract

관리 시스템은 와이어소우에 공급하는 슬러리를 관리한다. 슬러리는 오일류 또는 물류의 분산액에 숫돌입자를 분산해서 이루어진다. 와이어소우는 슬러리를 서로 평행하게 장착된 와이어군에 공급하면서 작업물을 와이어군에 의해 절삭함으로써 다수의 웨이퍼를 동시에 형성한다. 배합 수단은 와이어소우에 공급하는 슬러리를 배합한다. 숫돌입자 공급 수단은 배합 수단에 숫돌입자를 공급한다. 분산액 공급 수단은 배합 수단에 분산액을 공급한다. 제1조정 수단은 숫돌 입자 공급 수단으로 부터의 숫돌입자의 공급량을 조정한다. 제2조정 수단은 분산액 공급 수단으로 부터의 분산액의 공급량을 조정한다.

Description

와이어소우의 슬러리 관리 시스템 및 슬러리 관리 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
도1은 본 발명을 구체화한 슬러리 관리 시스템의 제1실시형태를 나타낸 구성도이다.

Claims (26)

  1. 오일류 또는 물(氷)류의 분산액에 숫돌입자를 분산해서 이루어지는 슬러리를 서로 평행하게 설치된 와이어군(41)에 공급하면서 작업물(46)을 상기 와이어군(41)에 의해 절삭함으로써 다수의 웨이퍼를 동시에 형성하게 한 와이어소우의 슬러리 관리 시스템에 있어서, 상기 와이어소우(W)에 공급하는 슬러리를 배합하기 위한 배합 수단(2)과, 상기 배합 수단(2)에 숫돌입자를 공급하기 위한 숫돌입자 공급 수단(21)과, 상기 배합 수단(2)에 분산액을 공급하기 위한 분산액 공급 수단(22)과, 상기 숫돌입자 공급 수단(21)으로부터의 숫돌입자의 공급량을 조정하기 위한 제1조정 수단(V21)과, 상기 분산액 공급 수단(22)으로부터의 분산액의 공급량을 조정하기 위한 제2조정 수단(V22)온 갖춘 슬러리 관리 시스템.
  2. 제1항의 관리 시스템은 상기 배합 수단(2)에 의해 배합된 슬러리 중에서의 숫돌입자와 분산액과의 혼합 중량비가 분산액이 오일류인 경우에는 1. 0.91에서 1:0.6범위내, 분산액이 물(水)류인 경우에는 1 : 0.76에서 1 : 0.5범위내가 되도록 상기 제1조정 수단(V21)및 상기 제2조정 수단(V22)을 각각 제어하는 제어 수단(C1)을 더 갖춘 슬러리 관리 시스템.
  3. 제2항에 있어서, 상기 와이어군(41)에 공급되는 슬러리 중 숫돌입자는 5∼30㎛의 평균 입자직경을 가지는 것을 특징으로 하는 슬러리 관리 시스템.
  4. 제1항에 있어서, 상기 와이어소우(W)는 복수개 구비되고 상기 배합 수단(2)에서 배합된 슬러리는 각 와이어소우(W)에 공급되는 것을 특징으로 하는 슬러리 관리 시스템.
  5. 제2항의 관리 시스템은 슬러리 중 숫돌 입자 함유율을 검출하는 함유율 검출 수단(S1, S2)과, 상기 제어 수단(C1)은 상기 함유율 검출 수단(S1, S2)의 검출 결과에 따라 제1조정 수단 (VB1) 및 제2조정 수단(VB2)을 각각 제어 하는 것을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 슬러리 관리 시스템.
  6. 제5항에 있어서, 상기 함유율 검출수단(S1, S2)은 배합수단(2)내에서 슬러리 중 숫돌입자의 함유율을 검출하는 것을 특징으로 하는 슬러리 관리 시스템.
  7. 제6항에 있어서 상기 함유율 검출 수단(S1, S2)은 슬러리의 비중을 검출하기 위한 비중 검출 수단(S1) 및 슬러리의 점도를 검출하기 위한 점도 검출 수단(S2)중 적어도 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬러리 관리 시스템.
