KR970018219A - 강유전체 박막의 제조 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 강유전체 박막의 결정 성장면을 일방향으로 배양시키는 강유전체 박막의 제조 방법에 관한 것으로, 320∼490℃의 저온에서 실리콘 기판 상에 직접 액상 주입-유기 금속 화학 기상 증착법으로 비정질의 강유전체 박막을 형성한 다음, 600℃ 이상의 고온으로 열처리를 하여 일방향을 결정을 성정시키는 방법으로, 거의 완벽에 가까운 일방향성의 결정 구조를 얻을 수 있으며, 박막의 표면이 극도로 매끄러우며, 계면 결함과 결정 입자 간의 결함을 최소할 수 있는 장점이 있다.
Description
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제3도는 본 발명의 방법에 의해 형성된 Pb(ZrxTi1-x)O3박막 적층의 수직단면도, 제4도는 본 발명의 방법을 구현하기 위한 MOCVD 장치의 개략적 구성도.
Claims (9)
- 기판 상에 소정의 제1온도에서 비정질의 강유전체 박막을 형성하는 단계; 및 상기 비정질의 강유전체 박막을 상기 제1온도 보다 높은 소정의 제2온도에서의 열처리를 통하여 일방향으로 성장된 강유전체 박막으로 만드는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 강유전체 박막의 제조 방법.
- 제1항에 있어서, 상기 제1온도는 320℃ 내지 490℃ 사이의 온도인 것을 특징으로 하는 강유전체 박막의 제조 방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 제2온도는 600℃ 이상인 것을 특징으로 하는 강유전체 박막의 제조 방법.
- 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 비정질의 강유전체 박막을 형성하는 단계에서 상기 비정질의 박막은 직접 액상 주입-유기 금속 화학 기상 증착법에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 강유전체 박막의 제조 방법.
- 제3항에 있어서, 상기 비정질의 강유전체 박막을 형성하는 단계에서 상기 비정질의 박막은 직접 액상 주입-유기 금속 화학 기상 증착법에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 강유전체 박막의 제조 방법.
- 제4항에 있어서, 상기 강유전체 박막은 Pb(ZrxTi1-x)O3로 형성되는 것을 특징으로 하는 강유전체 박막의 제조 방법.
- 제6항에 있어서, 상기 강유전체 박막 재료인 Pb(ZrxTi1-x)O3의 조성비가 Pb : (ZrxTil-x) =1∼1.3 : 1인 것을 특징으로 하는 강유전체 박막의 제조 방법.
- 제5항에 있어서, 상기 강유전체 박막은 Pb(ZrxTi1-x)O3로 형성되는 것을 특징으로 하는 강유전체 박막의 제조 방법.
- 제8항에 있어서, 상기 강유전체 박막 재료인 Pb(ZrxTi1-x)O3의 조성비가 Pb : (ZrxTi1-x)=1∼1.3 : 1인 것을 특징으로 하는 강유전체 박막의 제조 방법.※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950032205A KR970018219A (ko) | 1995-09-27 | 1995-09-27 | 강유전체 박막의 제조 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1019950032205A KR970018219A (ko) | 1995-09-27 | 1995-09-27 | 강유전체 박막의 제조 방법 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR970018219A true KR970018219A (ko) | 1997-04-30 |
Family
ID=66616346
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1019950032205A KR970018219A (ko) | 1995-09-27 | 1995-09-27 | 강유전체 박막의 제조 방법 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR970018219A (ko) |
-
1995
- 1995-09-27 KR KR1019950032205A patent/KR970018219A/ko not_active Application Discontinuation
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