  8. 제1∼7항의 어느 관리 시스템은 상기 와이어소우(W)는 절삭에 사용된 슬러리를 배출하는 것과 그 배출된 슬러리는 숫돌입자보다도 미세한 미립 성분을 포함하고 있는 것과, 상기 와이어소우(W)에서 배출된 슬러리 중에서 분산액 및 숫돌입자를 회수하기 위해 동(同)슬러리에서 미립 성분을 분리하는 분리 수단(6, 7; 8, 6; 9a, 9b, 9c, 9d; 100, 107)과, 상기 배합 수단(2)은 상기 분리 수단(6, 7; 8, 6, 9a, 9b, 9c, 9d; 100, 107)에 의해 회수된 분산액 밑 숫돌입자를 재사용해서 슬러리를 배합하는 것을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 슬러리 관리 시스템.
  9. 제8항에 있어서, 슬러리 배합시에 재사용되는 숫돌입자는 5∼30㎛의 평균 입자 직경을 가지는 것을 특징으로 하는 슬러리 관리 시스템.
  10. 제8항의 관리 시스템은 상기 분리 수단(6, 7; 8, 6; 9a, 9b, 9c, 9d; 100, 107)에 의해 회수된 분산액 및 숫돌입자를 상기 배합 수단(2)으로 반송하는 반송 수단(Ts, T7)을 더 갖출 것을 특징으로 하는 슬러리 관리 시스템.
  11. 제8항에 있어서, 상기 분리 수단은 제1분리 수단(6, 8; 9A, 9b; 100) 및 제2분리 수단(7; 6; 9a, 9D; 107)을 포함하고. 제1분리 수단(6, 8; 9a, 9b; 100)은 와이어소우(W)에서 배출된 슬러리 중에서 숫돌입자를 회수하기 위해 동슬러리에서 미립 성분 및 분산액을 분리하고 제2분리 수단(7; 6; 9c, 9d; 107)은 상기 제1분리 수단에 의해 분리된 미립 성분 및 분산액을 포함한 슬러리 중에서 분산액을 회수하기 위해 동슬러리에서 미립 성분을 분리하는 것을 특징으로 하는 슬러리 관리 시스템.
  12. 제8항에 있어서, 상기 분리 수단은 슬러리에 원심력을 부여함으로써 슬러리 속의 성분을 분리하는 원심 분리수단(6)을 포함하고, 그 원심 분리 수단(6)은 150∼500G의 원심 가속도로 슬러리 속 성분의 원심 분리를 행하는 것을 특징으로 하는 슬러리 관리 시스템.
  13. 제8항에 있어서 상기 분리 수단은 필터(7; 9a, 9b, 9c, 96d; 100, 107)를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬러리 관리 시스템.
  14. 제8항에 있어서, 상기 분리 수단은 슬러리를 선회류에 태워 선회시킴으로써 슬러러 속 성분을 분리하는 사이클론(8)을 포함하는 것을 특징으로 하는 슬러리 관리 시스템.
  15. 제1∼7항의 어느 관리 시스템은 상기 와이어소우(W)는 절삭에 사용된 슬러리를 배출하는 것과 그 배출된 슬러리는 숫돌입자보다도 미세한 미립 성분을 포함하고 있는 것과, 상기 와이어소우(W)에서 배출된 슬러리 중에서 숫돌입자를 회수하기 위해, 동슬러리에서 미립 성분을 분리하는 제1분리 수단(100)과 그 제1분리 수단(100)은 분산액 및 미립성분의 통과를 허용하고 그리고 숫돌입자의 통과를 저지하는 필터(102)를 가지는 것을 더 구비한 것을 특징으로 하는 슬러리 관리 시스템.
  16. 제15항에 있어서, 상기 제1분리 수단은 상기 필터(102)에 미진동을 부여하기 위한 진동 부여 수단(106)을 더 가지고, 필터(102)에 부여된 미진동은 숫돌입자가 필터(102)에 부착되는 것을 억제할 뿐만 아니라 필터 (102)에 접촉한 숫돌입자를 필터(102)에서 흔들어 떼어 내는 것을 특징으로 하는 슬러리 관리 시스템.
  17. 제16항에 있어서, 상기 제1분리 수단은 상기 필터(102)에 의해 분리된 제1실(103)과 제2실(104)을 가지는 본체(101)와, 상기 와이어소우(W)에서 배출된 슬러리는 제1실(103)에 도입되고, 제1실(103)에 도입된 슬러리 중 분산액 및 미립 성분은 필터(102)를 통해 제2실(104)에 도입되고, 제1실(103)에 도입된 슬러리 중 숫돌입자는 필터(102)에 의해 제2실(104)로의 도입이 저지되어 제1실(103)에 잔류하는 것을 더 구비한 것을 특징으로 하는 슬러리 관리 시스템.
  18. 제16항에 있어서, 상기 진동 부여 수단은 필터(102)를 미진동시키기 위한 초음파 발진기(106)를 포함하는 것을 특징으로 하는 슬러리 관리 시스템.
  19. 제17항에 있어서, 상기 진동 부여 수단은 필터(102)를 미진동시키기 위한 초음파를 발생하는 초음파 발진기(106)를 포함하고, 그 초음파 발진기 (106)는 필터(102)와 대향하도록 제1실(103)내에 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 슬러리 관리 시스템.
  20. 제17 또는 19항의 관리 시스템은 상기 와이어소우(W)에서 배출된 슬러리를 제1실(103)에 도입하기 위한 도입로(T5)와, 상기 제1실(103)내에 잔류하는 슬러리 중 숫돌입자를 회수하고 그 숫돌입자를 제1실(103)에서 배출하는 제1배출로(T100)와, 상기 제2실(104)에 도입된 분산액 및 미립 성분을 제2실(104)에서 배출하기 위한 제2배출로(161)글 더 갖춘 것을 특징으로 하는 슬러리 관리 시스템.
  21. 제20항의 관리 시스템은 도입로(T5)내의 슬러리를 제1실(103)을 향해 압송하는 압송 수단(P5)을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 슬러리 관리 시스템.
  22. 제21항의 관리 시스템은 제1실(103)에 도입된 슬러리 중 분산액 및 미립 성분을 필터(102)를 통해 제2실(104)측으로 흡인하기 위한 수단(P61) 을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 슬러리 관리 시스템.
  23. 제20항의 관리 시스템은 상기 제1배출로(T100)로부터의 숫돌입자를 배출 수단(2)으로 반송하는 제1반송수단(T6)과, 상기 제2배출로(T61)에서의 미립 성분 및 분산액을 포함한 슬러리중에서 분산액을 회수하기 위해 동 슬러리에서 미립 성분을 분리하는 제2분리 수단(107) 과, 상기 제2분리 수단(107)에서 회수된 분산액을 배합 수단(2)으로 반송하는 제2반송 수단(T7)을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 슬러리 관리 시스템.
  24. 제1∼7항의 어느 관리 시스템은 작업물(46) 절삭시에 와이어소우(W)에 부착된 슬러리를 씻어내기 위해 와이어소우를 세정액으로 세정하는 세정수단(136)과 세정에 사용된 후의 세정액은 숫돌입자를 함유하는 것과, 세정에 사용된 후의 세정액에서 숫돌입자를 분리하는 분리 수단(6)과, 분리된 숫돌입자를 상기 배합 수단(2)으로 반송하는 반송 수단(T6)을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 슬러리 관리 시스템.
  25. 제24항에 있어서, 상기 세정액은 오일 또는 물을 포함하는 것을 특징으로 하는 슬러리 관리 시스템.
  26. 오일류 또는 물(水)류의 분산액에 숫돌입자를 분산해서 이루어지는 슬러리를 서로 평행하게 설치된 와이어군(41)에 공급하면서 작업물(46)을 상기 와이어군(41)에 의해 절삭함으로써 다수의 웨이퍼를 동시에 형성하게 한 슬러리 관리 시스템에 있어서 , 상기 와이어소우(W)에 공급하는 슬러리를 배합 수단(2)에서 배합하는 공정과, 상기 배합 수단(2)에서 배합된 슬러리 중에서의 숫돌입자와 분산액과의 혼합 중량비가 분산액이 오일류일 경우에는 1:0.91에서 1:0.6범위내, 분산액이 물(水)류인 경우에는 1:0.76에서 1:0.5범위내가 되도록 상기 배합 수단(2)에 대한 숫돌입자 및 분산액의 공급량을 각각 조정하는 공정을 포함한 슬러리 관리 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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